TWI655504B - 感光性樹脂組成物、使用其的黑色像素界定層及顯示裝置 - Google Patents
感光性樹脂組成物、使用其的黑色像素界定層及顯示裝置 Download PDFInfo
- Publication number
- TWI655504B TWI655504B TW106131906A TW106131906A TWI655504B TW I655504 B TWI655504 B TW I655504B TW 106131906 A TW106131906 A TW 106131906A TW 106131906 A TW106131906 A TW 106131906A TW I655504 B TWI655504 B TW I655504B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- chemical formula
- photosensitive resin
- resin composition
- polymer
- item
- Prior art date
Links
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 title claims abstract description 71
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 227
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 91
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims abstract description 35
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims abstract description 22
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 20
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 claims abstract description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 64
- 239000000049 pigment Substances 0.000 claims description 37
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 23
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims description 13
- 125000006832 (C1-C10) alkylene group Chemical group 0.000 claims description 12
- 125000000008 (C1-C10) alkyl group Chemical group 0.000 claims description 9
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 claims description 9
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims description 8
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 claims description 7
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 claims description 7
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 4
- KQIGMPWTAHJUMN-UHFFFAOYSA-N 3-aminopropane-1,2-diol Chemical compound NCC(O)CO KQIGMPWTAHJUMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 3
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 claims description 3
- 239000007870 radical polymerization initiator Substances 0.000 claims description 3
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 claims description 3
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 36
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 34
- -1 Cyano, amino, imino, azido, fluorenyl Chemical group 0.000 description 25
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 24
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 21
- XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N Dimethoxyethane Chemical compound COCCOC XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 description 17
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol Natural products OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 15
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 14
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 13
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 description 12
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 11
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 10
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 10
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 7
- 229940113088 dimethylacetamide Drugs 0.000 description 7
- 229940022663 acetate Drugs 0.000 description 6
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 6
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 5
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 5
- 239000000080 wetting agent Substances 0.000 description 5
- KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N Acetophenone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC=C1 KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000011161 development Methods 0.000 description 4
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 4
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 4
- CATSNJVOTSVZJV-UHFFFAOYSA-N heptan-2-one Chemical compound CCCCCC(C)=O CATSNJVOTSVZJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910017053 inorganic salt Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000000047 product Substances 0.000 description 4
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTUVQQKHBMGYEH-UHFFFAOYSA-N 2-(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound ClC(Cl)(Cl)C1=NC=NC=N1 QTUVQQKHBMGYEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N Acetic anhydride Chemical compound CC(=O)OC(C)=O WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N Caprylic acid Natural products CCCCCCCC(O)=O WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 3
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 3
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N ac1mqpva Chemical class CC12C(=O)OC(=O)C1(C)C1(C)C2(C)C(=O)OC1=O GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 3
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 3
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 3
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 3
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 3
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 150000002923 oximes Chemical class 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 3
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 3
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 3
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 3
- YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N thioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3SC2=C1 YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LZDKZFUFMNSQCJ-UHFFFAOYSA-N 1,2-diethoxyethane Chemical compound CCOCCOCC LZDKZFUFMNSQCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 1-Octanol Chemical compound CCCCCCCCO KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DMFAHCVITRDZQB-UHFFFAOYSA-N 1-propoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCCOCC(C)OC(C)=O DMFAHCVITRDZQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QQZOPKMRPOGIEB-UHFFFAOYSA-N 2-Oxohexane Chemical compound CCCCC(C)=O QQZOPKMRPOGIEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethyl acetate Chemical compound COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YHPGVSRYDNTKTJ-UHFFFAOYSA-N 2-naphthalen-1-ylethyl benzoate Chemical compound C=1C=CC2=CC=CC=C2C=1CCOC(=O)C1=CC=CC=C1 YHPGVSRYDNTKTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VVBLNCFGVYUYGU-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Bis(dimethylamino)benzophenone Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 VVBLNCFGVYUYGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATHHXGZTWNVVOU-UHFFFAOYSA-N N-methylformamide Chemical compound CNC=O ATHHXGZTWNVVOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 2
- WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M Potassium chloride Chemical compound [Cl-].[K+] WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 2
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 2
- 150000005215 alkyl ethers Chemical class 0.000 description 2
- RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N anisole Chemical compound COC1=CC=CC=C1 RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QUKGYYKBILRGFE-UHFFFAOYSA-N benzyl acetate Chemical compound CC(=O)OCC1=CC=CC=C1 QUKGYYKBILRGFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N butane-1,4-diol Chemical compound OCCCCO WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N butyl acetate Chemical compound CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N diacetone alcohol Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)O SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- MTZQAGJQAFMTAQ-UHFFFAOYSA-N ethyl benzoate Chemical compound CCOC(=O)C1=CC=CC=C1 MTZQAGJQAFMTAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N fluorene Chemical compound C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 2
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N isophorone Chemical compound CC1=CC(=O)CC(C)(C)C1 HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- ZWRUINPWMLAQRD-UHFFFAOYSA-N nonan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCO ZWRUINPWMLAQRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XNLICIUVMPYHGG-UHFFFAOYSA-N pentan-2-one Chemical compound CCCC(C)=O XNLICIUVMPYHGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 2
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 125000003866 trichloromethyl group Chemical group ClC(Cl)(Cl)* 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- HJIAMFHSAAEUKR-UHFFFAOYSA-N (2-hydroxyphenyl)-phenylmethanone Chemical compound OC1=CC=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 HJIAMFHSAAEUKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FJKOQFIGFHTRRW-UHFFFAOYSA-N (2-methoxy-3-methylphenyl)-(3-methylphenyl)methanone Chemical compound COC1=C(C)C=CC=C1C(=O)C1=CC=CC(C)=C1 FJKOQFIGFHTRRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MSAHTMIQULFMRG-UHFFFAOYSA-N 1,2-diphenyl-2-propan-2-yloxyethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC(C)C)C(=O)C1=CC=CC=C1 MSAHTMIQULFMRG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKEGCUDAFWNSSO-UHFFFAOYSA-N 1,8-dibromooctane Chemical compound BrCCCCCCCCBr DKEGCUDAFWNSSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUZYGTVTZYSBCU-UHFFFAOYSA-N 1-(4-chlorophenyl)ethanone Chemical compound CC(=O)C1=CC=C(Cl)C=C1 BUZYGTVTZYSBCU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IMDHDEPPVWETOI-UHFFFAOYSA-N 1-(4-tert-butylphenyl)-2,2,2-trichloroethanone Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=C(C(=O)C(Cl)(Cl)Cl)C=C1 IMDHDEPPVWETOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VMCRQYHCDSXNLW-UHFFFAOYSA-N 1-(4-tert-butylphenyl)-2,2-dichloroethanone Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=C(C(=O)C(Cl)Cl)C=C1 VMCRQYHCDSXNLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MBRRDORCFVPYMA-UHFFFAOYSA-N 1-[2-(2-methoxyethoxy)ethoxy]propane Chemical compound CCCOCCOCCOC MBRRDORCFVPYMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 1-butoxybutane Chemical compound CCCCOCCCC DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-ethoxyethoxy)ethane Chemical compound CCOCCOCCOCC RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPIUIOXAFBGMNB-UHFFFAOYSA-N 1-hexoxyhexane Chemical compound CCCCCCOCCCCCC BPIUIOXAFBGMNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YIKSHDNOAYSSPX-UHFFFAOYSA-N 1-propan-2-ylthioxanthen-9-one Chemical compound S1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2C(C)C YIKSHDNOAYSSPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BRKORVYTKKLNKX-UHFFFAOYSA-N 2,4-di(propan-2-yl)thioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C(C)C)=CC(C(C)C)=C3SC2=C1 BRKORVYTKKLNKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BTJPUDCSZVCXFQ-UHFFFAOYSA-N 2,4-diethylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CC)=CC(CC)=C3SC2=C1 BTJPUDCSZVCXFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QRHHZFRCJDAUNA-UHFFFAOYSA-N 2-(4-methoxyphenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1C1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=N1 QRHHZFRCJDAUNA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PUBNJSZGANKUGX-UHFFFAOYSA-N 2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl)methyl]-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=C(C)C=C1 PUBNJSZGANKUGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZJRNXDIVAGHETA-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(3,4-dimethoxyphenyl)ethenyl]-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound C1=C(OC)C(OC)=CC=C1C=CC1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=N1 ZJRNXDIVAGHETA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGPAWZMSGVLDHR-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(4-methoxyphenyl)ethenyl]-4-(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1C=CC1=NC=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=N1 VGPAWZMSGVLDHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AAXRSWGYLGOFQP-UHFFFAOYSA-N 2-butoxy-1-(2-butoxyphenyl)ethanone Chemical compound CCCCOCC(=O)C1=CC=CC=C1OCCCC AAXRSWGYLGOFQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCDADJXRUCOCJE-UHFFFAOYSA-N 2-chlorothioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(Cl)=CC=C3SC2=C1 ZCDADJXRUCOCJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MRDMGGOYEBRLPD-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxy-1-(2-ethoxyphenyl)ethanone Chemical compound CCOCC(=O)C1=CC=CC=C1OCC MRDMGGOYEBRLPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SFAMKDPMPDEXGH-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl propanoate Chemical compound CCC(=O)OCCO SFAMKDPMPDEXGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ICPWFHKNYYRBSZ-UHFFFAOYSA-M 2-methoxypropanoate Chemical compound COC(C)C([O-])=O ICPWFHKNYYRBSZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-(4-methylsulfanylphenyl)-2-morpholin-4-ylpropan-1-one Chemical compound C1=CC(SC)=CC=C1C(=O)C(C)(C)N1CCOCC1 LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYISVPVWAQRUTL-UHFFFAOYSA-N 2-methylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C)=CC=C3SC2=C1 MYISVPVWAQRUTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MWDGNKGKLOBESZ-UHFFFAOYSA-N 2-oxooctanal Chemical compound CCCCCCC(=O)C=O MWDGNKGKLOBESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCDWFXQBSFUVSP-UHFFFAOYSA-N 2-phenoxyethanol Chemical compound OCCOC1=CC=CC=C1 QCDWFXQBSFUVSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HAZQZUFYRLFOLC-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound ClC(Cl)(Cl)C1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 HAZQZUFYRLFOLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYYQKWASBLTRIW-UHFFFAOYSA-N 2-trimethoxysilylbenzoic acid Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=CC=C1C(O)=O WYYQKWASBLTRIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKISUZLXOYGIFP-UHFFFAOYSA-N 4,4'-dichlorobenzophenone Chemical compound C1=CC(Cl)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(Cl)C=C1 OKISUZLXOYGIFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ACQVEWFMUBXEMR-UHFFFAOYSA-N 4-bromo-2-fluoro-6-nitrophenol Chemical compound OC1=C(F)C=C(Br)C=C1[N+]([O-])=O ACQVEWFMUBXEMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 6-prop-2-enoyloxyhexyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCCCOC(=O)C=C FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 8beta-(2,3-epoxy-2-methylbutyryloxy)-14-acetoxytithifolin Natural products COC(=O)C(C)O LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N Acetaldehyde Chemical compound CC=O IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNSMNVMLTJELDZ-UHFFFAOYSA-N Bis(2-chloroethyl)ether Chemical compound ClCCOCCCl ZNSMNVMLTJELDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 1
