JP7293500B2 - 透明電極、透明電極の製造方法、および電子デバイス - Google Patents
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Description
に関するものである。
前記導電性領域が、前記基材側から順に第1の透明導電性金属酸化物層、金属層、第2の透明導電性金属酸化物層、およびグラフェン含有層が積層された構造を有しており、
前記高抵抗領域にグラフェン骨格を有する化合物が存在しないものである。
(a)透明基材を準備する工程:
(b)以下の工程を含む、積層体を形成する工程:
(b1)前記透明基材の上に、第1の透明導電性金属酸化物層を形成する工程;
(b2)前記第1の透明導電性金属酸化物層の上に金属層を形成する工程;
(b3)前記金属層の上に第2の透明導電性金属酸化物層を形成する工程;および
(b4)第2の透明導電性金属酸化物層の上にグラフェン含有層を形成する工程、および
(c)前記積層体をパターニングして、複数の導電性領域を形成する工程:
を含むものである。
まず、第1の実施形態に係る透明電極の構成について図1を参照しながら説明すると以下の通りである。
tin oxide、FTO)、アルミニウムドープ亜鉛酸化物(Aluminium
doped zinc oxide、AZO)、インジウムドープ亜鉛酸化物(Indium doped zinc oxide、IZO)等が挙げられる。上記金属酸化物はアモルファス構造を含有し、膜厚は各30~200nmが好ましく、35~100nmであることがより好ましく、40~70nmであることがさらに好ましい。アモルファス構造を有すると連続的で均一、平坦な膜を形成しやすい。膜厚が過度に小さいと抵抗が大きくなる傾向があり、過度に大きいと透明性が低下し、形成に時間がかかる。上記した材料の中ではITOが中性pHでゼータ電位が0に近く陽イオンや陰イオンとの相互作用が小さいため好ましい。
第2の実施形態に係る透明電極200の製造方法を図2を参照しながら説明すると以下の通りである。
工程(b)は、
(b1)前記透明基材201の上に、第1の透明導電性金属酸化物層202を形成する工程;
(b2)前記第1の透明導電性金属酸化物層202の上に金属層203を形成する工程;
(b3)前記金属層203の上に第2の透明導電性金属酸化物層204を形成する工程;および
(b4)第2の透明導電性金属酸化物層204の上にグラフェン含有層205を形成する工程、
の素工程を、この順に行うことを含む。
(i)積層体の表面上に、メタンや水素などの基本原料に加えて、アンモニア、ピリジン、メチルアミン、エチレンジアミン、または尿素などの低分子窒素化合物を組み合わせて、化学蒸着法によってN-グラフェン含有層を形成させる、
(ii)別の基材上にグラフェン含有を形成させた後、それを積層体の上に転写する、
(iii)積層体の表面に無置換グラフェン膜を形成させた後、窒素プラズマ中で処理して製造する、
などの方法で、グラフェン含有層を形成することもできる。
図3を用いて、第3の実施形態の一つに係る電子デバイスの構成について説明する。図3は、本実施形態に係る電子デバイスの一例である光電変換素子(太陽電池セル)300の構成概略図である。太陽電池セル300は、このセルに入射してきた太陽光L等の光エネルギーを電力に変換する太陽電池としての機能を有する素子である。太陽電池セル300は、実施形態による透明電極310と、対向電極330と、その間に設けられた光電変換層320とを具備している。
図4を用いて、第3の別の実施形態に係る有機EL素子400の構成概略図である。有機EL素子400は、この素子に入力された電気エネルギーを光Lに変換する発光素子としての機能を有する素子である。有機EL素子400は、実施形態による透明電極410と、対向電極430と、その間に設けられた光電変換層(発光層)420とを具備している。
図5に示す構造の透明電極500を製造する。
実施例1と同様にして透明電極を形成した後に、単層グラフェン層をさらに転写して、導電領域および分離領域ともグラフェンでコートする。この透明電極を3%塩水中に浸漬して+0.5V(対銀―塩化銀電極)で10分間電位をかける。水洗後シート抵抗を測定すると抵抗の増大は20%以上である。
実施例1と同様にして透明電極を製造する。次にレーザースクライブにより13mm間隔で幅約40μmの分離領域で降りされた導電性領域を形成させる。この透明電極を3%塩水中に浸漬して+0.5V(対銀―塩化銀電極)で10分間電位をかける。水洗後シート抵抗を測定すると抵抗の増大は10%以下である。
実施例1と同様に、a-ITO/合金層/a-ITOの積層構造をスパッタ法で100μmのPETフィルム上に形成する。表面抵抗は8~10Ω/□である。その上に平面状の、炭素原子の一部が窒素原子に置換された、N-グラフェン層が積層されたバリア層を形成する。
実施例3で得られる透明電極上に、チタン(IV)イソプロポキシドに対して5wt%のニオブ(V)ブトキシドを含有するイソプロパノール溶液をメニスカス塗布する。窒素雰囲気中、室温で乾燥後、湿度40%の大気中で130℃のホットプレート上で乾燥する。この操作により、N-グラフェン含有層の上に、Nbがドープされたn型の酸化チタン層を形成する。
この透明電極を3%塩水中に浸漬して+0.5V(対銀―塩化銀電極)で10分間電位をかける。水洗後シート抵抗を測定すると抵抗の増大は5%以下である。
図6に示す太陽電池セル60を製造する。
有機EL素子を製造する。6角格子状の線幅50μmの銅グリッドが形成されたPET基材上に実施例3と同様にしての方法によりa-ITO層、合金層613、a-ITO層、グラフェン含有層を具備する積層体を形成させる。次いでスクライブにより分離領域を形成させて、透明電極を形成させる。このとき、銅グリッドが除去されない強度に調整してスクライブを行う。その上に電子輸送層としてフッ化リチウムの水溶液を塗布し、n型の半導体としても機能し、発光層でもあるトリス(8-ヒドロキシキノリン)アルミニウム(Alq3)(40nm)を蒸着して光電変換層を形成する。その上にN,N’-ジ-1-ナフチル-N,N’-ジフェニル-1,1’-ビフェニル-4,4’-ジアミン(以下、NPDという)を30nmの厚さで蒸着し正孔輸送層を形成する。その上に金電極をスパッタ法により製膜する。さらに形成された素子の周囲を封止することにより有機EL素子を形成する。得られる有機EL素子は出力光の劣化が少なく、1000時間連続運転しても出力の低下は3%以下である。
