JP7296784B2 - 電気検査用基板 - Google Patents
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Description
<1> 各々がガラス成分を含む複数のセラミック層が互いに積層されてなり、表面及び裏面を有するセラミック基板と、前記セラミック基板の前記表面及び前記裏面の少なくとも一方に形成された電極とを備える電気検査用基板であって、複数の前記セラミック層のうち、前記表面及び前記裏面をそれぞれ構成するセラミック層からなる一対の最外低熱膨張セラミック層と、複数の前記セラミック層のうち、一対の前記最外低熱膨張セラミック層のそれぞれ内側に配され、かつ互いに隣接しないように配されるセラミック層からなる一対の高熱膨張セラミック層と、複数の前記セラミック層のうち、一対の前記高熱膨張セラミック層の間に配される少なくとも1つのセラミック層からなる中央低熱膨張セラミック層とを備え、前記高熱膨張セラミック層におけるガラス成分の熱膨張係数は、前記最外低熱膨張セラミック層及び前記中央低熱膨張セラミック層におけるガラス成分の熱膨張係数よりも、大きい電気検査用基板。
以下、本発明の実施形態1を、図1及び図2を参照しつつ説明する。図1は、本実施形態の電気検査用冶具100の使用方法を示す説明図である。本実施形態の電気検査用冶具100は、図1に示されるように、電気検査用基板1と、導電性の複数のプローブ2とを備える。
(低熱膨張グリーンシートの作製)
セラミック原料粉末として、平均粒径が3.0μmであり、SiO2、Al2O3、B2O3を主成分とするホウケイ酸系ガラス粉末1(熱膨張係数:4.7ppm/℃(30~300℃))と、平均粒径が2.0μmであるムライト粉末と、平均粒径が2.0μmであるアルミナ粉末とを用意した。また、バインダ成分としてのアクリル系バインダと、成形後のグリーンシートに適度な柔軟性を与える可塑剤成分としてのジオクチルフタレート(以下、DOP)と、適当なスラリー粘度とシート強度を持たせる溶剤としてのメチルエチルケトン(以下、MEK)及びトルエンを用意した。
セラミック原料粉末として、平均粒径が3.0μmであり、SiO2、Na2O、B2O3を主成分とするホウケイ酸系ガラス粉末2(熱膨張係数:6.1ppm/℃(30~300℃))と、平均粒径が2.0μmのアルミナ粉末とを用意した。また、バインダ成分としてのアクリル系バインダと、可塑剤としてのDOPと、溶剤としてのMEK及びトルエンを用意した。
セラミック原料粉末として、平均粒径が2.0μmのアルミナ粉末を用意した。また、バインダ成分としてのアクリル系バインダ、可塑剤としてのDOPと、溶剤としてのMEK及びトルエンを用意した。そして、アルミナ粉末1000gを、アルミナ製のポットに入れ、更に、アクリル系バインダ(固形分:120g)と、適量のDOP及びMEKを上記ポットに入れて3時間混合することにより、セラミックスラリー3を得た。そして、ドクターブレード法により、PETからなるキャリアフィルム上で、得られたセラミックスラリー3をシート状とし、厚みが0.50mmの拘束シートを得た。
図3は、グリーンシート積層体40の構成を模式的に表した説明図である。図3に示されるように、上記のようにして製造された低熱膨張グリーンシート50、高熱膨張グリーンシート60及び拘束シート70を積層して、グリーンシート積層体40を得た。具体的には、3枚の低熱膨張グリーンシート50を積層することにより、第1グリーンシート積層体41を作製した。続いて、その第1グリーンシート積層体41の表面及び裏面のそれぞれに、1枚ずつ高熱膨張グリーンシート60を積層することにより、第2グリーンシート積層体42を作製した。また、第2グリーンシート積層体42の表面及び裏面のそれぞれに、1つずつ低熱膨張グリーンシートを積層することにより、第3グリーンシート積層体43を得た。そして、その第3グリーンシート積層体43の表面及び裏面のそれぞれに、1枚ずつ拘束シート70を積層することにより、目的とするグリーンシート積層体40を得た。
高熱膨張グリーンシートとして、以下に示されるものを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、実施例2のセラミック基板を作製した。
実施例1のホウケイ酸系ガラス粉末2に代えて、平均粒径が3.8μmであり、ZnO、Na2O、B2O3を主成分とするホウ酸系ガラス粉末(熱膨張係数:7.3ppm/℃(30~300℃))を使用したこと以外は、実施例1と同様にして、実施例2の高熱膨張グリーンシート(厚み:0.25mm)を作製した。
