JP2020047780A - 光検出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
まず光検出装置に含まれる光電変換単位について説明する。図1A〜図1Cは、光電変換単位70の断面構造を模式的に示す図である。図1A〜図1Cに示すように、光電変換単位70は、N型半導体領域1、P型半導体領域2、N型半導体領域3、及びN型半導体領域12を含む。N型半導体領域1とP型半導体領域2とで光を信号電荷に変換して蓄積するPD(フォトダイオード)が形成され、P型半導体領域2と、N型半導体領域3及びN型半導体領域12と、でAD(アヴァランシェダイオード)が形成される。後述するが、光電変換単位70は信号電荷がPDに蓄積される第1の状態と、PDに蓄積した信号電荷がADに転送される第2の状態とを取る。第2の状態のうちの少なくとも一部の期間には転送される信号電荷によりAD部においてアヴァランシェ増倍が生じる。
本発明の第二の実施形態に係る光検出装置は、本発明の光電変換単位を複数配列することによって構成される撮像センサである。
図14は本発明の第三の実施形態の光検出装置を表す等価回路図である。同図において図7と同一の部品には同一番号を付し、再度の説明は省略する。
図15は本発明の第四の実施形態に係る光検出装置の光電変換単位の概略断面図である。同図において図1、図3と同一の部品には同一番号を付し、再度の説明は省略する。また抵抗4、電位制御部5、インバータ回路7、カウンタ回路8はこれまでに説明した実施形態のものと同じなので省略している。本実施形態に係る光検出装置は、ゲート電極43によりポテンシャル障壁の高さを制御している点で第一の実施形態と異なる。
図18は本発明の第五の実施形態に係る光検出装置の光電変換単位の概略断面図である。同図において、図17と同一の部品には同一番号を付し、再度の説明は省略する。また、抵抗4、電位制御部5、インバータ回路7、カウンタ回路8はこれまでに説明した実施形態のものと同じなので省略している。本実施形態に係る光検出装置は、N型半導体領域44が配されておらず、N型半導体領域1からN型半導体領域3に直接信号電荷が転送される点で第四の実施形態と異なる。また、本実施形態に係る光検出装置は、ゲート電極43が配されている側から入射させてもよいし、それとは反対の側から光が入射するようにしてもよい。図18では、ゲート電極43が配されている側とは反対の側から光が入射する場合の構造を示す
図18に示すように、本実施形態では、半導体基板の下面と平行な方向に、光電変換部60と電荷増倍部50とが配されている。
本実施形態による撮像システムについて、図19を用いて説明する。上述した各実施形態の光検出装置と同様の構成要素には同一の符号を付し説明を省略し或いは簡潔にする。図19は、本実施形態による撮像システムの概略構成を示すブロック図である。
本実施形態による撮像システム及び移動体について、図20を用いて説明する。
本発明は、上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。例えば、いずれかの実施形態の一部の構成を他の実施形態に追加した例や、他の実施形態の一部の構成と置換した例も、本発明の実施形態である。
2 第2半導体領域
3 第3半導体領域
8 回路手段
Claims (23)
- 信号電荷と同じ第1の極性のキャリアを多数キャリアとする第1導電型の第1半導体領域と、
第2の極性のキャリアを多数キャリアとする第2導電型の第2半導体領域と、
前記第1半導体領域から前記信号電荷が転送される前記第1導電型の第3半導体領域と、を備え、
前記第2半導体領域と前記第3半導体領域とには前記信号電荷をアヴァランシェ増倍するための逆バイアス電圧が印加され、
前記第1半導体領域と前記第3半導体領域との間に、前記第1半導体領域にある前記信号電荷に対して前記逆バイアス電圧よりも低い高さのポテンシャル障壁が形成され、
前記ポテンシャル障壁が形成されることにより前記第1半導体領域が前記信号電荷を蓄積し、
前記ポテンシャル障壁の高さを制御することにより、前記第1半導体領域の前記信号電荷を前記第3半導体領域に転送する制御手段と、
前記アヴァランシェ増倍により生起するアヴァランシェ電流の生起回数をカウントする回路手段と、を備えることを特徴とする光検出装置。 - 前記アヴァランシェ増倍により生起するアヴァランシェ電流を検知して波形を整形する波形整形部を備え、
前記回路手段は、前記波形整形部で検知されたアヴァランシェ電流の生起回数をカウントすることを特徴とする請求項1に記載の光検出装置。 - 前記第1半導体領域と、前記第2半導体領域と、前記第3半導体領域と、前記制御手段と、を含む光電変換単位が複数配されており、
1つの前記光電変換単位に対して、1つの前記回路手段が接続されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の光検出装置。 - 前記第1半導体領域と、前記第2半導体領域と、前記第3半導体領域と、前記制御手段と、を含む光電変換単位が複数配されており、
前記複数の光電変換単位に対して1つの前記回路手段が接続されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の光検出装置。 - 制御手段は、前記ポテンシャル障壁の高さを、前記信号電荷がアヴァランシェ増倍されない範囲に制限することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の光検出装置。
