JP2018152375A - ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイボンディング装置は、ダイがボンディングされた基板および前記ダイを撮像する撮像部と、前記撮像部を制御する制御部と、を備える。前記制御部は、(a)前記撮像部の同一露光内において、前記ダイの領域外の基板の領域を第一撮像条件にし、かつ、前記ダイの領域を第二撮像条件にして撮像し、(b)前記撮像部の撮像結果に基づいて前記ダイと前記基板の相対位置の検査を行う。
【選択図】図16
Description
本開示の課題は、ダイと基板の相対位置の検査の検査精度を向上することが可能な技術を提供することである。
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
すなわち、ダイボンディング装置は、ダイがボンディングされた基板および前記ダイを撮像する撮像部と、前記撮像部を制御する制御部と、を備える。前記制御部は、(a)前記撮像部の同一露光内において、前記ダイの領域外の基板の領域を第一撮像条件にし、かつ、前記ダイの領域を第二撮像条件にして撮像し、(b)前記撮像部の撮像結果に基づいて前記ダイと前記基板の相対位置の検査を行う。
このような構成によって、ボンディングヘッド41は、ステージ認識カメラ32の撮像データに基づいてピックアップ位置・姿勢を補正し、中間ステージ31からダイDをピックアップし、基板認識カメラ44の撮像データに基づいて基板PにダイDをボンディングする。
このような構成によって、基板搬送パレット51は、基板供給部6で基板Pを載置し、パレットレール52に沿ってボンディング位置まで移動し、ボンディング後、基板搬出部7まで移動して、基板搬出部7に基板Pを渡す。第1、第2搬送部は、互いに独立して駆動され、一方の基板搬送パレット51に載置された基板PにダイDをボンディング中に、他方の基板搬送パレット51は、基板Pを搬出し、基板供給部6に戻り、新たな基板Pを載置するなどの準備を行なう。
ウェハ認識カメラ24の撮像部IDは鏡筒BTの一端と接続され、鏡筒BTの他端には対物レンズ(図示は省略)が取り付けられ、この対物レンズを通してダイDの主面の画像を撮影する構成となっている。
撮像部IDとダイDとを結ぶ線上の鏡筒BTとダイDとの間には、面発光照明(光源)SL、ハーフミラー(半透過鏡)HMを内部に備えた照明部LDが配置されている。面発光照明SLからの照射光は、ハーフミラーHMによって撮像部IDと同じ光軸で反射され、ダイDに照射される。撮像部IDと同じ光軸でダイDに照射されたその散乱光は、ダイDで反射し、そのうちの正反射光がハーフミラーHMを透過して撮像部IDに達し、ダイDの映像を形成する。すなわち、照明部LDは同軸落射照明(同軸照明)の機能を有する。
実施例のダイボンディング工程では、まず、制御部8は、ウェハ11を保持しているウェハリング14をウェハカセットから取り出してウェハ保持台12に載置し、ウェハ保持台12をダイDのピックアップが行われる基準位置まで搬送する(ウェハローディング(工程P1))。次いで、制御部8は、ウェハ認識カメラ24によって取得した画像から、ウェハ11の配置位置がその基準位置と正確に一致するように微調整を行う。
基板の位置決めおよびダイがボンディングされた基板とダイの相対位置検査の方法について図13〜17を用いて説明する。図13は倣い動作を説明するためのフローチャートである。図14は基板のユニークな部分(選択領域)の例を示す図である。図15はダイがボンディングされた基板を示す図である。図16は連続着工動作を説明するためのフローチャートである。図17はばらつき分を拡張した領域を説明するための図である。
また、実施例では同軸照明は対物レンズ−ダイ間に配置するタイプについて説明したが、レンズ内挿入タイプであってもよい。
また、実施例ではウェハの裏面にDAFが貼付されているが、DAFはなくてもよい。
また、実施例ではピックアップヘッドおよびボンディングヘッドをそれぞれ1つ備えているが、それぞれ2つ以上であってもよい。また、実施例では中間ステージを備えているが、中間ステージがなくてもよい。この場合、ピックアップヘッドとボンディングヘッドは兼用してもよい。
また、実施例ではダイの表面を上にしてボンディングされるが、ダイをピックアップ後ダイの表裏を反転させて、ダイの裏面を上にしてボンディングしてもよい。この場合、中間ステージは設けなくてもよい。この装置はフリップチップボンダという。
1・・・ウェハ供給部
