JP7312526B2 - 感光性樹脂組成物、ならびにこれを用いたブラック画素定義膜およびディスプレイ装置 - Google Patents

感光性樹脂組成物、ならびにこれを用いたブラック画素定義膜およびディスプレイ装置 Download PDF

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Description

本発明は、感光性樹脂組成物、ならびにこれを用いたブラック画素定義膜およびディスプレイ装置に関する。
感光性樹脂組成物は、カラーフィルター、液晶表示材料、有機発光素子などのディスプレイ装置、ディスプレイ装置のパネル材料などの表示素子の製造に必須の材料である。たとえば、カラー液晶ディスプレイなどに用いられるカラーフィルターには、表示コントラストや発色効果を高めるために、赤、緑、青などの着色層間の境界部分にブラック画素定義膜のような感光性樹脂膜が必要であり、この感光性樹脂膜は主に感光性樹脂組成物から形成されるものである。
特に、ディスプレイ装置のパネル材料として使用される画素定義膜などの感光性樹脂膜は、加工性および素子信頼性を有するためにテーパー角度を低くしなければならない。また、遮光性のために可視光領域の光を遮蔽する顔料や染料などの着色剤が使用されなければならない。
一般に感光性樹脂組成物は、大面積のガラスにスリットコーティングをして真空乾燥(Vacuum Drying、VCD)、ベーキングなどの工程を通じてガラス上にコーティングされる。この場合、適切な溶媒を使用しない場合、真空乾燥のための減圧工程で泡状の欠陥(defect)が発生したり、ピン(pin)痕、乾燥ムラが発生したりする虞がある。
したがって、上記の問題点を解決することができる、ブラック画素定義膜を製造するための感光性樹脂組成物を開発が続いている。
特許第4678142号公報
本発明の目的は、真空乾燥工程における泡状の欠陥、ピン痕、および乾燥ムラを低減することができる感光性樹脂組成物を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、上記感光性樹脂組成物の硬化物を含むブラック画素定義膜を提供することにある。
本発明のさらに他の目的は、上記ブラック画素定義膜を含むディスプレイ装置を提供することにある。
本発明の一実施形態によれば、(A)バインダー樹脂と、(B)黒色着色剤と、(C)光重合性単量体と、(D)光重合開始剤と、(E)溶媒と、を含み、前記溶媒は、第1のアセテート溶媒および第2のアセテート溶媒を含み、前記第1のアセテート溶媒の沸点と前記第2のアセテート溶媒の沸点との差が10~60℃である、感光性樹脂組成物を提供する。
前記第1のアセテート溶媒および第2のアセテート溶媒は、2:8~8:2の質量比で含まれてもよい。
溶媒は、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチルラクテート、およびγ-ブチロラクトンからなる群より選択される少なくとも1種をさらに含むことが好ましい。
前記プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチルラクテート、およびγ-ブチロラクトンからなる群より選択される少なくとも1種は、前記溶媒の総質量を100質量%として510質量%含まれることが好ましい。
前記バインダー樹脂は、ポリアミド酸、ポリアミド酸エステル、ポリヒドロキシアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾールおよびこれらの共重合体からなる群より選択される少なくとも1種を含むことが好ましい。
前記バインダー樹脂は、ポリアミド酸-ポリイミド共重合体であることがより好ましい。
前記ポリアミド酸-ポリイミド共重合体に含まれるポリアミド酸構成単位とポリイミド構成単位とのモル比は、5:5~9:1であることが好ましい。
前記ポリアミド酸-ポリイミド共重合体の重量平均分子量は、3,000~20,000g/molであることが好ましい。
前記黒色着色剤は、有機黒色顔料を含むことが好ましい。
前記光重合性単量体は、下記化学式1で表される官能基を少なくとも2つ有する化合物を含むことが好ましい。
前記化学式1中、
は、水素原子、または置換されているかもしくは非置換の炭素数1~10のアルキル基であり、
は、単結合、または置換されているかもしくは非置換の炭素数1~10のアルキレン基であり、
*は、連結部である。
前記化学式1で表される官能基を少なくとも2つ有する化合物は、下記化学式2または下記化学式3で表される化合物であることが好ましい。
前記化学式2および化学式3中、
p、q、rおよびsは、それぞれ独立して、1~10の整数である。
本発明の感光性樹脂組成物は、感光性樹脂組成物の総質量を100質量%として、前記(A)バインダー樹脂 1~20質量%と、前記(B)黒色着色剤 1~20質量%と、前記(C)光重合性単量体 1~5質量%と、前記(D)光重合開始剤 0.1~5質量%と、残部の前記(E)溶媒と、を含むことが好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は、マロン酸、3-アミノ-1,2-プロパンジオール、シラン系カップリング剤、レベリング剤、界面活性剤、およびラジカル重合開始剤からなる群より選択される少なくとも1種の添加剤をさらに含むことが好ましい。
また、本発明は、本発明の感光性樹脂組成物の硬化物を含むブラック画素定義膜(Black Pixel Defining Layer)を提供する。
さらに、本発明は、前記ブラック画素定義膜を含むディスプレイ装置を提供する。
前記ディスプレイ装置は、有機発光素子(OLED)であってもよい。
本発明によれば、真空乾燥工程における泡状の欠陥、ピン痕、および乾燥ムラを低減することができる感光性樹脂組成物が提供される。
実施例1による感光性樹脂組成物を用いて製造した試験片の欠陥評価用の写真である。 比較例1による感光性樹脂組成物を用いて製造した試験片の欠陥評価用の写真である。 実施例1による感光性樹脂組成物を用いて製造した試験片のピン痕評価用の写真である。 比較例1による感光性樹脂組成物を用いて製造した試験片のピン痕評価用の写真である。
以下、本発明の実施形態を詳細に説明する。ただし、これは例示として提示されるものであり、これによって本発明が制限されず、本発明は特許請求の範囲の範疇だけにより定義される。
本明細書で特別な言及がない限り、「アルキル基」とは、炭素数1~20のアルキル基を意味し、「アルケニル基」とは、炭素数2~20のアルケニル基を意味し、「シクロアルケニル基」とは、炭素数3~20のシクロアルケニル基を意味し、「ヘテロシクロアルケニル基」とは、炭素数3~20のヘテロシクロアルケニル基を意味し、「アリール基」とは、炭素数6~20のアリール基を意味し、「アリールアルキル基」とは、炭素数7~20のアリールアルキル基を意味し、「アルキレン基」とは、炭素数1~20のアルキレン基を意味し、「アリーレン基」とは、炭素数6~20のアリーレン基を意味し、「アルキルアリーレン基」とは、炭素数7~20のアルキルアリーレン基を意味し、「ヘテロアリーレン基」とは、炭素数3~20のヘテロアリーレン基を意味し、「アルコキシレン基」とは、炭素数1~20のアルコキシレン基を意味する。
