JP7272271B2 - 水分バリア性積層フィルム - Google Patents

Description

本発明は、無機バリア層と水分トラップ層とを備えた水分バリア性積層フィルムに関するものであり、さらには、該水分トラップ層の下地となる層の形成に使用される塗布組成物にも関する。

各種プラスチック基材の特性、特にガスバリア性を改善するための手段として、プラスチック基材の表面に、蒸着により、ケイ素酸化物などからなる無機薄膜（無機バリア層）を形成することが知られており（特許文献１）、このような無機薄膜を備えたフィルムは、バリアフィルムとして広く使用されている。

また、近年において開発され、実用されている各種の電子デバイス、例えば有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）、太陽電池、タッチパネル、電子ペーパーなどでは高度の水分バリア性も要求される。このような要求を満たすため、水分トラップ層が積層された構造を有する水分バリア性積層体が本出願人により提案されている（特許文献２）。

上記のような水分トラップ層は、蒸着等によりプラスチックフィルムの表面に形成されている無機バリア層上に、水分トラップ層形成用の塗布組成物を塗布し、硬化させることにより成膜されるものである。

しかしながら、上記のように無機バリア層上に直接塗布して水分トラップ層を形成させた場合、加熱乾燥時の体積収縮によって水分トラップ層の塗膜自体に割れを生じ、結果として水分バリア性やフィルム外観が悪化するといった問題があった。また、無機バリア層と水分トラップ層の密着性が弱く、吸湿時の体積膨張によって膜剥がれ（デラミ）を生じ易いという問題もあった。
例えば、無機バリア層との密着性については、水分トラップ層を成膜した後に１００℃で１時間以上加熱することにより向上可能だが、高温での長時間加熱は生産性を大きく低下させるばかりか、無機バリア層の下地となっているプラスチックフィルムの変形を生じたり、さらには上述した水分トラップ層の塗膜の割れを促進させる恐がある。従って、高温での長時間加熱を行うことなく、水分トラップ層と無機バリア層との密着性を向上させることが求められる。

しかしながら、水分トラップ層の１００℃での短時間の加熱による水分トラップ層と無機バリア層との密着性については、これまで詳細な検討はされていなかったのが実情である。

特開２０００－２５５５７９号公報 特開２０１５－９６３２０号

従って、本発明の目的は、無機バリア層（Ａ１）を表面に有するプラスチックフィルム（Ａ）と、水分トラップ層（Ｂ）とを含む水分バリア性積層フィルムにおいて、ブラスチックフィルム（Ａ）と水分トラップ層（Ｂ）の密着性に優れた水分バリア性積層フィルムを提供することにある。
本発明の他の目的は、上記の水分トラップ層の下地となる層を形成するため塗布組成物を提供することにある。

本発明によれば、無機バリア層（Ａ１）を表面に有するプラスチックフィルム（Ａ）と、水分トラップ層（Ｂ）とを含む水分バリア性積層フィルムにおいて、
前記無機バリア層（Ａ１）と水分トラップ層（Ｂ）との間に、イソシアネートを反応成分としての反応により得られたイソシアネート系重合体を成膜成分として有するイソシアネート系コーティング（Ｃ）が設けられており、該水分トラップ層（Ｂ）は、該イソシアネート系コーティング（Ｃ）を下地として形成されており、
前記イソシアネート系重合体が、６０℃以上のガラス転移点を有する高Ｔｇウレタン樹脂であることを特徴とする水分バリア性積層フィルムが提供される。

本発明の水分バリア性積層フィルムにおいては、下記の態様を好適に採用することができる。
（１）前記高Ｔｇウレタン樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）が１４，０００以上であること。
（２）前記高Ｔｇウレタン樹脂は、エポキシ基、シラノール基及びイソシアネート基からなる群より選択された少なくとも一種の官能基により架橋構造が導入されていること。
（３）前記水分トラップ層（Ｂ）が、吸湿性のポリマーを含有していること。
（４）前記水分トラップ層（Ｂ）が、イオン性ポリマーからなる吸湿性マトリックス中に、さらに該マトリックスよりも到達湿度が低湿度である吸湿剤が分散された構造を有していること。
（５）前記水分トラップ層（Ｂ）中に含まれるイオン性ポリマーが、カチオン性ポリマーであること。
（６）前記無機バリア層（Ａ１）とイソシアネート系コーティング（Ｃ）との間に、保護層（Ｄ）が設けられていること。
（７）前記保護層（Ｄ）が、水溶性高分子（Ｄ１）と、オルガノアルコキシシランあるいはその加水分解物、金属アルコキシド及びその加水分解物及びリン系化合物よりなる群から選ばれる少なくとも１種の成分（Ｄ２）とを含有していること。
このような本発明の水分バリア性積層フィルムは、電子デバイス用封止材として好適に使用される。
さらに本発明によれば、無機バリア層（Ａ１）を表面に有するプラスチックフィルム（Ａ）と、水分トラップ層（Ｂ）とを含む水分バリア性積層フィルムにおいて、
前記無機バリア層（Ａ１）と水分トラップ層（Ｂ）との間に、イソシアネートを反応成分としての反応により得られたイソシアネート系重合体を成膜成分として有するイソシアネート系コーティング（Ｃ）が設けられており、該水分トラップ層（Ｂ）は、該イソシアネート系コーティング（Ｃ）を下地として形成されており、
前記イソシアネート系重合体が、ポリイソシアネートを硬化剤としてイソシアネート反応性樹脂を硬化させたものであり、
前記イソシアネート反応性樹脂が、（メタ）アクリル系樹脂またはポリエステル樹脂であり且つ６０℃以上のガラス転移点を有していることを特徴とする水分バリア性積層フィルムが提供される。
本発明の水分バリア性積層フィルムにおいては、下記の態様を好適に採用することができる。
（１）前記イソシアネート反応性樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）が１４，０００以上であること。
（２）前記水分トラップ層（Ｂ）が、吸湿性のポリマーを含有していること。
（３）前記水分トラップ層（Ｂ）が、イオン性ポリマーからなる吸湿性マトリックス中に、さらに該マトリックスよりも到達湿度が低湿度である吸湿剤が分散された構造を有していること。
（４）前記水分トラップ層（Ｂ）中に含まれるイオン性ポリマーが、カチオン性ポリマーであること。
（５）前記無機バリア層（Ａ１）とイソシアネート系コーティング（Ｃ）との間に、保護層（Ｄ）が設けられていること。
（６）前記保護層（Ｄ）が、水溶性高分子（Ｄ１）と、オルガノアルコキシシランあるいはその加水分解物、金属アルコキシド及びその加水分解物及びリン系化合物よりなる群から選ばれる少なくとも１種の成分（Ｄ２）とを含有していること。
このような本発明の水分バリア性積層フィルムは、電子デバイス用封止材として好適に使用される。

本発明によれば、また、６０℃以上のガラス転移点を有するウレタン系樹脂粒子が溶媒に溶解乃至分散されている塗布組成物からなり、該溶媒には、エポキシ基、シラノール基及びイソシアネート基からなる群より選択された少なくとも１種の官能基を有する硬化剤が、溶解乃至分散されていることを特徴とする水分トラップ層の下地層形成用塗布組成物が提供される。

かかる塗布組成物においては、
（１）前記ウレタン系樹脂粒子が、重量平均分子量（Ｍｗ）が１４，０００以上のウレタン系重合体から形成されていること、
（２）前記ウレタン系樹脂粒子が、０．０２～３μｍの粒子径を有していること、
（３）前記硬化剤として、ポリイソシアネートを、前記ウレタン系樹脂粒子１００重量部当り１～５０重量部の量で含んでいること、
（４）前記硬化剤として、シランカップリング剤を、前記ウレタン系樹脂粒子１００重量部当り０．１～５０重量部の量で含んでいること、
が好適である。

本発明によれば、イソシアネート反応性樹脂粒子が溶媒に溶解乃至分散されている塗布組成物からなる水分トラップ層の下地層形成用塗布組成物であって、該溶媒には、硬化剤としてポリイソシアネートが、溶解乃至分散されており、前記イソシアネート反応性樹脂粒子を形成しているイソシアネート反応性樹脂が、（メタ）アクリル系樹脂またはポリエステル樹脂であり且つ６０℃以上のガラス転移点を有していることを特徴とする水分トラップ層の下地層形成用塗布組成物が提供される。

上記の塗布組成物においては、
（１）前記イソシアネート反応性樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）が１４，０００以上であること、
が好適である。

本発明の水分バリア性積層フィルムは、プラスチックフィルム（Ａ）の表面に存在している無機バリア層（Ａ１）の上に水分トラップ層（Ｂ）が設けられているという基本構造を有するものであるが、この水分トラップ層と無機バリア層との間には、水分トラップ層の下地となるイソシアネート系コーティング（Ｃ）が存在している点に重要な特徴を有している。即ち、かかるイソシアネート系コーティング（Ｃ）は、イソシアネートを反応成分としての反応により得られた重合体（代表的にはポリウレタン）を成膜成分（マトリックス）として有するものであり、本発明では、このようなイソシアネート系コーティング（Ｃ）を下地として水分トラップ層が形成されているため、加熱乾燥に際して水分トラップ層に生じる応力を有効に緩和し、この結果として、水分トラップ層の割れが有効に防止されることとなる。

また、本発明では、上記イソシアネート系コーティング（Ｃ）の組成調整により水分トラップ層（Ｂ）の密着力を大きく向上させることができる。例えば、後述する実験例に示されているように、イソシアネート系コーティング（Ｃ）を下地とせず、水分トラップ層用の塗布組成物を直接無機バリア層表面に塗布した場合には密着力が０．２Ｎ／１５ｍｍ程度である。
一方、本発明に従い、無機バリア層の表面にイソシアネート系コーティング（Ｃ）（例えばウレタン系コーティング）を設け、このようなイソシアネート系コーティング（Ｃ）が水分トラップ層（Ｂ）の下地として設けられている場合において、上記と全く同じ条件での加熱により水分トラップ層を形成した時、この密着力が高められ、特に、エポキシ基、シラノール基、イソシアネート基のいずれかの官能基により架橋構造が導入されている場合には、この密着力は、１Ｎ／１５ｍｍ程度のレベルにまで大きく向上する。
このように水分トラップ層の密着力が向上しているときには、水分トラップ層（Ｂ）は、イソシアネート系コーティング（Ｃ）を介して無機バリア層上に強固に保持され、その剥がれが有効に防止される。

このように本発明の水分バリア性積層フィルムは、水分トラップ層（Ｂ）の割れが有効に回避され、水分トラップ層の性能が十分に発揮され、優れた水分バリア性を安定に示す。また、１００℃以上の温度での長時間の加熱処理を行わずとも、水分トラップ層（Ｂ）は高い密着力で保持される。このため、高い生産性を確保でき、工業的に極めて有利である。