D・・・ダイ
ID・・・撮像部
LD・・・照明部
2・・・ピックアップ部
24・・・ウェハ認識カメラ
3・・・アライメント部
31・・・中間ステージ
32・・・ステージ認識カメラ
4・・・ボンディング部
41・・・ボンディングヘッド
42・・・コレット
44・・・基板認識カメラ
5・・・搬送部
BS・・・ボンディングステージ
P・・・基板
8・・・制御部
Claims (16)
- ダイがボンディングされた基板および前記ダイを撮像する撮像装置と、
前記撮像装置を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記撮像装置の同一露光内において、前記ダイの領域外の基板の領域を第一撮像条件にし、かつ、前記ダイの領域を第二撮像条件にして撮像し、
前記撮像装置の撮像結果に基づいて前記ダイと前記基板の相対位置の検査を行う
ダイボンディング装置。 - 請求項1において、
前記制御部は、
前記撮像装置により前記第一撮像条件でダイがボンディングされていない基板を撮像して基板位置を認識し、
予め決められているダイのボンディング座標と前記認識した基板位置とに基づきダイのボンディングされるべき位置を予測し、
前記予測したボンディングされるべき位置にダイサイズを反映させたダイの形状範囲を予測し、
前記予測したダイの形状範囲に通常起こり得るボンディングばらつき分を拡張した領域を求め、
前記撮像装置により前記領域を前記第二撮像条件にし、前記領域以外の領域を前記第一撮像条件にして撮像するダイボンディング装置。 - 請求項2において、
前記制御部は、リファレンス用の基板に対して、照明値、露光時間、ゲインを調整して前記第一撮像条件とし、
前記リファレンス用の基板に実装されたリファレンス用のダイに対して、照明値、露光時間、ゲインを調整して前記第二撮像条件とし、
前記第二撮像条件の照明値および露光時間は、それぞれ前記第一撮像条件の照明値および露光時間に調整するダイボンディング装置。 - 請求項3において、さらに、
前記ダイが貼り付けられたダイシングテープを保持するウェハリングを保持するウェハ供給部と、
前記ダイシングテープ上のダイを撮像するウェハ認識カメラと、
を備えるダイボンディング装置。 - 請求項4において、さらに、
前記基板または前記ダイを既にボンディングされているダイ上にボンディングするボンディングヘッドを備えるダイボンディング装置。 - 請求項4において、さらに、
前記ダイをピックアップするピックアップヘッドと、
ピックアップされた前記ダイが載置される中間ステージと、
前記中間ステージに載置されたダイを前記基板または既に前記基板にボンディングされたダイ上にボンディングするボンディングヘッドと、
を備えるダイボンディング装置。 - 半導体装置の製造方法は、
(a)ダイが貼付されたダイシングテープを保持するウェハリングホルダを準備する工程と、
(b)第一撮像装置を用いて前記ダイシングテープ上のダイの位置決めを行う工程と、
(c)基板を準備する工程と、
(d)第二撮像装置を用いて前記基板の位置決めを行う工程と、
(e)前記ダイを前記基板または既にボンディングされたダイの上にボンディングする工程と、
(f)前記第二撮像装置を用いて前記ボンディングされたダイと前記基板との相対位置を検査する工程と、
を備え、
前記(f)工程は、前記第二撮像装置の同一露光内において、前記ダイの領域外の基板の領域を第一撮像条件にし、かつ、前記ダイの領域を第二撮像条件にして撮像する。 - 請求項7の半導体装置の製造方法において、
前記(d)工程は前記第二撮像装置により前記第一撮像条件で前記基板を撮像して基板位置を認識し、
前記(f)工程は、
(f1)予め決められているダイのボンディング座標と前記認識した基板位置とに基づきダイのボンディングされるべき位置を予測する工程と、
(f2)前記予測したボンディングされるべき位置にダイサイズを反映させたダイの形状範囲を予測する工程と、
(f3)前記予測したダイの形状範囲に通常起こり得るボンディングばらつき分を拡張した領域を求める工程と、
(f4)前記第二撮像装置により前記領域を前記第二撮像条件にし、前記領域以外の領域を前記第一撮像条件にして撮像する工程と、
を備える。 - 請求項8の半導体装置の製造方法において、さらに、
(g)リファレンス用の基板に対して、照明値、露光時間、ゲインを調整して前記第一撮像条件を得る工程と、
(h)前記リファレンス用の基板に実装されたリファレンス用のダイに対して、照明値、露光時間、ゲインを調整して前記第二撮像条件を得る工程と、
を備え、
前記(h)工程は、前記第二撮像条件の照明値および露光時間を、それぞれ前記第一撮像条件の照明値および露光時間に調整する。 - 請求項9の半導体装置の製造方法において、さらに、
(i)前記ダイをピックアップする工程と、
(j)ピックアップされた前記ダイを中間ステージに載置する工程と、
を備える。 - ダイが貼り付けられたダイシングテープを保持するウェハ供給部と、
前記ダイシングテープ上のダイを撮像するウェハ認識カメラと、
基板を撮像する基板認識カメラと、
前記ウェハ認識カメラおよび基板認識カメラを制御する制御部と、
前記ダイを前記基板にボンディングするボンディングヘッドと、
を備え、
前記制御部は、
前記ウェハ認識カメラにより前記ダイを撮像し前記ダイの位置決めを行い、
前記基板認識カメラにより前記基板を撮像し前記基板の位置決めを行い、
前記基板認識カメラにより前記基板にボンディングされたダイと前記基板とを撮像し前記ダイと前記基板との位置関係の検査を行う場合、
前記基板認識カメラの同一露光内において、前記ダイの領域外の基板の領域を第一撮像条件にし、かつ、前記ダイの領域を第二撮像条件にして撮像し、
前記基板認識カメラの撮像結果に基づいて前記ダイと前記基板の相対位置の検査を行うダイボンディング装置。 - 請求項11において、
前記制御部は、
前記基板認識カメラにより前記第一撮像条件でダイがボンディングされていない基板を撮像して基板位置を認識し、
予め決められているダイのボンディング座標と前記認識した基板位置とに基づきダイのボンディングされるべき位置を予測し、
前記予測したボンディングされるべき位置にダイサイズを反映させたダイの形状範囲を予測し、
前記予測したダイの形状範囲に通常起こり得るボンディングばらつき分を拡張した領域を求め、
前記基板認識カメラにより前記領域を前記第二撮像条件にし、前記領域以外の領域を前記第一撮像条件にして撮像するダイボンディング装置。 - 請求項12において、
前記制御部は、リファレンス用の基板に対して、照明値、露光時間、ゲインを調整して前記第一撮像条件とし、
前記リファレンス用の基板に実装されたリファレンス用のダイに対して、照明値、露光時間、ゲインを調整して前記第二撮像条件とし、
前記第二撮像条件の照明値および露光時間は、それぞれ前記第一撮像条件の照明値および露光時間に調整するダイボンディング装置。 - 半導体装置の製造方法は、
(a)ダイが貼付されたダイシングテープを保持するウェハリングホルダを準備する工程と、
(b)ウェハ認識カメラを用いて前記ダイの位置決めを行う工程と、
(c)基板を準備する工程と、
(d)基板認識カメラを用いて前記基板の位置決めを行う工程と、
(e)前記ダイをピックアップする工程と、
(f)前記ピックアップしたダイを前記基板または既にボンディングされたダイの上にボンディングする工程と、
(g)前記基板認識カメラを用いて前記ダイと前記基板との相対位置を検査する工程と、
を備え、
前記(g)工程は、前記第二撮像装置の同一露光内において、前記ダイの領域外の基板の領域を第一撮像条件にし、かつ、前記ダイの領域を第二撮像条件にして撮像する。 - 請求項14の半導体装置の製造方法において、
前記(d)工程は前記基板認識カメラにより前記第一撮像条件で前記基板を撮像して基板位置を認識し、
前記(g)工程は、
(g1)予め決められているダイのボンディング座標と前記認識した基板位置とに基づきダイのボンディングされるべき位置を予測する工程と、
(g2)前記予測したボンディングされるべき位置にダイサイズを反映させたダイの形状範囲を予測する工程と、
(g3)前記予測したダイの形状範囲に通常起こり得るボンディングばらつき分を拡張した領域を求める工程と、
(g4)前記基板認識カメラにより前記領域を前記第二撮像条件にし、前記領域以外の領域を前記第一撮像条件にして撮像する工程と、
を備える。 - 請求項15の半導体装置の製造方法において、さらに、
(h)リファレンス用の基板に対して、照明値、露光時間、ゲインを調整して前記第一撮像条件を得る工程と、
(i)前記リファレンス用の基板に実装されたリファレンス用のダイに対して、照明値、露光時間、ゲインを調整して前記第二撮像条件を得る工程と、
を備え、
前記(i)工程は、前記第二撮像条件の照明値および露光時間を、それぞれ前記第一撮像条件の照明値および露光時間に調整する。
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