- 前記ポテンシャル障壁を第1の高さとすることにより、前記第1半導体領域で前記信号電荷を蓄積する期間と、
前記ポテンシャル障壁を前記第1の高さより低くすることにより、前記第1半導体領域から前記第3半導体領域に信号電荷を転送する期間と、を備えることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の光検出装置。 - 前記信号電荷を転送する期間において、前記ポテンシャル障壁の高さをスロープ状に変化させることを特徴とする請求項6に記載の光検出装置。
- 前記信号電荷を転送する期間において、前記ポテンシャル障壁の高さをステップ状に変化させることを特徴とする請求項6に記載の光検出装置。
- 前記制御手段は、前記第2半導体領域に供給される電位を制御することによって、前記ポテンシャル障壁の高さを制御することを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の光検出装置。
- 前記制御手段が前記第2半導体領域に第1の電位を供給することにより、前記第1半導体領域で前記信号電荷を蓄積する期間と、
前記制御手段が前記第2半導体領域に前記第1の電位とは異なる第2の電位を供給することにより、前記第1半導体領域から前記第3半導体領域に信号電荷を転送する期間と、を備えることを特徴とする請求項9に記載の光検出装置。 - 前記第1半導体領域を取り囲んで前記第2導電型の第4半導体領域が配されており、
前記制御手段が前記第4半導体領域の電位を変化させることにより、前記第1半導体領域の電位が変化して前記ポテンシャル障壁の高さが低くなることを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載の光検出装置。 - 前記制御手段が前記第4半導体領域の電位を変化させたとき、前記第4半導体領域における電位の変化量が、前記第2半導体領域において空乏層が形成された領域の電位の変化量より大きいことを特徴とする請求項11項に記載の光検出装置。
- 前記第2半導体領域は、前記第1半導体領域の前記第3半導体領域の側の面に連続的に配されていることを特徴とする請求項1から12のいずれか1項に記載の光検出装置。
- 前記第2半導体領域には、前記第1半導体領域と前記第3半導体領域との間に隙間が形成されていることを特徴とする請求項1から12のいずれか1項に記載の光検出装置。
- 平面視で前記第2半導体領域と重なる領域にゲート電極が配されており、
前記ゲート電極に供給する電位を変化させることにより、前記ポテンシャル障壁の高さを変えることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の光検出装置。 - 前記信号電荷を生成する前記第1導電型の第4半導体領域と、
前記第4半導体領域と前記第1半導体領域との間に配された前記第2導電型の第5半導体領域と、を備え、
平面視で、前記第5半導体領域と前記第4半導体領域と重なるように、ゲート電極が配されており、
前記ゲート電極に供給される電位が変化することにより、前記第1半導体領域のポテンシャルが変化して、前記ポテンシャル障壁が低くなることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の光検出装置。 - 前記ゲート電極に供給される電位が変化することにより、前記第4半導体領域から前記第1半導体領域への前記信号電荷の転送を行うことを特徴とする請求項16に記載の光検出装置。
- 前記信号電荷を蓄積する期間よりも、前記信号電荷を転送する期間が短いことを特徴とする請求項6から8のいずれか1項に記載の光検出装置。
- 前記信号電荷を転送する期間の少なくとも一部の期間に、前記第3半導体領域に前記信号電荷をアヴァランシェ増倍するための前記逆バイアス電圧が印加され、
前記信号電荷を蓄積する期間に、前記第3半導体領域にアヴァランシェ増倍が生じない大きさの逆バイアス電圧が印加されることを特徴とする請求項6から8および18のいずれか1項に記載の光検出装置。 - 前記第3半導体領域と波形整形部とが接続されており、
前記波形整形部と前記回路手段とが接続されており、
前記信号電荷を転送する期間に、前記波形整形部は波形を整形し、前記回路手段は生起回数をカウントすることを特徴とする請求項6から8、18および19のいずれか1項に記載の光検出装置。 - 前記第3半導体領域と波形整形部とが接続されており、
前記波形整形部と前記回路手段とが接続されており、
前記信号電荷を蓄積する期間において、前記波形整形部及び前記回路手段の少なくとも一方が動作しないことを特徴とする請求項6から8、および、18から20のいずれか1項に記載の光検出装置。 - 前記第2半導体領域と前記第3半導体領域との間には、前記第2半導体領域よりも不純物濃度の低い前記第1導電型の第6半導体領域が配されていることを特徴とする請求項1から21のいずれか1項に記載の光検出装置。
- 前記第1半導体領域は半導体基板の表面の一部を構成しており、
前記第2導電型の第7半導体領域が半導体基板の前記表面の他の一部を構成しており、
前記第1半導体領域及び前記第7半導体領域は、平面視で離間していることを特徴とする請求項1から21のいずれか1項に記載の光検出装置。
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