本発明の水分バリア性積層フィルムの層構造の一例を示す図。 図１の水分バリア性積層フィルム中の水分トラップ層（Ｂ）の構造を示す図。 水分バリア性積層フィルムの層構造の他の例を示す図。

図１において、全体として１０で示されている本発明の水分バリア性積層フィルムは、プラスチックフィルム（Ａ）を基材として有しており、このプラスチックフィルム（Ａ）の表面には無機バリア層（Ａ１）が形成されており、この無機バリア層（Ａ１）上には、水分トラップ層（Ｂ）がイソシアネート系コーティング（Ｃ）を下地として設けられている。即ち、プラスチックフィルム（Ａ）の表面の無機バリア層（Ａ１）上には、イソシアネート系コーティング（Ｃ）及び水分トラップ層（Ｂ）がこの順に形成されている。
また、上記プラスチックフィルム（Ａ）においては、無機バリア層（Ａ１）上に保護層（Ｄ）が設けられていることもある。即ち、イソシアネート系コーティング層（Ｃ）は、無機バリア層（Ａ１）上に直接積層されていてもよいし、図３に示されているように、無機バリア層（Ａ１）上に適宜設けられている保護層（Ｄ）上に積層されていてもよい。

＜プラスチックフィルム（Ａ）＞
このフィルム（Ａ）は、無機バリア層（Ａ１）の下地となるものであり、通常、熱可塑性或いは熱硬化性の樹脂により、その形態に応じて、射出乃至共射出成形、押出乃至共押出成形、フィルム乃至シート成形、圧縮成形性、注型重合等により成形される。

一般的には、成形性やコスト等の観点から、熱可塑性樹脂が好適である。
このような熱可塑性樹脂の例としては、低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ１－ブテン、ポリ４－メチル－１－ペンテンあるいはエチレン、プロピレン、１－ブテン、４－メチル－１－ペンテン等のα－オレフィン同志のランダムあるいはブロック共重合体等のポリオレフィン、環状オレフィン共重合体など、そしてエチレン・酢酸ビニル共重合体、エチレン・ビニルアルコール共重合体、エチレン・塩化ビニル共重合体等のエチレン・ビニル化合物共重合体、ポリスチレン、アクリロニトリル・スチレン共重合体、ＡＢＳ、α－メチルスチレン・スチレン共重合体等のスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニル・塩化ビニリデン共重合体、ポリアクリル酸メチル、ポリメタクリル酸メチル等のポリビニル化合物、ナイロン６、ナイロン６－６、ナイロン６－１０、ナイロン１１、ナイロン１２等のポリアミド、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等の熱可塑性ポリエステル、ポリカーボネート、ポリフエニレンオキサイドや、その他、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、フッ素樹脂、アリル樹脂、ポリウレタン樹脂、セルロース樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ケトン樹脂、アミノ樹脂、或いはポリ乳酸などの生分解性樹脂等により形成される。さらに、これらのブレンド物や、これら樹脂が適宜共重合により変性されたもの（例えば、酸変性オレフィン樹脂など）であってもよい。

また、プラスチックフィルム（Ａ）は、エチレン・ビニルアルコール共重合体の如き酸素バリア性に優れたガスバリア性樹脂などにより形成されていることも好適であり、さらには、このようなガスバリア性樹脂により形成された層を含む多層構造を有していてもよい。

本発明においては、入手のし易さ、コスト、成形性、或いは酸素に対して多少なりともバリア性を示し、さらには、後述する無機バリア層（Ａ１）の下地として好適であるという観点から、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）に代表されるポリエステル樹脂や、ポリエチレン、ポリプロピレンに代表されるオレフィン樹脂をプラスチックフィルム（Ａ）として使用することがより好適である。

このようなプラスチックフィルム（Ａ）の厚みは特に制限されず、用途に応じて、適宜の厚みを有していればよい。

＜無機バリア層（Ａ１）＞
さらに、上記のプラスチックフィルム（Ａ）の表面に設けられる無機バリア層（Ａ１）は、例えば特開２０１５－９６３２０号公報等により公知のものであってよく、スパッタリング、真空蒸着、イオンプレーティングなどに代表される物理蒸着や、プラズマＣＶＤに代表される化学蒸着などによって形成される無機質の蒸着膜、例えば各種金属乃至金属酸化物により形成される膜であることが、高い酸素バリア性を確保できると言う点で好適であり、特に、凹凸を有する面にも均一に成膜され、酸素のみならず水分に対しても優れたバリア性を発揮するという点で、プラズマＣＶＤにより、プラスチックフィルム（Ａ）を下地として形成されていることが好ましい。

尚、プラズマＣＶＤによる蒸着膜は、所定の真空度に保持されたプラズマ処理室内に無機バリア層（Ａ１）の下地となるプラスチックフィルム（Ａ）を配置し、膜形成する金属若しくは該金属を含む化合物のガス（反応ガス）及び酸化性ガス（通常酸素やＮＯｘのガス）を、適宜、アルゴン、ヘリウム等のキャリアガスと共に、ガス供給管を用いて、金属壁でシールドされ且つ所定の真空度に減圧されているプラズマ処理室に供給し、この状態でマイクロ波電界や高周波電界などによってグロー放電を発生させ、その電気エネルギーによりプラズマを発生させ、上記化合物の分解反応物をプラスチックフィルムＡの表面に堆積させて成膜することにより得られる。

上記の反応ガスとしては、一般に、下地のフィルム（Ａ）との界面に炭素成分を含む柔軟な領域を有し且つその上に酸化度の高いバリア性に優れた領域を有する膜を形成できるという観点から有機金属化合物、例えばトリアルキルアルミニウムなどの有機アルミニウム化合物や、有機チタン化合物、有機ジルコニウム化合物、有機ケイ素化合物等のガスを用いることが好ましく、特に、酸素に対するバリア性の高い無機バリア層（Ａ１）を比較的容易に効率良く形成できるという点で、有機ケイ素化合物が最も好ましい。

このような有機ケイ素化合物の例としては、ヘキサメチルジシラン、ビニルトリメチルシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラン、メチルトリエトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン等の有機シラン化合物、オクタメチルシクロテトラシロキサン、１，１，３，３－テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン等の有機シロキサン化合物等が使用される。また、これら以外にも、アミノシラン、シラザンなどを用いることもできる。
上述した有機金属化合物は、単独でも或いは２種以上の組合せでも用いることができる。

また、上述した無機バリア層（Ａ１）の厚みは、水分バリア性積層フィルムの用途や要求されるバリア性のレベルによっても異なるが、一般的には、蒸着に際しての下地となるプラスチックフィルム（Ａ）等の特性が損なわれずに、且つ１０^－１ｇ／ｍ^２・ｄａｙ／ａｔｏｍ以下、特に１０^－２ｇ／ｍ^２・ｄａｙ／ａｔｏｍ以下の水蒸気透過度が確保できる程度の厚みとするのがよく、上述した高酸化度領域が占める割合によっても異なるが、一般に、４～５００ｎｍ、特に３０～４００ｎｍ程度の厚みを有していればよい。

さらに、上記の無機バリア層（Ａ１）は、蒸着等の手法によらず、コーティング等によってプラスチックフィルム（Ａ）上に形成することもできる。即ち、コーティングにより形成される無機バリア層（Ａ１）は、上述した蒸着等により形成されるものと比較すると、酸素バリア性等の特性は低いが、要求される酸素等に対するバリア性の程度によっては、コーティングにより形成されたものであってもよい。

コーティングにより形成される無機バリア層（Ａ１）としては、ポリシラザンや、重縮合性のシラン化合物（例えばアルコキシシランなど）、重縮合性のアルミナ化合物（例えばアルコキシアルミニウムなど）を成膜成分として含み、適宜、シリカやアルミナ等の無機微粒子が混合された有機溶媒溶液を用い、これを所定の面に塗布し、加熱し、有機溶媒を揮散して成膜するものが代表的である。

＜水分トラップ層（Ｂ）＞
水分トラップ層（Ｂ）は、この水分バリア性積層フィルム１０に対して厚み方向に流れる水分を遮断するものであり、このような水分遮断性を示すものであれば、特に制限されず、所定の樹脂層中にゼオライトやシリカゲル等の物理的乾燥剤や、酸化カルシウム等の化学的乾燥剤を分散させたものなどの吸湿性を有する無機粒子や、ポリビニルアルコールや水溶性ナイロン、ポリエチレンオキサイドなどの吸湿性を有する非イオン性ポリマー等、それ自体公知の層であってよい。
特に、水分に対する高いバリア性が要求される場合には、例えば、特開２０１５－９６３２０号等に開示されているイオン性ポリマーをマトリックスとし、このマトリックス中にイオン性ポリマーよりも到達湿度が低い吸湿剤が分散された構造を有するものが好適である。このようなイオン性ポリマーをマトリックスとするものは、水分捕捉性が優れ、しかも分散された吸湿剤に水分を閉じ込めることで、水分吸収に起因する膨潤などの変形を有効に回避することができるからである。

イオン性ポリマー；
本発明に用いるイオン性ポリマーには、下記のカチオン性ポリマーやアニオン性ポリマーがある。

カチオン性ポリマーは、水中で正の電荷となり得るカチオン性基、例えば、１～３級アミノ基、４級アンモニウム基、ピリジル基、イミダゾール基、４級ピリジニウムなどを分子中に有しているポリマーである。このようなカチオン性ポリマーは、カチオン性基が、求核作用が強く、かつ水素結合により水を補足するため、吸湿性を有するマトリックスを形成することができる。
カチオン性ポリマー中のカチオン性基量は、一般に、形成される吸湿性マトリックスの吸水率（ＪＩＳ Ｋ－７２０９－１９８４）が湿度８０％ＲＨ及び３０℃雰囲気下において５％以上、特に３０％～４５％となるような量であればよい。

また、カチオン性ポリマーとしては、アリルアミン、エチレンイミン、ビニルベンジルトリメチルアミン、［４－（４－ビニルフェニル）－メチル］－トリメチルアミン、ビニルベンジルトリエチルアミン等のアミン系単量体；ビニルピリジン、ビニルイミダゾール等の含窒素複素環系単量体；及び、それらの塩類；に代表されるカチオン性単量体の少なくとも１種を、適宜、共重合可能な他の単量体と共に、重合乃至共重合し、さらに必要により、酸処理により部分中和させて得られるものが使用される。
このようなカチオン性ポリマーについては、特開２０１５－９６３２０号等に詳述されており、その詳細は省略するが、一般的には、ポリアリルアミンが成膜性等の観点から好適である。