高熱膨張グリーンシートに代えて、低熱膨張グリーンシートを使用したこと(つまり、拘束シート以外はすべて低熱膨張グリーンシートを使用したこと)以外は、実施例1と同様にして、比較例1のセラミック基板を作製した。
高熱膨張グリーンシートに代えて、以下に示される低熱膨張グリーンシートを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、比較例2のセラミック基板を作製した。
実施例1のホウケイ酸系ガラス粉末2に代えて、平均粒径が5.0μmであり、SiO2、ZnO、B2O3を主成分とするホウケイ酸系ガラス粉末(熱膨張係数:4.0ppm/℃(30~300℃))を使用したこと以外は、実施例1と同様にして、比較例2の低熱膨張グリーンシート(厚み:0.25mm)を作製した。
各実施例及び各比較例のセラミック基板から、厚み2mm×長さ20mm×幅2mmの直方体状の試験片をそれぞれ作製した。これらの試験片について、TMA(熱機械分析装置)を用いて、-50℃~500℃の間の収縮量を測定した。そして、各試験片について、各温度の収縮量に基づいて、室温(25℃)~100℃の間の熱膨張係数を算出した。なお、この熱膨張係数は、試験片の長さが20mmの場合における変形量である。そのため、その熱膨張係数に基づいて、実製品を想定した長さ(直径:300mm)における変形量(300mm時の変形量)を、以下の換算式を利用して算出した。結果は表1に示した。なお、換算式は、以下の通りである。
(300mm時の変形量[mm])=(熱膨張係数の測定値)×(100-25)×(300/2)
各実施例及び各比較例のセラミック基板から、厚み4.0mm×長さ10mm×幅10mmの直方体状の試験片をそれぞれ作製した。これらの試験片について、以下に示される方法で、破壊靭性を評価した。なお、破壊靭性は、試験片に生じた亀裂の長さと、試験片のヤング率とから算出される。先ず、試験片の表面を研磨した。その試験片に対して、微小硬度計を用いて対面角136°のダイヤモンド製の圧子を、下降速度50μm/秒で当てることで、試験片に亀裂を発生させ、その亀裂の長さを測定した。そして、測定された亀裂の長さと、ヤング率(121GPa)とを用いて、各試験片の破壊靭性値を求めた。結果は、表1に示した。
各実施例及び各比較例のセラミック基板から、厚み4.0mm×長さ100mm×幅100mmの直方体状の試験片をそれぞれ作製した。これらの試験片について、一方の面側の最表層を研磨により除去した。例えば、実施例1の場合、図1に示されるように、低熱膨張グリーンシート50より形成される最外低熱膨張セラミック層17を、切断線Xの位置まで、研磨により除去した。このように最表層を除去した状態の試験片について、微小部応力測定装置を用いて、最表層が除去された側の表面の応力(残留応力)を測定した。結果は、図6に示した。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
Claims (2)
- 各々がガラス成分を含む複数のセラミック層が互いに積層されてなり、表面及び裏面を有するセラミック基板と、前記セラミック基板の前記表面及び前記裏面の少なくとも一方に形成された電極とを備える電気検査用基板であって、
複数の前記セラミック層のうち、前記表面及び前記裏面をそれぞれ構成するセラミック層からなる一対の最外低熱膨張セラミック層と、
複数の前記セラミック層のうち、一対の前記最外低熱膨張セラミック層のそれぞれ内側に配され、かつ互いに隣接しないように配されるセラミック層からなる一対の高熱膨張セラミック層と、
複数の前記セラミック層のうち、一対の前記高熱膨張セラミック層の間に配される少なくとも1つのセラミック層からなる中央低熱膨張セラミック層とを備え、
前記高熱膨張セラミック層におけるガラス成分の熱膨張係数は、前記最外低熱膨張セラミック層及び前記中央低熱膨張セラミック層におけるガラス成分の熱膨張係数よりも、大きく、
前記高熱膨張セラミック層における前記ガラス成分の前記熱膨張係数と、前記最外低熱膨張セラミック層及び前記中央低熱膨張セラミック層における前記ガラス成分の前記熱膨張係数との差は、30℃以上300℃以下の温度条件下において、1.0ppm/℃以上であり、
一対の前記高熱膨張セラミック層は、前記セラミック基板を構成する全てのセラミック層において、20体積%以上35体積%以下である電気検査用基板。 - 前記高熱膨張セラミック層における前記ガラス成分の前記熱膨張係数と、前記最外低熱膨張セラミック層及び前記中央低熱膨張セラミック層における前記ガラス成分の前記熱膨張係数との差は、30℃以上300℃以下の温度条件下において、3.0ppm/℃以下である請求項1に記載の電気検査用基板。
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