- AJQOASGWDCBKCJ-UHFFFAOYSA-N Butoxyacetic acid Chemical compound CCCCOCC(O)=O AJQOASGWDCBKCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 0 C*[C@](C(F)(F)F)(C(C)=CC=C(C(C(C=*)O)=C)C(Nc1cccc(S(C(C=CC)=CC(N(C(c2c3cc(C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)c4cc(C(NC(C)(C)C)=O)c(C)cc4)cc2)=O)C3=O)=C)(=O)=O)c1)=O)c(cc1)cc(C(O)=O)c1C(O)=O Chemical compound C*[C@](C(F)(F)F)(C(C)=CC=C(C(C(C=*)O)=C)C(Nc1cccc(S(C(C=CC)=CC(N(C(c2c3cc(C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)c4cc(C(NC(C)(C)C)=O)c(C)cc4)cc2)=O)C3=O)=C)(=O)=O)c1)=O)c(cc1)cc(C(O)=O)c1C(O)=O 0.000 description 1
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N C1CCCCC1 Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ANTZYSKQTIYWJQ-WEVVVXLNSA-N CC(C)(C)OC(CNc1cccc(S(c2cccc(NCCCOC(/C=C/C)=O)c2)(=O)=O)c1)COC(C=C=N)=O Chemical compound CC(C)(C)OC(CNc1cccc(S(c2cccc(NCCCOC(/C=C/C)=O)c2)(=O)=O)c1)COC(C=C=N)=O ANTZYSKQTIYWJQ-WEVVVXLNSA-N 0.000 description 1
- QVTUHBFONFLKOQ-UHFFFAOYSA-N ClC(Cl)(Cl)C1=NC(=NC=N1)N1CCCCC1 Chemical compound ClC(Cl)(Cl)C1=NC(=NC=N1)N1CCCCC1 QVTUHBFONFLKOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEPRKVQEAMIZSS-UHFFFAOYSA-N Di-Et ester-Fumaric acid Natural products CCOC(=O)C=CC(=O)OCC IEPRKVQEAMIZSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEPRKVQEAMIZSS-WAYWQWQTSA-N Diethyl maleate Chemical compound CCOC(=O)\C=C/C(=O)OCC IEPRKVQEAMIZSS-WAYWQWQTSA-N 0.000 description 1
- AQZGPSLYZOOYQP-UHFFFAOYSA-N Diisoamyl ether Chemical compound CC(C)CCOCCC(C)C AQZGPSLYZOOYQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAFNJMIOTHYJRJ-UHFFFAOYSA-N Diisopropyl ether Chemical compound CC(C)OC(C)C ZAFNJMIOTHYJRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QMMFVYPAHWMCMS-UHFFFAOYSA-N Dimethyl sulfide Chemical group CSC QMMFVYPAHWMCMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YZGQDNOIGFBYKF-UHFFFAOYSA-N Ethoxyacetic acid Chemical compound CCOCC(O)=O YZGQDNOIGFBYKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXRCUYVCPSWGCC-UHFFFAOYSA-N Ethyl pyruvate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=O XXRCUYVCPSWGCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N Ethylene carbonate Chemical compound O=C1OCCO1 KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OHLUUHNLEMFGTQ-UHFFFAOYSA-N N-methylacetamide Chemical compound CNC(C)=O OHLUUHNLEMFGTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCDOULFCCCTGKL-UHFFFAOYSA-N O1C2CC(CCC21)CC[Si](OC)(OC)OC.O2C1CC(CCC12)CC[Si](OC)(OC)OC Chemical compound O1C2CC(CCC21)CC[Si](OC)(OC)OC.O2C1CC(CCC12)CC[Si](OC)(OC)OC HCDOULFCCCTGKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LPYMYZOUPRRBRD-UHFFFAOYSA-N OC(C(=O)C1=CC=CC=C1)(C)C.OC1(C(C=CC=C1)CC(C)=O)C Chemical compound OC(C(=O)C1=CC=CC=C1)(C)C.OC1(C(C=CC=C1)CC(C)=O)C LPYMYZOUPRRBRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCQWOFVYLHDMMC-UHFFFAOYSA-N Oxazole Chemical compound C1=COC=N1 ZCQWOFVYLHDMMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 241000872198 Serjania polyphylla Species 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NOZAQBYNLKNDRT-UHFFFAOYSA-N [diacetyloxy(ethenyl)silyl] acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](OC(C)=O)(OC(C)=O)C=C NOZAQBYNLKNDRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N acetic acid trimethyl ester Natural products COC(C)=O KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 150000003973 alkyl amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000005907 alkyl ester group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005275 alkylenearyl group Chemical group 0.000 description 1
- OBETXYAYXDNJHR-UHFFFAOYSA-N alpha-ethylcaproic acid Natural products CCCCC(CC)C(O)=O OBETXYAYXDNJHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000732 arylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 229940007550 benzyl acetate Drugs 0.000 description 1
- GONOPSZTUGRENK-UHFFFAOYSA-N benzyl(trichloro)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)CC1=CC=CC=C1 GONOPSZTUGRENK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYHBFRJRBHMIQZ-UHFFFAOYSA-N bis[4-(diethylamino)phenyl]methanone Chemical compound C1=CC(N(CC)CC)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(N(CC)CC)C=C1 VYHBFRJRBHMIQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000012661 block copolymerization Methods 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- MWBJSOHMMAMFDQ-UHFFFAOYSA-N boric acid;9h-fluorene Chemical compound OB(O)O.C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 MWBJSOHMMAMFDQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- IWPATTDMSUYMJV-UHFFFAOYSA-N butyl 2-methoxyacetate Chemical compound CCCCOC(=O)COC IWPATTDMSUYMJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003917 carbamoyl group Chemical group [H]N([H])C(*)=O 0.000 description 1
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 1
- 150000001733 carboxylic acid esters Chemical class 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004587 chromatography analysis Methods 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- MGNCLNQXLYJVJD-UHFFFAOYSA-N cyanuric chloride Chemical compound ClC1=NC(Cl)=NC(Cl)=N1 MGNCLNQXLYJVJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000392 cycloalkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N cyclohexanol Chemical compound OC1CCCCC1 HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 239000012954 diazonium Substances 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-O diazynium Chemical compound [NH+]#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- MHDVGSVTJDSBDK-UHFFFAOYSA-N dibenzyl ether Chemical compound C=1C=CC=CC=1COCC1=CC=CC=C1 MHDVGSVTJDSBDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYACBZDAHNBPPB-UHFFFAOYSA-N diethyl oxalate Chemical compound CCOC(=O)C(=O)OCC WYACBZDAHNBPPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940019778 diethylene glycol diethyl ether Drugs 0.000 description 1
- 229940075557 diethylene glycol monoethyl ether Drugs 0.000 description 1
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012769 display material Substances 0.000 description 1
- ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N doxepin Chemical compound C1OC2=CC=CC=C2C(=C/CCN(C)C)/C2=CC=CC=C21 ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(triethoxy)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C=C FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C=C NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- WNIHNYUROPJCLW-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-ethoxy-2-methylpropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)(C)OCC WNIHNYUROPJCLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CKSRFHWWBKRUKA-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-ethoxyacetate Chemical compound CCOCC(=O)OCC CKSRFHWWBKRUKA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLEKJZUYWFJPMB-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methoxyacetate Chemical compound CCOC(=O)COC JLEKJZUYWFJPMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHRLOJCOIKOQGL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methoxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)OC WHRLOJCOIKOQGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-ethoxypropanoate Chemical compound CCOCCC(=O)OCC BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJUHLFUALMUWOM-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-methoxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)CCOC IJUHLFUALMUWOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 229940117360 ethyl pyruvate Drugs 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000000445 field-emission scanning electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 125000001072 heteroaryl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004366 heterocycloalkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diol Chemical compound OCCCCCCO XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N iso-butyl acetate Natural products CC(C)COC(C)=O GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M isocaproate Chemical compound CC(C)CCC([O-])=O FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N isovaleric acid methyl ester Natural products COC(=O)CC(C)C OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000468 ketone group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 150000003951 lactams Chemical class 0.000 description 1
- 150000003903 lactic acid esters Chemical class 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 125000005641 methacryl group Chemical group 0.000 description 1
- RMIODHQZRUFFFF-UHFFFAOYSA-N methoxyacetic acid Chemical compound COCC(O)=O RMIODHQZRUFFFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N methoxybenzene Substances CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YVWPDYFVVMNWDT-UHFFFAOYSA-N methyl 2-ethoxypropanoate Chemical compound CCOC(C)C(=O)OC YVWPDYFVVMNWDT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YSGBMDFJWFIEDF-UHFFFAOYSA-N methyl 2-hydroxy-3-methylbutanoate Chemical compound COC(=O)C(O)C(C)C YSGBMDFJWFIEDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AKWHOGIYEOZALP-UHFFFAOYSA-N methyl 2-methoxy-2-methylpropanoate Chemical compound COC(=O)C(C)(C)OC AKWHOGIYEOZALP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HSDFKDZBJMDHFF-UHFFFAOYSA-N methyl 3-ethoxypropanoate Chemical compound CCOCCC(=O)OC HSDFKDZBJMDHFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDJSOPWXYLFTNW-UHFFFAOYSA-N methyl 3-methoxypropanoate Chemical compound COCCC(=O)OC BDJSOPWXYLFTNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940057867 methyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 229940017219 methyl propionate Drugs 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- CKZMMOFDBUAGTN-UHFFFAOYSA-N n,n-dimethylformamide;n-methylformamide Chemical compound CNC=O.CN(C)C=O CKZMMOFDBUAGTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N n-hexanoic acid Natural products CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIKUXBYRTXDNIY-UHFFFAOYSA-N n-methyl-n-phenylformamide Chemical compound O=CN(C)C1=CC=CC=C1 JIKUXBYRTXDNIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N neopentyl glycol Chemical compound OCC(C)(C)CO SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- ZDHCZVWCTKTBRY-UHFFFAOYSA-N omega-Hydroxydodecanoic acid Natural products OCCCCCCCCCCCC(O)=O ZDHCZVWCTKTBRY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000001037 p-tolyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(=C([H])C([H])=C1*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N phenyl(114C)methanol Chemical compound O[14CH2]C1=CC=CC=C1 WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N 0.000 description 1
- LYXOWKPVTCPORE-UHFFFAOYSA-N phenyl-(4-phenylphenyl)methanone Chemical compound C=1C=C(C=2C=CC=CC=2)C=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 LYXOWKPVTCPORE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001515 polyalkylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920002577 polybenzoxazole Polymers 0.000 description 1
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 1
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 1
- 239000001103 potassium chloride Substances 0.000 description 1
- 235000011164 potassium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N propylene carbonate Chemical compound CC1COC(=O)O1 RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920005604 random copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000020 sulfo group Chemical group O=S(=O)([*])O[H] 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/032—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/032—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
- G03F7/037—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polyamides or polyimides
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/0048—Photosensitive materials characterised by the solvents or agents facilitating spreading, e.g. tensio-active agents
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/028—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/028—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
- G03F7/031—Organic compounds not covered by group G03F7/029
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/038—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/038—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
- G03F7/0388—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable with ethylenic or acetylenic bands in the side chains of the photopolymer
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/039—Macromolecular compounds which are photodegradable, e.g. positive electron resists
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/075—Silicon-containing compounds
- G03F7/0757—Macromolecular compounds containing Si-O, Si-C or Si-N bonds
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
- G03F7/105—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having substances, e.g. indicators, for forming visible images
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
- G03F7/32—Liquid compositions therefor, e.g. developers
- G03F7/322—Aqueous alkaline compositions
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/38—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising colour filters or colour changing media [CCM]
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/10—Organic polymers or oligomers
- H10K85/141—Organic polymers or oligomers comprising aliphatic or olefinic chains, e.g. poly N-vinylcarbazol, PVC or PTFE
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/10—Organic polymers or oligomers
- H10K85/151—Copolymers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/86—Arrangements for improving contrast, e.g. preventing reflection of ambient light
