JP7292463B1 - 位置合わせ装置、位置合わせ方法、ボンディング装置、ボンディング方法、および半導体装置製造方法 - Google Patents
位置合わせ装置、位置合わせ方法、ボンディング装置、ボンディング方法、および半導体装置製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7292463B1 JP7292463B1 JP2022053227A JP2022053227A JP7292463B1 JP 7292463 B1 JP7292463 B1 JP 7292463B1 JP 2022053227 A JP2022053227 A JP 2022053227A JP 2022053227 A JP2022053227 A JP 2022053227A JP 7292463 B1 JP7292463 B1 JP 7292463B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bonding
- pickup
- target mark
- imaging
- registered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 66
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 121
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 46
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 35
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 23
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 11
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 20
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 9
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 7
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000012905 input function Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 241000699670 Mus sp. Species 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/52—Mounting semiconductor bodies in containers
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
Abstract
Description
24)に供給して、半導体特性を利用する半導体装置を製造することができる。すなわち、本発明かかる位置合わせ装置を用い、又は、本発明に係るボンディング装置を利用して、さらには、本発明に係る位置合わせ方法を用い、又は本発明に係るボンディング方法を利用して、半導体装置を製造することができる。
Q ボンディングポジション
S1 ピックアップ側撮像工程
S2 ボンディング側撮像工程
S3 ピックアップ側登録工程
S4 ボンディング側登録工程
S5 位置関係検出工程
S6 ずれ量検出工程
S7 位置調整工程
21 チップ
23 コレット
30 ボンディングアーム
35 ターゲットマーク
36 ピックアップ側撮像手段
37 ピックアップ側登録手段
38 ピックアップ側ずれ量検出手段
39 ボンディング側撮像手段
40 ボンディング側登録手段
41 ボンディング側ずれ量検出手段
42 位置関係検出手段
43 位置調整手段
50、51 画面
Claims (7)
- ボンディングアームに付設されるターゲットマークと、
ピックアップポジションを撮像するピックアップ側撮像手段と、
ボンディングポジションを撮像するボンディング側撮像手段と、
ピックアップ側撮像手段の撮像画面内でターゲットマーク位置を登録するピックアップ側登録手段と、
ボンディング側撮像手段の撮像画面内でターゲットマーク位置を登録するボンディング側登録手段と、
ピックアップ側登録手段にて登録されたターゲットマーク位置とボンディング側登録手段にて登録されたターゲットマーク位置との位置関係を検出する位置関係検出手段と、
ピックアップ側撮像手段で撮像したターゲットマーク位置と、ピックアップ側登録手段にて登録されたターゲットマーク位置とのずれ量を検出するピックアップ側ずれ量検出手段と、
ボンディング側撮像手段で撮像したターゲットマーク位置と、ボンディング側登録手段にて登録されたターゲットマーク位置とのずれ量を検出するボンディング側ずれ量検出手段と、
ピックアップ側ずれ量検出手段にて検出したずれ量と、ボンディング側ずれ量検出手段にて検出したずれ量と、前記位置関係検出手段にて検出した位置関係とに基づいてボンディング位置を調整する位置調整手段とを備え、
ターゲットマークの登録位置は、ピックアップ撮像画面内で中央よりもずれた位置に映し出されるとともに、ターゲットマークの登録位置は、ボンディング撮像画面内で中央よりもずれた位置に映し出されることを特徴とする位置合わせ装置。 - 前記ターゲットマークの登録位置の撮像画面内における中央からのずれ量を、ずらさないときに生じる装置許容範囲外とすることを特徴とする請求項1に記載の位置合わせ装置。
- ピックアップポジションにてボンディングアームに付設されたコレットでチップをピックアップし、このピックアップしたチップをボンディングポジションに搬送して、そのボンディングポジションにてチップをボンディングするボンディング装置であって、
前記請求項1又は請求項2に記載の位置合わせ装置を備えたことを特徴とするボンディング装置。 - ピックアップポジションを撮像するピックアップ側撮像工程と、
ボンディングポジションを撮像するボンディング側撮像工程と、
ピックアップ側撮像工程の撮像画面内でボンディングアームに付設されるターゲットマークのマーク位置を登録するピックアップ側登録工程と、
ボンディング側撮像工程の撮像画面内でボンディングアームに付設されるターゲットマークのマーク位置を登録するボンディング側登録工程と、
ピックアップ側登録工程にて登録されたターゲットマーク位置とボンディング側登録工程にて登録されたターゲットマーク位置との位置関係を検出する位置関係検出工程と、
ピックアップ側撮像工程で撮像したターゲットマーク位置と、ピックアップ側登録工程にて登録されたターゲットマーク位置とのずれ量を検出するピックアップ側ずれ量検出工程と、
ボンディング側撮像工程で撮像したターゲットマーク位置と、ボンディング側登録工程にて登録されたターゲットマーク位置とのずれ量を検出するボンディング用ずれ量検出工程と、
ピックアップ側ずれ量検出工程にて検出したずれ量と、ボンディング側ずれ量検出工程にて検出したずれ量と、前記位置関係検出工程にて検出した位置関係とに基づいてボンディング位置を調整する位置調整工程とを備え、
ターゲットマークの登録位置を、ピックアップ撮像画面内で中央よりもずれた位置に映し出すとともに、ターゲットマークの登録位置を、ボンディング撮像画面内で中央よりもずれた位置に映し出すこと特徴とする位置合わせ方法。 - チップを被供給部材に供給して、半導体特性を利用することで機能する半導体装置を製造する半導体装置製造方法であって、
前記請求項1に記載の位置合わせ装置を用いることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - チップを被供給部材に供給して、半導体特性を利用することで機能する半導体装置を製造する半導体装置製造方法であって、
前記請求項4に記載の位置合わせ方法を用いることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - ピックアップポジションにてボンディングアームに付設されたコレットでチップをピックアップするピックアップ工程と、前記ピックアップ工程にてピックアップしたチップをボンディングポジションに搬送する搬送工程と、前記ボンディングポジションにてチップをボンディングするボンディング工程を備えたことを特徴とするボンディング方法であって、
前記請求項4の位置合わせ方法を用いて、ピックアップ工程前、又は、ピックアップ工程から所定時間経過後に位置合わせを行うことを特徴とするボンディング方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022053227A JP7292463B1 (ja) | 2022-03-29 | 2022-03-29 | 位置合わせ装置、位置合わせ方法、ボンディング装置、ボンディング方法、および半導体装置製造方法 |
PCT/JP2022/040438 WO2023188500A1 (ja) | 2022-03-29 | 2022-10-28 | 位置合わせ装置、位置合わせ方法、ボンディング装置、ボンディング方法、および半導体装置製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022053227A JP7292463B1 (ja) | 2022-03-29 | 2022-03-29 | 位置合わせ装置、位置合わせ方法、ボンディング装置、ボンディング方法、および半導体装置製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP7292463B1 true JP7292463B1 (ja) | 2023-06-16 |
