JP7259722B2 - 単結晶製造装置及び単結晶の製造方法 - Google Patents
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Description
2 原料ロッド
3 種結晶
4 シリコン単結晶
4a テーパー部
4b 直胴部
5 溶融帯
5a 原料側溶融部
5b ネック部
5c 単結晶側溶融部
11 上軸
12 料送り機構
13 下軸
14 晶送り機構
15 原料保持具
16 種結晶保持具
17 単結晶重量保持具
20 誘導加熱コイル
21 コイル導体
22 端子電極
23 内側開口部
24 スリット
25 絶縁部材
26 開口部
30 ドーパント供給装置
31 ドーパント供給管
31a ストレート部
31b ノズル部
Claims (6)
- FZ法による単結晶の製造に用いられる単結晶製造装置であって、
原料ロッドを回転可能及び昇降可能に支持する上軸と、
前記上軸と同軸配置され、前記原料ロッドの下方に配置された種結晶を回転可能及び昇降可能に支持する下軸と、
前記原料ロッドを加熱して溶融帯を生成する誘導加熱コイルと、
前記誘導加熱コイルの上面側に設置され、前記溶融帯にドーパントガスを供給するドーパント供給管とを備え、
前記誘導加熱コイルの外径は前記原料ロッド及び前記単結晶の直胴部の直径よりも大きく、かつ前記誘導加熱コイルの内径は前記原料ロッド及び前記単結晶直胴部の直径よりも小さく、
前記誘導加熱コイルは、上面から下面まで貫通する開口部を有し、
前記ドーパント供給管の先端部は、前記開口部内に挿入され、
前記ドーパント供給管の先端部は、前記単結晶の中心から0.7R以上1R以下の領域内(ただしRは前記単結晶の最大半径)の直上に配置されていることを特徴とする単結晶製造装置。 - 前記開口部は、前記誘導加熱コイルの内側開口部から最外周まで伸びるスリットである、請求項1に記載の単結晶製造装置。
- FZ法による単結晶の製造に用いられる単結晶製造装置であって、
原料ロッドを回転可能及び昇降可能に支持する上軸と、
前記上軸と同軸配置され、前記原料ロッドの下方に配置された種結晶を回転可能及び昇降可能に支持する下軸と、
前記原料ロッドを加熱して溶融帯を生成する誘導加熱コイルと、
前記誘導加熱コイルの上面側に設置され、前記溶融帯にドーパントガスを供給するドーパント供給管とを備え、
前記誘導加熱コイルは、上面から下面まで貫通する開口部を有し、
前記ドーパント供給管の先端部は、前記開口部内に挿入され、
前記開口部は、前記誘導加熱コイルの内側開口部から最外周まで伸びるスリットであることを特徴とする単結晶製造装置。 - 原料ロッドを誘導加熱コイルで加熱して溶融帯を形成し、前記溶融帯の上方及び下方にそれぞれ位置する前記原料ロッド及び単結晶を降下させて前記単結晶を成長させるFZ法による単結晶の製造方法であって、
前記誘導加熱コイルは、上面から下面まで貫通する開口部を有し、
前記誘導加熱コイルの上面側に設置され、前記溶融帯にドーパントガスを供給するドーパント供給管を有し、
前記ドーパント供給管の先端部は前記開口部内に挿入され、かつ前記単結晶の中心から0.7R以上1R以下の領域内(ただしRは前記単結晶の最大半径)の直上に配置され、
前記ドーパント供給管の先端部から前記誘導加熱コイルの下面側に位置する前記溶融帯に向けてドーパントガスを吹き付けることを特徴とする単結晶の製造方法。 - 前記誘導加熱コイルの内側開口部から最外周まで伸びるスリットを通じて前記溶融帯に前記ドーパントガスを吹き付ける、請求項4に記載の単結晶の製造方法。
- 原料ロッドを誘導加熱コイルで加熱して溶融帯を形成し、前記溶融帯の上方及び下方にそれぞれ位置する前記原料ロッド及び単結晶を降下させて前記単結晶を成長させるFZ法による単結晶の製造方法であって、
前記誘導加熱コイルは、上面から下面まで貫通する開口部を有し、
前記誘導加熱コイルの上面側に設置され、前記溶融帯にドーパントガスを供給するドーパント供給管の先端部を前記開口部内に挿入して、前記誘導加熱コイルの下面側に位置する前記溶融帯に向けてドーパントガスを吹き付け、
前記開口部は、前記誘導加熱コイルの内側開口部から最外周まで伸びるスリットであることを特徴とする単結晶の製造方法。
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