一方、アニオン性ポリマーは、水中で負の電荷となり得るアニオン性の官能基、例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、ホスホン酸基や、これらの基が部分的に中和された酸性塩基を分子中に有しているポリマーである。このような官能基を有するアニオン性ポリマーは、上記官能基が水素結合により水を補足するため、吸湿性マトリックスを形成することができる。
アニオン性ポリマー中のアニオン性官能基量は、官能基の種類によっても異なるが、前述したカチオン性ポリマーと同様、形成される吸湿性マトリックスの吸水率（ＪＩＳ Ｋ－７２０９－１９８４）が湿度８０％ＲＨ及び３０℃雰囲気下において５％以上、特に３０％～４５％となるような量であればよい。

上記のような官能基を有するアニオン性ポリマーとしては、例えば、メタクリル酸、アクリル酸、無水マレイン酸等のカルボン酸系単量体；α－ハロゲン化ビニルスルホン酸、スチレンスルホン酸、ビニルスルホン酸等のスルホン酸系単量体；ビニルリン酸等のホスホン酸系単量体；及びこれら単量体の塩類；などに代表されるアニオン性単量体の少なくとも１種を、適宜、共重合可能な他の単量体と共に重合乃至共重合させ、さらに必要により、アルカリ処理により部分中和させて得られるものが使用される。
このようなアニオン性ポリマーについても、特開２０１５－９６３２０号等に詳述されており、その詳細は省略するが、一般的には、ポリ（メタ）アクリル酸及びその部分中和物（例えば一部がＮａ塩であるもの）である。

水分トラップ層（Ｂ）の構造；
図２（ａ）或いは（ｂ）を参照して、水分トラップ層（Ｂ）中には、上記のマトリックスを形成するイオン性ポリマー（カチオン性或いはアニオン性ポリマー）よりも到達湿度が低い吸湿剤が配合されていることが好適である。
このようにマトリックスよりも高い吸湿性を有する吸湿剤を分散させることにより、前述したイオン性ポリマーにより形成されたマトリックスに吸収された水分が直ちに吸湿剤に捕捉され、吸収された水分のマトリックス中への閉じ込めが効果的に行われることとなり、極めて低湿度雰囲気でも水分の吸湿能力を有効に発揮することができるばかりか、水分の吸収による水分トラップ層（Ｂ）の膨潤が有効に抑制される。

上記のような高吸湿性の吸湿剤としては、イオン性ポリマーよりも到達湿度が低いことを条件として、例えば、湿度８０％ＲＨ及び温度３０℃の環境条件での到達湿度が６％以下のものが好適に使用される。即ち、この吸湿剤の到達湿度がイオン性ポリマーよりも高いと、マトリックスに吸収された水分の閉じ込めが十分でなく、水分の放出等を生じ易くなるため、水分バリア性の著しい向上が望めなくなってしまう。また、到達湿度がイオン性ポリマーよりも低い場合であっても、上記条件で測定される到達湿度が上記範囲よりも高いと、例えば低湿度雰囲気での水分のトラップが不十分となり、水分バリア性を十分に発揮できないおそれがある。

上記のような吸湿剤は、一般に湿度８０％ＲＨ及び温度３０℃雰囲気下において５０％以上の吸水率（ＪＩＳ Ｋ－７２０９－１９８４）を有しており、無機系及び有機系のものがある。
無機系の吸湿剤としては、ゼオライト、アルミナ、活性炭、モンモリロナイト等の粘土鉱物、シリカゲル、酸化カルシウム、硫酸マグネシウムなどを挙げることができる。
有機系の吸湿剤としては、アニオン系ポリマー若しくはその部分中和物の架橋物を挙げることができる。このアニオン系ポリマーとしては、カルボン酸系単量体（（メタ）アクリル酸や無水マレイン酸など）、スルホン酸系単量体（ハロゲン化ビニルスルホン酸、スチレンスルホン酸、ビニルスルホン酸など）、ホスホン酸系単量体（ビニルリン酸など）及びこれら単量体の塩類等に代表されるアニオン性単量体の少なくとも１種を、重合或いは他の単量体と共重合させて得られるものを挙げることができる。特に透明性が求められる用途においては、有機系の吸湿剤が有効である。例えば、架橋ポリ（メタ）アクリル酸Ｎａの微細粒子などが代表的な有機系吸湿剤である。

本発明においては、比表面積が大となり、高い吸湿性を示すという観点から粒子径が小さな吸湿剤が好ましく（例えば、平均一次粒子径が１００ｎｍ以下、特に８０ｎｍ以下）、特に粒径の小さな有機系ポリマーの吸湿剤が最適である。
即ち、有機系ポリマーの吸湿剤は、イオン性ポリマーのマトリックスに対する分散性が極めて良好であり、均一に分散させることができるばかりか、これを製造するための重合法として乳化重合や懸濁重合などを採用することにより、その粒子形状を微細で且つ揃った球形状とすることができ、これをある程度以上配合することにより、極めて高い透明性を確保することが可能となる。
また、有機系の微細な吸湿剤では、前述した到達湿度が著しく低く、高い吸湿性を示すばかりか、架橋によって膨潤による体積変化も極めて少なくすることができ、従って、体積変化を抑制しながら、環境雰囲気を絶乾状態もしくは絶乾状態に近いところまで湿度を低下させる上で最適である。
このような有機系の吸湿剤の微粒子としては、例えば架橋ポリアクリル酸Ｎａ微粒子（平均粒子径約７０ｎｍ）がコロイド分散液（ｐＨ＝１０．４）の形で東洋紡株式会社よりタフチックＨＵ－８２０Ｅの商品名で市販されている。

本発明において、上記のような吸湿剤の量は、その特性を十分に発揮させ、水分バリア性の著しい向上及び膨潤による寸法変化を有効に抑制させると同時に、無機バリア層（Ａ１）が示すバリア性よりも高い水分バリア性を長期間にわたって確保するという観点から、イオン性ポリマーの種類に応じて設定される。
例えば、上述した水分トラップ層（Ｂ）は、特に超水分バリア性が要求されるような用途では、水蒸気透過度が１０^－５ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下となるような超バリア性を発揮させる程度の厚み（例えば、１μｍ以上、特に２～２０μｍ程度）に設定されるが、マトリックスがカチオン性ポリマーにより形成されている場合には、水分トラップ層（Ｂ）中のイオン性ポリマー１００重量部当り、５０重量部以上、特に１００～９００重量部の量で存在することが好ましく、更には２００～６００重量部の量であることがより好ましい。また、マトリックスがアニオン性ポリマーにより形成されている場合には、水分トラップ層Ｂ中のアニオン性ポリマー１００重量部当り、５０重量部以上、特に１００～１３００重量部の量で存在することが好ましく、更には１５０～１２００重量部の量であることがより好ましい。

また、上記のような構造を有する水分トラップ層（Ｂ）では、イオン性ポリマーに架橋構造が導入されていることが好適である。即ち、イオン性ポリマー中に架橋構造が導入されていると、水を吸収したとき、カチオン性ポリマーの分子が架橋によって互いに拘束されることとなり、膨潤（水分吸収）による体積変化を抑制し、機械的強度や寸法安定性の向上がもたらされる。
このような架橋構造は、水分トラップ層（Ｂ）を形成するための塗布組成物中に架橋剤を配合しておくことにより導入することができる。特にアニオン性ポリマーの場合、カチオン性ポリマーとは異なって、水素結合による水の補足のみなので、吸湿に適した空間の網目構造（架橋構造）をマトリックス中に導入することにより、その吸湿性を大きく高めることができる。

このような架橋構造を導入するための架橋剤は、カチオン性ポリマーに架橋構造を導入する場合と、アニオン性ポリマーに架橋構造を導入する場合とで若干異なっている。

カチオン性ポリマー用の架橋剤としては、カチオン性基と反応し得る架橋性官能基（例えば、エポキシ基）と、加水分解と脱水縮合を経て架橋構造中にシロキサン構造を形成し得る官能基（例えば、アルコシシリル基）を有している化合物を使用することができ、特に、下記式（１）：
Ｘ－ＳｉＲ^１ _ｎ（ＯＲ^２）_３－ｎ （１）
式中、Ｘは、末端にエポキシ基を有する有機基であり、
Ｒ^１及びＲ^２は、それぞれ、メチル基、エチル基、もしくは
イソプロピル基であり、
ｎは、０、１、もしくは２である、
で表されるシラン化合物が好適に使用される。

このようなシラン化合物は、官能基としてエポキシ基とアルコキシシリル基とを有しており、エポキシ基がカチオン性ポリマーの官能基（例えばＮＨ_２）と付加反応する。一方アルコキシシリル基は、加水分解によりシラノール基（ＳｉＯＨ基）を生成し、縮合反応を経てシロキサン構造を形成して成長することにより、最終的にカチオン性ポリマー鎖間に架橋構造を形成する。これにより、カチオン性ポリマーのマトリックスには、シロキサン構造を有する架橋構造が導入されることとなる。
しかも、カチオン性ポリマーはアルカリ性であり、この結果、カチオン性ポリマーを含むコーティング組成物を塗布して水分トラップ層Ｂを形成する際、カチオン性基とエポキシ基の付加反応やシラノール基間の脱水縮合も速やかに促進され、容易に架橋構造を導入することができる。

本発明において、上記式（１）中のエポキシ基を有する有機基Ｘとしては、γ－グリシドキシアルキル基が代表的であり、例えばγ－グリシドキシプロピルトリメトキシシランやγ－グリシドキシプロピルメチルジメトキシシランが架橋剤として好適に使用される。
また、上記式（１）中のエポキシ基が、エポキシシクロヘキシル基のような脂環式エポキシ基であるものも架橋剤として好適である。例えば、β－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシランのような脂環式エポキシ基を有する化合物を架橋剤として使用した場合には、マトリックスの架橋構造中に、シロキサン構造と共に、脂環構造が導入される。このような脂環構造の導入は、吸湿に適した空間の網目構造を形成するというマトリックスの機能を更に効果的に発揮させることができる。

さらに、上記の架橋構造中に脂環構造を導入するために、複数のエポキシ基と脂環基とを有している化合物、例えば、下記式（２）：
Ｇ－Ｏ（Ｃ＝Ｏ）－Ａ－（Ｃ＝Ｏ）Ｏ－Ｇ （２）
式中、Ｇは、グリシジル基であり、
Ａは、脂肪族環を有する２価の炭化水素基、例えばシクロアルキレン基である、
で表されるジグリシジルエステルを、架橋剤として使用することができる。このようなジグリシジルエステルの代表的なものは、下記の式（２－１）で表される。