- H10K50/865—Arrangements for improving contrast, e.g. preventing reflection of ambient light comprising light absorbing layers, e.g. light-blocking layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/8791—Arrangements for improving contrast, e.g. preventing reflection of ambient light
- H10K59/8792—Arrangements for improving contrast, e.g. preventing reflection of ambient light comprising light absorbing layers, e.g. black layers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Architecture (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
Abstract
本發明提供一種感光性樹脂組成物、使用感光性樹脂組成物製造的黑色像素界定層以及包括黑色像素界定層的顯示裝置,所述感光性樹脂組成物包含:(A)黏合劑樹脂,包含聚合物,聚合物包含由化學式1表示的結構單元;(B)黑色著色劑;(C)光可聚合單體;(D)光聚合引發劑;以及(E)溶劑。
Description
本申請主張在2017年2月16日在韓國智慧財產權局提出申請的韓國專利申請第10-2017-0021076號的優先權及權利,所述韓國專利申請的全部內容併入本案供參考。
本發明涉及一種感光性樹脂組成物、使用所述感光性樹脂組成物的黑色像素界定層以及顯示裝置。
製造彩色濾光片、液晶顯示材料、例如有機發光二極體等顯示裝置、顯示裝置面板材料等必須使用感光性樹脂組成物。舉例來說,例如彩色液晶顯示器等彩色濾光片需要在例如紅色層、綠色層、藍色層等被著色層之間的邊界上具有例如黑色像素障壁肋層(black pixel barrier rib layer)等感光性樹脂層,以增強顯示對比度或發色團效應(chromophore effect)。此種感光性樹脂層可主要由黑色感光性樹脂組成物形成。具體來說,用作顯示裝置面板的材料的例如像素界定層等感光性樹脂層應具有小的錐角以確保可加工性及裝置可靠性。此外,應使用在可見光(visible ray)區中吸收光的著色劑(例如顏料、染料等)來確保光阻擋性質。傳統上,一直使用聚醯亞胺、聚苯並噁唑或其前體作為感光性樹脂組成物的黏合劑樹脂來獲得耐熱性、靈敏度或低逸氣(out-gas)特性,但在曝光之後的圖案形成期間對比度及靈敏度可能會降低且錐角可能會增大。因此,已進行研究來開發一種能夠解決所述缺點的用於黑色像素界定層的感光性樹脂組成物。
一實施例提供一種具有低的錐度及優異的靈敏度的感光性樹脂組成物。
另一實施例提供一種使用感光性樹脂組成物製造的黑色像素界定層。
再一實施例提供一種包括黑色像素界定層的顯示裝置。
一實施例提供一種感光性樹脂組成物,所述感光性樹脂組成物包含:(A)黏合劑樹脂,包含聚合物,聚合物包含由化學式1表示的結構單元;(B)黑色著色劑;(C)光可聚合單體;(D)光聚合引發劑;以及(E)溶劑。 [化學式1]在化學式1中, R1
為氫原子或者經取代或未經取代的C1至C20烷基, *1、*2、*3以及*4與聚合物的其他部分(moieties)鍵結,且 L1
由化學式1-1至化學式1-3中的一者表示, [化學式1-1]其中,在化學式1-1中, L2
為經取代或未經取代的C1至C10伸烷基、氧原子、硫原子或*-S(=O)2
-*,且 每一個*與聚合物的另一部分鍵結, [化學式1-2]其中,在化學式1-2中, R2
至R5
獨立地為氫原子或者經取代或未經取代的C1至C10烷基,且 L3
及L4
獨立地為經取代或未經取代的C1至C10伸烷基,且 每一個*與聚合物的另一部分鍵結, [化學式1-3]其中,在化學式1-3中, R6
及R7
獨立地為氫原子或者經取代或未經取代的C1至C10烷基, L5
及L6
獨立地為經取代或未經取代的C1至C10伸烷基,且 n為介於1至10範圍內的整數,且 每一個*與聚合物的另一部分鍵結。
*1、*2、*3以及*4可為氫原子或聚合物的骨架部分(backbone moieties)。
*1以及*2可為氫原子,且*3以及*4可為聚合物的骨架部分。
*1以及*2可為聚合物的骨架部分,且*3以及*4可為氫原子。
所述聚合物還可包含由化學式2表示的結構單元 [化學式2],在化學式2中,每一個*與聚合物的另一部分鍵結。
所述聚合物可包含由化學式3或化學式4表示的結構單元。 [化學式3][化學式4]在化學式3及化學式4中, 每一個R1
為氫原子或者經取代或未經取代的C1至C20烷基, L1
由化學式1-1至化學式1-3中的一者表示, L7
由化學式1-1表示,且 X1
由化學式1-4表示, [化學式1-4]其中,在化學式1-4中, L8
為單鍵或者經取代或未經取代的C1至C10伸烷基,且 每一個*與聚合物的另一部分鍵結。
聚合物可包含由化學式3表示的結構單元,且由化學式3表示的結構單元可由化學式3-1至化學式3-6中的一者表示。 [化學式3-1][化學式3-2][化學式3-3][化學式3-4][化學式3-5][化學式3-6]
聚合物可包含由化學式4表示的結構單元,且由化學式4表示的結構單元可由化學式4-1至化學式4-4中的一者表示。 [化學式4-1][化學式4-2][化學式4-3][化學式4-4]
聚合物的重量平均分子量可為3,000 g/mol至20,000 g/mol。
黑色著色劑可包含有機黑色顏料。
光可聚合單體可包含含有至少兩個由化學式5表示的官能基的化合物: [化學式5]在化學式5中, R8
為氫原子或者經取代或未經取代的C1至C10烷基,且 L9
為單鍵或者經取代或未經取代的C1至C10伸烷基,且 每一個*與聚合物的另一部分鍵結。
含有至少兩個由化學式5表示的官能基的化合物可為由化學式6或化學式7表示的化合物: [化學式6][化學式7]在化學式6及化學式7中, p、q、r及s獨立地為介於1至10範圍內的整數。
以感光性樹脂組成物的總量計,感光性樹脂組成物可包含:1重量%至30重量%的(A)聚合物;1重量%至25重量%的(B)黑色著色劑;0.5重量%至10重量%的(C)光可聚合單體;0.1重量%至5重量%的(D)光聚合引發劑;以及餘量為(E)溶劑。
感光性樹脂組成物還可包含以下添加劑:丙二酸、3-氨基-1,2-丙二醇;矽烷系偶合劑、流平劑、表面活性劑、自由基聚合引發劑或其組合。
另一實施例提供一種使用感光性樹脂組成物製造的黑色像素界定層。
再一實施例提供一種包括黑色像素界定層的顯示裝置。
所述顯示裝置可為有機發光二極體(organic light emitting diode,OLED)。
本發明的其他實施例包含於以下詳細說明中。
根據一實施例的感光性樹脂組成物包含含有特定結構單元的黏合劑樹脂,且因此可提供在維持低的錐度的同時具有優異的靈敏度的黑色像素界定層及包括所述黑色像素界定層的顯示裝置
以下,詳細闡述本發明的實施例。然而,這些實施例為示例性的,本發明不限於此並且本發明由權利要求的範圍所界定。
當未另外提供具體定義時,本文中所用的用語「烷基」指C1至C20烷基,術語「烯基」指C2至C20烯基,術語「環烯基」指C3至C20環烯基,術語「雜環烯基」指C3至C20雜環烯基,術語「芳基」指C6至C20芳基,術語「芳烷基」指C6至C20芳烷基,術語「伸烷基」指C1至C20伸烷基,術語「伸芳基」指C6至C20伸芳基,術語「伸烷芳基」指C6至C20伸烷芳基,術語「伸雜芳基」指C3至C20伸雜芳基,以及術語「伸烷氧基」指C1至C20伸烷氧基。
當不另外提供具體定義時,本文所用的「經取代的」指用以下者替代至少一個氫原子:鹵素原子(F、Cl、Br或I)、羥基、C1至C20烷氧基、硝基、氰基、胺基、亞氨基、疊氮基、脒基、肼基、亞肼基、羰基、氨甲醯基、硫醇基(thiol group)、酯基、醚基、羧基或其鹽、磺酸基或其鹽、磷酸或其鹽、C1至C20烷基、C2至C20烯基、C2至C20炔基、C6至C20芳基、C3至C20環烷基、C3至C20環烯基、C3至C20環炔基、C2至C20雜環烷基、C2至C20雜環烯基、C2至C20雜環炔基、C3至C20雜芳基或其組合。
當不另外提供具體定義時,本文所用的「雜」指在化學式中包含選自N、O、S及P的至少一個雜原子。
當未另外提供具體定義時,本文中所用的術語「(甲基)丙烯酸酯」指「丙烯酸酯」和「甲基丙烯酸酯」二者,並且「(甲基)丙烯酸」指「丙烯酸」和「甲基丙烯酸」二者。
當不另外提供具體定義時,本文所用的用語「組合」指混合或共聚合。此外,「共聚合」指嵌段共聚合至無規共聚合,且「共聚物」指嵌段共聚物至無規共聚物。
在本說明書的化學式中,除非另外提供具體定義,否則當在應給出化學鍵之處未繪製化學鍵時,在所述位置處存在氫鍵結。
當不另外提供具體定義時,本文所用的「*」表示連接相同或不同的原子(包括氫原子)或化學式的點。
根據實施例的感光性樹脂組成物包含:(A)黏合劑樹脂,包含聚合物,聚合物包含由化學式1表示的結構單元;(B)黑色著色劑;(C)光可聚合單體;(D)光聚合引發劑;以及(E)溶劑。 [化學式1]在化學式1中, R1
為氫原子或者經取代或未經取代的C1至C20烷基, *1、*2、*3以及*4與聚合物的其他部分(moieties)鍵結,且 L1
由化學式1-1至化學式1-3中的一者表示, [化學式1-1]其中,在化學式1-1中, L2
為經取代或未經取代的C1至C10伸烷基、氧原子、硫原子或*-S(=O)2
-*,且 每一個*與聚合物的另一部分鍵結, [化學式1-2]其中,在化學式1-2中, R2
至R5
獨立地為氫原子或者經取代或未經取代的C1至C10烷基,且 L3
及L4
獨立地為經取代或未經取代的C1至C10伸烷基,且 每一個*與聚合物的另一部分鍵結, [化學式1-3]其中,在化學式1-3中, R6
及R7
獨立地為氫原子或者經取代或未經取代的C1至C10烷基, L5
及L6
獨立地為經取代或未經取代的C1至C10伸烷基,且 n為介於1至10範圍內的整數,且 每一個*與聚合物的另一部分鍵結,。
傳統上,用於感光性樹脂組成物的黏合劑樹脂包含聚合物,而聚合物不包含由化學式1表示的結構單元,且不能充分地執行自由基交聯,並且因此感光性樹脂組成物具有當在曝光之後在水性顯影液中進行顯影以形成圖案時出現對比度劣化的問題。因此,已嘗試通過增大光可聚合單體的比率且因此增大可光固化比率來提高對比,但結果造成儘管對比度提高但耐熱性劣化的新問題。
然而,根據實施例的感光性樹脂組成物包含聚合物的結構單元的黏合劑樹脂,聚合物包含由化學式1表示的結構單元,且因此可具有提高的耐熱性、提高的對比度及穩定的變窄的錐形圖案(25°至32°的低的錐角)並同時提高靈敏度。具體來說,由於由化學式1表示的結構單元具有自由基可交聯的官能基並與由化學式2表示的結構單元一起包含,因此使用水性顯影液形成的圖案可降低錐角且提高靈敏度。
以下,具體闡述每一組分。
(A)黏合劑樹脂
根據實施例的感光性樹脂組成物中的黏合劑樹脂包含含有由化學式1表示的結構單元的聚合物。黏合劑樹脂可通過包含含有由化學式1表示的結構單元的聚合物而在維持低的錐角的同時提高靈敏度。另外,由化學式1表示的結構單元可為可丙烯酸交聯的(acrylic cross-linkable),且包含所述結構單元的感光性樹脂組成物在顯影期間應使用水性顯影液。當使用有機顯影液時,可顯影性會顯著劣化。
聚合物還可包含由化學式2表示的結構單元。 [化學式2]
聚合物包含由化學式2表示的結構單元,所述結構單元具有耐熱性且能夠提高具有由化學式1表示的可丙烯酸交聯(可自由基交聯)的結構單元的負型感光性樹脂組成物所需要的對比度,並且因此會提高對比及耐熱性且同時可在將包含所述黏合劑樹脂的感光性樹脂組成物曝光之後形成圖案期間獲得提高的靈敏度及降低的錐角。
聚合物可包含由化學式3或化學式4表示的結構單元。 [化學式3][化學式4]在化學式3及化學式4中, R1
為氫原子或者經取代或未經取代的C1至C20烷基, L1
由化學式1-1至化學式1-3中的一者表示, L7
由化學式1-1表示,且 X1
由化學式1-4表示, [化學式1-4]其中,在化學式1-4中, L8
為單鍵或者經取代或未經取代的C1至C10伸烷基,且 每一個*與聚合物的另一部分鍵結。
舉例來說,由化學式3表示的所述結構單元可由化學式3-1至化學式3-6中的一者表示。 [化學式3-1][化學式3-2][化學式3-3][化學式3-4][化學式3-5][化學式3-6]
舉例來說,由化學式4表示的所述結構單元可由化學式4-1至化學式4-4中的一者表示。 [化學式4-1][化學式4-2][化學式4-3][化學式4-4]
聚合物的重量平均分子量可為3,000 g/mol至20,000 g/mol。當聚合物具有處於所述範圍內的重量平均分子量時,可獲得優異的圖案形成能力,且可提供具有優異的機械熱特性的薄膜。
以感光性樹脂組成物的總量計,可包含1重量%至30重量%的量的聚合物。當包含處於所述範圍內的聚合物時,可提高圖案的靈敏度、可顯影性、解析度及線性度。
(B)黑色著色劑
根據實施例的感光性樹脂組成物中的黑色著色劑可包含有機黑色顏料以改善光阻擋性質並輕易地實現黑色。例如,可以使用內醯胺類(lactam-based)有機黑色顏料。
一般來說,僅使用碳黑作為黑色著色劑以改善光阻擋性質,但當單獨使用碳黑時,雖然可獲得優異的光學密度,但可使例如電特性等其他特性劣化。
根據實施例,當使用有機黑色顏料作為黑色著色劑時,雖然與僅使用碳黑時相比光阻擋性質可相對更加劣化,但會帶來足夠的光阻擋性能且同時進一步改善例如電特性等其他特性。
舉例來說,根據實施例的感光性樹脂組成物中的黑色著色劑還可包含碳黑以及有機黑色顏料,且可進一步改善光阻擋性質。除有機黑色顏料外還可使用通過將RGB黑與類似顏色進行顏色混合而得到的黑色顏料,或者可使用這些黑色顏料中的每一者。
當使用有機黑色顏料或有機黑色顏料與作為無機黑色顏料的碳黑的混合物作為黑色著色劑時,可將分散劑與顏料一起使用來分散所述顏料。具體而言,可用分散劑預處理顏料的表面,或將顏料與分散劑一起添加,以製備組成物。
分散劑可為非離子分散劑、陰離子分散劑、陽離子分散劑等。分散劑的具體實例可為聚伸烷基二醇及其酯、聚氧化烯、多元醇酯環氧烷加成產物、醇環氧烷加成產物、磺酸酯、磺酸鹽、羧酸酯、羧酸鹽、烷基醯胺環氧烷加成產物、烷基胺等,且這些分散劑可單獨使用或作為兩者或更多者的混合物形式使用。
分散劑的市售實例可包括畢克化學有限公司(BYK Co., Ltd.)製成的迪斯帕畢克(DISPERBYK)-101、DISPERBYK-130、DISPERBYK-140、DISPERBYK-160、DISPERBYK-161、DISPERBYK-162、DISPERBYK-163、DISPERBYK-164、DISPERBYK-165、DISPERBYK-166、DISPERBYK-170、DISPERBYK-171、DISPERBYK-182、DISPERBYK-2000、DISPERBYK-2001;埃夫卡化學公司(EFKA Chemicals Co.)製造的埃夫卡(EFKA)-47、EFKA-47EA、EFKA-48、EFKA-49、EFKA-100、EFKA-400、EFKA-450;捷利康(Zeneka)公司製造的索思帕(Solsperse)5000、Solsperse 12000、Solsperse 13240、Solsperse 13940、Solsperse 17000、Solsperse 20000、Solsperse 24000GR、Solsperse 27000、Solsperse 28000等;或味之素有限公司(Ajinomoto Inc.)製造的PB711、PB821等。
以感光性樹脂組成物的總量計,可包含0.1重量%至15重量%的量的分散劑。當包含處於所述範圍內的分散劑時,在製造黑色界定層材料期間因分散性質改善而使組成物具有優異的穩定性、可顯影性及圖案形成能力。
顏料可使用水溶性無機鹽及潤濕劑預處理。當顏料經過預處理後,顏料的平均粒徑可變得更細。
預處理可如下執行:用水溶性無機鹽及潤濕劑揉捏顏料,然後過濾並洗滌揉捏後的顏料。
揉捏可在40℃至100℃的溫度下執行,且可通過在用水等沖洗掉無機鹽後過濾顏料執行過濾和洗滌。
水溶性無機鹽的實例可為氯化鈉、氯化鉀等,但並不僅限於此。潤濕劑可使顏料與水溶性無機鹽均勻地混合並粉碎。潤濕劑的實例包括伸烷基二醇單烷基醚(alkylene glycol monoalkyl ether),例如乙二醇單乙醚、丙二醇單甲醚、二乙二醇單甲醚等;以及醇,例如乙醇、異丙醇、丁醇、己醇、環己醇、乙二醇、二乙二醇、聚乙二醇、甘油聚乙二醇等。這些潤濕劑可單獨使用或作為兩者或更多者的混合物形式使用。
揉捏後顏料的平均粒徑可介於5 nm至200 nm範圍內,例如5 nm至150 nm。當顏料具有處於所述範圍內的平均粒徑時,顏料分散液的穩定性可提高,且不會使像素解析度劣化。
具體來說,顏料可以包含分散劑及溶劑(稍後將進行闡述)的顏料分散液的形式使用,且顏料分散液可包含固體顏料、分散劑及溶劑。以顏料分散液的總量計,可包含5重量%至40重量%、例如8重量%至30重量%的量的固體顏料。
以感光性樹脂組成物的總量計,可包含1重量%至25重量%,例如2重量%至10重量%的固體含量的黑色著色劑。舉例來說,以感光性樹脂組成物的總量計,黑色著色劑可以5重量%至70重量%的量包含在顏料分散液中。當包含處於所述範圍內的黑色著色劑時,可改善著色效果和顯影性能。
(C)光可聚合單體
根據一實施例的感光性樹脂組成物中的光可聚合單體可為單一化合物或兩個或更多個不同種類的化合物的混合物。
當光可聚合單體為兩種或更多種化合物的混合物時,所述兩種化合物中的一者可為包含至少兩個由化學式5表示的官能基的化合物。 [化學式5]在化學式5中, R8
為氫原子或者經取代或未經取代的C1至C10烷基,且 L9
為單鍵或者經取代或未經取代的C1至C10伸烷基。
舉例來說,包含至少兩個由化學式5表示的官能基的化合物可包含2個至6個由化學式5表示的官能基。在此種情形中,在圖案形成過程的曝光期間引起足夠的聚合,且可形成具有提高的耐熱性、耐光性及耐化學性的圖案。
舉例來說,包含至少兩個由化學式5表示的官能基的化合物可為由化學式6或化學式7表示的化合物。 [化學式6][化學式7]在化學式6及化學式7中, p、q、r及s獨立地為介於1至10範圍內的整數。
當光可聚合單體為兩種或更多種化合物的混合物時,所述兩種化合物中的另一化合物可為具有至少一個乙烯性不飽和雙鍵的(甲基)丙烯酸的單官能或多官能酯化合物。
具有至少一個乙烯性不飽和雙鍵的(甲基)丙烯酸的單官能或多官能酯化合物可為例如乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、雙酚A環氧基(甲基)丙烯酸酯、乙二醇單甲醚(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、磷酸三(甲基)丙烯醯氧基乙酯、酚醛環氧(甲基)丙烯酸酯或其組合。
具有至少一個乙烯性不飽和雙鍵的(甲基)丙烯酸的單官能或多官能酯化合物的市售實例如下。單官能(甲基)丙烯酸酯的實例可包含亞羅尼斯(Aronix)M-101®、M-111®、M-114®(東亞合成化工股份有限公司(Toagosei Chemistry Industry Co., Ltd.));卡亞拉得(KAYARAD)TC-110S®、TC-120S®(日本化藥股份有限公司(Nippon Kayaku Co., Ltd.));V-158®、V-2311®(大阪有機化工股份有限公司(Osaka Organic Chemical Ind., Ltd.))等。二官能(甲基)丙烯酸酯的實例可包含亞羅尼斯(Aronix)M-210®、M-240®、M-6200®(東亞化工有限公司)、卡亞拉得(KAYARAD)HDDA®、HX-220®、R-604®(日本化藥有限公司)、V-260®、V-312®、V-335 HP®(大阪有機化工有限公司)等。三官能(甲基)丙烯酸酯的實例可包含亞羅尼斯(Aronix)M-309®、M-400®、M-405®、M-450®、M-7100®、M-8030®、M-8060®(東亞化工有限公司)、卡亞拉得(KAYARAD)TMPTA®、DPCA-20®、DPCA-30®、DPCA-60®、DPCA-120®(日本化藥有限公司)、V-295®、V-300®、V-360®、V-GPT®、V-3PA®、V-400®(大阪有機化工有限公司)等。所述產品可單獨使用或以兩者或更多者的混合物形式使用。
光可聚合單體可用酸酐進行處理以改善可顯影性。
以感光性樹脂組成物的總量計,可包含0.5重量%至10重量%、例如1重量%至5重量%的量的光可聚合單體。當包含處於所述範圍內的光可聚合單體時,反應性不飽和化合物在圖案形成過程的曝光期間充分固化,並具有優異的可靠性,且因此可形成具有提高的耐熱性、耐光性、及耐化學性以及優異的解析度及緊密接觸性質的圖案。
(D)光聚合引發劑
根據實施例的感光性樹脂組成物包含光聚合引發劑。光聚合引發劑可包含苯乙酮系化合物、二苯甲酮系化合物、噻噸酮系化合物、安息香系化合物、三嗪系化合物、肟系化合物等。
苯乙酮系化合物的實例可為2,2'-二乙氧基苯乙酮、2,2'-二丁氧基苯乙酮、2-羥基-2-甲基苯丙酮(2-hydroxy-2-methylpropiophenone)、對叔丁基三氯苯乙酮、對叔丁基二氯苯乙酮、4-氯苯乙酮、2,2'-二氯-4-苯氧基苯乙酮、2-甲基-1-(4-(甲硫基)苯基)-2-嗎啉基丙-1-酮、2-苯甲基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁-1-酮等。
二苯甲酮系化合物的實例可為二苯甲酮、苯甲酸苯甲醯基酯、苯甲酸苯甲醯基甲酯、4-苯基二苯甲酮、羥基二苯甲酮、丙烯酸化二苯甲酮、4,4'-雙(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4'-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、4,4'-二甲基氨基二苯甲酮、4,4'-二氯二苯甲酮、3,3'-二甲基-2-甲氧基二苯甲酮等。
噻噸酮系化合物的實例可為噻噸酮、2-氯噻噸酮、2-甲基噻噸酮、異丙基噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、2,4-二異丙基噻噸酮等。
安息香系化合物的實例可為安息香、安息香甲醚、安息香乙醚、安息香異丙醚、安息香異丁醚、苯甲基二甲基縮酮等。
三嗪系化合物的實例可為2,4,6-三氯-s-三嗪、2-苯基4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(3',4'-二甲氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4'-甲氧基萘基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(對甲氧基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(對甲苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-聯苯基4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、雙(三氯甲基)-6-苯乙烯基-s-三嗪、2-(萘醯-1-基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基萘醯1-基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-4-雙(三氯甲基)-6-胡椒基-s-三嗪、2-4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-s-三嗪等。
肟系化合物的實例可為O-醯基肟系化合物、2-(O-苯甲醯基肟)-1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-辛二酮、1-(O-乙醯基肟)-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-哢唑-3-基]乙酮、O-乙氧羰基-α-氧氨基-1苯基丙-1-酮等。O-醯基肟系化合物的實例可為1,2-辛二酮、2-二甲基氨基-2-(4-甲基苯甲基)-1-(4-嗎啉-4-基-苯基)-丁-1-酮、1-(4-苯硫基苯基)-丁-1,2-二酮-2-肟-O-苯甲酸酯、1-(4-苯硫基苯基)-辛-1,2-二酮-2-肟-O-苯甲酸酯、1-(4-苯硫基苯基)-辛-1-酮肟-O-乙酸酯、及1-(4-苯硫基苯基)-丁-1-酮肟-O-乙酸酯。
除所述化合物之外,光聚合引發劑還可包含哢唑系化合物、二酮系化合物、硼酸鋶系化合物、重氮系化合物、咪唑系化合物、聯咪唑系化合物、芴系化合物等。
以感光性樹脂組成物的總量計,可包含0.1重量%至5重量%、例如1重量%至3重量%的量的光聚合引發劑。當包含處於所述範圍內的光聚合引發劑時,所述組成物在用於製備黑色像素界定層的圖案形成過程期間被曝光時可充分進行光聚合,從而實現優異的靈敏度並提高透射率。
(E)溶劑
溶劑是與黏合劑樹脂、包含黑色著色劑的顏料分散液、光可聚合單體以及光聚合引發劑具有相容性但不與其反應的材料。
溶劑的實例可包括:醇,例如甲醇、乙醇等;醚,例如二氯乙醚、正丁醚、二異戊醚、甲基苯基醚、四氫呋喃等;二醇醚,例如乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇二甲醚等;溶纖劑乙酸酯,例如甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、二乙基溶纖劑乙酸酯等;卡必醇,例如甲基乙基卡必醇、二乙基卡必醇、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇乙基甲基醚、二乙二醇二乙醚等;丙二醇烷基醚乙酸酯,例如丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇丙醚乙酸酯等;芳族烴,例如甲苯、二甲苯等;酮,例如甲基乙基酮、環己酮、4-羥基-4-甲基-2-戊酮、甲基-正丙基酮、甲基-正丁基酮、甲基-正戊基酮、2-庚酮等;飽和脂肪族單羧酸烷基酯,例如乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯等;乳酸酯,例如乳酸甲酯、乳酸乙酯等;羥乙酸烷基酯,例如氧基乙酸甲酯、氧基乙酸乙酯、氧乙酸丁酯等;烷氧基乙酸烷基酯,例如甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯等;3-氧丙酸烷基酯,例如3-氧基丙酸甲酯、3-氧基丙酸乙酯等;3-烷氧基丙酸烷基酯,例如3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯等;2-氧丙酸烷基酯,例如2-氧基丙酸甲酯、2-氧基丙酸乙酯、2-氧基丙酸丙酯等;2-烷氧基丙酸烷基酯,例如2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸甲酯等;2-氧基-2-甲基丙酸酯,例如2-氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-氧基-2-甲基丙酸乙酯等;2-烷基-甲基丙酸烷基的單氧基單羧酸烷基酯,例如2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯等;酯,例如2-羥乙基丙酸酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯等;以及酮酸酯,例如丙酮酸乙酯等,且另外高沸點溶劑為例如N-甲基甲醯胺、N,N-二甲基甲醯胺、N-甲基甲醯苯胺、N-甲基乙醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲基亞碸、苯甲基乙醚、二己基醚、乙醯丙酮、異佛爾酮、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、苯甲醇、乙酸苯甲酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、順丁烯二酸二乙酯、γ-丁內酯、碳酸亞乙酯、碳酸亞丙酯、苯基溶纖劑乙酸酯等。
考慮到混溶性及反應性,可優選地使用二醇醚,例如乙二醇單乙醚、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、二乙二醇乙甲醚等;乙二醇烷基醚乙酸酯,例如乙基溶纖劑乙酸酯等;酯,例如2-羥基丙酸乙酯等;卡必醇,例如二乙二醇單甲醚等;丙二醇烷基醚乙酸酯,例如丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯等。
以感光性樹脂組成物的總量計,溶劑是以餘量、例如30重量%至80重量%的量使用。當包含處於所述範圍內的溶劑時,感光性樹脂組成物可具有適當黏度,從而改善黑色像素界定層的塗覆特性。
(F)其它添加劑
另一方面,感光性樹脂組成物還可包含以下添加劑:丙二酸、3-氨基-1,2-丙二醇、矽烷系偶合劑、流平劑、表面活性劑、自由基聚合引發劑、或其組合。
矽烷系偶合劑可具有以下反應性取代基:乙烯基、羧基、甲基丙烯醯氧基、異氰酸酯基(isocyanate group)、環氧基等,以改善與基板的緊密接觸性質。
矽烷系偶合劑的實例可包括三甲氧基甲矽烷基苯甲酸(trimethoxysilylbenzoic acid)、γ-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷(γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane)、乙烯基三乙醯氧基矽烷(vinyltriacetoxysilane)、乙烯基三甲氧基矽烷(vinyltrimethoxysilane)、γ-異氰酸酯丙基三乙氧基矽烷(γ-isocyanatepropyltriethoxysilane)、γ-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷(γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane)、β-(3,4-環氧環己基)乙基三甲氧基矽烷(β-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilane)等。這些光可聚合單體可單獨使用或以兩者或更多者的混合物形式使用。
以100重量份的感光性樹脂組成物計,可包含0.01重量份至10重量份的量的矽烷系偶聯劑。當包含處於所述範圍內的矽烷系偶聯劑時,可改善緊密接觸性質、存儲性質等。
感光性樹脂組成物還可包含表面活性劑、例如氟系表面活性劑及/或矽酮系表面活性劑,以在需要時改善塗覆性質並防止缺陷。
氟系表面活性劑的實例可為市售的氟系表面活性劑,例如BM-1000®及BM-1100®(BM化學有限公司(BM Chemie Inc.));美佳法(MEGAFACE)F 142D®、F 172®、F 173®、F 183®及F 554®(大日本油墨化工股份有限公司(Dainippon Ink Kagaku Kogyo Co., Ltd.));芙羅拉德(FULORAD)FC-135®、FULORAD FC-170C®、FULORAD FC-430®及FULORAD FC-431®(住友3M股份有限公司(Sumitomo 3M Co., Ltd.));沙福隆(SURFLON)S-112®、SURFLON S-113®、SURFLON S-131®、SURFLON S-141®及SURFLON S-145®(旭硝子玻璃股份有限公司(Asahi Glass Co., Ltd.));以及SH-28PA®、SH-190®、SH-193®、SZ-6032®及SF-8428®等(東麗矽酮股份有限公司(Toray Silicone Co., Ltd.))。
矽酮系表面活性劑可為畢克化學公司(BYK Chem)製作且市售的畢克(BYK)-307、BYK-333、BYK-361N、BYK-051、BYK-052、BYK-053、BYK-067A、BYK-077、BYK-301、BYK-322、BYK-325等。
以100重量份的感光性樹脂組成物計,可使用0.001重量份至5重量份的量的表面活性劑。當包含處於所述範圍內的表面活性劑時,可確保在IZO基板或玻璃基板上具有優異的潤濕性以及塗覆均勻度,可不產生污點(stain)。
此外,感光性樹脂組成物可包含預定量的其他添加劑,例如抗氧化劑、穩定劑等,只要這些添加劑不會使感光性樹脂組成物的性質劣化。
根據實施例的感光性樹脂組成物可為正型或負型,但應為負型,以完全移除其中在將具有光阻擋性質的組成物曝光及顯影之後將圖案曝光的區中的殘餘物。
另一實施例提供一種黑色像素界定層,所述黑色像素界定層通過將感光性樹脂組成物曝光、顯影及固化來製造。
製造黑色像素界定層的方法如下。
(1)塗覆及成膜
在經過預定的預處理的基板(例如玻璃基板或ITO基板)上,使用旋轉或狹縫塗覆法、輥塗法、網版印刷法、塗抹器法等,將感光性樹脂組成物塗覆至具有期望的厚度,在約70℃至約110℃下加熱約1分鐘至10分鐘以移除溶劑,從而形成感光性樹脂層。
(2)曝光
通過設置罩幕、然後照射介於約200 nm至約500 nm範圍內的光化射線(actinic ray)將感光性樹脂層圖案化。所述照射是使用例如具有低壓、高壓或超高壓的汞燈、金屬鹵化物燈、氬氣鐳射等光源來執行。也可使用X射線、電子束等。
當使用高壓汞燈時,曝光工藝使用例如約500 mJ/cm2
或500 mJ/cm2
以下(利用365 nm感測器)的光劑量。然而,光劑量可根據各組分的種類、其組合比率以及幹膜厚度而變化。
(3)顯影
在曝光工藝後,使用鹼性水溶液通過溶解並移除曝光部分以外的不需要的部分來顯影被曝光膜,以形成圖案。
(4)後處理
可對經顯影圖像圖案進行後處理,以在耐熱性、耐光性、緊密接觸性質、抗裂性、耐化學性、高強度、存儲穩定性等方面實現優異的品質。舉例來說,在顯影之後,可在約250℃的對流烘箱中在氮氣氣氛下執行熱處理約1小時。
另一實施例提供一種包括黑色像素界定層的顯示裝置。
所述顯示裝置可為有機發光二極體(OLED)。
以下,參照實例更詳細地說明本發明。然而,這些實例不應在任何意義上被解釋為限制本發明的範圍。
(實例)
(聚合物的合成)
合成例1
在使氮氣經過配備有攪拌器、恒溫器、氮氣注射器及冷凝器的四頸燒瓶的同時,在所述燒瓶中將由化學式A-1表示的化合物(未經取代的二酐單體,0.046 mol)溶解在了二甲基乙醯胺(dimethyl acetamide,DMAc,103 g)中。向其中依序添加了吡啶(0.1 mol)及丙烯酸羥乙酯(hydroxy ethyl acrylate,HEA,0.023 mol)。當反應完成之後,將由化學式B-1表示的化合物(經取代的二胺單體,0.017 mol)溶解在了二甲基乙醯胺(DMAc,1.34 g)中。當反應完成之後(當未完成時,溫度進一步升高),將由化學式C-1表示的化合物(未經取代的二胺單體,0.017 mol)完全溶解在了二甲基乙醯胺(DMAc,17.41 g)中,且然後歷時30分鐘在5℃下向其中滴入溶液。當滴入完成之後,在40℃下使所獲得的混合物反應了2小時。隨後,向其中添加了乙酸酐(Ac2
O,0.052 mol),且在60℃下使所獲得的混合物反應了5小時以完成聚醯亞胺化反應。將反應混合物添加至多於其六倍的量的去離子水中以產生沉澱物,且對沉澱物進行了過濾,用水進行了充分洗滌,並在真空下在30℃下乾燥了24小時。將經乾燥漿料在乙二醇二甲醚(ethylene glycoldimethylether,EDM)中溶解至20重量%,且對溶液進行了蒸發以具有小於或等於500 ppm的水分,且因此,合成包含由化學式3-1表示的結構單元的聚合物。根據凝膠滲透色譜(Gel Permeation Chromatography,GPC)方法以標準還原為聚苯乙烯換算(in terms of standard reduction),包含由化學式3-1表示的結構單元的聚合物的重量平均分子量為6,000 g/mol。 [化學式3-1][化學式A-1][化學式B-1][化學式C-1]
合成例2
除了使用由化學式B-2表示的化合物替代了由化學式B-1表示的化合物作為經取代的二胺單體以外,根據與合成例1相同的方法合成了包含由化學式3-2表示的結構單元的聚合物。根據凝膠滲透色譜(GPC)方法以標準還原為聚苯乙烯換算,包含由化學式3-2表示的結構單元的聚合物的重量平均分子量為5,800 g/mol。 [化學式3-2][化學式B-2]
合成例3
除了使用由化學式B-3表示的化合物替代了由化學式B-1表示的化合物作為經取代的二胺單體以外,根據與合成例1相同的方法合成了包含由化學式3-3表示的結構單元的聚合物。根據凝膠滲透色譜(GPC)方法以標準還原為聚苯乙烯換算,包含由化學式3-3表示的結構單元的聚合物的重量平均分子量為5,400 g/mol。 [化學式3-3][化學式B-3]
合成例4
除了使用由化學式B-4表示的化合物替代了由化學式B-1表示的化合物作為經取代的二胺單體以外,根據與合成例1相同的方法合成了包含由化學式3-4表示的結構單元的聚合物。根據凝膠滲透色譜(GPC)方法以標準還原為聚苯乙烯換算,包含由化學式3-4表示的結構單元的聚合物的重量平均分子量為4,800 g/mol。 [化學式3-4][化學式B-4]
合成例5
除了使用由化學式B-5表示的化合物替代了由化學式B-1表示的化合物作為經取代的二胺單體以外,根據與合成例1相同的方法合成了包含由化學式3-5表示的結構單元的聚合物。根據凝膠滲透色譜(GPC)方法以標準還原為聚苯乙烯換算,包含由化學式3-5表示的結構單元的聚合物的重量平均分子量為5,200 g/mol。 [化學式3-5][化學式B-5]
合成例6
除了使用由化學式B-6表示的化合物替代了由化學式B-1表示的化合物作為經取代的二胺單體以外,根據與合成例1相同的方法合成了包含由化學式3-6表示的結構單元的聚合物。根據凝膠滲透色譜(GPC)方法以標準還原為聚苯乙烯換算,包含由化學式3-6表示的結構單元的聚合物的重量平均分子量為4,800 g/mol。 [化學式3-6][化學式B-6]
合成例7
在使氮氣經過配備有攪拌器、恒溫器、氮氣注射器及冷凝器的四頸燒瓶的同時,在所述燒瓶中將由化學式D-1表示的化合物(經取代的二酐單體,0.046 mol)溶解在了二甲基乙醯胺(DMAc,103 g)中。向其中依序添加了吡啶(0.1 mol)及丙烯酸羥乙酯(HEA,0.023 mol)。當反應完成之後,將由化學式C-1表示的化合物(未經取代的二胺單體,0.034 mol)溶解在了二甲基乙醯胺(DMAc,1.34 g)中。當反應完成之後(當未完成時,溫度進一步升高),歷時30分鐘在5℃下向以上溶液中滴入此溶液。當滴入完成之後,在40℃下使所獲得的混合物反應了2小時。隨後,將反應混合物添加至多於其六倍的量的去離子水中以產生沉澱物,且對沉澱物進行了過濾,用水進行了充分洗滌,並在真空下在30℃下乾燥了24小時。將經乾燥漿料在乙二醇二甲醚(EDM)中溶解至20重量%,且對溶液進行了蒸發以具有小於或等於500 ppm的水分,且因此,合成包含由化學式4-1表示的結構單元的聚合物。根據凝膠滲透色譜(GPC)方法以標準還原為聚苯乙烯換算,包含由化學式4-1表示的結構單元的聚合物的重量平均分子量為5,300 g/mol。 [化學式4-1][化學式D-1]
合成例8
除了使用由化學式D-2表示的化合物替代了由化學式D-1表示的化合物作為經取代的二胺單體以外,根據與合成例7相同的方法合成了包含由化學式4-2表示的結構單元的聚合物。根據凝膠滲透色譜(GPC)方法以標準還原為聚苯乙烯換算,包含由化學式4-2表示的結構單元的聚合物的重量平均分子量為5,800 g/mol。 [化學式4-2][化學式D-2]
合成例9
除了使用由化學式D-3表示的化合物替代了由化學式D-1表示的化合物作為經取代的二胺單體以外,根據與合成例7相同的方法合成了包含由化學式4-3表示的結構單元的聚合物。根據凝膠滲透色譜(GPC)方法以標準還原為聚苯乙烯換算,包含由化學式4-3表示的結構單元的聚合物的重量平均分子量為4,900 g/mol。 [化學式4-3][化學式D-3]
合成例10
除了使用由化學式D-4表示的化合物替代了由化學式D-1表示的化合物作為經取代的二胺單體以外,根據與合成例7相同的方法合成了包含由化學式4-4表示的結構單元的聚合物。根據凝膠滲透色譜(GPC)方法以標準還原為聚苯乙烯換算,包含由化學式4-4表示的結構單元的聚合物的重量平均分子量為5,200 g/mol。 [化學式4-4][化學式D-4]
比較合成例1
在使氮氣經過配備有攪拌器、恒溫器、氮氣注射器及冷凝器的四頸燒瓶的同時,在所述燒瓶中將由化學式A-1表示的化合物(未經取代的二酐單體,0.046 mol)溶解在了二甲基乙醯胺(DMAc,103 g)中。隨後,將由化學式C-1表示的化合物(未經取代的二胺單體,0.034 mol)完全溶解在了二甲基乙醯胺(DMAc,17.41 g)中,且歷時30分鐘在5℃下向以上溶液中滴入此溶液。當滴入完成之後,在40℃下使所獲得的混合物反應了4小時。然後,將此反應混合物添加至多於其六倍的量的去離子水中以產生沉澱物,且對沉澱物進行了過濾,用水進行了充分洗滌,並在真空下在30℃下乾燥了24小時。將經乾燥漿料在乙二醇二甲醚(EDM)中溶解至20重量%,且對溶液進行了蒸發以具有小於或等於500 ppm的水分,且因此,合成包含由化學式X-1表示的結構單元的聚合物。根據凝膠滲透色譜(GPC)方法以標準還原為聚苯乙烯換算,包含由化學式X-1表示的結構單元的聚合物的重量平均分子量為6,000 g/mol。 [化學式X-1]
(感光性樹脂組成物的製備)
實例1至實例10以及比較例1
將光聚合引發劑溶解在溶劑中以具有表1中所示的組成,且在室溫下將所述溶液攪拌了2小時。此處,向其中添加了黏合劑樹脂及光可聚合單體,且在室溫下將所述混合物攪拌了一個小時。然後,向其中添加了表面活性劑(其他添加劑)及黑色著色劑,在室溫下將所獲得的混合物攪拌了1小時,且將由此獲得的溶液徹底地攪拌了2小時。將所述溶液過濾了三次以移除雜質並製備各感光性樹脂組成物。
[表1] (單位:g)
(A)黏合劑樹脂 (A1)合成例1的聚合物 (A2)合成例2的聚合物 (A3)合成例3的聚合物 (A4)合成例4的聚合物 (A5)合成例5的聚合物 (A6)合成例6的聚合物 (A7)合成例7的聚合物 (A8)合成例8的聚合物 (A9)合成例9的聚合物 (A10)合成例10的聚合物 (A11)比較合成例1的聚合物 (B)黑色著色劑 內醯胺系有機黑色顏料分散液(CI-IM-126,阪田公司(SAKATA Corp.);有機黑色顏料的固體含量:15重量%) (C)光可聚合單體 (C1):二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯(Dipentaerythritol hexa(meth)acrylate,DPHA,日本化藥股份有限公司) (C2):由化學式8表示的化合物(LTM II,巴斯夫公司(BASF)) [化學式8](在化學式8中,r及s獨立地為整數2) (D)光聚合引發劑 肟系引發劑(NCI-831,艾迪科公司(ADEKA Corp.)) (E)溶劑 (E-1)丙二醇單甲醚乙酸酯(Propylene glycol monomethyl ether acetate,PGMEA,西格瑪-奧德里奇公司(Sigma-Aldrich Corporation)) (E-2)乙二醇二甲醚(EDM,西格瑪-奧德里奇公司) (F)其他添加劑 表面活性劑(畢克(BYK)-307,畢克化學公司)
評估
將根據實例1至實例10以及比較例1的感光性樹脂組成物分別塗覆在10 cm*10 cm ITO玻璃(電阻30 Ω)上,在100℃加熱板上以代理型加熱了1分鐘且再以接觸型加熱了1分鐘以形成1.2 μm厚的感光性樹脂膜。使用具有各種大小圖案的罩幕並以曝光器(優志旺有限公司(Ushio Inc.)的UX-1200SM-AKS02)改變曝光劑量而將分別塗覆在基板上的感光性樹脂膜曝光,且然後在室溫下在2.38% TMAH溶液(水性顯影液)中進行了顯影以將被曝光區溶解,並用純水洗滌了50秒以形成圖案。
通過使用奧林巴斯公司(Olympus Corp.)的MX51T-N633MU測量每一圖案的大小並參照圖案大小計算為實現20 μm圖案所耗費的能量對靈敏度進行了評估,且結果示於表2中。
通過在250℃下將基板固化1小時而測量了靈敏度。然後,通過利用掃描電子顯微鏡(日立有限公司(Hitachi Ltd.)的S-4300 FE-SEM)對其橫截面進行分析而測量了每一錐角,且結果示於表2中。
[表2]
參考表2,根據實施例的感光性樹脂組成物包含了含有由化學式1表示的結構單元(及由化學式2表示的結構單元)的聚合物,且因此與包含不含有所述結構單元的聚合物的感光性樹脂組成物相比顯示出了優異的靈敏度並維持了低的錐角。
雖然已結合目前被認為是實用的示例性實施例對本發明進行了描述,但是應理解,本發明並不僅限於所揭示的實施例,而是相反地,本發明意欲涵蓋包含在隨附權利要求書的精神和範圍內的各種修改形式和等效佈置。因此,上述實施例應理解為示例性的,而非以任何方式限制本發明。
無。
無。
Claims (17)
- 一種感光性樹脂組成物,包含:黏合劑樹脂,包含聚合物,所述聚合物包含由化學式1表示的結構單元;黑色著色劑;光可聚合單體;光聚合引發劑;以及溶劑:其中,在化學式1中,每一個R1為氫原子或者經取代或未經取代的C1至C20烷基,*1、*2、*3以及*4與所述聚合物的其他部分鍵結,且L1由化學式1-1至化學式1-3中的一者表示,其中,在化學式1-1中,L2為經取代或未經取代的C1至C10伸烷基、氧原子、硫原子或*-S(=O)2-*,且每一個*與所述聚合物的另一部分鍵結,其中,在化學式1-2中,R2至R5獨立地為氫原子或者經取代或未經取代的C1至C10烷基,且L3及L4獨立地為經取代或未經取代的C1至C10伸烷基,且每一個*與所述聚合物的另一部分鍵結,其中,在化學式1-3中,R6及R7獨立地為氫原子或者經取代或未經取代的C1至C10烷基,L5及L6獨立地為經取代或未經取代的C1至C10申烷基,且n為介於1至10範圍內的整數,且每一個*與所述聚合物的另一部分鍵結。
- 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物,其中*1、*2、*3以及*4為氫原子或所述聚合物的骨架部分。
- 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物,其中*1以及*2為氫原子,且*3以及*4為所述聚合物的骨架部分。
- 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物,其中*1以及*2為所述聚合物的骨架部分,且*3以及*4為氫原子。
- 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物,其中所述聚合物的重量平均分子量為3,000g/mol至約20,000g/mol。
- 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物,其中所述黑色著色劑包含有機黑色顏料。
- 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物,其中以所述感光性樹脂組成物的總量計,所述感光性樹脂組成物包含:1重量%至30重量%的所述聚合物;1重量%至25重量%的所述黑色著色劑;0.5重量%至10重量%的所述光可聚合單體;0.1重量%至5重量%的所述光聚合引發劑;以及餘量為所述溶劑。
- 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物,其中所述感光性樹脂組成物更包含以下添加劑:丙二酸、3-氨基-1,2-丙二醇、矽烷系偶合劑、流平劑、表面活性劑、自由基聚合引發劑或其組合。
- 一種黑色像素界定層,其特徵在於,使用如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物來製造。
- 如申請專利範圍第15項所述的黑色像素界定層,其係用在一種顯示裝置。
- 如申請專利範圍第15項所述的黑色像素界定層,其係用在一種有機發光二極體的顯示裝置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020170021076A KR102087261B1 (ko) | 2017-02-16 | 2017-02-16 | 감광성 수지 조성물, 이를 이용한 블랙 화소 격벽층 및 디스플레이 장치 |
??10-2017-0021076 | 2017-02-16 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201832006A TW201832006A (zh) | 2018-09-01 |
TWI655504B true TWI655504B (zh) | 2019-04-01 |
Family
ID=63106315
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW106131906A TWI655504B (zh) | 2017-02-16 | 2017-09-18 | 感光性樹脂組成物、使用其的黑色像素界定層及顯示裝置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10558118B2 (zh) |
KR (1) | KR102087261B1 (zh) |
CN (1) | CN108445712B (zh) |
TW (1) | TWI655504B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102064297B1 (ko) * | 2017-02-16 | 2020-01-09 | 삼성에스디아이 주식회사 | 감광성 수지 조성물, 이를 이용한 블랙 화소 격벽층 및 디스플레이 장치 |
CN109554150B (zh) * | 2018-10-15 | 2021-08-24 | 哈尔滨工业大学无锡新材料研究院 | 一种uv可降解超透生物粘接剂及其制备方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101573409A (zh) * | 2006-12-26 | 2009-11-04 | 综研化学株式会社 | 近红外线吸收薄膜用粘合剂树脂及使用它的近红外线吸收滤光片 |
WO2014088161A1 (ko) * | 2012-12-05 | 2014-06-12 | 제일모직 주식회사 | 흑색 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 차광층 |
KR101401145B1 (ko) * | 2013-03-21 | 2014-06-27 | (주)이그잭스 | 감광성 수지 조성물 |
TW201512778A (zh) * | 2013-09-06 | 2015-04-01 | Samsung Sdi Co Ltd | 彩色濾光片用感光性樹脂組成物及使用其的彩色濾光片 |
TW201701074A (zh) * | 2015-06-25 | 2017-01-01 | 三星Sdi股份有限公司 | 黑色感光性樹脂組成物、感光性樹脂層、及含有其的顯示元件 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2967162D1 (en) * | 1978-09-29 | 1984-09-13 | Hitachi Ltd | Light-sensitive polymer composition |
DE2933871A1 (de) * | 1979-08-21 | 1981-03-12 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zur herstellung hochwaermebestaendiger reliefstrukturen und deren verwendung. |
US4515887A (en) * | 1983-08-29 | 1985-05-07 | General Electric Company | Photopatternable dielectric compositions, method for making and use |
JPS60180197A (ja) * | 1984-02-27 | 1985-09-13 | 宇部興産株式会社 | 多層プリント配線板の製造方法 |
US5270431A (en) * | 1987-07-23 | 1993-12-14 | Basf Aktiengesellschaft | Preparation of oligomeric or polymeric radiation-reactive intermediates for solvent-structured layers |
US5587275A (en) * | 1994-07-05 | 1996-12-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Photosensitive resin composition and a process for forming a patterned polyimide film using the same |
US5616448A (en) * | 1995-01-27 | 1997-04-01 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Photosensitive resin composition and a process for forming a patterned polyimide film using the same |
US5914354A (en) * | 1996-08-12 | 1999-06-22 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Radiation-sensitive resin composition |
JPH10111568A (ja) | 1996-08-12 | 1998-04-28 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物 |
KR100548625B1 (ko) | 2003-03-24 | 2006-01-31 | 주식회사 엘지화학 | 고내열성 투명 폴리이미드 전구체 및 이를 이용한 감광성수지 조성물 |
JP2005148611A (ja) | 2003-11-19 | 2005-06-09 | Hitachi Chemical Dupont Microsystems Ltd | 感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターンの製造方法、電子部品 |
JP2006227063A (ja) | 2005-02-15 | 2006-08-31 | Hitachi Chemical Dupont Microsystems Ltd | ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品 |
JP4899695B2 (ja) | 2006-07-31 | 2012-03-21 | 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 | 感光性樹脂組成物、硬化膜、パターン硬化膜の製造方法および電子部品 |
JP2008077025A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-04-03 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 感光性ペースト |
JP2010008780A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Fujifilm Corp | 光重合性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、固体撮像素子、並びに平版印刷版原版 |
JP5504735B2 (ja) | 2009-07-31 | 2014-05-28 | 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 | ポジ型感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法及び電子部品 |
KR101010036B1 (ko) | 2009-08-28 | 2011-01-21 | 주식회사 엘지화학 | 신규한 폴리아믹산, 이를 포함하는 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된 드라이 필름 |
US9085661B1 (en) | 2012-10-26 | 2015-07-21 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Photomechanically active copolyimides derived from an azobenzenediamine, a rigid dianhydride, and a flexible dianhydride |
KR20140081463A (ko) * | 2012-12-21 | 2014-07-01 | 제일모직주식회사 | 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 차광층 |
KR20150007571A (ko) * | 2013-07-11 | 2015-01-21 | 제일모직주식회사 | 흑색 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 차광층 |
KR101682018B1 (ko) * | 2013-10-04 | 2016-12-02 | 제일모직 주식회사 | 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 차광층 |
TWI563030B (en) * | 2014-10-01 | 2016-12-21 | Chi Mei Corp | Photosensitive resin composition for black matrix, black matrix, color filter and method for manufacturing the same, and liquid crystal display apparatus |
KR101804259B1 (ko) * | 2015-03-24 | 2017-12-04 | 삼성에스디아이 주식회사 | 감광성 수지 조성물, 이를 이용한 블랙 컬럼 스페이서 및 컬러필터 |
WO2016194769A1 (ja) * | 2015-05-29 | 2016-12-08 | 富士フイルム株式会社 | ポリイミド前駆体組成物、感光性樹脂組成物、硬化膜、硬化膜の製造方法、半導体デバイスおよびポリイミド前駆体組成物の製造方法 |
-
2017
- 2017-02-16 KR KR1020170021076A patent/KR102087261B1/ko active IP Right Grant
- 2017-09-14 US US15/704,305 patent/US10558118B2/en active Active
- 2017-09-18 CN CN201710856166.7A patent/CN108445712B/zh active Active
- 2017-09-18 TW TW106131906A patent/TWI655504B/zh active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101573409A (zh) * | 2006-12-26 | 2009-11-04 | 综研化学株式会社 | 近红外线吸收薄膜用粘合剂树脂及使用它的近红外线吸收滤光片 |
WO2014088161A1 (ko) * | 2012-12-05 | 2014-06-12 | 제일모직 주식회사 | 흑색 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 차광층 |
KR101401145B1 (ko) * | 2013-03-21 | 2014-06-27 | (주)이그잭스 | 감광성 수지 조성물 |
TW201512778A (zh) * | 2013-09-06 | 2015-04-01 | Samsung Sdi Co Ltd | 彩色濾光片用感光性樹脂組成物及使用其的彩色濾光片 |
TW201701074A (zh) * | 2015-06-25 | 2017-01-01 | 三星Sdi股份有限公司 | 黑色感光性樹脂組成物、感光性樹脂層、及含有其的顯示元件 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102087261B1 (ko) | 2020-03-10 |
TW201832006A (zh) | 2018-09-01 |
US20180231889A1 (en) | 2018-08-16 |
CN108445712A (zh) | 2018-08-24 |
CN108445712B (zh) | 2021-06-08 |
KR20180094655A (ko) | 2018-08-24 |
US10558118B2 (en) | 2020-02-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI610135B (zh) | 感光性樹脂組成物、使用其的感光性樹脂層以及顯示裝置 | |
KR102618634B1 (ko) | 흑색 감광성 수지 조성물, 이를 이용하여 제조된 감광성 수지막 및 표시장치 | |
TWI657100B (zh) | 感光性樹脂組成物、使用其的黑色像素界定層及顯示裝置 | |
KR101804259B1 (ko) | 감광성 수지 조성물, 이를 이용한 블랙 컬럼 스페이서 및 컬러필터 | |
TWI655260B (zh) | 感光性樹脂組成物及使用其的感光性樹脂層及彩色濾光片 | |
TW202020062A (zh) | 感光性樹脂組成物、感光性樹脂層以及彩色濾光片層 | |
TWI655504B (zh) | 感光性樹脂組成物、使用其的黑色像素界定層及顯示裝置 | |
KR101812579B1 (ko) | 감광성 이중층 수지막, 이를 이용한 블랙 컬럼 스페이서, 및 컬러필터 | |
KR101931249B1 (ko) | 감광성 수지 조성물, 이를 이용한 블랙 컬럼 스페이서 및 컬러필터 | |
TWI679251B (zh) | 感光性樹脂組成物、黑色感光性樹脂層以及彩色濾光片 | |
KR102067084B1 (ko) | 감광성 수지 조성물, 이를 이용한 블랙 화소 격벽층 및 디스플레이 장치 | |
TWI621916B (zh) | 感光性樹脂組合物、使用其的黑色畫素界定層以及顯示裝置 | |
TWI673325B (zh) | 化合物、包含其的感光性樹脂組成物以及彩色濾光片 | |
TWI615678B (zh) | 感光樹脂組成物、使用其的黑色柱狀間隙物及彩色濾光片 | |
KR102682916B1 (ko) | 감광성 수지 조성물, 이를 이용하여 제조된 감광성 수지막 및 디스플레이 장치 | |
TWI781550B (zh) | 感光性樹脂組成物、使用其的感光性樹脂層及顯示裝置 | |
KR20190013136A (ko) | 신규한 화합물, 이를 포함하는 감광성 수지 조성물 및 컬러필터 | |
KR102057597B1 (ko) | 감광성 수지 조성물, 이를 이용한 블랙 화소 격벽층 및 디스플레이 장치 | |
KR102055724B1 (ko) | 감광성 수지 조성물, 이를 이용한 블랙 화소 격벽층 및 디스플레이 장치 | |
KR20230149596A (ko) | 감광성 수지 조성물, 이를 이용하여 제조된 감광성 수지막, 상기 감광성 수지막을 포함하는 컬러필터 및 cmos 이미지 센서, 디스플레이 장치 및 카메라 | |
TW202305064A (zh) | 顏料分散液、包括其的感光性樹脂組成物、感光性樹脂層、彩色濾光片以及顯示裝置 | |
KR20190078315A (ko) | 감광성 수지 조성물, 이를 이용한 감광성 수지막, 컬러필터 및 디스플레이 장치 | |
KR20180121206A (ko) | 감광성 수지 조성물, 이를 이용한 흑색 감광성 수지막 및 컬러필터 | |
KR20160066353A (ko) | 감광성 수지막, 이를 이용한 블랙 컬럼 스페이서 및 컬러필터 |