本明細書で特別な言及がない限り、「置換されている」とは、少なくとも1つの水素原子がハロゲン原子(F、Cl、Br、I)、ヒドロキシ基、炭素数1~20のアルコキシ基、ニトロ基、シアノ基、アミン基、イミノ基、アジド基、アミジノ基、ヒドラジノ基、ヒドラゾノ基、カルボニル基、カルバモイル基、チオール基、エステル基、エーテル基、カルボキシル基またはその塩の基、スルホン酸基またはその塩の基、リン酸またはその塩の基、炭素数1~20のアルキル基、炭素数2~20のアルケニル基、炭素数2~20のアルキニル基、炭素数6~20のアリール基、炭素数3~20のシクロアルキル基、炭素数3~20のシクロアルケニル基、炭素数3~20のシクロアルキニル基、炭素数2~20のヘテロシクロアルキル基、炭素数2~20のヘテロシクロアルケニル基、炭素数2~20のヘテロシクロアルキニル基、炭素数3~20のヘテロアリール基、またはこれらの組み合わせの置換基で置換されたことを意味する。
本明細書で特別な言及がない限り、「ヘテロ」とは、化学構造内にN(窒素原子)、O(酸素原子)、S(硫黄原子)およびP(リン原子)のうちの少なくとも1種が、少なくとも1つ含まれたものを意味する。
本明細書で特別な言及がない限り、「(メタ)アクリレート」は、「アクリレート」と「メタクリレート」との両方を含むことを意味し、「(メタ)アクリル酸」は、「アクリル酸」と「メタクリル酸」との両方を含むことを意味する。
本明細書で別途の定義がない限り、「組み合わせ」とは、混合または共重合を意味する。また「共重合」とは、ブロック共重合、ランダム共重合、または交互共重合を意味し、「共重合体」とは、ブロック共重合体、ランダム共重合体、または交互共重合体を意味する。
本明細書で特別な言及がない限り、「不飽和結合」は、炭素-炭素原子間の多重結合だけでなく、カルボニル結合、アゾ結合などのように炭素原子以外の原子を含む結合も意味する。
本明細書内の化学式で別途の定義がない限り、化学結合が描かれるべき位置に化学結合が描かれていない場合は、その位置に水素原子が結合されていることを意味する。
本明細書で別途の定義がない限り、「*」は、他の官能基または原子と連結される部分を意味する。これを、本明細書では「連結部」とも称する。
本発明の一実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(A)バインダー樹脂と、(B)黒色着色剤と、(C)光重合性単量体と、(D)光重合開始剤と、(E)溶媒と、を含み、前記溶媒は、互いに沸点が異なる第1のアセテート溶媒および第2のアセテート溶媒を含み、前記第1のアセテート溶媒の沸点と前記第2のアセテート溶媒の沸点との差は、10~60℃である。
従来、有機発光素子などのディスプレイ装置の画素定義膜材料として使用される感光性樹脂膜組成物を用いるディスプレイの製造においては、大面積のガラスを用いるために、製膜時にスリットコーティング、真空乾燥(VCD)、熱処理(ベーキング)などの工程を経る。しかし、このような工程中には三つのコーティング不良が発生しやすい。第一に、VCDを行う際の減圧時に、有機膜中の溶媒が蒸発し、高粘度の膜が形成される途中に発生する泡状の欠陥がある。第二に、VCD/熱処理工程時に、ガラスとガラスを支持するピンとの接触によるピン痕がある。ピン痕は、ガラスとピンとの温度差により発生するものであり、ピン痕防止のためにキャッピング(capping)を行うが、溶媒を工程にあわせて適切に選択することができない場合、ピン痕が簡単に発生する。第三に、VCD/熱処理工程を行うと、大面積ガラス上に乾燥ムラが発生しやすい。
しかしながら、本発明の感光性樹脂組成物は、溶媒として互いに沸点が異なる2種のアセテート溶媒(第1のアセテート溶媒および第2のアセテート溶媒)を用い、沸点の差が10~60℃となるように第1のアセテート溶媒および第2のアセテート溶媒を選択することによって、上記の三つの問題点をすべて解決することができる。
以下、各成分について具体的に説明する。
(E)溶媒
本発明に係る溶媒は、互いに沸点が異なる2種のアセテート溶媒(第1のアセテート溶媒および第2のアセテート溶媒)を含む。また、第1のアセテート溶媒の沸点と第2のアセテート溶媒の沸点との差は、10~60℃である。上記範囲の沸点の差がある2種のアセテート溶媒を用いる場合、VCD工程上の泡状の欠陥、乾燥ムラ、およびピン痕を低減することができ加工性に非常に優れている。
第1のアセテート溶媒の沸点と第2のアセテート溶媒の沸点との差が10℃未満の場合や60℃を超える場合、ピン痕および乾燥ムラが悪化する。該沸点の差は、好ましくは、15~55℃である。
なお、本明細書中で使用する「第1の」および「第2の」という用語は、互いに沸点が異なる2種のアセタール溶媒を用いることを示すために便宜的に用いられているに過ぎず、「第1」および「第2」といった序列自体に格別な意味はない。
アセテート溶媒の例としては、たとえば、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA、沸点146℃)、3-メトキシブチルアセテート(3-MBA、沸点172℃)、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート(DMPA、沸点200℃)、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート(沸点192℃))、n-ブチルアセテート(沸点126℃)、ブチルカルビトールアセテート(BCA、沸点247℃)、プロピレングリコールジアセテート(PGDA、沸点191℃)、n-アミルアセテート(沸点146℃)、イソブチルアセテート(沸点118℃)、イソプロピルアセテート(沸点89℃)、n-プロピルアセテート(沸点102℃)、イソアミルアセテート(沸点142℃)、2-(2-ブトキシエトキシ)エチルアセテート(沸点245℃)、2-エチルヘキシルアセテート(沸点199℃)、2-メトキシエチルアセテート(沸点145℃)、2-(2-エトキシエトキシ)エチルアセテート(沸点218℃)などが挙げられる。
溶媒中の第1のアセテート溶媒および第2のアセテート溶媒の含有量の比は、第1のアセテート溶媒:第2のアセテート溶媒=2:8~8:2(質量比)であることが好ましく、6:1~1:6(質量比)であることがより好ましい。第1のアセテート溶媒と第2のアセテート溶媒との質量比が上記範囲であれば、VCD工程中の泡状の欠陥が発生しにくくなる。
前記溶媒は、上記アセテート溶媒(第1のアセテート溶媒および第2のアセテート溶媒)以外に、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチルラクテート、およびγ-ブチロラクトンからなる群より選択される少なくとも1種をさらに含むことが好ましい。プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチルラクテート、およびγ-ブチロラクトンは、溶媒の全質量を100質量%として、5~10質量%で含まれることが好ましい。上記アセテート溶媒と共に、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチルラクテートおよびγ-ブチロラクトンからなる群より選択される少なくとも1種を上記含有量の範囲で用いる場合、後述するバインダー樹脂、黒色着色剤、光重合性単量体および光重合開始剤の溶解度をより向上させて、乾燥ムラの発生などを低減することができる。
溶媒の含有量は、(A)成分~(D)成分を除いた残部の量で含まれることが好ましい。一例を挙げれば、溶媒の含有量は、感光性樹脂組成物の全質量を100質量%として、5~60質量%が好ましく、7~55質量%がより好ましい。溶媒の含有量が上記範囲内である場合、感光性樹脂組成物が適切な粘度を有するようになり、ブラック画素定義膜の製造時に加工性に優れている。
(A)バインダー樹脂
本発明の一実施形態に係る感光性樹脂組成物に含まれるバインダー樹脂は、特に制限されないが、ポリアミド酸、ポリアミド酸エステル、ポリヒドロキシアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、およびこれらの共重合体からなる群より選択される少なくとも1種が好ましい。
バインダー樹脂は、ポリアミド酸-ポリイミド共重合体、たとえばアルカリ可溶性ポリアミド酸-ポリイミド共重合体であってもよい。
本発明の一実施形態に係るバインダー樹脂は、有機溶媒に対して可溶性を有するポリイミド構成単位と、ポリイミドの前駆体構造であるポリアミド酸構成単位とを同時に有することによって、従来は実現し難かった高耐熱性のブラック画素定義膜を提供することができ、段差の実現にも有利である。
ポリイミド前駆体であるポリアミド酸のアルカリ水溶液に対する過溶解を防止するために、ポリマーの主構造であるポリイミドを共重合して溶解性を調節して、パターン形成時に露光部と非露光部との間の適切な溶解度差を得ることができ、これによって耐熱性およびパターン形成性に優れたブラック画素定義膜を実現することができる。
ポリアミド酸-ポリイミド共重合体中のポリアミド酸構成単位とポリイミド構成単位とのモル比は、ポリアミド酸構成単位:ポリイミド構成単位=5:5~9:1であることが好ましく、5:5~8:2であることがより好ましく、5:5~7:3であることがさらに好ましく、5:5~6:4であることが特に好ましい。ポリアミド酸構成単位およびポリイミド構成単位が上記範囲のモル比で含まれる場合、形成されたパターン間の厚さの差(段差)が1μm以下のような、略均一なパターンの製造が可能となり、共重合体の架橋特性が向上する。ポリイミド構成単位およびポリアミド酸構成単位のモル比の上記範囲を外れる場合、すなわち、ポリイミド構成単位がポリアミド酸構成単位よりも過剰で含まれるようになると、組成物の現像性が低下する場合がある。
つまり、上記共重合体は、溶液状で前もってイミド化された構造を有するポリイミド構成単位のモル比を調節することによって、アルカリ水溶液に対する感光性樹脂自体の溶解度を容易に制御することができる。このように、アルカリ可溶性のポリイミド構造とポリイミド前駆体であるポリアミド酸構造との共重合比率を調節して、アルカリ水溶液に対して適切な溶解度を有するようにできる。また、共重合体の末端(および/または鎖)に架橋性官能基を導入して、波長が紫外線領域である光照射時に、露光部が架橋されて未露光部が現像工程を通じて溶解し、微細パターンが形成され、これを250℃以上の高温で熱硬化して、優れた耐熱性を有するようにできる。
ポリアミド酸-ポリイミド共重合体の重量平均分子量は、3,000g/mol~20,000g/molが好ましく、5,000g/mol~20,000g/molがより好ましく、6,000g/mol~10,000g/molがさらに好ましい。上記共重合体の重量平均分子量が上記範囲内である場合、優れたパターン形成性を有し、製造された薄膜は、優れた機械的特性および熱的特性を有することができる。
前記共重合体は、片末端または両末端に、不飽和二重結合を有することができる。不飽和二重結合は、共重合体の末端以外に共重合体の主鎖中にも存在することができる。共重合体末端(および/または主鎖中)の不飽和二重結合は、架橋性官能基として作用して、共重合体の架橋特性を向上させることができる。つまり、共重合体自体の露光による架橋特性を付与するために、ポリマー鎖の末端(および/または主鎖中)に後述の光重合開始剤によって架橋が可能となる単量体を導入して、より優れたコントラストを有する感光性樹脂組成物を実現することができる。光重合開始剤により架橋が可能となる単量体は、下記化学式4~化学式7で表される化合物からなる群より選択される少なくとも1種であることが好ましい。
すなわち、不飽和二重結合は、下記化学式4~化学式7で表される化合物からなる群より選択される少なくとも1種の化合物から誘導されたものであることが好ましいが、これらに限定されるものではない。
前記化学式4~化学式7中、
~Rは、それぞれ独立して、水素原子、または置換されているかもしくは非置換の炭素数1~10のアルキル基であり、
~Lは、それぞれ独立して、単結合、または置換されているかもしくは非置換の炭素数1~10のアルキレン基である。
たとえば、共重合体は、下記化学式8で表される共重合体が好ましいが、これに限定されるものではない。
前記化学式8中、
およびXは、それぞれ独立して、置換されているかもしくは非置換の4価の脂環族有機基、または置換されているかもしくは非置換の4価の芳香族有機基であり、
およびLは、それぞれ独立して、単結合、置換されているかもしくは非置換の炭素数1~10のアルキレン基、置換されているかもしくは非置換の炭素数3~10のシクロアルキレン基、または置換されているかもしくは非置換の炭素数6~20のアリーレン基であり、
は、置換されているかもしくは非置換のアクリロイルオキシ基含有基、置換されているかもしくは非置換のメタクリロイルオキシ基含有基、または置換されているかもしくは非置換のノルボルネン基であり、
mおよびnは、それぞれ独立して、1~100,000の整数である。
たとえば、前記4価の芳香族有機基は、下記化学式9で表される基であることが好ましい。
前記化学式9中、*は、連結部である。
前記炭素数6~20のアリーレン基は、下記化学式10で表される連結基であることが好ましい。
前記化学式10中、
は、置換されているかまたは非置換の炭素数1~8のアルキレン基であり、
*は、連結部である。
バインダー樹脂の含有量は、感光性樹脂組成物の総質量を100質量%として1~20質量%が好ましく、1~15質量%がより好ましい。バインダー樹脂の含有量が上記範囲内である場合、優れた感度、現像性、解像度、およびパターンの直進性を得ることができる。
(B)黒色着色剤
本発明に係る黒色着色剤は、紫外線領域および赤外線領域での透過度が高く、同時に可視光領域での遮蔽性が高い顔料、染料またはこれらの組み合わせを含むことができる。
具体的に、黒色着色剤は、「350~400nm波長領域での最大透過度/550nm波長での透過度」が30以上の値を有する。
本発明者らは、研究を重ねた結果、感光性樹脂組成物の製造時、「350~400nm波長領域での最大透過度/550nm波長での透過度」が30以上の値を有する黒色着色剤を用いる場合、可視光領域の遮蔽性だけでなく、紫外線領域の光を通じて光硬化性を高めて耐熱性に優れ、また紫外線領域の透過度が高くてアライン(align)を容易に合わせることができるため、露光工程が容易に進行し、所望の水準の段差も実現できることを確認した。550nmの波長は、光学密度測定時の波長であり、350~400nmの波長は、光重合開始剤が最も効率的に光開始反応を起こす波長領域である。光学密度測定時の波長での透過度に対する光重合開始剤が最も効率的に光開始反応を起こす波長領域での最大透過度の比が高いほど、可視光の遮蔽性向上および紫外線領域の光に対する耐熱性向上の効果を得ることができる。特に、光学密度測定時の波長での透過度に対する光重合開始剤が最も効率的に光開始反応を起こす波長領域での最大透過度の比が30倍以上の値を有する場合、耐熱性を大きく向上させることができ、同時に赤外線領域での透過度も高くて露光工程の進行が容易になり、形成されたパターン間の厚さの差(段差)が1μm以下のような、略均一なパターンの製造も可能となる。
黒色着色剤は、有機顔料および無機顔料の混合物であってもよく、有機顔料は、赤色顔料、青色顔料およびバイオレット顔料からなる群より選択される少なくとも1種を含むことが好ましい。
黒色着色剤としてアニリンブラック、ペリレンブラック、チタンブラック、カーボンブラックなどの無機顔料を単独で用いる場合、優れた遮光性を実現することはできるが、内部硬化なしに表面硬化だけ行われた状態で現像工程を経るようになり、工程マージンを広げることが難しい場合がある。
赤色顔料の例としては、たとえば、C.I.ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントレッド255、C.I.ピグメントレッド264、C.I.ピグメントレッド270、C.I.ピグメントレッド272、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド89などが挙げられる。これらは単独でもまたは2種以上混合しても用いることができるが、これらに限定されるものではない。
青色顔料の例としては、たとえば、C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー15:0、C.I.ピグメントブルー15:1、C.I.ピグメントブルー15:2、C.I.ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.I.ピグメントブルー15:5、C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー16などが挙げられる。これらは単独でもまたは2種以上混合しても用いることができるが、これらに限定されるものではない。
バイオレット顔料の例としては、たとえば、C.I.バイオレットピグメント29、ジオキサジンバイオレット、ファーストバイオレットB、メチルバイオレットレーキ、インダントレンブリリアントバイオレットなどが挙げられる。これらは単独でもまたは2種以上混合しても用いることができるが、これらに限定されるものではない。
赤色顔料、青色顔料およびバイオレット顔料を混合する場合、バイオレット顔料100質量部に対して赤色顔料を200~400質量部、および青色顔料を200~400質量部の量で混合することが好ましい。
有機顔料および無機顔料の質量比は、有機顔料:無機顔料=15:1~25:1の範囲であることが好ましく、20:1~25:1であることがより好ましい。有機顔料および無機顔料が上記範囲の質量比で混合される場合、550nm波長での黒色着色剤(有機顔料および無機顔料の混合物)の透過度に対する350~400nm波長領域での黒色着色剤(有機顔料および無機顔料の混合物)の透過度が30倍以上大きくなり得る。
黒色着色剤として上記の有機顔料および無機顔料を用いる場合、顔料を分散させるために分散剤を共に用いることができる。具体的には、顔料を分散剤で予め表面処理して用いたり、組成物の製造時に顔料と共に分散剤を添加して用いたりすることができる。
分散剤としては、非イオン性分散剤、陰イオン性分散剤、陽イオン性分散剤などを用いることができる。分散剤の具体的な例としては、ポリアルキレングリコールおよびそのエステル、ポリオキシアルキレン、多価アルコールエステルアルキレンオキシド付加物、アルコールアルキレンオキシド付加物、スルホン酸エステル、スルホン酸塩、カルボン酸エステル、カルボン酸塩、アルキルアミドアルキレンオキシド付加物、アルキルアミンなどが挙げられ、これらは単独でもまたは2種以上を混合しても用いることができる。
分散剤は合成品を用いてもよいし、市販品を用いてもよい。分散剤の市販品の例としては、たとえば、ビックケミー・ジャパン株式会社製のDISPERBYK(登録商標)-101、DISPERBYK(登録商標)-130、DISPERBYK(登録商標)-140、DISPERBYK(登録商標)-160、DISPERBYK(登録商標)-161、DISPERBYK(登録商標)-162、DISPERBYK(登録商標)-163、DISPERBYK(登録商標)-164、DISPERBYK(登録商標)-165、DISPERBYK(登録商標)-166、DISPERBYK(登録商標)-170、DISPERBYK(登録商標)-171、DISPERBYK(登録商標)-182、DISPERBYK(登録商標)-2000、DISPERBYK(登録商標)-2001;EFKAケミカル社製のEFKA-47、EFKA-47EA、EFKA-48、EFKA-49、EFKA-100、EFKA-400、EFKA-450;Zeneka社製のSolsperse(登録商標)5000、Solsperse(登録商標)12000、Solsperse(登録商標)13240、Solsperse(登録商標)13940、Solsperse(登録商標)17000、Solsperse(登録商標)20000、Solsperse(登録商標)24000GR、Solsperse(登録商標)27000、Solsperse(登録商標)28000;または味の素株式会社製のPB711、PB821等が挙げられる。
感光性樹脂組成物中の分散剤の含有量は、感光性樹脂組成物の総質量を100質量%として0.1~15質量%であることが好ましい。分散剤の含有量が上記範囲内である場合、組成物中での顔料の分散性に優れ、ブラックカラムスペーサの製造時に安定性、現像性およびパターン性に優れている。
顔料は、水溶性無機塩および湿潤剤を用いて前処理して用いることもできる。顔料を前処理して用いる場合、顔料を微細化することができる。
該前処理は、顔料を水溶性無機塩および湿潤剤と共に混練する工程と、混練する工程で得られた混合物を水洗および濾過する工程と、を含むことが好ましい。
混練は、通常40~100℃の温度で行われ、水洗および濾過は、水などを用いて無機塩を水洗した後に濾過して行われ得る。
水溶性無機塩の例としては、塩化ナトリウム、塩化カリウムなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。湿潤剤は、顔料および水溶性無機塩が均一に混合されて顔料が容易に粉砕され得る媒体の役割を果たす。具体例としては、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルなどのアルキレングリコールモノアルキルエーテル;エタノール、イソプロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、グリセリンポリエチレングリコールなどのアルコール等が挙げられる。これら湿潤剤は、単独でもまたは2種以上混合しても用いることができる。
上記の混練を経た顔料は、好ましくは5~200nm、より好ましくは5~150nmの平均粒径を有することができる。顔料の平均粒径が上記範囲内である場合、顔料分散液での安定性に優れ、画素の解像性低下を抑制することができる。
具体的に、顔料は、分散剤および後述する溶媒を含む顔料分散液の形態で用いることができ、顔料分散液は、固形分の顔料、分散剤および溶媒を含むことができる。固形分の顔料の含有量は、顔料分散液の総質量を100質量%として、5~20質量%が好ましく、8~15質量%がより好ましい。
黒色着色剤は、800nm以上の波長領域での最大透過度が450~700nm波長領域での最大透過度より大きくなり得る。つまり、黒色着色剤は、赤外線領域の光に対する透過度も高いため、パターニングが効率的に行われるようになる。
感光性樹脂組成物中の黒色着色剤の含有量は、感光性樹脂組成物の総質量を100質量%として、固形分基準で1~20質量%であることが好ましく、2~15質量%であることが好ましい。また、前記黒色着色剤は、感光性樹脂組成物の総質量を100質量%として、顔料分散液基準で40~60質量%で含まれることが好ましい。前記黒色着色剤が上記範囲内である場合、着色効果および現像性に優れている。
(C)光重合性単量体
本発明の感光性樹脂組成物に用いられる光重合性単量体は、単独でもまたは2種以上を混合して用いてもよい。
光重合性単量体が2種以上の化合物の混合物である場合、2種以上の化合物の少なくとも1種は、下記化学式1で表される官能基を少なくとも2つ有する化合物であることが好ましい。
前記化学式1中、
は、水素原子、または置換されているかもしくは非置換の炭素数1~10のアルキル基であり、
は、単結合、または置換されているかもしくは非置換の炭素数1~10のアルキレン基であり、
*は、連結部である。
たとえば、前記化学式1で表される官能基を少なくとも2つ有する化合物は、前記化学式1で表される官能基を2~6個有することが好ましい。この場合、露光時に十分な重合を起こして耐熱性、耐光性および耐薬品性に優れたパターンを形成することができる。
前記化学式1で表される官能基を少なくとも2つ有する化合物は、下記化学式2または下記化学式3で表される化合物であることが好ましい。
前記化学式2および化学式3中、
p、q、rおよびsは、それぞれ独立して、1~10の整数である。
光重合性単量体が、互いに異なる2種の化合物の混合物である場合、2種のうちのいずれか一つは、単官能または多官能の(メタ)アクリレートであることが好ましい。
単官能または多官能の(メタ)アクリレートの例としては、たとえば、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAエポキシ(メタ)アクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス(メタ)アクリロイルオキシエチルホスフェート、ノボラックエポキシ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これら単官能または多官能の(メタ)アクリレートは、単独でもまたは2種以上混合して用いてもよい。
単官能または多官能の(メタ)アクリレートは合成品でもよいし市販品でもよい。市販品の例を挙げれば、以下のとおりである。単官能(メタ)アクリレートの例としては、東亞合成株式会社製のアロニックス(登録商標)M-101、同M-111、同M-114など;日本化薬株式会社製のKAYARAD(登録商標)TC-110S、同TC-120Sなど;大阪有機化学工業株式会社製のV-158、V-2311などが挙げられる。二官能の(メタ)アクリレートの例としては、東亞合成株式会社製のアロニックス(登録商標)M-210、同M-240、同M-6200など;日本化薬株式会社製のKAYARAD HDDA、同HX-220、同R-604など;大阪有機化学工業株式会社製のV-260、V-312、V-335 HPなどが挙げられる。前記(メタ)アクリル酸の三官能エステルの例としては、東亞合成株式会社製のアロニックス(登録商標)M-309、同M-400、同M-405、同M-450、同M-7100、同M-8030、同M-8060など;日本化薬株式会社製のKAYARAD(登録商標)TMPTA、同DPCA-20、同DPCA-30、同DPCA-60、同DPCA-120など;大阪有機化学工業株式会社製のV-295、同V-300、同V-360、同V-GPT、同V-3PA、同V-400などが挙げられる。
前記光重合性単量体は、より優れた現像性を付与するために酸無水物で処理して用いることもできる。
光重合性単量体の含有量は、感光性樹脂組成物の総質量を100質量%として、1~5質量%であることが好ましく、1~3質量%であることがより好ましい。光重合性単量体の含有量が上記範囲内である場合、露光時に光硬化が十分に起きて信頼性に優れ、パターンの耐熱性、耐光性および耐薬品性に優れ、解像度および基板との密着性にも優れている。
(D)光重合開始剤
本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤を含む。光重合開始剤としては、アセトフェノン化合物、ベンゾフェノン化合物、チオキサントン化合物、ベンゾイン化合物、トリアジン化合物、オキシム化合物などを用いることができる。これら光重合開始剤は、単独でもまたは2種以上混合しても用いることができる。
アセトフェノン化合物の例としては、2,2’-ジエトキシアセトフェノン、2,2’-ジブトキシアセトフェノン、2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオフェノン、p-t-ブチルトリクロロアセトフェノン、p-t-ブチルジクロロアセトフェノン、4-クロロアセトフェノン、2,2’-ジクロロ-4-フェノキシアセトフェノン、2-メチル-1-(4-(メチルチオ)フェニル)-2-モルホリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-ブタン-1-オンなどが挙げられる。
ベンゾフェノン化合物の例としては、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、4-フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’-ジクロロベンゾフェノン、3,3’-ジメチル-2-メトキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
