JP7326061B2 - 半導体記憶装置および半導体記憶装置の製造方法 - Google Patents
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Description
前記第2の接合部に配置される前記サイドウォール絶縁層の内壁面は、前記第2のメモリホールの下端の径よりも大きな径を有する。
以下、図面を参照して、実施形態1について詳細に説明する。
図1は、実施形態1にかかる半導体記憶装置1の構成例を示す断面図である。図1に示すように、半導体記憶装置1は、例えば基板SUBを含み、基板SUBの上方にメモリセルMCが3次元的に配置された3次元不揮発性メモリである。
次に、図2~図8を用いて、実施形態1の半導体記憶装置1の製造方法について説明する。図2~図8は、実施形態1にかかる半導体記憶装置1の製造方法の手順の一例を示すフロー図である。なお、図2~図8においては、半導体記憶装置1の下層構造は下地層ULとして示す。
比較例の半導体記憶装置の製造方法においては、接合層JLの内壁面上にサイドウォール絶縁層SWを形成することなく、接合穴JH’の上部を拡径する。その結果、接合穴JH’の下部の内壁面と、メモリホールLMH’の上端の内壁面とは、連続した平面となる。そのような接合穴JH’がメモリホールLMH’,UMH’間に配置され、更に、メモリホールLMH’,UMH’等の内壁面にメモリ層ME’及び保護層CV’が形成された様子を図9(a)に示す。
以下、図面を参照して、実施形態2について詳細に説明する。実施形態2の半導体記憶装置2では、サイドウォール絶縁層が接合部の全面に配置されている点が上述の実施形態1とは異なる。
図11は、実施形態2にかかる半導体記憶装置2の構成例を示す断面図である。図11に示すように、半導体記憶装置2は、上述の実施形態1の半導体記憶装置1と同様、基板SUBを含み、基板SUBの上方にメモリセルMCが3次元的に配置された3次元不揮発性メモリである。
次に、図12~図14を用いて、実施形態2の半導体記憶装置2の製造方法について説明する。図12~図14は、実施形態2にかかる半導体記憶装置2の製造方法の手順の一例を示すフロー図である。なお、図12~図14においては、半導体記憶装置2の下層構造は下地層ULとして示す。
Claims (5)
- 複数の第1の導電層と複数の第1の絶縁層とが交互に積層された第1の積層体と、
前記第1の積層体の上方に配置され、複数の第2の導電層と複数の第2の絶縁層とが交互に積層された第2の積層体と、
前記第1の積層体内を前記第1の積層体の積層方向である第1の方向に延びる第1のメモリホールと、
前記第2の積層体内を前記第1の方向に延びる第2のメモリホールと、
前記第1のメモリホールと前記第2のメモリホールとを連通させる接合部と、を備え、
前記接合部は、
前記第1のメモリホールの内壁面と連続する平面から構成される内壁面と、
前記接合部の内壁面上に配置されるサイドウォール絶縁層と、を有し、
前記接合部は、
前記サイドウォール絶縁層が配置され、前記第1のメモリホールの上端の径よりも小さな径を有する第1の接合部と、
前記第1の接合部上に配置され、前記第2のメモリホールの下端の径よりも大きな径を有する第2の接合部と、を有し、
前記サイドウォール絶縁層は前記第2の接合部にも配置され、
前記第2の接合部に配置される前記サイドウォール絶縁層の内壁面は、前記第2のメモリホールの下端の径よりも大きな径を有する、
半導体記憶装置。 - 前記接合部は、
前記内壁面上に前記サイドウォール絶縁層が配置されることにより、前記第1のメモリホールの上端の径よりも小さな径を有する、
請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記第1のメモリホールの上端縁は、上面視にて、前記サイドウォール絶縁層の内壁によって区画される領域の外側に存在する、
請求項1または請求項2に記載の半導体記憶装置。 - 複数の第1の絶縁層と複数の第2の絶縁層とが交互に積層された第1の積層体を形成し、
前記第1の積層体上に接合層を形成し、
前記接合層を貫通する接合穴と、前記接合穴から継続して前記第1の積層体を貫通させることで前記接合穴と連通する第1のメモリホールとを形成し、
前記接合穴の少なくとも一部の内壁にサイドウォール絶縁層を形成し、
前記接合層上に、前記第1の絶縁層と同種の複数の第3の絶縁層と前記第2の絶縁層と同種の複数の第4の絶縁層とが交互に積層された第2の積層体を形成し、
前記第2の積層体を貫通して前記接合層の前記接合穴と連通する第2のメモリホールを形成し、
前記サイドウォール絶縁層を形成するときは、
前記接合穴の上部を拡径し、
前記接合穴の下部および拡径した上部の内壁面に前記サイドウォール絶縁層を形成し、
上部と下部とに前記サイドウォール絶縁層を有する前記接合穴を形成する、
半導体記憶装置の製造方法。 - 少なくとも前記第2のメモリホールの内壁ならびに前記第1のメモリホールの内壁および底面を覆うメモリ層を形成し、
前記第2のメモリホール、前記接合穴、及び前記第1のメモリホールを介するドライエッチングにより、前記第1のメモリホールの底面を覆う前記メモリ層を除去する、
請求項4に記載の半導体記憶装置の製造方法。
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