即ち、式（２）のジグリシジルエステルは、アルコキシシリル基を有していないが、架橋構造中に脂環構造を導入するため、マトリックス中に吸湿に適した空間の網目構造を形成するという点で効果的である。

上述した架橋剤は、カチオン性ポリマー１００重量部当り、５～６０重量部、特に１５～５０重量部の量で使用することが望ましく、このような架橋剤の少なくとも７０重量％以上、好ましくは８０重量％以上が、前述した式（１）のシラン化合物であることが望ましい。

また、アニオン性ポリマーに架橋構造を導入するための架橋剤としては、アニオン性ポリマーが有しているイオン性基と反応し得る架橋性官能基（例えばエポキシ基）を２個以上有している化合物を使用することができ、カチオン性マトリックス用のコーティング組成物でも挙げられた式（２）：
Ｇ－Ｏ（Ｃ＝Ｏ）－Ａ－（Ｃ＝Ｏ）Ｏ－Ｇ （２）
式中、Ｇは、グリシジル基であり、
Ａは、脂肪族環を有する２価の炭化水素基、例えばシクロアルキレ
ン基である、
で表されるジグリシジルエステルが好適に使用される。

即ち、上記式（２）のジグリシジルエステルにおいては、エポキシ基がアニオン性基と反応し、２価の基Ａによる脂環構造を含む架橋構造がマトリックス中に形成される。このような脂環構造を含む架橋構造によりされ、膨潤の抑制がもたらされる。
特に、上記のジグリシジルエステルの中でも好適なものは、先にも挙げられており、特に、吸湿に適した空間の網目構造を形成できるという観点から、先の式（２－１）で表されるジグリシジルエステルが最も好適である。

このようなアニオンポリマー用の架橋剤は、アニオン性ポリマー１００重量部当り、１５０重量部、特に１０～４０重量部の量で使用することが望ましい。

水分トラップ層（Ｂ）の形成；
また、上述した水分トラップ層（Ｂ）は、マトリックスとなる樹脂中に吸湿剤及び必要により架橋剤を所定の溶媒に溶解乃至分散したコーティング組成物を使用し、このコーティング組成物を、後述する無機バリア層（Ａ１）上に形成されたイソシアネート系コーティング（Ｃ）上に塗布し、加熱乾燥して溶媒を除去することにより形成される。かかる加熱乾燥は、通常、１００～１７０℃程度の温度で３分以下、特に０．２５～１分程度の短時間で行われ、これにより、イソシアネート系コーティング（Ｃ）を介して、無機バリア層（Ａ１）にしっかりと密着した水分トラップ層（Ｂ）を形成することができる。

なお、１００℃以上の高温に長時間（例えば１時間以上）加熱することにより、イソシアネート系コーティング（Ｃ）を下地とすることなく、水分トラップ層（Ｂ）と無機バリア層（Ａ１）の密着力を強固に保持することはできる。即ち、水分トラップ層（Ｂ）のマトリックス樹脂或いは架橋剤に存在する反応性を有する官能基と、無機バリア層（Ａ１）の表面に存在するシラノール基（ＳｉＯＨ基）との縮合反応を進行させることによって密着力が上昇するものと考えられる。
しかしながら、このような手段では、既に述べたように、高温での長時間加熱が必要となり、無機バリア層（Ａ１）の下地となるプラスチックフィルム（Ａ）の熱変形や、水分トラップ層（Ｂ）の塗膜自体に割れなどを生じる恐れがあり、生産速度も大きく低下してしまう。このような不都合を回避するために、上記のように、１００℃よりも低い温度で且つ短時間での加熱により、水分トラップ層（Ｂ）を形成することが必要である。

また、上記のような水分トラップ層（Ｂ）の形成に使用されるコーティング組成物において、溶媒としては、比較的低温での加熱により揮散除去し得るものであれば特に制限されず、例えば、メタノール、エタノール、プロピルアルコール、ブタノール等のアルコール性溶媒、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン溶媒、或いはこれら溶媒と水との混合溶媒、或いはベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶媒などを使用することができるが、シラン化合物が架橋剤として配合されている場合には、その加水分解を促進させるために、水或いは水を含む混合溶媒を使用することが望ましい。さらに、アニオンポリマーを含む水分トラップ層（Ｂ）を形成する場合には、アルカリ（例えば水酸化ナトリウムなど）添加により、ｐＨが８乃至１２程度となるようにｐＨ調整されていることが望ましい。

尚、上述した溶媒は、コーティング組成物がコーティングに適した粘度となるような量で使用されるが、コーティング組成物の粘度調整のため、或いは形成される吸湿性マトリックスの吸水率を適宜の範囲に調整するため、非イオン性重合体を適宜の量で配合することもできる。
このような非イオン性重合体としては、ポリビニルアルコール、エチレン－プロピレン共重合体、ポリブチレン等の飽和脂肪族炭化水素系ポリマー、スチレンーブタジエン共重合体等のスチレン系ポリマー、ポリ塩化ビニル、或いは、これらに、各種のコモノマー（例えばビニルトルエン、ビニルキシレン、クロロスチレン、クロロメチルスチレン、α－メチルスチレン、α－ハロゲン化スチレン、α，β，β´－トリハロゲン化スチレン等のスチレン系モノマーや、エチレン、ブチレン等のモノオレフィンや、ブタジエン、イソプレン等の共役ジオレフィンなど）を、共重合させたものなどを挙げることができる。

本発明において、上述した水分トラップ層（Ｂ）としては、特にカチオン性ポリマーをマトリックス（成膜成分）として含むものが好適である。即ち、このようなカチオン性ポリマーを有するものは、特に高い密着性を確保するために１００℃以上の高温での長時間加熱が必要であるが、本発明では、以下に述べるイソシアネート系コーティング（Ｃ）を下地として設けておくことにより、このような高温、長時間の加熱を行うことなく、強固に密着保持された水分トラップ層（Ｂ）を形成することができ、本発明の利点を最大限に活用することができるからである。

＜イソシアネート系コーティング（Ｃ）＞
上記でも簡単に述べたが、本発明においては、プラスチックフィルム（Ａ）と水分トラップ層（Ｂ）の間にイソシアネート系コーティング（Ｃ）が設けられており、このイソシアネート系コーティング（Ｃ）を下地として水分トラップ層（Ｂ）が形成されている。

このイソシアネート系コーティングは、イソシアネートを反応成分として得られるイソシアネート系重合体を成膜成分として含むものである。

本発明において、このようなイソシアネート系重合体は、ポリウレタン或いはイソシアネート反応性樹脂をポリイソシアネートにより硬化させたものである。
このようなイソシアネート系コーティング（Ｃ）は、コーティング中に存在するイソシアネート基が、無機バリア層表面に存在するＭＯＨ（ＭはＳｉ等の金属原子）やイオン性ポリマー中のイオン性基と反応性を示し、この結果として、このコーティング（Ｃ）は、水分トラップ層（Ｂ）に対して高い密着性を示し、水分トラップ層（Ｂ）のデラミをも有効に防止することができる。

ポリウレタン；
上記のイソシアネート重合体において、ポリウレタンは、ウレタン結合（－ＮＨ－ＣＯＯ－）を繰り返し単位とする重合体であり、ジイソシアネート成分とジオール成分とのウレタン化反応により得られる。

［ジイソシアネート成分］
ジイソシアネート成分には、芳香族ジイソシアネート、芳香脂肪族ジイソシアネート、脂環族ジイソシアネート、脂肪族ジイソシアネート等が含まれる。

芳香族ジイソシアネートとしては、例えば、ｍ－又はｐ－フェニレンジイソシアネートもしくはその混合物、４，４′－ジフェニルジイソシアネート、１，５－ナフタレンジイソシアネート（ＮＤＩ）、４，４′－、２，４′－又は２，２′－ジフェニルメタンジイソシアネートもしくはその混合物（ＭＤＩ）、２，４－又は２，６－トリレンジイソシアネートもしくはその混合物（ＴＤＩ）、４，４′－トルイジンジイソシアネート（ＴＯＤＩ）、４，４′－ジフェニルエーテルジイソシアネート等が挙げられる。

芳香脂肪族ジイソシアネートとしては、例えば、１，３－又は１，４－キシリレンジイソシアネートもしくはその混合物（ＸＤＩ）、１，３－又は１，４－テトラメチルキシリレンジイソシアネートもしくはその混合物（ＴＭＸＤＩ）、ω，ω′－ジイソシアネート－１，４－ジエチルベンゼン等が挙げられる。

脂環族ジイソシアネートとしては、例えば、１，３－シクロペンテンジイソシアネート、１，４－シクロヘキサンジイソシアネート、１，３－シクロヘキサンジイソシアネート、３－イソシアネートメチル－３，５，５－トリメチルシクロヘキシルイソシアネート（イソホロンジイソシアネート；ＩＰＤＩ）、４，４′－、２，４′－又は２，２′－ジシクロヘキシルメタンジイソシアネートもしくはその混合物（水添ＭＤＩ）、メチル－２，４－シクロヘキサンジイソシアネート、メチル－２，６－シクロヘキサンジイソシアネート、１，３－又は１，４－ビス（イソシアネートメチル）シクロヘキサンもしくはその混合物（水添ＸＤＩ）等が挙げられる。

脂肪族ジイソシアネートとしては、例えば、トリメチレンジイソシアネート、テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート（ＨＤＩ）、ペンタメチレンジイソシアネート、１，２－プロピレンジイソシアネート、１，２－、２，３－又は１，３－ブチレンジイソシアネート、２，４，４－又は２，２，４－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、２，６－ジイソシアネートメチルカプエート等が挙げられる。

これらのジイソシアネート成分は、単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。さらに、必要に応じて、３官能以上のポリイソシアネートを併用することもできる。

［ジオール成分］
ジオール成分には、低分子量のジオールからオリゴマーまで幅広いジオールが含まれ、例えば、Ｃ_２－１２アルキレングリコール（例えば、エチレングリコール、１，３－又は１，２－プロピレングリコール、１，４－、１，３－又は１，２－ブタンジオール、１，５－ペンタンジオール、３－メチル－１，５－ペンタンジオール、２，４－ジエチル－１，５－ペンタンジオール、２，２，４－トリメチルペンタン－１，３－ジオール、１，６－ヘキサンジオール、ネオペンチルグリコール、１，５－又は１，７－ヘプタンジオール、１，８－オクタンジオール、１，９－ノナンジオール、１，１０－デカンジオール、１，１１－ウンデカンジオール、１，１２－ドデカンジオール等）、ポリオキシＣ_２－４アルキレングリコールなどのポリエーテルジオール（例えば、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、ペンタエチレングリコール、ヘキサエチレングリコール、ヘプタエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、テトラプロピレングリコール、ペンタプロピレングリコール、ヘキサプロピレングリコール、ヘプタプロピレングリコール、ジブチレングリコール、トリブチレングリコール、テトラブチレングリコール等）、芳香族ジオール（例えば、ビスフェノールＡ、ビスヒドロキシエチルテレフタレート、カテコール、レゾルシン、ハイドロキノン、１，３－又は１，４－キシリレンジオールもしくはその混合物等）、脂環族ジオール（例えば、水添ビスフェノールＡ、水添キシリレンジオール、シクロヘキサンジオール、シクロヘキサンジメタノール等）等の低分子量ジオール成分や、ポリエステルジオール（例えば、前記低分子量ジオールとラクトンとの付加反応物、前記低分子量ジオールとジカルボン酸との反応生成物等）、ポリカーボネートジオール（例えば、前記低分子量ジオールと短鎖ジアルキルカーボネートとの反応生成物など）等が挙げられる。

これらのジオール成分は、単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。さらに、必要に応じて、３官能以上のポリオール成分を併用することもできる。

また、ポリウレタンの製造に際しては、上記のジオール成分と共に、必要に応じて、ジアミン成分を使用することができる。このジアミンは、鎖伸長剤や架橋剤として使用されるものである。
このようなジアミンとしては、例えば、ヒドラジン、脂肪族ジアミン（例えば、エチレンジアミン、トリメチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ペンタメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、２，２，４－トリメチルヘキサメチレンジアミン、２，４，４－トリメチルヘキサメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン等）、芳香族アミン（例えば、ｍ－又はｐ－フェニレンジアミン、１，３－又は１，４－キシリレンジアミンもしくはその混合物等）、脂環族ジアミン［例えば、水添キシリレンジアミン、ビス（４－アミノシクロヘキシル）メタン、イソホロンジアミン、ビス（４－アミノ－３－メチルシクロヘキシル）メタン等］が挙げられる。また、２－ヒドラジノエタノール、２－［（２－アミノエチル）アミノ］エタノール等の水酸基を持つジアミン等も使用することができる。

これらのジアミン成分は、単独で又は２種以上組み合わせて使用できる。さらに、必要に応じて、３官能以上のポリアミン成分を併用することもできる。

本発明において、イソシアネート系コーティング（Ｃ）を形成する上記のポリウレタンは、上述した各成分が各種の溶媒に分散ないし溶解した液中でそれ自体公知のウレタン化反応させることにより製造される。

このようにして得られるポリウレタンは、そのガラス転移点が６０℃以上、好ましくは６５℃以上、さらに好ましくは６８℃以上の高Ｔｇポリウレタンであることが好ましい。即ち、イソシアネート系コーティング（Ｃ）上には、例えば６０℃程度の加熱下でのグラビアコートにより水分トラップ層（Ｂ）が形成され、さらに、水分トラップ層（Ｂ）は乾燥される。このような成膜時や乾燥時に発生する収縮応力によってクラックが生じ易くなるが、上記のような高Ｔｇポリウレタンの使用によって、このようなクラックの発生を有効に防止することができる。

また、上記のポリウレタンは、基本的にはフィルム形成可能な分子量を有していればよいが、イソシアネート系コーティング（Ｃ）上で水分トラップ層（Ｂ）を形成するに際して、該コーティング（Ｃ）でのクラックの発生を有効に防止するという点で、その重量平均分子量（Ｍｗ）が１４、０００以上、より好ましくは４０，０００以上、さらに好ましくは５０，０００以上であることが好ましい。

さらに、上記のポリウレタンにより形成されるイソシアネート系コーティング（Ｃ）には、エポキシ基、シラノール基及びイソシアネート基から成る群より選択される少なくとも１種の官能基により架橋構造が導入されていることが好ましく、これにより、水分トラップ層（Ｂ）に対して優れた密着性を確保する上で好適である。
上記の官能基による架橋構造の導入は、例えば、イソシアネート系コーティング（Ｃ）を形成するために使用される塗布組成物中に、上記の官能基を有する硬化剤を配合しておくことにより、成膜時の硬化によりコーティング（Ｃ）中に存在させることができる。

また、本発明において、イソシアネート系重合体としては、イソシアネート反応性樹脂をイソシアネートと反応させて硬化させた重合硬化物も使用することができる。即ち、このような重合硬化物中にもイソシアネート基が存在しており、これにより、水分トラップ層（Ｂ）に対して高い密着性を示し、水分トラップ層（Ｂ）のデラミを有効に防止することができる。

このようなイソシアネート反応性樹脂としては、イソシアネートと反応し得る官能基、例えば水酸基、カルボキシル基、アミノ基など、特に水酸基やカルボキシル基を有する樹脂、具体的には、エステル樹脂、（メタ）アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリビニルアルコールなどを例示することができ、さらにはウレタン樹脂（前述したポリウレタンに相当）もイソシアネート反応性樹脂として使用することができる。
本発明においては、特に、エステル樹脂、（メタ）アクリル樹脂（ポリ（メタ）アクリル酸やポリ（メタ）アクリル酸エステル）、ウレタン樹脂が、イソシアネート反応性樹脂として好適に使用することができる。

尚、上記のイソシアネート反応性樹脂は、前述したポリウレタンと同様、ガラス転移点が６０℃以上、好ましくは６５℃以上、さらに好ましくは６８℃以上の高Ｔｇ樹脂であることが、水分トラップ層（Ｂ）を成膜する際のクラック発生を有効に防止することが好適であり、その重量平均分子量も１４、０００以上、より好ましくは４０，０００以上、さらに好ましくは５０，０００以上であることが好適である。

上記のイソシアネート反応性樹脂と反応させるイソシアネートとしては、ポリイソシアネート、例えば、ジフェニルメタンジイソシアネート（ＭＤＩ）、トリレンジイソシアネート（ＴＤＩ）、ヘキサメチレンジイソシアネート（ＨＤＩ）、メタキシリレンジイソシアネート、テトラメチレンジイソシアネート、ペンタメチレンジイソシアネート、リジンイソシアネート、イソホロンジイソシアネート（ＩＰＤＩ）及びこれらイソシアネートの多核縮合体などを挙げることができ、これらは、単独或いは２種以上の組み合わせで使用することができる。

尚、保存安定性の観点から、上記ポリイソシアネートの末端はブロック化剤で封鎖されていても良く、このようなブロック化剤としては、メタノール、エタノール、乳酸エステル等のアルコール；フェノール、サリチル酸エステル等のフェノール性水酸基含有化合物；ε－カプロラクタム、２－ピロリドン等のアミド；アセトンオキシム、メチルエチルケトンオキシム等のオキシム；アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、アセチルアセトン、マロン酸ジメチル、マロン酸ジエチル等の活性メチレン化合物；などが代表的であり、これらブロック化剤は、１種単独で使用されていてもよいし、２種以上が併用されていてもよい。

［イソシアネート系コーティング（Ｃ）の形成］
イソシアネート系コーティング（Ｃ）は、上記のポリウレタン或いはイソシアネート反応性樹脂が溶媒中に溶解ないし分散されており、さらに必要により所定の官能基を有する硬化剤が分散されている塗布組成物を、無機バリア層（Ａ１）上に塗布し、１００℃以上の温度に加熱して焼き付けることにより形成することができる。

本発明において、この塗布組成物に使用されるポリウレタン或いはイソシアネート反応性樹脂は、粒状物の形態で使用することが、イソシアネート基が均一に分布したコーティング（Ｃ）を形成することが好ましい。このような樹脂粒子は、一般に、レーザ回折散乱法により測定した体積換算での積算粒子径（Ｄ５０）が、０．０２～３μｍ、特に０．０３～１μｍ程度の範囲にある。

塗布組成物の形成に用いる溶媒としては、溶媒揮散のための加熱が必要以上に高温とならないものであればよく、例えば１００℃程度の加熱で揮散するもの、例えば、水、アルコール系有機溶剤、ジアルキルグリコールエーテル系溶剤、エチレングリコールエーテル系溶剤、プロピレングリコールエーテル系溶剤、或いはこれらと水との混合溶媒、さらには、エステル系溶剤、ケトン系溶剤、エーテル系溶剤、炭化水素系溶剤等が使用される。
これら溶媒は、塗布組成物が、コーティングに適した粘度となるような量で使用される。

かかる塗布組成物において、ポリウレタンの樹脂粒子を用いた場合には、硬化剤として、エポキシ基、シラノール基及びイソシアネート基の少なくとも１種を官能基として有する硬化剤が上記の溶媒中にポリウレタン樹脂粒子と共に分散されていることが好ましく、これにより、形成されるイソシアネート系コーティング（Ｃ）中に架橋構造が導入され、水分トラップ層（Ｂ）（或いは無機バリア層（Ａ１）との密着性をより向上させることができる。

例えば、エポキシ基やシラノール基を官能基として有する硬化剤としては、シランカップリング剤を例示することができる。
このようなシランカップリング剤としては、これに限定されるものではないが、例えば、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、トリメチルクロロシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリクロロシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリス（β－メトキシエトキシ）シラン、γ－メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、γ－メタクリロイルオキシプロピルトリス（β－メトキシエトキシ）シラン、γ－クロロプロピルトリメトキシシラン、γ－クロロプロピルメチルジメトキシシラン、γ－グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ－グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、β－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、Ｎ－フェニル－γ－アミノプロピルトリメトキシシラン、ヘキサメチルジシラザンなどを例示することができ、これらは、単独或いは２種以上の組み合わせで使用することができる。
これらのシランカップリング剤の中でも、特に、γ－グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ－グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、β－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン等のグリシジル基或いはエポキシ基含有のシランカップリング剤が、水分トラップ層（Ｂ）との密着性の点で好適である。

これらのシランカップリング剤は、通常、塗布組成物中のポリウレタン樹脂粒子１００重量部当り、０．１～５０重量部、より好ましくは１～３０重量部程度、さらに好ましくは５～２０重量部の量で配合される。

また、イソシアネート基を官能基として有する硬化剤としては、前述したポリイソシアネートを挙げることができる。
このポリイソシアネートは、通常、塗布組成物中のウレタン系樹脂粒子１００重量部当り、１～５０重量部、より好ましくは５～４０重量部、さらに好ましくは１０～３０重量部の量で配合される。

尚、上述したシランカップリング剤及びポリイソシアネートは、併用することも可能である。

また、塗布組成物中にイソシアネート反応性樹脂、特にエステル系樹脂や（メタ）アクリル系樹脂などの非ウレタン系樹脂が使用されている場合には、上記のポリイソシアネートが硬化剤として使用することがイソシアネート基を導入するために必要である。
かかるポリイソシアネートも、塗布組成物中のイソシアネート反応性樹脂粒子１００重量部当り、１～５０重量部、より好ましくは５～４０重量部、さらに好ましくは１０～３０重量部の量で配合される。また、このようなポリイソシアネートと共に、前述したシランカップリング剤を併用することもできる。

本発明において、上述した塗布組成物中には、形成されるイソシアネート系コーティング（Ｃ）と水分トラップ層（Ｂ）との密着性が損なわれない限りにおいて、種々の配合剤が添加されていてもよい。
このような配合剤としては、例えば、層状無機化合物、安定剤（酸化防止剤、熱安定剤、紫外線吸収剤等）、可塑剤、帯電防止剤、滑剤、ブロッキング防止剤、着色剤、フィラー、結晶核剤等が例示できる。勿論、上記の密着性が損なわれない限り、イソシアネートに対して反応性を有していない樹脂、例えばオレフィン系樹脂などが少量配合されていてもよい。

＜保護層（Ｄ）＞
本発明において、上述したイソシアネート系コーティング（Ｃ）は、図１に示されているように、無機バリア層（Ａ１）上に形成され、これを下地として、水分トラップ層（Ｂ）が形成されるが、本発明は、かかる態様に限定されるものではなく、例えば、図３に示されているように、無機バリア層（Ａ１）上に保護層（Ｄ）を設け、この保護層（Ｄ）上にイソシアネート系コーティング（Ｃ）を設けることもできる。

かかる保護層（Ｄ）は、成膜後の無機バリア層（Ａ１）の剥がれ、傷付、破損等を防止するためのものであり、例えば促進試験環境下（８５℃－８５％ＲＨ環境下）でのバリアフィルムのバリア性が低下しないような層であれば特に限定されないが、一般的には、以下に示す成分（Ｄ１）と成分（Ｄ２）とを配合した２種類以上の化合物より形成される。

成分（Ｄ１）は、水溶性高分子であり、例えば、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、デンプン、メチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、アルギン酸ナトリウム等が挙げられる。特にポリビニルアルコールが好ましい。

成分（Ｄ２）は、オルガノアルコキシシラン或いはその加水分解物、金属アルコキシド或いはその加水分解物、及びリン系化合物からなる群より選択される少なくとも１種の化合物である。

上記のオルガノアルコキシシランは、例えば、下記式（３）：
Ｒ－Ｓｉ（ＯＲ’）_３ （３）
式中、Ｒは、有機基であり、
Ｒ’はアルキル基である、
で表される。
上記の有機基としては、アルキル基、或いは各種の官能基（例えば、（メタ）アクリロイル基、ビニル基、アミノ基、エポキシ基、イソシアネート基など）を有する基を挙げることができる。
また、Ｒ’が示すアルキル基としては、特に制限されないが、一般的には、炭素原子数が４以下の低級アルキル基（例えば、メチル基、エチル基、プロピル基及びブチル基）である。

このようなオルガノアルコキシシランとしては、例えば、エチルトリメトキシシラン、（メタ）アクリロキシアプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、グリシドオキシトリメトキシシラン、グリシドオキシプロピルトリメトキシシラン、エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン、イソシアネートプロピルトリメトキシシラン、あるいはその加水分解物が挙げられ、これらは１種単独或いは２種以上を組み合わせて使用される。これらの中でもエポキシ基が含まれているグリシドオキシトリメトキシシランやエポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン、イソシアネート基が含まれるイソシアネートプロピルトリメトキシシランが特に好ましい。これらのオルガノシランは単量体に限られず、構造によってはニ量体、三量体などの化合物も用いることができる。

また、上記の金属アルコキシドは、下記式（４）：
Ｍ（ＯＲ’）ｎ （４）
式中、Ｍは、金属原子であり、
Ｒ’は、前記式（３）と同様、アルキル基であり、
ｎは、金属原子Ｍの価数を示す整数である、
で表される化合物である。
このような金属アルコキシドとしては、例えば、テトラエトキシシラン、トリプロポキシアルミニウム等を挙げることができ、かかる金属アルコキシドも、１種単独或いは２種以上を組み合わせて使用される。

また、上述したオルガノアルコキシシラン及び金属アルコキシドは、それぞれ、加水分解物の形態でも成分（Ｄ２）として使用することができる。
このような加水分解物は、酸やアルカリを用いる公知の方法で得ることができ、加水分解に際しては、錫化合物などの反応触媒を必要に応じて使用することもできる。

さらに、リン系化合物としては、リン酸あるいはその塩が挙げられる。具体的には、オルトリン酸、ピロリン酸、メタリン酸、またはこれらのアルカリ金属塩やアンモニウム塩；トリメタリン酸、テトラメタリン酸、ヘキサメタリン酸、ウルトラメタリン酸などの縮合リン酸、またはこれらのアルカリ金属塩やアンモニウム塩などが挙げられる。またリン酸トリフェニルなどのリン酸エステルも用いることができる。
これらのリン系化合物も、１種単独或いは２種以上を組み合わせて使用することができる。

上述した成分（Ｄ１）と成分（Ｄ２）とは、質量比（Ｄ１）／（Ｄ２）＝９９／１～７０／３０となるように溶融混合され、この溶融混合物を無機バリア層（Ａ１）表面に塗布することにより、保護層（Ｄ）が形成される。
このようにして形成される保護層（Ｄ）の厚さは、一般に、０．０１～５０μｍ、特に０．１～２μｍの範囲が好適である。

本発明において、図１及び図３の例では、プラスチックフィルム（Ａ）の一方の表面にのみ無機バリア層（Ａ１）が設けられているが、勿論、このフィルム（Ａ）の両面に無機バリア層（Ａ１）を形成することもでき、さらには、両面に形成された無機バリア層（Ａ１）のそれぞれに、イソシアネート系コーティング（Ｃ）及び水分トラップ層（Ｂ）を形成することもできる。

上述した層構造を有する本発明の水分バリア性積層フィルム１０は、上述した手順で水分トラップ層（Ｂ）を形成し、該水分トラップ層（Ｂ）から水分を放出させたのち、この水分トラップ層（Ｂ）の表面に乾燥フィルムを貼り付けて保護した状態で保管され、使用時には乾燥フィルムが剥がされる。
このような水分トラップ層（Ｂ）には、例えば、さらにイソシアネート系コーティング（Ｃ）を形成してのドライラミネートにより他のバリアフィルム或いは他のバリアフィルムに設けられた水分トラップ層（Ｂ）に積層することもできる。

＜用途＞
上述した水分バリア性積層フィルムは、高温長時間での加熱処理なしに水分トラップ層の密着性が確保されているため、生産性の点で極めて優れている。
さらに水分トラップ層の割れや剥がれも有効に防止されているため、水分トラップ層の優れた水分バリア性が安定して発揮される。このため、各種の電子デバイス、例えば有機ＥＬ素子、太陽電池、電子ペーパーなどの電子回路を封止するためのフィルムとして好適に使用することができる。

＜イソシアネート反応性樹脂のガラス転移温度の測定方法＞
イソシアネート反応性樹脂の塗膜を準備し、以下の条件で示差走査熱 量分析を行い、セカンドスキャン時の値を記載した。
装置：セイコーインスツルメント株式会社製ＤＳＣ６２２０（示差走査熱量測定）
試料調整：試料量５～１０ｍｇ
測定条件：窒素雰囲気下、２０℃／ｍｉｎの昇温速度で－５０～２００℃の範囲で測定

＜水分散系ウレタン樹脂の分子量測定方法＞
水分散系ウレタン系重合体の水分散液を凍結乾燥させた。得られた凍結乾燥物をジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）の溶離液に溶解し、調整した後、得られた溶液を一晩静地した。この溶液を０．４５μｍメンブレンフィルターでろ過し、ろ液についてＧＰＣ測定（ポリスチレン換算）を行い、重量平均分子量（Ｍｗ）を測定した。
検出機：ＳｈｏｄｅｘＲＩ－１０１
分離カラム：ＳｈｏｄｅｘＯＨｐａｋ ＳＢ－８０６Ｍ ＨＱ×２
溶離液：１０ｍｍｏｌ／Ｌ ＬｉｔｈｉｕｍＢｒｏｍｉｄｅ ｉｎ ＤＭＦ
流量：１．０ｍｌ／ｍｉｎ
カラム温度：５０℃

＜クロロホルム可溶イソシアネート反応性樹脂の分子量測定方法＞
クロロホルム可溶イソシアネート反応性樹脂に関しては以下の方法で重量平均分子量を測定した。
試料約１０ｍｇに溶媒３ｍＬを加え、室温で緩やかに攪拌した。溶 解していることを目視で確認した後、０．４５μｍフィルターにてろ過し、ろ液についてＧＰＣ測定（ポリスチレン換算）を行い、重量平均分子量（Ｍｗ）を測定した。スタンダー ドとしてはポリスチレンを用いた。
装置：東ソー株式会社製ＨＬＣ－８１２０
検出器：示差屈折率検出器ＲＩ
カラム：
ＴＳＫｇｅｌ ＳｕｐｅｒＨＭ－Ｈ×２及びガードカラムとしてＴＳＫｇｕａｒｄ ｃｏｌｕｍｎ ＳｕｐｅｒＨ－Ｈ
溶媒：クロロホルム
流速：０．５ｍＬ／ｍｉｎ
カラム温度：４０℃

＜クラック評価＞
作製した水分バリア性積層フィルムのＡ４サイズサンプル内のクラック有無を目視にて評価した。このときクラックがフィルム全面に発生したものを×、フィルム端部に一部クラックが発生したものを△、発生しなかったものを〇とした。

＜密着強度＞
作製した水分バリア性積層フィルムに、厚さ１００μｍのＰＥＴフィルムをエポキシ系接着剤でドライラミネートし、接着層の硬化のため、５０℃×３日間エージングを行い、Ｔ型剥離試験用サンプルを作製した。
２３℃、５０％ＲＨの雰囲気下において、Ｔ型剥 離試験により、幅１５ｍｍ、長さ２００ｍｍ（非接着部５０ｍｍを含む）の試験片を用い て、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎの測定条件で積層体の水分バリア性積層フィルム－ＰＥＴ間のラミネート強度（単位：Ｎ／１５ｍｍ）を測定した（ｎ＝４）。
このとき１Ｎ／１５ｍｍ以上を〇、１Ｎ／１５ｍｍ未満を×とした。

＜カチオン性ポリマーを用いた水分トラップ層コーティング液（Ｂ１）の調製＞
カチオン性ポリマーとしてポリアリルアミン（ニットーボーメディカル製、ＰＡＡ－１５Ｃ、水溶液品、固形分１５％）を、固形分５重量％になるように水で希釈し、ポリマー溶液を得た。
一方、架橋剤として、γ－グリシドキシプロピルトリメトキシシランを用い、５重量％になるように水に溶かして架橋剤溶液を調製した。
次いで、ポリアリルアミン１００重量部に対してγ－グリシドキシプロピルトリメトキシシランが２０重量部になるように、ポリマー溶液と架橋剤溶液とを混合し、さらに、この混合溶液に、吸湿剤として、ポリアクリル酸Ｎａの架橋物（東洋紡製、タフチックＨＵ－８２０Ｅ、水分散品、固形分１３％）を、ポリアリルアミンに対して４２０重量部になるように加え、更に固形分が５％になるよう水で調整した上で良く撹拌し、水分トラップ層用のコーティング液（Ｂ１）を調製した。

＜アニオン性ポリマーを用いた水分トラップ層コーティング液（Ｂ２）の調製＞
アニオン性ポリマーとしてポリアクリル酸（日本純薬製、ＡＣ－１０ＬＰ）を用い、水／アセトン混合溶媒（重量比で８０／２０）に、固形分が５重量％になるように溶解し、水酸化ナトリウムをポリアクリル酸の中和率が８０％になるように加え、ポリマー溶液を得た。
このポリマー溶液に、架橋剤として１，２―シクロヘキサンジカルボン酸ジグリシジルが、ポリアクリル酸部分中和物に対して２０重量部になるように配合し、次いで密着剤として、β－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシランがポリアクリル酸部分中和物に対して３重量部になるように配合し、さらに、粒状吸湿剤（東洋紡製、タフチックＨＵ－８２０Ｅ、水分散品、固形分１３％）が、ポリアクリル酸部分中和物に対して４３１重量部になるように配合し、更に全体の固形分が５重量％になるよう水／アセトン混合溶媒（重量比で８０／２０）で調整した上で良く撹拌し、水分トラップ層用のコーティング液（Ｂ２）を調製した。

＜非イオン性ポリマーを用いた水分トラップ層コーティング液（Ｂ３）の調製＞
ノニオン性ポリマーとしてポリビニルアルコール（クラレ製、ＰＶＡ１０３）を、固形分５重量％になるように水で希釈し、ポリマー溶液を得た。一方、架橋剤として、γ－グリシドキシプロピルトリメトキシシランを用い、５重量％になるように水に溶かして架橋剤溶液を調製した。次いで、ポリアリルアミン１００重量部に対してγ－グリシドキシプロピルトリメトキシシランが２０重量部になるように、ポリマー溶液と架橋剤溶液とを混合し、さらに、この混合溶液に、吸湿剤として、ポリアクリル酸Ｎａの架橋物（東洋紡製、タフチックＨＵ－８２０Ｅ、水分散品、固形分１３％）を、ポリアリルアミンに対して４２０重量部になるように加え、更に固形分が５％になるよう水で調整した上で良く撹拌し、水分トラップ層用のコーティング液（Ｂ３）を調製した。

＜実施例１＞
水分散系ウレタン系樹脂粒子（Ｍｗ＝１，０００，０００、ガラス転移点＝６８℃、平均粒径５５ｎｍ）を含むイソシアネート反応性樹脂溶液（三井化学「ｗｐｂ－３４１」、固形分３０％）を用意した。
このイソシアネート反応性樹脂溶液に、硬化剤としてシランカップリング剤（３－グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン）を、イソシアネート反応性樹脂溶液の固形分１００重量部に対して硬化剤固形分が５重量部になるように配合し、水と２－プロパノールの混合溶媒で希釈して固形分２０％のイソシアネート系コーティング液を調製した。

ケイ素酸化物層（無機バリア層）上に保護層（Ｄ）を有する市販バリアフィルム（凸版印刷、ＧＬ－ＲＤ、基材：ＰＥＴ（１２μｍ））を用意した。この保護層（Ｄ）は、ポリビニルアルコールとテトラエトキシシランとからなる。
このバリアフィルムの保護層（Ｄ）上に、上記のイソシアネート系コーティング液をバーコーターにより塗工し、電気オーブンにより、ピーク温度１００℃、ピーク温度保持時間１分の条件で熱処理し、０．５μｍのイソシアネート系コーティング（Ｃ）を得た。
このイソシアネート系コーティング（Ｃ）上に、上記カチオン性ポリマーを用いた水分トラップ層用コーティング液（Ｂ１）をバーコーターにより塗工し、ピーク温度１００℃、ピーク温度保持時間４０秒の条件で熱処理し、厚み４μｍの水分トラップ層（Ｂ）を形成し、水分バリア性積層フィルム１０を得た。

＜実施例２＞
主ポリマー溶液固形分１００重量部当りの硬化剤固形分量を２０重量部に変更した以外は、実施例１と同様にしてイソシアネート系コーティング液を調製した。
このイソシアネート系コーティング液を用いた以外は、実施例１と同様の方法で水分バリア性積層フィルム１０を得た。

＜実施例３＞
実施例１で用意したイソシアネート反応性樹脂溶液を使用し、この溶液に、硬化剤としてブロックイソシアネート（三井化学「ＸＷＢ－Ｆ２０６ＭＥＤＧ」）を主剤固形分１００重量部に対して硬化剤固形分が１０重量部になるように配合し、水と２－プロパノールの混合溶媒で希釈して固形分２０％のイソシアネート系コーティング液を調製した。
このイソシアネート系コーティング液を用いた以外は、実施例１と同様の方法で水分バリア性積層フィルム１０を得た。

＜実施例４＞
イソシアネート反応性樹脂溶液固形分１００重量部当りの硬化剤固形分量を３０重量部に変更した以外は、実施例３と同様にしてイソシアネート系コーティング液を調製した。
このイソシアネート系コーティング液を用いた以外は、実施例１と同様の方法で水分バリア性積層フィルム１０を得た。

＜実施例５＞
イソシアネート反応性樹脂溶液固形分１００重量部当りの硬化剤固形分量を５０重量部に変更した以外は、実施例３と同様にしてイソシアネート系コーティング液を調製した。
このイソシアネート系コーティング液を用いた以外は、実施例１と同様の方法で水分バリア性積層フィルム１０を得た。

＜実施例６＞
実施例３と同様にして、市販バリアフィルムの保護層（Ｄ）上に厚みが０．５μｍのイソシアネート系コーティング（Ｃ）を形成した。
上記のイソシアネート系コーティング（Ｃ）上に、上記アニオン性ポリマーを用いた水分トラップ層用コーティング液（Ｂ２）をバーコーターにより塗工し、ピーク温度１００℃、ピーク温度保持時間４０秒の条件で熱処理し、厚み４μｍの水分トラップ層（Ｂ）を形成し、水分バリア性積層フィルム１０を得た。

＜実施例７＞
水分トラップ層塗料として非イオン性ポリマーを用いた水分トラップ層用コーティング液（Ｂ３）を用いて厚み４μｍの水分トラップ層（Ｂ）を形成した以外は、実施例６と同様にして、水分バリア性積層フィルム１０を得た。

＜実施例８＞
ケイ素酸化物層を無機バリア層として有しており且つ保護層（Ｄ）が設けられていない市販バリアフィルム（三菱樹脂、テックバリアＬＸ、基材：ＰＥＴ１２μｍ）を用意した。
実施例３と同様にして、イソシアネート系コーティング液を調製した。
このイソシアネート系コーティング液を、上記バリアフィルムの無機バリア層上にバーコーターにより塗工し、電気オーブンにより、ピーク温度１００℃、ピーク温度保持時間１分の条件で熱処理し、０．５μｍのイソシアネート系コーティング層（Ｃ）を形成した。
このイソシアネート系コーティング層（Ｃ）上にカチオン性ポリマーを用いた水分トラップ用コーティング液（Ｂ１）をバーコーターにより塗工し、ピーク温度１００℃、ピーク温度保持時間４０秒の条件で熱処理し、厚み４μｍの水分トラップ層（Ｂ１）を形成し、水分バリア性積層フィルム１０を得た。

＜実施例９＞
実施例３と同様にして、イソシアネート系コーティング液を調製し、このイソシアネート系液を用いて、実施例１と同様にして、市販バリアフィルムの保護層（Ｄ）上に、ウレタンコーティング（Ｃ）を形成し、さらに、その上にカチオン性ポリマーを有する水分トラップ層（Ｂ）を形成した。
次いで、上記のように、イソシアネート系コーティング（Ｃ）及び水分トラップ層（Ｂ）が形成されているバリアフィルムの反対側の面（ＰＥＴフィルムの表面）に、上記のウレタンコーティング液をバーコーターにより塗工し、電気オーブンにより、ピーク温度１００℃、ピーク温度保持時間３分の条件で熱処理し、０．５μｍのイソシアネート系コーティング層（Ｃ）を得た。
さらに、反対側の面に形成されているイソシアネート系コーティング（Ｃ）上に、カチオン性ポリマーを有する水分トラップ層用コーティング液（Ｂ１）をバーコーターにより塗工し、ピーク温度１００℃、ピーク温度保持時間４０秒の条件で熱処理し、厚み４μｍの水分トラップ層（Ｂ）を形成し、両面に水分トラップ層（Ｂ）を有する水分バリア性積層フィルム１０を得た。

＜実施例１０＞
アクリル系樹脂（Ｍｗ＝６９，０００、ガラス転移点＝７０℃）を含む主ポリマー溶液（荒川化学工業株式会社「アラコートＤＡ－１０５」、固形分３０％）を用意した。
この主ポリマー液に、硬化剤としてポリイソシアネート（三井化学「Ｄ－１１０Ｎ」）を主ポリマー溶液の固形分１００重量部に対して１０重量部になるように配合し、メチルエチルケトンで希釈して固形分２０％のイソシアネート系コーティング液を調製した。

酸化アルミニウム層（無機バリア層）上に保護層（Ｄ）を有する市販バリアフィルム（凸版印刷、ＧＸ、基材：ＰＥＴ（１２μｍ））を用意した。この保護層（Ｄ）は、ポリビニルアルコールとテトラエトキシシランとからなる。
このバリアフィルムの保護層（Ｄ）上に、上記のイソシアネート系コーティング液をバーコーターにより塗工し、電気オーブンにより、ピーク温度１００℃、ピーク温度保持時間１分の条件で熱処理し、０．５μｍのイソシアネート系コーティング（Ｃ）を得た。
このイソシアネート系コーティング（Ｃ）上に、上記カチオン性ポリマーを用いた水分トラップ層コーティング液（Ｂ１）をバーコーターにより塗工し、ピーク温度１００℃、ピーク温度保持時間４０秒ｗの条件で熱処理し、厚み４μｍの水分トラップ層（Ｂ）を形成し、水分バリア性積層フィルム１０を得た。

＜実施例１１＞
主ポリマー溶液の固形分１００重量部当りの硬化剤固形分量を２０重量部に変更した以外は、実施例１０と同様にしてイソシアネート系コーティング液を調製した。
このイソシアネート系コーティング液を用いた以外は、実施例１０と同様の方法で水分バリア性積層フィルム１０を得た。

＜実施例１２＞
ポリエステル樹脂（Ｍｗ＝５５，０００、ガラス転移点＝８１℃）、東洋紡「バイロンＧＫ８８０」）をメチルエチルケトン（ＭＥＫ）で希釈して固形分２０％のアンカーコーティング液を調整した。
この主ポリマー液に、硬化剤としてポリイソシアネート（三井化学「Ｄ－１１０Ｎ」）を主ポリマー溶液の固形分１００重量部に対して１０重量部になるように配合し、メチルエチルケトンで希釈して固形分２０％のウレタンコーティング液を調製した。
このイソシアネート系コーティング液を用いた以外は、実施例１０と同様の方法で水分バリア性積層フィルム１０を得た。

＜実施例１３＞
ポリエステル樹脂（Ｍｗ＝１４，０００、ガラス転移点＝８３℃）を含む主ポリマー溶液（ユニチカ「エリーテルＫＡ－３３５６」）を用意した。
この主ポリマー溶液に、硬化剤としてブロックイソシアネート（三井化学「ＸＷＢ－Ｆ２０６ＭＥＤＧ」）を、主ポリマー溶液の固形分１００重量部に対して硬化剤固形分が１０重量部になるように配合し、水と２－プロパノールの混合溶媒で希釈して固形分２０％のイソシアネート系コーティング液を調製した。

酸化アルミニウム層（無機バリア層）上に保護層（Ｄ）を有する市販バリアフィルム（凸版印刷、ＧＸ、基材：ＰＥＴ（１２μｍ））を用意した。この保護層（Ｄ）は、ポリビニルアルコールとテトラエトキシシランとからなる。
このバリアフィルムの保護層（Ｄ）上に、上記のイソシアネート系コーティング液をバーコーターにより塗工し、電気オーブンにより、ピーク温度１３０℃、ピーク温度保持時間５分の条件で熱処理し、０．５μｍのイソシアネート系コーティング（Ｃ）を得た。
このイソシアネート系コーティング（Ｃ）上に、上記カチオン性ポリマーを用いた水分トラップ層コーティング液（Ｂ１）をバーコーターにより塗工し、ピーク温度１００℃、ピーク温度保持時間４０秒の条件で熱処理し、厚み４μｍの水分トラップ層（Ｂ）を形成し、水分バリア性積層フィルム１０を得た。

＜実施例１４＞
ポリエステル樹脂（Ｍｗ＝４１，０００、ガラス転移点＝６８℃）を含む主ポリマー溶液（ユニチカ「エリーテルＫＴ－８８０３」）を用意した。
この主ポリマー溶液に、硬化剤としてイソシアネート（三井化学「ＷＤ－７２５」）を、主ポリマー溶液の固形分１００重量部に対して硬化剤固形分が１０重量部になるように配合し、水と２－プロパノールの混合溶媒で希釈して固形分２０％のイソシアネート系コーティング液を調製した。
このイソシアネート系コーティング液を用いた以外は、実施例１０と同様の方法で水分バリア性積層フィルム１０を得た。

＜実施例１５＞
ポリエステル樹脂（Ｍｗ＝３９，０００、ガラス転移点＝４７℃、東洋紡「バイロンＶ６００」）をメチルエチルケトン（ＭＥＫ）で希釈して固形分２０％のアンカーコーティング液を調製した。
比較例１で用意した主ポリマー溶液を使用し、この主ポリマー溶液に、硬化剤としてポリイソシアネート（三井化学「Ｄ－１１０Ｎ」）を主剤固形分１００重量部に対して硬化剤固形分が１０重量部になるように配合し、メチルエチルケトンで希釈して固形分２０％のウレタンコーティング液を調製した。
このウレタンコーティング液を用いた以外は、実施例１０と同様の方法で水分バリア性積層フィルム１０を得た。

＜比較例１＞
ポリエステル樹脂（Ｍｗ＝３９，０００、東洋紡「バイロンＶ６００」）をメチルエチルケトン（ＭＥＫ）で希釈して固形分２０％のアンカーコーティング液を調製した。
このアンカーコーティング液を、イソシアネート系コーティング液に変えて水分トラップ層（Ｂ）の下地層を形成した以外は、実施例１０と同様の方法で水分バリア性積層フィルム１０を得た。

＜比較例２＞
イソシアネート系コーティング（Ｃ）を形成せず、バリアフィルムの保護層（Ｄ）上に、カチオン性ポリマーを有する水分トラップ層用コーティング液（Ｂ１）を塗布して、厚み４μｍの水分トラップ層（Ｂ）を形成した以外は、実施例１と同様にして、水分バリア性積層フィルム１０を得た。

＜比較例３＞
実施例１０でも使用したケイ素酸化物層を無機バリア層として有しており且つ保護層（Ｄ）が設けられていない市販バリアフィルムを用意した。
上記のバリアフィルムの無機バリア層上に、比較例２と同様にして、カチオン性ポリマーを有する厚み４μｍの水分トラップ層（Ｂ）を形成して水分バリア性積層フィルム１０を得た。

＜評価試験＞
上記で作製された水分バリア性積層フィルム１０について、前述した方法で各種特性を測定し、その結果を表１に示した。

（Ａ） ：プラスチックフィルム
（Ａ１）：無機バリア層
（Ｂ） ：水分トラップ層
（Ｃ） ：イソシアネート系コーティング
（Ｄ） ：保護層
１０ ：水分バリア性積層フィルム

Claims (18)

1. 無機バリア層（Ａ１）を表面に有するプラスチックフィルム（Ａ）と、水分トラップ層（Ｂ）とを含む水分バリア性積層フィルムにおいて、
   前記無機バリア層（Ａ１）と水分トラップ層（Ｂ）との間に、イソシアネートを反応成分としての反応により得られたイソシアネート系重合体を成膜成分として有するイソシアネート系コーティング（Ｃ）が設けられており、該水分トラップ層（Ｂ）は、該イソシアネート系コーティング（Ｃ）を下地として形成されており、
   前記イソシアネート系重合体が、６０℃以上のガラス転移点を有する高Ｔｇウレタン樹脂であることを特徴とする水分バリア性積層フィルム。
2. 前記高Ｔｇウレタン樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）が１４，０００以上である請求項１に記載の水分バリア性積層フィルム。
3. 前記高Ｔｇウレタン樹脂は、エポキシ基、シラノール基及びイソシアネート基からなる群より選択された少なくとも一種の官能基により架橋構造が導入されている請求項１に記載の水分バリア性積層フィルム。
4. 無機バリア層（Ａ１）を表面に有するプラスチックフィルム（Ａ）と、水分トラップ層（Ｂ）とを含む水分バリア性積層フィルムにおいて、
   前記無機バリア層（Ａ１）と水分トラップ層（Ｂ）との間に、イソシアネートを反応成分としての反応により得られたイソシアネート系重合体を成膜成分として有するイソシアネート系コーティング（Ｃ）が設けられており、該水分トラップ層（Ｂ）は、該イソシアネート系コーティング（Ｃ）を下地として形成されており、
   前記イソシアネート系重合体が、ポリイソシアネートを硬化剤としてイソシアネート反応性樹脂を硬化させたものであり、
   前記イソシアネート反応性樹脂が、（メタ）アクリル系樹脂またはポリエステル樹脂であり且つ６０℃以上のガラス転移点を有していることを特徴とする水分バリア性積層フィルム。
5. 前記イソシアネート反応性樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）が１４，０００以上である請求項４に記載の水分バリア性積層フィルム。
6. 前記水分トラップ層（Ｂ）が、吸湿性のポリマーを含有している請求項１または４に記載の水分バリア性積層フィルム。
7. 前記水分トラップ層（Ｂ）が、イオン性ポリマーからなる吸湿性マトリックス中に、さらに該マトリックスよりも到達湿度が低湿度である吸湿剤が分散された構造を有している請求項６に記載の水分バリア性積層フィルム。
8. 前記水分トラップ層（Ｂ）中に含まれるイオン性ポリマーが、カチオン性ポリマーである請求項７に記載の水分バリア性積層フィルム。
9. 前記無機バリア層（Ａ１）とイソシアネート系コーティング（Ｃ）との間に、保護層（Ｄ）が設けられている請求項１または４に記載の水分ガスバリア性積層フィルム。
10. 前記保護層（Ｄ）が、水溶性高分子（Ｄ１）と、オルガノアルコキシシランあるいはその加水分解物、金属アルコキシド及びその加水分解物及びリン系化合物よりなる群から選ばれる少なくとも１種の成分（Ｄ２）とを含有している請求項９に記載の水分ガスバリア積層フィルム。
11. 請求項１または４に記載の水分バリア性積層フィルムからなる電子デバイス用封止材。
12. ６０℃以上のガラス転移点を有するウレタン系樹脂粒子が溶媒に溶解乃至分散されている塗布組成物からなり、該溶媒には、エポキシ基、シラノール基及びイソシアネート基からなる群より選択された少なくとも１種の官能基を有する硬化剤が、溶解乃至分散されていることを特徴とする水分トラップ層の下地層形成用塗布組成物。
13. 前記ウレタン系樹脂粒子が、重量平均分子量（Ｍｗ）が１４,０００以上のウレタン系重合体から形成されている請求項１２に記載の塗布組成物。
14. 前記ウレタン系樹脂粒子が、０．０２～３μｍの粒子径を有している請求項１２に記載の塗布組成物。
15. 前記硬化剤として、ポリイソシアネートを、前記ウレタン系樹脂粒子１００重量部当り１～５０重量部の量で含んでいる請求項１２に記載の塗布組成物。
16. 前記硬化剤として、シランカップリング剤を、前記ウレタン系樹脂粒子１００重量部当り０．１～５０重量部の量で含んでいる請求項１２に記載の塗布組成物。
17. イソシアネート反応性樹脂粒子が溶媒に溶解乃至分散されている塗布組成物からなる水分トラップ層の下地層形成用塗布組成物であって、
    該溶媒には、硬化剤としてポリイソシアネートが、溶解乃至分散されており、
    前記イソシアネート反応性樹脂粒子を形成しているイソシアネート反応性樹脂が、（メタ）アクリル系樹脂またはポリエステル樹脂であり且つ６０℃以上のガラス転移点を有していることを特徴とする水分トラップ層の下地層形成用塗布組成物。
18. 前記イソシアネート反応性樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）が１４，０００以上である請求項１７に記載の塗布組成物。

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