チオキサントン化合物の例としては、チオキサントン、2-クロロチオキサントン、2-メチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2,4-ジイソプロピルチオキサントンなどが挙げられる。
ベンゾイン化合物の例としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルジメチルケタールなどが挙げられる。
トリアジン化合物の例としては、2,4,6-トリクロロ-s-トリアジン、2-フェニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(3’,4’-ジメトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4’-メトキシナフチル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-トリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-ビフェニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、ビス(トリクロロメチル)-6-スチリル-s-トリアジン、2-(ナフト-1-イル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-メトキシナフト-1-イル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-4-ビス(トリクロロメチル)-6-ピペロニル-s-トリアジン、2,4-ビス(トリクロロメチル)-6-(4-メトキシスチリル)-s-トリアジンなどが挙げられる。
オキシム化合物の例としては、O-アシルオキシム化合物、2-(O-ベンゾイルオキシム)-1-[4-(フェニルチオ)フェニル]-1,2-オクタンジオン、1-(O-アセチルオキシム)-1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]エタノン、O-エトキシカルボニル-α-オキシアミノ-1-フェニルプロパン-1-オンなどを用いることができる。前記O-アシルオキシム化合物の具体的な例としては、1,2-オクタンジオン、2-ジメチルアミノ-2-(4-メチルベンジル)-1-(4-モルホリン-4-イル-フェニル)-ブタン-1-オン、1-(4-フェニルスルファニルフェニル)-ブタン-1,2-ジオン-2-オキシム-O-ベンゾエート、1-(4-フェニルスルファニルフェニル)-オクタン-1,2-ジオン-2-オキシム-O-ベンゾエート、1-(4-フェニルスルファニルフェニル)-オクタン-1-オンオキシム-O-アセテートおよび1-(4-フェニルスルファニルフェニル)-ブタン-1-オンオキシム-O-アセテートなどを用いることができる。
また、光重合開始剤は、上記の化合物以外にもカルバゾール化合物、ジケトン化合物、スルホニウムボレート化合物、ジアゾ化合物、イミダゾール化合物、ビイミダゾール化合物などを用いることができる。
光重合開始剤の含有量は、感光性樹脂組成物の総質量に対して0.1~5質量%であることが好ましく、0.1~3質量%であることがより好ましい。光重合開始剤の含有量が上記範囲内である場合、露光時に、光重合が十分に起こるようになって感度に優れ、透過率が改善される。
(F)その他添加剤
本発明の感光性樹脂組成物は、マロン酸、3-アミノ-1,2-プロパンジオール、シランカップリング剤、レベリング剤、界面活性剤、および上記光重合開始剤以外のラジカル重合開始剤からなる群より選択される少なくとも1種の添加剤をさらに含むことが好ましい。
シランカップリング剤は、基板との密着性などを改善するためにビニル基、カルボキシル基、メタクリルオキシ基、イソシアネート基、エポキシ基などの反応性置換基を有することが好ましい。
シランカップリング剤の具体例としては、たとえば、トリメトキシシリル安息香酸、γ-メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ-イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランなどが挙げられる。これらシランカップリング剤は、単独でもまたは2種以上混合しても用いることができる。
シランカップリング剤の含有量は、感光性樹脂組成物の総質量に対して、0.01~10質量%であることが好ましい。シランカップリング剤の含有量が上記範囲内である場合、基板との密着性、保存性などに優れている。
また、本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じてコーティング性向上および欠陥防止のために界面活性剤、たとえば、フッ素系界面活性剤、シリコン系界面活性剤等をさらに含むことができる。
フッ素系界面活性剤としては、BM Chemie社製の商品名BM-1000、BM-1100など;DIC株式会社製のメガファック(登録商標)F142D、同F172、同F173、同F183m、同F554など;スリーエムジャパン株式会社製のフルラードFC-135、同FC-170C、同FC-430、同FC-431など;旭硝子株式会社製のサーフロン(登録商標)S-112、同S-113、同S-131、同S-141、同S-145など;東レシリコーン株式会社製の商品名SH-28PA、SH-190、SH-193、SZ-6032、SF-8428などの名称で市販されているものを用いることができる。
シリコン系界面活性剤としては、BYK Chemie社製のBYK-307、BYK-333、BYK-361N、BYK-051、BYK-052、BYK-053、BYK-067A、BYK-077、BYK-301、BYK-322、BYK-325などの名称で市販されているものを用いることができる。
界面活性剤の含有量は、感光性樹脂組成物の総質量に対して0.001~5質量%であることが好ましい。界面活性剤の含有量が上記範囲内である場合、均一なコーティングが可能となり、ピン痕が発生しにくくなり、基板(IZO基板またはガラス基板)に対する湿潤性に優れる。
さらに、本発明の感光性樹脂組成物は、本発明の効果を阻害しない範囲で、酸化防止剤、安定剤などのその他添加剤が一定量添加されることもできる。
本発明の感光性樹脂組成物は、ポジ型であってもよく、ネガ型であってもよい。しかしながら、遮光性を有する組成物の露光および現像後にパターンが露出される領域の残渣をより確実に除去するためには、ネガ型であることがより好ましい。
他の一実施形態は、本発明の感光性樹脂組成物を露光、現像および硬化して製造されたブラック画素定義膜を提供する。
前記ブラック画素定義膜の製造方法は次のとおりである。
(1)塗布および塗膜形成工程
感光性樹脂組成物を、必要に応じて所定の前処理をしたガラス基板またはITO基板などの基板上に、スピンコート法、スリットコート法、ロールコート法、スクリーン印刷法、アプリケータ法などの方法を用いて所望の厚さに塗布する。その後、70~110℃で1~10分間加熱して、溶剤を除去することによって塗膜(感光性樹脂膜)を形成する。
(2)露光工程
上記で得られた塗膜(感光性樹脂膜)に、必要なパターン形成のためのマスクを介在させて、波長200~500nmの活性エネルギー線を照射する。照射に使用される光源としては、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、金属ハロゲン化物ランプ、アルゴンガスレーザなどを用いることができ、場合によってX線源、電子線照射源なども利用することができる。
露光量は、組成物中の各成分の種類、配合量、乾燥膜の厚さ等により異なるが、高圧水銀灯を用いる場合には500mJ/cm(波長365nm)以下であることが好ましい。
(3)現像工程
本工程では、上記の露光工程に続き、アルカリ性水溶液を現像液として用い、不要な部分を溶解、除去することによって、露光部だけを残存させてパターンを形成させる。
(4)後処理工程
上記現像工程により得られたパターンを、耐熱性、耐光性、密着性、耐クラック性、耐薬品性、高強度および保存安定性などの面で優れたパターンとするために、後処理工程を行う。たとえば、現像後、250℃以上の温度に設定したコンベクションオーブンで1時間加熱することができる。
本発明の他の一実施形態によれば、本発明の感光性樹脂組成物の硬化物を含む、ブラック画素定義膜(Black Pixel Defining Layer)が提供される。
本発明のさらに他の一実施形態によれば、前記ブラック画素定義膜を含むディスプレイ装置が提供される。
前記ディスプレイ装置は、有機発光素子(OLED)であってもよい。
以下、本発明の好ましい実施例を記載する。ただし、下記の実施例は、本発明の好ましい一実施形態に過ぎず、本発明は下記の実施例により限定されるものではない。
(バインダー樹脂の合成)
攪拌機、温度調節装置、窒素ガス注入装置、および冷却器が装着された4口フラスコに窒素ガスを通過させながら、N-メチル-2-ピロリドン(NMP)86.6gを入れ、4,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物(6-FDA)12.3gを入れて溶解した。固形分が完全に溶解した後、ビス(3-アミノフェニル)スルホン(3-DAS)3.25gを投入して常温(25℃)で2時間攪拌した。その後、反応器内の温度を90℃まで昇温した後、ピリジン5.6g、および無水酢酸2.05gを投入して3時間攪拌した。反応器内の温度を常温(25℃)まで冷却した後、2-ヒドロエチルメタクリレート(HEMA)1.6gを投入して6時間攪拌した。次に、ビス(3-アミノフェニル)スルホン(3-DAS)3.25gを入れて6時間反応させて反応を終了した。反応混合物を水に投入して沈殿物を生成し、沈殿物を濾過して水で十分に洗浄した後、温度50℃の真空条件(-0.1MPa、ゲージ圧)下で乾燥を24時間以上進行して、ポリアミド酸-ポリイミド共重合体を製造した。共重合体のGPC(Gel Permeation Chromatography)法によるポリスチレン換算により求めた重量平均分子量は7,500g/molであり、分散度(重量平均分子量/数平均分子量)は1.75であり、DSC法により求めたガラス転移温度は200℃であった(ポリイミド単位およびポリアミド酸単位のモル比は5:5)。
(感光性樹脂組成物の製造)
実施例1~実施例17および比較例1~比較例10
下記表1に記載された組成である(E)溶媒に、(D)光重合開始剤を溶解させた後、常温(25℃)で2時間攪拌した。ここに、(A)バインダー樹脂および(C)光重合性単量体を添加し、常温(25℃)で1時間攪拌した。ここに、(F)その他の添加剤であるフッ素系界面活性剤および(B)黒色着色剤を添加した後、常温(25℃)で1時間攪拌し、さらに溶液全体を2時間攪拌した。得られた溶液に対して、3回濾過を行い、不純物を除去して感光性樹脂組成物を製造した。
実施例および比較例の感光性樹脂組成物の構成を下記表1に示す。なお、下記表1内の数字の単位は、「g(グラム)」である。
(A)バインダー樹脂
上記で得られたポリアミド酸-ポリイミド共重合体。
(B)黒色着色剤
有機黒色顔料分散液(CI-IM-126、サカタインクス株式会社製、有機黒色顔料固形分15質量%)。
(C)光重合性単量体
(C-1)ジペンタエリトリトールヘキサ(メタ)アクリレート(DPHA、日本化薬株式会社製)
(C-2)下記化学式Aで表される化合物(LTM II、BASF社製)。
前記化学式A中、rおよびsは、2である。
(D)光重合開始剤
(D-1)NCI-831(株式会社ADEKA製)
(D-2)IRGACURE(登録商標)819(BASF社製)。
(E)溶媒
(E-1)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、沸点146℃(シグマアルドリッチ社製)
(E-2)3-メトキシブタノールアセテート(3-MBA)、沸点172℃(シグマアルドリッチ社製)
(E-3)ジ(プロピレングリコール)メチルエーテルアセテート(DMPA)、沸点200℃(シグマアルドリッチ社製)
(E-4)エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、沸点192℃(シグマアルドリッチ社製)
(E-5)プロピレングリコールジアセテート、沸点191℃(シグマアルドリッチ社製)
(E-6)2-エチルヘキシルアセテート、沸点199℃(シグマアルドリッチ社製)
(E-7)n-ブチルアセテート、沸点126℃(シグマアルドリッチ社製)
(E-8)n-アミルアセテート、沸点146℃(シグマアルドリッチ社製)
(E-9)イソアミルアセテート、沸点142℃(シグマアルドリッチ社製)
(E-10)2-メトキシエチルアセテート、沸点145℃(シグマアルドリッチ社製)
(E-11)プロピレングリコールモノメチルエーテル(シグマアルドリッチ社製)
(E-12)エチルラクテート(シグマアルドリッチ社製)
(E-13)γ-ブチロラクトン(シグマアルドリッチ社製)
(E-14)ブチルカルビトールアセテート(BCA)、沸点247℃(シグマアルドリッチ社製)
(E-15)2-(2-ブトキシエトキシ)エチルアセテート、沸点245℃(シグマアルドリッチ社製)
(E-16)2-(2-エトキシエトキシ)エチルアセテート、沸点218℃(シグマアルドリッチ社製)
(E-17)エチレングリコールジメチルエーテル(シグマアルドリッチ社製)。
評価1:泡状欠陥の評価
実施例1~実施例17および比較例1~比較例10による感光性樹脂組成物を10cm×10cmのITOガラス上にスピンコーティングした。次に、真空乾燥装置を用いて、1torr(133.3Pa)の一次圧で減圧した後、100℃のホットプレートで、1分間熱処理(ベーキング)し、試験片とした。その後、オリンパス株式会社製の光学顕微鏡を用いて50倍の倍率および偏光モードで泡状の欠陥を観察した。結果を下記表2、図1および図2に示す。
泡状欠陥の評価基準
○:泡状欠陥がほとんど観察されない
△:泡状欠陥が多少観察される
×:泡状欠陥が多く観察される。
評価2:ピン痕の評価
実施例1~実施例17および比較例1~比較例10による感光性樹脂組成物を、10cm×10cmのITOガラス上にスピンコーティングした。次に、予め100℃のホットプレート上に設置してあったピンの上に、スピンコーティング済のITOガラスを載せて、1分間熱処理(ベーキング)し、試験片とした。その後、オリンパス株式会社製の光学顕微鏡を用いて、50倍の倍率および偏光モードでピン痕の大きさを観察した。結果を下記表2、図3および図4に示す。
ピン痕の評価基準
○:ピン痕が小さい
△:ピン痕が中くらいの大きさ
×:ピン痕が大きい。
評価3:乾燥ムラの評価
実施例1~実施例17および比較例1~比較例10による感光性樹脂組成物を、10cm×10cmのITOガラスにスピンコーティングした。次に、予め100℃のホットプレート上に設置してあったピンの上に、スピンコーティング済のITOガラスを載せて1分間熱処理(ベーキング)し、試験片とした。その後、オリンパス株式会社製の光学顕微鏡を用いて50倍の倍率および偏光モードで、乾燥ムラの発生有無を観察した。結果を下記表2に示す。
乾燥ムラの評価基準
○:乾燥ムラが観察されない
△:乾燥ムラが多少観察される(製造された試片の周縁の一部が白く見える)
×:乾燥ムラが多く観察される(製造された試片の周縁の大部分が白く見える)。
上記表2から明らかなように、実施例の感光性樹脂組成物は、互いに沸点が異なる2種のアセテート溶媒(第1のアセテート溶媒および第2のアセテート溶媒)を含み、その沸点の差が10~60℃であるように選択することによって、泡状の欠陥、ピン痕、および乾燥ムラを低減できることが確認された。
本発明は、上記実施例に限られるものではなく、互いに異なる多様な形態で製造可能であり、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者は、本発明の技術的な思想や必須の特徴を変更することなく、他の具体的な形態で実施可能であることを理解できるはずである。したがって、以上で記述した実施例はすべての面で例示的なものであり、限定的なものではないことを理解しなければならない。

Claims (12)

  1. 感光性樹脂組成物の総質量を100質量%として、
    (A)バインダー樹脂 1~20質量%と、
    (B)黒色着色剤 1~20質量%と、
    (C)光重合性単量体 1~5質量%と、
    (D)光重合開始剤 0.1~5質量%と、
    (E)溶媒 残部と、
    を含み、
    前記バインダー樹脂は、ポリアミド酸-ポリイミド共重合体を含み、
    前記溶媒は、互いに沸点が異なる第1のアセテート溶媒および第2のアセテート溶媒を含み、
    前記第1のアセテート溶媒および第2のアセテート溶媒は、感光性樹脂組成物の全質量に対して5~60質量%で含まれ、
    前記第1のアセテート溶媒および前記第2のアセテート溶媒は、2:8~8:2の質量比で含まれ、
    前記第1のアセテート溶媒の沸点は、126℃以上146℃以下であり、かつ、前記第2のアセテート溶媒の沸点は、172℃以上200℃以下であり、
    前記第1のアセテート溶媒の沸点と前記第2のアセテート溶媒の沸点との差が26~54℃である、感光性樹脂組成物。
  2. 前記第1のアセテート溶媒および第2のアセテート溶媒は、感光性樹脂組成物の全質量に対して7~49質量%で含まれる、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
  3. 前記第1のアセテート溶媒および前記第2のアセテート溶媒は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3-メトキシブチルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、n-ブチルアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールジアセテート、n-アミルアセテート、イソブチルアセテート、イソプロピルアセテート、n-プロピルアセテート、イソアミルアセテート、2-(2-ブトキシエトキシ)エチルアセテート、2-エチルヘキシルアセテート、2-メトキシエチルアセテートまたは2-(2-エトキシエトキシ)エチルアセテートから選択される、請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物。
  4. 前記溶媒は、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチルラクテート、γ-ブチロラクトン、およびベンジルアルコールからなる群より選択される少なくとも1種をさらに含む、請求項1~3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
  5. 前記プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチルラクテート、γ-ブチロラクトン、およびベンジルアルコールからなる群より選択される少なくとも1種の含有量は、前記溶媒の全質量を100質量%として5~10質量%である、請求項4に記載の感光性樹脂組成物。
  6. 前記黒色着色剤は、有機黒色顔料を含む、請求項1~のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
  7. 前記光重合性単量体は、下記化学式1で表される官能基を少なくとも2つ有する化合物を含む、請求項1~のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物:

    前記化学式1中、
    は、水素原子、または置換されているかもしくは非置換の炭素数1~10のアルキル基であり、
    は、単結合、または置換されているかもしくは非置換の炭素数1~10のアルキレン基であり、
    *は、連結部である。
  8. 前記化学式1で表される官能基を少なくとも2つ有する化合物は、下記化学式2または下記化学式3で表される化合物である、請求項に記載の感光性樹脂組成物:

    前記化学式2および化学式3中、
    p、q、rおよびsは、それぞれ独立して、1~10の整数である。
  9. 界面活性剤をさらに含む、請求項1~のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
  10. 請求項1~のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を乾燥および硬化し硬化物を得ることを含む、ブラック画素定義膜の製造方法
  11. 請求項10に記載の製造方法によってブラック画素定義膜を得、当該ブラック画素定義膜を含むディスプレイ装置の製造方法
  12. 有機発光素子である、請求項11に記載のディスプレイ装置の製造方法
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