101…透明基材
102…第1の透明導電性酸化物層
103…金属層
104…第2の透明導電性酸化物層
105…グラフェン含有層
106…導電性領域
107…高抵抗領域
200…太陽電池セル
201…透明基材
202…第1の透明導電性酸化物層
203…金属層
204…第2の透明導電性酸化物層
205…グラフェン含有層
206…積層体
206a…導電性領域
207…高抵抗領域
300…太陽電池セル
310…透明電極
311…透明基材
312…第1の透明導電性酸化物層
313…金属層
314…第2の透明導電性酸化物層
315…グラフェン含有膜
317…高抵抗領域
320…光電変換層
330…対向電極
400…有機EL素子
410…透明電極
411…透明基材
412…第1の透明導電性酸化物層
413…金属層
414…第2の透明導電性酸化物層
415…グラフェン含有膜
417…高抵抗領域
420…光電変換層(発光層)
430…対向電極
500…透明電極
501…PETフィルム
502…a-ITO
503…銀、Pd合金
504…a-ITO
505…N-グラフェン含有層
506…導電性領域
507…高抵抗領域
600…太陽電池セル
610…透明電極
611…PET基材
611a…銅グリッド
612…a-ITO層
613…合金層
614…a-ITO層
615…N-グラフェン含有層
620…電子注入層
630…電子輸送層
640…光電変換層
650…ステンレス箔
660…N-グラフェン層
670…PEDOT・PSSを含む層
680…紫外線カット層
690…ガスバリア層
Claims (18)
- 透明基材と、その表面に配置された、高抵抗領域で相互に分離された複数の導電性領域とを具備する透明電極であって、
前記導電性領域が、前記透明基材側から順に第1の透明導電性金属酸化物層、金属層、第2の透明導電性金属酸化物層、およびグラフェン含有層が積層された構造を有しており、
前記高抵抗領域にグラフェン骨格を有する化合物が存在しない、透明電極。 - 前記グラフェン含有層に含まれるグラフェンのグラフェン骨格を構成する炭素の一部が窒素によって置換されている、請求項1に記載の透明電極。
- 前記グラフェン含有層に含まれるグラフェンのグラフェン骨格にポリアルキレンイミン鎖が結合されている、請求項1または2に記載の透明電極。
- 前記高抵抗領域にp型無機酸化物、n型の無機酸化物、p型有機化合物またはn型有機化合物を含有する材料が充填されている、請求項1~3のいずれか1項に記載の透明電極。
- 前記第1の透明導電性金属酸化物層または前記第2の透明導電性金属酸化物層に含まれる透明導電性酸化物が、インジウムドープスズ酸化物、フッ素ドープ酸化スズ、アルミニウムドープ亜鉛酸化物、またはインジウムドープ亜鉛酸化物であることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の透明電極。
- 前記グラフェン含有層の上に、p型無機酸化物、n型無機酸化物、p型有機化合物またはn型有機化合物を含む層をさらに具備する、請求項1~5のいずれか1項に記載の透明電極。
- 前記グラフェン含有層の上に酸化グラフェン含有層をさらに具備する、請求項1~6のいずれか1項に記載の透明電極。
- (a)透明基材を準備する工程:
(b)以下の工程を含む、積層体を形成する工程:
(b1)前記透明基材の上に、第1の透明導電性金属酸化物層を形成する工程;
(b2)前記第1の透明導電性金属酸化物層の上に金属層を形成する工程;
(b3)前記金属層の上に第2の透明導電性金属酸化物層を形成する工程;および
(b4)第2の透明導電性金属酸化物層の上にグラフェン含有層を形成する工程、および
(c)前記積層体をパターニングして、複数の導電性領域を形成する工程:
を含む、透明電極の製造方法。 - 前記工程(c)が、メカニカルスクライブ、レーザースクライブ、またはエッチングにより行われる、請求項8に記載の方法。
- 前記工程(b4)が、前記第2の透明導電性金属酸化物層の上に酸化グラフェンを含む水性分散液を塗布し、その後、酸化グラフェンをヒドラジンで還元することにより行われる、請求項8または9に記載の方法。
- 前記水性分散液がポリアルキレンイミンをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 前記工程(b4)が、前記第2の透明導電性金属酸化物層の上に、ポリエチレンイミン鎖が結合したグラフェン含む水性分散液を塗布することにより行われる、請求項8または9に記載の方法。
- 前記工程(b4)と前記工程(c)との間に、グラフェン含有膜の上に酸化グラフェン含有層を形成する工程(b5)をさらに含む、請求項8~12のいずれか1項に記載の方法。
- 前記工程(c)の後に、グラフェン骨格を有する化合物を適用する工程を含まない、請求項8~13のいずれか1項に記載の方法。
- 前記工程(c)の後に、前記複数の導電性領域の間にある空隙に絶縁性物質を充填する、請求項8~14のいずれか1項に記載の方法。
- 請求項1~7のいずれか1項に記載の透明電極と、活性層と、対向電極とが、この順で積層された構造を有する電子デバイス。
- 前記活性層が光電変換層である、請求項16に記載の電子デバイス。
- 前記活性層がハロゲンイオンまたは硫黄化合物を含有する、請求項17に記載の電子デバイス。
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---|---|---|---|---|
KR20240029634A (ko) * | 2022-08-25 | 2024-03-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 이의 제조 방법 |
CN115548142B (zh) | 2022-11-28 | 2023-03-21 | 浙江晶科能源有限公司 | 一种太阳能电池及光伏组件 |
CN117374135B (zh) * | 2023-12-04 | 2024-03-22 | 广东省载诚新材料有限公司 | 一种金属氧化物复合导电膜及其在制备异质结太阳能电池中的应用 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20150130726A1 (en) | 2013-11-08 | 2015-05-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting diode (oled) display |
CN105038222A (zh) | 2015-08-11 | 2015-11-11 | 河南科技大学 | 一种石墨烯/聚乙烯亚胺阻气复合膜及其制备方法 |
JP2017135379A (ja) | 2016-01-21 | 2017-08-03 | 株式会社東芝 | 透明電極、電子デバイス、および電子デバイスの製造方法 |
JP2019021599A (ja) | 2017-07-21 | 2019-02-07 | 株式会社東芝 | 透明電極、およびその製造方法、ならびにその透明電極を用いた電子デバイス |
Family Cites Families (51)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5296043A (en) * | 1990-02-16 | 1994-03-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Multi-cells integrated solar cell module and process for producing the same |
JP4467692B2 (ja) * | 1999-12-22 | 2010-05-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 太陽電池及びその作製方法 |
US6930025B2 (en) * | 2001-02-01 | 2005-08-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Transparent conductive film formation process, photovoltaic device production process, transparent conductive film, and photovoltaic device |
US8455753B2 (en) * | 2005-01-14 | 2013-06-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Solar cell and semiconductor device, and manufacturing method thereof |
WO2006107154A1 (en) * | 2005-03-16 | 2006-10-12 | Korea Advanced Institute Of Science And Technology | Integrated thin-film solar cells and method of manufacturing thereof and processing method of transparent electrode for integrated thin-film solar cells and structure thereof, and transparent substrate having processed transparent electrode |
KR100889457B1 (ko) * | 2006-06-29 | 2009-03-17 | 주식회사 엘지화학 | 폴리에틸렌이민 화합물을 포함하는 회로 배선용 금속 나노잉크 |
CN101889351B (zh) * | 2007-12-05 | 2012-07-18 | 株式会社钟化 | 集成型薄膜光电转换装置及其制造方法 |
CN102239571B (zh) * | 2008-12-04 | 2014-03-19 | 三菱电机株式会社 | 薄膜光电变换装置的制造方法 |
TW201116606A (en) * | 2009-11-03 | 2011-05-16 | Nat Univ Tsing Hua | Method and an apparatus for transferring carbonaceous material layer |
KR101048490B1 (ko) * | 2010-03-29 | 2011-07-11 | 성균관대학교산학협력단 | 할로겐 원소가 포함된 환원제를 포함하는 그래핀옥사이드 환원제, 이에 의한 환원그래핀옥사이드의 제조방법 및 제조된 환원그래핀옥사이드의 용도 |
EP2439779B1 (en) * | 2010-10-05 | 2014-05-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Transparent Electrode Comprising Doped Graphene, Process of Preparing the Same, and Display Device and Solar Cell Comprising the Electrode |
JP5627390B2 (ja) * | 2010-10-22 | 2014-11-19 | 株式会社東芝 | 光電変換素子およびその製造方法 |
US20120277360A1 (en) * | 2010-10-28 | 2012-11-01 | Vorbeck Materials Corp. | Graphene Compositions |
CA2828361A1 (en) * | 2011-02-25 | 2012-12-13 | William Marsh Rice University | Sorption and separation of various materials by graphene oxides |
KR101813172B1 (ko) * | 2011-04-22 | 2017-12-29 | 삼성전자주식회사 | 그래핀 다중층의 제조방법 |
KR101304163B1 (ko) * | 2011-07-04 | 2013-09-04 | (주)엘지하우시스 | 시인성이 개선된 정전용량방식 터치패널 |
FR2980187B1 (fr) | 2011-09-16 | 2013-10-18 | Centre Nat Rech Scient | Formulation de solutions colloidales a base d'oxyde de titane pour procedes d'enduction et d'impression : amelioration du rendement et de la duree de vie des cellules photovoltaiques organiques pin-nip |
KR101388695B1 (ko) * | 2011-10-24 | 2014-04-28 | 삼성전기주식회사 | 그래핀 투명전극 및 이의 제조방법 |
KR101539671B1 (ko) * | 2011-11-21 | 2015-07-27 | 삼성전자주식회사 | 복합 투명 전극을 포함하는 그래핀 기반 포토 디텍터와 그 제조방법 및 포토 디텍터를 포함하는 장치 |
KR101479811B1 (ko) * | 2011-12-02 | 2015-01-08 | 광 석 서 | 투명 전극 필름 제조용 기재 필름 |
JP5710024B2 (ja) * | 2011-12-21 | 2015-04-30 | 三菱電機株式会社 | 太陽電池の製造方法 |
TW201331127A (zh) * | 2012-01-17 | 2013-08-01 | Ritedia Corp | 圖案化石墨烯製備方法 |
KR20130127781A (ko) * | 2012-05-15 | 2013-11-25 | 삼성전기주식회사 | 투명 전극 및 이를 포함하는 전자 재료 |
CN103151468B (zh) * | 2013-03-07 | 2015-08-19 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种有机发光二极管及其制作方法、显示装置 |
JP6147542B2 (ja) * | 2013-04-01 | 2017-06-14 | 株式会社東芝 | 透明導電フィルムおよび電気素子 |
KR101386765B1 (ko) * | 2013-05-23 | 2014-04-21 | 동국대학교 산학협력단 | 그래핀이 코팅된 전도성 전자섬유 및 이의 제조방법 |
JP2016519442A (ja) * | 2013-05-23 | 2016-06-30 | サンパートナー テクノロジーズSunpartner Technologies | 半透明薄層光起電力モノセル |
KR20150112302A (ko) * | 2014-03-27 | 2015-10-07 | 삼성전자주식회사 | 투명 전극 |
US10497893B2 (en) * | 2015-04-15 | 2019-12-03 | Lg Electronics Inc. | Method for doping graphene, method for manufacturing graphene composite electrode, and graphene structure comprising same |
CN104795434B (zh) * | 2015-05-12 | 2019-01-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | Oled像素单元、透明显示装置及制作方法、显示设备 |
FR3037723B1 (fr) * | 2015-06-16 | 2019-07-12 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Procede de realisation d'un empilement du type premiere electrode / couche active / deuxieme electrode. |
WO2017016789A1 (en) * | 2015-07-28 | 2017-02-02 | Imec Vzw | Back contact photovoltaic cells with induced junctions |
CN105493288B (zh) * | 2015-09-15 | 2019-10-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 有机发光像素单元及制备方法,显示面板和显示装置 |
KR102581899B1 (ko) * | 2015-11-04 | 2023-09-21 | 삼성전자주식회사 | 투명 전극 및 이를 포함하는 소자 |
KR102045106B1 (ko) * | 2016-03-07 | 2019-11-14 | 주식회사 엘지화학 | 그래핀-탄소 나노 튜브 복합체, 이를 포함하는 촉매, 상기 촉매를 포함하는 막 전극 접합체, 상기 막 전극 접합체를 포함하는 연료 전지 및 그래핀-탄소 나노 튜브 복합체의 제조방법 |
US10903319B2 (en) * | 2016-06-15 | 2021-01-26 | Nanomedical Diagnostics, Inc. | Patterning graphene with a hard mask coating |
KR101969343B1 (ko) * | 2016-08-19 | 2019-04-16 | 동우 화인켐 주식회사 | 필름 터치 센서 및 필름 터치 센서용 구조체 |
CN106373989B (zh) * | 2016-11-24 | 2019-10-22 | 上海天马有机发光显示技术有限公司 | 一种有机发光显示面板、电子设备以及制作方法 |
KR20180098019A (ko) * | 2017-02-24 | 2018-09-03 | 동우 화인켐 주식회사 | 투명 전극 및 그 제조 방법 |
US10446633B2 (en) * | 2017-10-24 | 2019-10-15 | Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. | Transparent OLED display with transparent storage capacitor and manufacturing method thereof |
US10923726B2 (en) * | 2018-03-08 | 2021-02-16 | Korea Institute Of Science And Technology | Artificial solid electrolyte interphase of a metallic anode for a secondary battery including amino-functionalized carbon structures to protect the anode material, a method for producing the anode and a lithium metal secondary battery including the anode produced by the method |
CN113016078A (zh) * | 2018-09-14 | 2021-06-22 | 无处不在能量公司 | 用于透明光伏器件的多层透明电极的方法和系统 |
CN111201626B (zh) * | 2018-09-18 | 2023-09-12 | 株式会社东芝 | 光电转换元件及其制造方法 |
EP3937267A4 (en) * | 2019-03-05 | 2023-01-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | GRAPHENE-CONTAINING FILM, METHOD OF MANUFACTURE THEREOF, GRAPHENE-CONTAINING FILM LAMINATE AND PHOTOELECTRIC CONVERSION ELEMENT |
JP7204890B2 (ja) * | 2019-09-10 | 2023-01-16 | 株式会社東芝 | 電極の製造方法および光電変換素子の製造方法 |
CN110518079A (zh) * | 2019-09-29 | 2019-11-29 | 信利半导体有限公司 | 一种光电转换率高的薄膜光伏电池及其制备工艺 |
US11495708B2 (en) * | 2019-10-31 | 2022-11-08 | Korea Institute Of Science And Technology | Method of fabricating see-through thin film solar cell |
JP7249430B2 (ja) * | 2020-03-02 | 2023-03-30 | 株式会社東芝 | 透明電極および透明電極の製造方法、ならびに透明電極を具備した光電変換素子 |
FR3112243A1 (fr) * | 2020-07-02 | 2022-01-07 | Microoled | Dispositif optoelectronique matriciel en couches minces |
EP4213221A1 (en) * | 2020-09-09 | 2023-07-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Trasparent electrode, mehod for producing trasparent electrode, and electronic device |
CN115465856A (zh) * | 2021-06-10 | 2022-12-13 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 图形化石墨烯的制备方法 |
-
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Patent Citations (4)
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---|---|---|---|---|
US20150130726A1 (en) | 2013-11-08 | 2015-05-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting diode (oled) display |
CN105038222A (zh) | 2015-08-11 | 2015-11-11 | 河南科技大学 | 一种石墨烯/聚乙烯亚胺阻气复合膜及其制备方法 |
JP2017135379A (ja) | 2016-01-21 | 2017-08-03 | 株式会社東芝 | 透明電極、電子デバイス、および電子デバイスの製造方法 |
JP2019021599A (ja) | 2017-07-21 | 2019-02-07 | 株式会社東芝 | 透明電極、およびその製造方法、ならびにその透明電極を用いた電子デバイス |
Also Published As
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