JP7261055B2 - 回転塗布装置及び回転塗布方法 - Google Patents
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Description
図1及び図2は第1実施形態に係る回転塗布装置10の概略構成を示す平面図及び正面図である。なお、X軸方向、Y軸方向、及びZ軸方向は互いに直交する方向であり、X軸方向は水平方向、Y軸方向はX軸方向に直交する水平方向、Z軸方向は上下方向(鉛直方向)である。図1及び図2に示す回転塗布装置10は、テーブル14と、ノズル22と、アーム25と、ノズル揺動装置(ノズル移動装置)20と、テーブル回転装置30と、を備える。
第1実施形態ではノズル揺動装置20によりノズル22が揺動される場合について説明した。第2実施形態ではノズル22の動きの他の例について説明する。第2実施形態の回転塗布装置の構成は第1実施形態と同じであるため、構成についての説明は省略する。
第3実施形態ではノズル22の動きの更なる他の例について説明する。第3実施形態の回転塗布装置の構成は第1実施形態と同じであるため、構成についての説明は省略する。
以上説明したように、各実施形態に係わる回転塗布装置10では、テーブル14の回転とノズル22の移動とを併用して塗布液をウェハ12の表面に散布する。これにより、テーブル14の回転速度を従来よりも低くすることができ、ひいては、塗布液の飛散を低減することができる。
Claims (3)
- 加工対象物を載置するテーブルと、
前記テーブルを回転させるテーブル回転装置と、
前記テーブルと対向して設けられ、気体と混合された微粒子状の塗布液を散布する二流体混合ノズルと、
前記テーブルの上方で前記二流体混合ノズルを移動させるノズル移動装置と、
1つの前記加工対象物に対して前記塗布液を散布する場合に、前記テーブルの回転動作と、前記二流体混合ノズルの移動とを交互に繰り返し行うように、前記テーブル回転装置及び前記ノズル移動装置を制御する制御部と、
を備える回転塗布装置。 - 前記気体及び前記塗布液の流量を制御するノズル制御部を更に備える請求項1に記載の回転塗布装置。
- 加工対象物を載置するテーブルを回転させている状態で、前記テーブルと対向して設けられた二流体混合ノズルから微粒子状の塗布液を散布する工程と、
前記テーブルの上方で前記二流体混合ノズルを移動させるノズル移動工程と、
1つの前記加工対象物に対して前記塗布液を散布する場合に、前記テーブルの回転動作と、前記二流体混合ノズルの移動とを交互に繰り返し行う制御工程と、
を含む回転塗布方法。
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