JP2023146172A JP2023146172A (ja) | 2023-10-12 |
Family
ID=86729180
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022053227A Active JP7292463B1 (ja) | 2022-03-29 | 2022-03-29 | 位置合わせ装置、位置合わせ方法、ボンディング装置、ボンディング方法、および半導体装置製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7292463B1 (ja) |
WO (1) | WO2023188500A1 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000079517A (ja) | 1998-09-02 | 2000-03-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 自動組立装置および自動組立方法 |
JP2005277273A (ja) | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品搭載装置および電子部品搭載方法 |
JP2010041001A (ja) | 2008-08-08 | 2010-02-18 | Shinkawa Ltd | ボンディング装置、ボンディング装置の補正量算出方法及びボンディング方法 |
JP2016171107A (ja) | 2015-03-11 | 2016-09-23 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | ボンディング装置及びボンディング方法 |
JP2016197630A5 (ja) | 2015-04-02 | 2018-02-22 | ||
US10861819B1 (en) | 2019-07-05 | 2020-12-08 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | High-precision bond head positioning method and apparatus |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6438826B2 (ja) | 2015-04-02 | 2018-12-19 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | ボンディング装置及びボンディング方法 |
JP6470088B2 (ja) | 2015-04-02 | 2019-02-13 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | ボンディング装置及びボンディング方法 |
-
2022
- 2022-03-29 JP JP2022053227A patent/JP7292463B1/ja active Active
- 2022-10-28 WO PCT/JP2022/040438 patent/WO2023188500A1/ja unknown
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000079517A (ja) | 1998-09-02 | 2000-03-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 自動組立装置および自動組立方法 |
JP2005277273A (ja) | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品搭載装置および電子部品搭載方法 |
JP2010041001A (ja) | 2008-08-08 | 2010-02-18 | Shinkawa Ltd | ボンディング装置、ボンディング装置の補正量算出方法及びボンディング方法 |
JP2016171107A (ja) | 2015-03-11 | 2016-09-23 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | ボンディング装置及びボンディング方法 |
JP2016197630A5 (ja) | 2015-04-02 | 2018-02-22 | ||
JP2016197629A5 (ja) | 2015-04-02 | 2018-02-22 | ||
US10861819B1 (en) | 2019-07-05 | 2020-12-08 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | High-precision bond head positioning method and apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2023188500A1 (ja) | 2023-10-05 |
JP2023146172A (ja) | 2023-10-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6961994B2 (en) | Method of high-speed and accurate alignment using a chip mounting device | |
KR101605587B1 (ko) | 다이 본더 및 그 본드 헤드 장치와 콜릿 위치 조정 방법 | |
CN109906029B (zh) | 电子部件安装装置以及电子部件安装方法 | |
JP2005019950A (ja) | ボンディング装置 | |
JP4710432B2 (ja) | 部品実装装置及び部品実装方法 | |
JP2020017559A (ja) | 搬送機構、電子部品製造装置、搬送方法および電子部品の製造方法 | |
JP4482598B2 (ja) | ボンディング装置、ボンディング装置の補正量算出方法及びボンディング方法 | |
US11823938B2 (en) | Mounting device and mounting method | |
JP7292463B1 (ja) | 位置合わせ装置、位置合わせ方法、ボンディング装置、ボンディング方法、および半導体装置製造方法 | |
KR100672227B1 (ko) | 본딩 장치 | |
JP5391007B2 (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 | |
JP4343989B1 (ja) | ボンディング装置およびボンディング装置に用いられるボンディング領域の位置認識方法及びプログラム | |
KR100696211B1 (ko) | 본딩 장치 | |
JP2820526B2 (ja) | フリップチップボンディングの位置合わせ方法及び装置 | |
CN112218517B (zh) | 安装装置 | |
JP4713287B2 (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 | |
JP2018152375A (ja) | ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法 | |
JP3399334B2 (ja) | バンプ付電子部品の熱圧着装置および熱圧着方法 | |
JP5181383B2 (ja) | ボンディング装置 | |
JPH11330109A (ja) | 素子実装装置及び素子実装方法 | |
JP2020009977A (ja) | 撮像装置、撮像方法、位置決め装置、及びダイボンダ | |
WO2022168275A1 (ja) | ボンディング装置及びボンディング方法 | |
JPH11135995A (ja) | 部品搭載装置 | |
JP2000174042A (ja) | 部品のボンディング方法および装置 | |
JP2001024007A (ja) | 部品のボンディング方法および装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220329 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221028 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20221028 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230425 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230502 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230522 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230606 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7292463 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |