JP7281387B2 - 温度制御システム、及び統合温度制御システム - Google Patents
温度制御システム、及び統合温度制御システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP7281387B2 JP7281387B2 JP2019203219A JP2019203219A JP7281387B2 JP 7281387 B2 JP7281387 B2 JP 7281387B2 JP 2019203219 A JP2019203219 A JP 2019203219A JP 2019203219 A JP2019203219 A JP 2019203219A JP 7281387 B2 JP7281387 B2 JP 7281387B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- section
- heat medium
- heat
- circulation
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F27/00—Control arrangements or safety devices specially adapted for heat-exchange or heat-transfer apparatus
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B30/00—Heat pumps
- F25B30/02—Heat pumps of the compression type
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D23/00—Control of temperature
- G05D23/01—Control of temperature without auxiliary power
- G05D23/12—Control of temperature without auxiliary power with sensing element responsive to pressure or volume changes in a confined fluid
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B1/00—Compression machines, plants or systems with non-reversible cycle
- F25B1/10—Compression machines, plants or systems with non-reversible cycle with multi-stage compression
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B25/00—Machines, plants or systems, using a combination of modes of operation covered by two or more of the groups F25B1/00 - F25B23/00
- F25B25/005—Machines, plants or systems, using a combination of modes of operation covered by two or more of the groups F25B1/00 - F25B23/00 using primary and secondary systems
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B29/00—Combined heating and refrigeration systems, e.g. operating alternately or simultaneously
- F25B29/003—Combined heating and refrigeration systems, e.g. operating alternately or simultaneously of the compression type system
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B41/00—Fluid-circulation arrangements
- F25B41/40—Fluid line arrangements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B49/00—Arrangement or mounting of control or safety devices
- F25B49/02—Arrangement or mounting of control or safety devices for compression type machines, plants or systems
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
- F28D20/00—Heat storage plants or apparatus in general; Regenerative heat-exchange apparatus not covered by groups F28D17/00 or F28D19/00
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D23/00—Control of temperature
- G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
- G05D23/1902—Control of temperature characterised by the use of electric means characterised by the use of a variable reference value
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D23/00—Control of temperature
- G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
- G05D23/1919—Control of temperature characterised by the use of electric means characterised by the type of controller
- G05D23/1921—Control of temperature characterised by the use of electric means characterised by the type of controller using a thermal motor
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D23/00—Control of temperature
- G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
- G05D23/1919—Control of temperature characterised by the use of electric means characterised by the type of controller
- G05D23/1924—Control of temperature characterised by the use of electric means characterised by the type of controller using thermal energy, the availability of which is aleatory
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2339/00—Details of evaporators; Details of condensers
- F25B2339/04—Details of condensers
- F25B2339/047—Water-cooled condensers
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2400/00—General features or devices for refrigeration machines, plants or systems, combined heating and refrigeration systems or heat-pump systems, i.e. not limited to a particular subgroup of F25B
- F25B2400/04—Refrigeration circuit bypassing means
- F25B2400/0401—Refrigeration circuit bypassing means for the compressor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2400/00—General features or devices for refrigeration machines, plants or systems, combined heating and refrigeration systems or heat-pump systems, i.e. not limited to a particular subgroup of F25B
- F25B2400/04—Refrigeration circuit bypassing means
- F25B2400/0403—Refrigeration circuit bypassing means for the condenser
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2400/00—General features or devices for refrigeration machines, plants or systems, combined heating and refrigeration systems or heat-pump systems, i.e. not limited to a particular subgroup of F25B
- F25B2400/04—Refrigeration circuit bypassing means
- F25B2400/0409—Refrigeration circuit bypassing means for the evaporator
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2400/00—General features or devices for refrigeration machines, plants or systems, combined heating and refrigeration systems or heat-pump systems, i.e. not limited to a particular subgroup of F25B
- F25B2400/04—Refrigeration circuit bypassing means
- F25B2400/0411—Refrigeration circuit bypassing means for the expansion valve or capillary tube
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2400/00—General features or devices for refrigeration machines, plants or systems, combined heating and refrigeration systems or heat-pump systems, i.e. not limited to a particular subgroup of F25B
- F25B2400/06—Several compression cycles arranged in parallel
- F25B2400/061—Several compression cycles arranged in parallel the capacity of the first system being different from the second
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2400/00—General features or devices for refrigeration machines, plants or systems, combined heating and refrigeration systems or heat-pump systems, i.e. not limited to a particular subgroup of F25B
- F25B2400/24—Storage receiver heat
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2600/00—Control issues
- F25B2600/02—Compressor control
- F25B2600/025—Compressor control by controlling speed
- F25B2600/0251—Compressor control by controlling speed with on-off operation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2600/00—Control issues
- F25B2600/02—Compressor control
- F25B2600/027—Compressor control by controlling pressure
- F25B2600/0271—Compressor control by controlling pressure the discharge pressure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2600/00—Control issues
- F25B2600/25—Control of valves
- F25B2600/2507—Flow-diverting valves
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/14—Thermal energy storage
Description
制御対象の温度を制御する温度制御システムであって、
第1熱媒体が循環する第1循環回路と、
前記第1循環回路から独立しており、第2熱媒体が循環する第2循環回路と、
前記第1循環回路及び前記第2循環回路から独立しており、前記第1熱媒体及び前記第2熱媒体の使用可能な温度範囲よりも使用可能な温度範囲が広い第3熱媒体が循環する第3循環回路と、を備え、
前記第1循環回路は、
液体状態の前記第1熱媒体を膨張させて霧化させる第1膨張部と、
前記第1熱媒体が流通する第1流通部と、
前記第1膨張部により霧化された第1温度の前記第1熱媒体を、前記第1流通部まで流通させる第1往路と、
気体状態の前記第1熱媒体を圧縮する第1圧縮部と、
前記第1流通部を流通して気化した前記第1熱媒体を、前記第1圧縮部まで流通させる第1復路と、
前記第1圧縮部により圧縮された気体状態の前記第1熱媒体を凝縮させて前記第1膨張部へ供給する第1凝縮部と、
を備え、
前記第2循環回路は、
前記第1温度よりも高い第2温度の前記第2熱媒体を供給する第2調整装置と、
前記第2熱媒体が流通する第2流通部と、
前記第2調整装置から供給された前記第2熱媒体を、前記第2流通部まで流通させる第2往路と、
前記第2流通部を流通した前記第2熱媒体を、前記第2調整装置まで流通させる第2復路と、を備え、
前記第3循環回路は、
前記第3熱媒体が流通し、前記第1流通部と熱交換する第3流通部と、
前記第3熱媒体が流通し、前記第2流通部と熱交換する第4流通部と、
前記第3流通部及び前記第4流通部から、前記制御対象と熱交換する熱交換部まで前記第3熱媒体を流通させる第3往路と、
前記熱交換部から前記第3流通部及び前記第4流通部まで前記第3熱媒体を流通させる第3復路と、を備え、前記第3熱媒体を貯留するタンクを備えておらず、
前記温度制御システムは、前記第1流通部と前記第3流通部とで交換する熱量、及び前記第2流通部と前記第4流通部とで交換する熱量を調整する調整部を備えている。
前記第1熱媒体が流通し、第3温度において第1蓄熱材の状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える第1蓄熱部を備え、
前記第1往路は、前記第1膨張部により霧化された前記第1熱媒体を、前記第1流通部及び前記第1蓄熱部まで流通させ、
前記第1復路は、前記第1流通部及び前記第1蓄熱部を流通して気化した前記第1熱媒体を、前記第1圧縮部まで流通させ、
前記第2循環回路は、
前記第2熱媒体が流通し、前記第3温度よりも高い第4温度において第2蓄熱材の状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える第2蓄熱部を備え、
前記第2往路は、前記第2調整装置から供給された前記第2熱媒体を、前記第2流通部及び前記第2蓄熱部まで流通させ、
前記第2復路は、前記第2流通部及び前記第2蓄熱部を流通した前記第2熱媒体を、前記第2調整装置まで流通させる。
制御対象の温度を制御する温度制御システムであって、
第1熱媒体が循環する第1循環回路と、
前記制御対象を加熱し、発熱量を制御可能なヒータと、
前記第1循環回路から独立しており、前記第1熱媒体の使用可能な温度範囲よりも使用可能な温度範囲が広い第3熱媒体が循環する第3循環回路と、を備え、
前記第1循環回路は、
液体状態の前記第1熱媒体を膨張させて霧化させる第1膨張部と、
前記第1熱媒体が流通する第1流通部と、
前記第1膨張部により霧化された第1温度の前記第1熱媒体を、前記第1流通部まで流通させる第1往路と、
気体状態の前記第1熱媒体を圧縮する第1圧縮部と、
前記第1流通部を流通して気化した前記第1熱媒体を、前記第1圧縮部まで流通させる第1復路と、
前記第1圧縮部により圧縮された気体状態の前記第1熱媒体を凝縮させて前記第1膨張部へ供給する第1凝縮部と、
を備え、
前記第3循環回路は、
前記第3熱媒体が流通し、前記第1流通部と熱交換する第3流通部と、
前記第3流通部から、前記制御対象と熱交換する熱交換部まで前記第3熱媒体を流通させる第3往路と、
前記熱交換部から前記第3流通部まで前記第3熱媒体を流通させる第3復路と、を備え、前記第3熱媒体を貯留するタンクを備えておらず、
前記温度制御システムは、前記第1流通部と前記第3流通部とで交換する熱量、及び前記ヒータの発熱量を調整する調整部を備えている。
以下、半導体製造装置の下部電極(制御対象)の温度を制御する温度制御システムに具現化した第1実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図3に示すように、本実施形態の温度制御システム300は、第1実施形態の温度制御システム200に、第1蓄熱ユニット16(第1蓄熱部)及び第2蓄熱ユニット26(第2蓄熱部)を追加している。
以下、第3実施形態について、第2実施形態との相違点を中心に説明する。なお、第1,第2実施形態と同一の部分については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
第1分配弁12では、第1膨張部111から供給された第1熱媒体を、第1流通部114と第1蓄熱ユニット16の第1蓄熱流通部16bとに分配する比率にかかわらず、第1熱媒体の圧力損失が一定である。
第2分配弁22では、第2圧縮機122から供給された第2熱媒体を、第2流通部124と第2蓄熱ユニット26の第2蓄熱流通部26bとに分配する比率にかかわらず、第2熱媒体の圧力損失が一定である。
以下、第4実施形態について、第3実施形態との相違点を中心に説明する。なお、第1~第3実施形態と同一の部分については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
以下、第5実施形態について、第1実施形態との相違点を中心に説明する。なお、第1~第4実施形態と同一の部分については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
以下、第6実施形態について、第1実施形態との相違点を中心に説明する。なお、第1~第5実施形態と同一の部分については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
以下、第7実施形態について、第1実施形態との相違点を中心に説明する。なお、第1~第6実施形態と同一の部分については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
以下、第8実施形態について、第5実施形態との相違点を中心に説明する。なお、第1~第7実施形態と同一の部分については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
Claims (19)
- 制御対象の温度を制御する温度制御システムであって、
第1熱媒体が循環する第1循環回路と、
前記第1循環回路から独立しており、第2熱媒体が循環する第2循環回路と、
前記第1循環回路及び前記第2循環回路から独立しており、前記第1熱媒体及び前記第2熱媒体の使用可能な温度範囲よりも使用可能な温度範囲が広い第3熱媒体が循環する第3循環回路と、を備え、
前記第1循環回路は、
液体状態の前記第1熱媒体を膨張させて霧化させる第1膨張部と、
前記第1熱媒体が流通する第1流通部と、
前記第1膨張部により霧化された第1温度の前記第1熱媒体を、前記第1流通部まで流通させる第1往路と、
気体状態の前記第1熱媒体を圧縮する第1圧縮部と、
前記第1流通部を流通して気化した前記第1熱媒体を、前記第1圧縮部まで流通させる第1復路と、
前記第1圧縮部により圧縮された気体状態の前記第1熱媒体を凝縮させて前記第1膨張部へ供給する第1凝縮部と、
を備え、
前記第2循環回路は、
前記第1温度よりも高い第2温度の前記第2熱媒体を供給する第2調整装置と、
前記第2熱媒体が流通する第2流通部と、
前記第2調整装置から供給された前記第2熱媒体を、前記第2流通部まで流通させる第2往路と、
前記第2流通部を流通した前記第2熱媒体を、前記第2調整装置まで流通させる第2復路と、を備え、
前記第3循環回路は、
前記第3熱媒体が流通し、前記第1流通部と熱交換する第3流通部と、
前記第3熱媒体が流通し、前記第2流通部と熱交換する第4流通部と、
前記第3流通部及び前記第4流通部から、前記制御対象と熱交換する熱交換部まで前記第3熱媒体を流通させる第3往路と、
前記熱交換部から前記第3流通部及び前記第4流通部まで前記第3熱媒体を流通させる第3復路と、を備え、前記第3熱媒体を貯留するタンクを備えておらず、
前記温度制御システムは、前記第1流通部と前記第3流通部とで交換する熱量、及び前記第2流通部と前記第4流通部とで交換する熱量を調整する調整部を備えている、温度制御システム。 - 前記調整部は、前記第1圧縮部の駆動状態を制御する駆動制御部を含む、請求項1に記載の温度制御システム。
- 前記第1循環回路は、前記第1圧縮部をバイパスして前記第1復路から前記第1凝縮部へ前記気化した前記第1熱媒体を流通させるバイパス流路と、前記バイパス流路を開閉する開閉弁とを含み、
前記駆動制御部は、前記開閉弁が開かれた場合に、前記第1圧縮部を停止させる、請求項2に記載の温度制御システム。 - 前記第1循環回路は、前記第1圧縮部と前記第1凝縮部との間を前記第1往路に接続して、前記第1圧縮部により圧縮された気体状態の前記第1熱媒体を前記第1往路に流通させる接続流路と、前記接続流路を開閉する開閉弁とを含む、請求項1~3のいずれか1項に記載の温度制御システム。
- 前記第2調整装置は、
液体状態の前記第2熱媒体を膨張させ霧化させて前記第2往路へ供給する第2膨張部と、
前記第2流通部を流通して気化した前記第2熱媒体が前記第2復路を介して供給され、気体状態の前記第2熱媒体を圧縮する第2圧縮部と、
前記第2圧縮部により圧縮された気体状態の前記第2熱媒体を凝縮させて前記第2膨張部へ供給する第2凝縮部と、を備えている、請求項1~4のいずれか1項に記載の温度制御システム。 - 前記第2調整装置は、
気体状態の前記第2熱媒体を圧縮して前記第2往路へ供給する第2圧縮部と、
前記第2流通部を流通して液化した前記第2熱媒体が前記第2復路を介して供給され、液体状態の前記第2熱媒体を膨張させ霧化させる第2膨張部と、
前記第2膨張部により霧化された前記第2熱媒体を蒸発させて前記第2圧縮部へ供給する蒸発部と、を備えている、請求項1~4のいずれか1項に記載の温度制御システム。 - 前記第1凝縮部は、第1水温の冷却水と前記第1熱媒体とで熱交換させて前記第1熱媒体を凝縮させ、
前記蒸発部は、前記第1水温よりも高い第2水温の冷却水と前記第2熱媒体とで熱交換させて前記第2熱媒体を蒸発させる、請求項6に記載の温度制御システム。 - 前記第2水温の冷却水は、前記第1水温の冷却水が所定部材の冷却に使用されることで加熱された冷却水である、請求項7に記載の温度制御システム。
- 前記第1凝縮部は、冷却水と前記第1熱媒体とで熱交換させて前記第1熱媒体を凝縮させ、
前記蒸発部は、冷却水と前記第2熱媒体とで熱交換させて前記第2熱媒体を蒸発させ、
前記第1凝縮部に供給される前記冷却水を、前記蒸発部を流通した前記冷却水により冷却するプレクーラと、
前記蒸発部に供給される前記冷却水を、前記第1凝縮部を流通した前記冷却水により加熱するプレヒータと、を備える、請求項6に記載の温度制御システム。 - 前記第2調整装置は、発熱量を制御可能なヒータを含む、請求項1~4のいずれか1項に記載の温度制御システム。
- 前記第1循環回路は、
前記第1熱媒体が流通し、第3温度において第1蓄熱材の状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える第1蓄熱部を備え、
前記第1往路は、前記第1膨張部により霧化された前記第1熱媒体を、前記第1流通部及び前記第1蓄熱部まで流通させ、
前記第1復路は、前記第1流通部及び前記第1蓄熱部を流通して気化した前記第1熱媒体を、前記第1圧縮部まで流通させ、
前記第2循環回路は、
前記第2熱媒体が流通し、前記第3温度よりも高い第4温度において第2蓄熱材の状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える第2蓄熱部を備え、
前記第2往路は、前記第2調整装置から供給された前記第2熱媒体を、前記第2流通部及び前記第2蓄熱部まで流通させ、
前記第2復路は、前記第2流通部及び前記第2蓄熱部を流通した前記第2熱媒体を、前記第2調整装置まで流通させる、請求項1~10のいずれか1項に記載の温度制御システム。 - 前記調整部は、
前記第1往路に設けられ、前記第1膨張部により霧化された前記第1熱媒体を、前記第1流通部と前記第1蓄熱部とに分配する比率を変更する第1分配弁と、
前記第2往路に設けられ、前記第2調整装置から供給された前記第2熱媒体を、前記第2流通部と前記第2蓄熱部とに分配する比率を変更する第2分配弁と、を含む、請求項11に記載の温度制御システム。 - 前記第1分配弁及び前記第2分配弁を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記第1膨張部により霧化された前記第1熱媒体を前記第1分配弁により前記第1流通部に流通させる場合に、前記第2調整装置から供給された前記第2熱媒体を前記第2分配弁により前記第2蓄熱部に流通させ、前記第2調整装置から供給された前記第2熱媒体を前記第2分配弁により前記第2流通部に流通させる場合に、前記第1膨張部により霧化された前記第1熱媒体を前記第1分配弁により前記第1蓄熱部に流通させる、請求項12に記載の温度制御システム。 - 前記調整部は、
前記第3復路に設けられ、前記熱交換部から前記第3流通部まで流通する前記第3熱媒体と、前記熱交換部から前記第4流通部まで流通する前記第3熱媒体との比率を変更する第3分配弁を含む、請求項1~13のいずれか1項に記載の温度制御システム。 - 前記調整部は、
前記第3復路に設けられ、前記熱交換部から前記第3流通部まで流通する前記第3熱媒体と、前記熱交換部から前記第4流通部まで流通する前記第3熱媒体との比率を変更する第3分配弁を含み、
前記第1分配弁、前記第2分配弁、及び前記第3分配弁を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記熱交換部から前記第3流通部まで前記第3分配弁により前記第3熱媒体を流通させない場合に、前記第1膨張部により霧化された前記第1熱媒体を前記第1分配弁により前記第1蓄熱部に流通させ、前記熱交換部から前記第4流通部まで前記第3分配弁により前記第3熱媒体を流通させない場合に、前記第2調整装置から供給された前記第2熱媒体を前記第2分配弁により前記第2蓄熱部に流通させる、請求項12又は13に記載の温度制御システム。 - 前記第3復路は、
前記熱交換部から前記第1蓄熱部を介して前記第3流通部まで前記第3熱媒体を流通させる第1仲介復路と、
前記熱交換部から前記第2蓄熱部を介して前記第4流通部まで前記第3熱媒体を流通させる第2仲介復路と、を含む、請求項15に記載の温度制御システム。 - 前記調整部は、
前記第3復路に設けられ、前記熱交換部から前記第3流通部まで流通する前記第3熱媒体と、前記熱交換部から前記第3流通部及び前記第4流通部を介さず前記熱交換部まで戻る前記第3熱媒体と、前記熱交換部から前記第4流通部まで流通する前記第3熱媒体との比率を変更する第4分配弁を含む、請求項1~13のいずれか1項に記載の温度制御システム。 - 制御対象の温度を制御する温度制御システムであって、
第1熱媒体が循環する第1循環回路と、
前記制御対象を加熱し、発熱量を制御可能なヒータと、
前記第1循環回路から独立しており、前記第1熱媒体の使用可能な温度範囲よりも使用可能な温度範囲が広い第3熱媒体が循環する第3循環回路と、を備え、
前記第1循環回路は、
液体状態の前記第1熱媒体を膨張させて霧化させる第1膨張部と、
前記第1熱媒体が流通する第1流通部と、
前記第1膨張部により霧化された第1温度の前記第1熱媒体を、前記第1流通部まで流通させる第1往路と、
気体状態の前記第1熱媒体を圧縮する第1圧縮部と、
前記第1流通部を流通して気化した前記第1熱媒体を、前記第1圧縮部まで流通させる第1復路と、
前記第1圧縮部により圧縮された気体状態の前記第1熱媒体を凝縮させて前記第1膨張部へ供給する第1凝縮部と、
を備え、
前記第3循環回路は、
前記第3熱媒体が流通し、前記第1流通部と熱交換する第3流通部と、
前記第3流通部から、前記制御対象と熱交換する熱交換部まで前記第3熱媒体を流通させる第3往路と、
前記熱交換部から前記第3流通部まで前記第3熱媒体を流通させる第3復路と、を備え、前記第3熱媒体を貯留するタンクを備えておらず、
前記温度制御システムは、前記第1流通部と前記第3流通部とで交換する熱量、及び前記ヒータの発熱量を調整する調整部を備えている、温度制御システム。 - 請求項1~18のいずれか1項に記載の温度制御システムを複数備え、
前記第1膨張部、前記第1圧縮部、及び前記第1凝縮部は、複数の前記温度制御システムに対して1組設けられている、統合温度制御システム。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019203219A JP7281387B2 (ja) | 2019-11-08 | 2019-11-08 | 温度制御システム、及び統合温度制御システム |
TW109135990A TWI826735B (zh) | 2019-11-08 | 2020-10-16 | 溫度控制系統、及統合溫度控制系統 |
KR1020200147378A KR20210056257A (ko) | 2019-11-08 | 2020-11-06 | 온도 제어 시스템 및 통합 온도 제어 시스템 |
CN202011230678.0A CN112781263A (zh) | 2019-11-08 | 2020-11-06 | 温度控制系统及综合温度控制系统 |
US17/093,002 US11788777B2 (en) | 2019-11-08 | 2020-11-09 | Temperature control system and integrated temperature control system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019203219A JP7281387B2 (ja) | 2019-11-08 | 2019-11-08 | 温度制御システム、及び統合温度制御システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021077086A JP2021077086A (ja) | 2021-05-20 |
JP7281387B2 true JP7281387B2 (ja) | 2023-05-25 |
Family
ID=75750361
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019203219A Active JP7281387B2 (ja) | 2019-11-08 | 2019-11-08 | 温度制御システム、及び統合温度制御システム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11788777B2 (ja) |
JP (1) | JP7281387B2 (ja) |
KR (1) | KR20210056257A (ja) |
CN (1) | CN112781263A (ja) |
TW (1) | TWI826735B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102018121390A1 (de) * | 2018-09-03 | 2020-03-05 | Hanon Systems | Thermomanagementanordnung für Fahrzeuge sowie Verfahren zum Betreiben einer Thermomanagementanordnung |
CN114442693B (zh) * | 2021-12-31 | 2023-04-07 | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 | 耦合温控系统及方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001134324A (ja) | 1999-11-09 | 2001-05-18 | Komatsu Ltd | 温度調整システム |
WO2012066763A1 (ja) | 2010-11-15 | 2012-05-24 | 三菱電機株式会社 | 冷凍装置 |
Family Cites Families (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2829134C2 (de) * | 1978-07-03 | 1980-10-02 | Otmar Dipl.-Ing. 8000 Muenchen Schaefer | Heizanlage mit einer Wärmepumpe |
JP2716248B2 (ja) | 1990-07-20 | 1998-02-18 | 松下電器産業株式会社 | ヒートポンプ式空気調和機 |
US5335508A (en) * | 1991-08-19 | 1994-08-09 | Tippmann Edward J | Refrigeration system |
US6063710A (en) | 1996-02-26 | 2000-05-16 | Sony Corporation | Method and apparatus for dry etching with temperature control |
JPH09298192A (ja) | 1996-03-04 | 1997-11-18 | Sony Corp | 半導体装置の製造装置および静電チャックからのウエハ脱着方法 |
TW297871B (en) * | 1996-09-02 | 1997-02-11 | Mos Electronics Taiwan Inc | Automatic switching system for temperature control |
JP3095377B2 (ja) | 1997-12-24 | 2000-10-03 | イノテック株式会社 | チラー装置 |
JP2000339038A (ja) | 1999-05-31 | 2000-12-08 | Komatsu Ltd | 流体温度制御装置および方法 |
JP2004268752A (ja) * | 2003-03-10 | 2004-09-30 | Denso Corp | 熱管理システム |
US7207184B2 (en) | 2004-05-12 | 2007-04-24 | Danfoss A/S | Method for regulating a most loaded circuit in a multi-circuit refrigeration system |
KR100719225B1 (ko) | 2005-12-21 | 2007-05-17 | 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 | 반도체 제조 공정용 온도조절 시스템 |
US8025097B2 (en) * | 2006-05-18 | 2011-09-27 | Centipede Systems, Inc. | Method and apparatus for setting and controlling temperature |
JP4996184B2 (ja) * | 2006-09-19 | 2012-08-08 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハの温度制御装置及びウエハの温度制御方法 |
KR100925236B1 (ko) | 2007-10-18 | 2009-11-05 | 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 | 반도체 제조 장비의 온도 조절 시스템 |
JP5032269B2 (ja) * | 2007-11-02 | 2012-09-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理基板の温度調節装置及び温度調節方法、並びにこれを備えたプラズマ処理装置 |
JP2009168403A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Nishiyama Corp | チラー装置 |
JP2009250810A (ja) * | 2008-04-07 | 2009-10-29 | Seiko Epson Corp | 電子部品の温度制御装置およびハンドラ装置 |
JP2010007955A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Orion Mach Co Ltd | 温度調整装置 |
US8082743B2 (en) * | 2009-02-20 | 2011-12-27 | Tesla Motors, Inc. | Battery pack temperature optimization control system |
JP5445766B2 (ja) | 2010-03-01 | 2014-03-19 | オリオン機械株式会社 | 冷却装置及びその制御方法 |
US20110289953A1 (en) * | 2010-05-27 | 2011-12-01 | Gerald Allen Alston | Thermally Enhanced Cascade Cooling System |
JP4947197B2 (ja) * | 2010-07-15 | 2012-06-06 | ダイキン工業株式会社 | ヒートポンプシステム |
JP2013020509A (ja) | 2011-07-12 | 2013-01-31 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 温度制御装置、温度制御方法及び温度制御システム |
US10553463B2 (en) * | 2011-11-15 | 2020-02-04 | Tokyo Electron Limited | Temperature control system, semiconductor manufacturing device, and temperature control method |
JP5912439B2 (ja) * | 2011-11-15 | 2016-04-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 温度制御システム、半導体製造装置及び温度制御方法 |
JP5904810B2 (ja) | 2012-02-08 | 2016-04-20 | 株式会社Screenセミコンダクターソリューションズ | 基板熱処理装置および基板熱処理方法 |
KR101426884B1 (ko) * | 2013-01-30 | 2014-08-06 | 우범제 | 가스를 매개체로 하는 반도체 및 lcd 제조공정설비의 온도 제어방법 및 온도 제어시스템 |
US9916967B2 (en) | 2013-03-13 | 2018-03-13 | Applied Materials, Inc. | Fast response fluid control system |
JP2015183993A (ja) | 2014-03-26 | 2015-10-22 | 富士通株式会社 | 冷却装置、冷却システム及び電子装置 |
US9527404B2 (en) * | 2014-09-23 | 2016-12-27 | Atieva, Inc. | EV adaptive thermal management system optimized to minimize power consumption |
US20170105313A1 (en) * | 2015-10-10 | 2017-04-13 | Ebullient, Llc | Multi-chamber heat sink module |
SE540259C2 (sv) * | 2014-11-10 | 2018-05-15 | Energy Machines Aps | Värmeanläggning innefattande tre värmepumpar |
JP6474108B2 (ja) | 2016-07-14 | 2019-02-27 | オリオン機械株式会社 | チラーの制御方法及び装置 |
CN106196474B (zh) | 2016-07-27 | 2019-07-23 | 青岛海尔空调器有限总公司 | 空调智能控制方法 |
JP2019009359A (ja) | 2017-06-27 | 2019-01-17 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミック電子部品及びその実装構造 |
JP6990058B2 (ja) | 2017-07-24 | 2022-01-12 | 伸和コントロールズ株式会社 | 温度制御装置 |
WO2020065984A1 (ja) | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 三菱電機株式会社 | 空気調和装置の制御装置、室外機、中継機、熱源機および空気調和装置 |
CN109764516B (zh) * | 2019-01-09 | 2021-07-30 | 重庆海尔空调器有限公司 | 一种能源系统及其控制方法和存储介质 |
JP7353923B2 (ja) * | 2019-11-08 | 2023-10-02 | Ckd株式会社 | 温度制御システム、及び統合温度制御システム |
-
2019
- 2019-11-08 JP JP2019203219A patent/JP7281387B2/ja active Active
-
2020
- 2020-10-16 TW TW109135990A patent/TWI826735B/zh active
- 2020-11-06 CN CN202011230678.0A patent/CN112781263A/zh active Pending
- 2020-11-06 KR KR1020200147378A patent/KR20210056257A/ko not_active Application Discontinuation
- 2020-11-09 US US17/093,002 patent/US11788777B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001134324A (ja) | 1999-11-09 | 2001-05-18 | Komatsu Ltd | 温度調整システム |
WO2012066763A1 (ja) | 2010-11-15 | 2012-05-24 | 三菱電機株式会社 | 冷凍装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112781263A (zh) | 2021-05-11 |
JP2021077086A (ja) | 2021-05-20 |
TW202119156A (zh) | 2021-05-16 |
US20210140688A1 (en) | 2021-05-13 |
TWI826735B (zh) | 2023-12-21 |
KR20210056257A (ko) | 2021-05-18 |
US11788777B2 (en) | 2023-10-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10976085B2 (en) | Air-conditioning apparatus | |
AU2005258416B2 (en) | Hot water supply system | |
WO2017130858A1 (ja) | 温度制御システム、温度制御装置及び冷凍装置 | |
JP5406851B2 (ja) | 温度及び湿度制御を有するテスト・チャンバー | |
JP7281387B2 (ja) | 温度制御システム、及び統合温度制御システム | |
JP2020178469A5 (ja) | ||
JP2006194518A (ja) | 冷凍装置 | |
US11187632B2 (en) | Test chamber and method | |
US11092376B2 (en) | Refrigeration device comprising multiple storage chambers | |
JP7353923B2 (ja) | 温度制御システム、及び統合温度制御システム | |
EP3376121A1 (en) | Heat exchange device and method for operating a heat exchange device | |
US11892203B2 (en) | Method of operating refrigeration cycle device | |
TWI659186B (zh) | 液體溫度調節裝置及溫度控制系統 | |
JP6127099B2 (ja) | 温度調節システム | |
KR20100063680A (ko) | 흡수 냉각기에서 온도를 제어하기 위한 방법 및 시스템 | |
US20230228458A1 (en) | Hot water supply apparatus | |
WO2019167249A1 (ja) | 空気調和機 | |
JP7019214B1 (ja) | 冷温同時温度調整装置 | |
JPWO2019026234A1 (ja) | 冷凍サイクル装置 | |
JP7019215B1 (ja) | 冷温同時温度調整装置 | |
JP5696319B2 (ja) | 圧縮空気除湿装置 | |
JP7372122B2 (ja) | 冷却システム | |
JP2006156781A (ja) | 冷却装置 | |
JP2006153373A (ja) | 冷却装置 | |
JP2022062430A (ja) | 冷却装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191209 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220608 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230427 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230509 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230515 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7281387 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |