JP7250434B2 - 光学ガラス、光学素子、光学機器、光学ガラスの製造方法および光学素子の製造方法 - Google Patents

光学ガラス、光学素子、光学機器、光学ガラスの製造方法および光学素子の製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、La等の希土類と、Bと、Nbと、TiOを必須成分とした光学ガラス及びそれを成形して得られる光学素子およびそれらの製造方法に関する。
一般に、高屈折率高分散のガラスは、SiO、B、Pなどに代表される網目形成酸化物と、高屈折率高分散を与えるNb、TiOなどの網目修飾酸化物または中間酸化物を含有させて作製する。ここで、Nb、TiOは可視光付近まで吸収端が存在するので、高屈折率高分散を与える。高屈折率高分散ガラスを得ようとする場合、低屈折率低分散である網目形成酸化物をNbやTiOに置換して、相対的にTiOやNbの割合を増加させ高屈折率高分散ガラスを作製する。このように網目形成酸化物割合が少なくなりNbのような網目修飾酸化物またはTiOのような中間酸化物が増えると、ガラスが不安定化し結晶が析出しやすくなる。また、TiOやNbは還元しやすく、その合計量が増えれば増えるほど型を用いてガラスを加熱成形しレンズとするガラスモールド作製工程で、型とガラス中の酸素が反応して気体が発生し、転写不良が生じやすくなる。転写不良の対策として、還元しやすいイオン量を低減すること、ガラスモールド作製工程の加熱成形温度を低下させて型とガラスの反応を抑制することが行われてきた。
特許文献1では、B―La―Nb系ガラスが開示されている。また、特許文献2ではLa―TiO-Ta系のガラスが開示されている。
特開2014-196236号公報 特開2016-199408号公報
特許文献1は、B―La―Nbを基本成分とする高屈折率低分散の光学ガラスを開示している。しかしながら、特許文献1に開示されている光学ガラスは、高屈折率でガラス転移点が低いガラスについては開示していない。特許文献1に記載された高屈折率の光学ガラスは、ガラス転移点が高いので、ガラスモールドでレンズ等を作製する場合に、加熱成形工程の温度が高くなり、型とガラスの反応が生じて転写不良が発生しやすいという課題がある。
特許文献2は、La―TiO-Taを基本成分とする高屈折高分散ガラスを開示している。しかしながら、特許文献2に開示されたガラスは、ガラス転移点が低いガラスについては開示していない。また、特許文献2に開示されたガラスは、還元され易いTi4+を多く含有しているので、ガラスモールド作製工程では型とガラスが反応して気体が発生し、転写不良が発生しやすいという課題がある。
本発明はこのような背景技術に鑑みてなされたものであり、本発明の光学ガラスは、La等の希土類と、Bと、Nbと、TiOを必須成分とした光学ガラスである。本発明の光学ガラスは、高屈折率でガラス転移点が低く、ガラスモールドのプリフォームに用いた場合に転写不良が少ない光学ガラスを提供することを目的とする。
本発明の光学ガラスは、ガラスを構成する陽イオンとして、カチオン%表示で、10cat%≦B3+≦50cat%、15cat%≦La3+≦35cat%、20cat%≦Nb5+≦50cat%、15cat%≦Ti4+≦25cat%を満たす(ただし、Ti 4+ =25cat%のとき、10cat%≦B 3+ ≦30cat%、15cat%≦La 3+ ≦25cat%、30cat%≦Nb 5+ ≦50cat%、を満たす)ことを特徴とする。
本発明の光学素子は、上記の光学ガラスを有することを特徴とする。
本発明の光学ガラスの製造方法は、無容器凝固法を用いる光学ガラスの製造方法であって、カチオン%表示で、上記の光学ガラスの組成を満たすガラス材料を浮上ガスで浮上させる工程と、前記浮上させたガラス材料を加熱溶解して溶融物を得る工程と、前記溶融物を浮上させた状態で冷却固化する工程と、を有することを特徴とする。
本発明の光学素子の製造方法は、上記の組成を有する光学ガラスのレンズプリフォームを準備する工程と、加熱した前記レンズプリフォームを、型部材を用いて加圧して成形する工程と、成形した前記レンズプリフォームを型部材から離型して光学素子を作製する工程と、を有することを特徴とする。
本発明によれば、高屈折率高分散であり、ガラス転移点が低く、ガラスモールドのプリフォームに用いた場合に転写不良が少ない光学ガラスを提供することができる。
本発明の光学レンズを製造するときに用いる成形機の概略図である。 実施例で用いたガスジェット浮遊装置を示す概略図である。 実施例および比較例のTi4+=5cat%時のB-La-Nbの三相図である。 実施例および比較例のTi4+=10cat%時のB-La-Nbの三相図である。 実施例および比較例のTi4+=15cat%時のB-La-Nbの三相図である。 実施例および比較例のTi4+=20cat%時のB-La-Nbの三相図である。 実施例および比較例のTi4+=25cat%時のB-La-Nbの三相図である。
以下、本発明を詳細に説明する。
(光学ガラス)
本発明の光学ガラスは、カチオン成分として、B3+、La3+等の希土類イオン、Nb5+、Ti4+イオンを含有するガラスである。本発明のガラスは、高屈折率高分散で、低ガラス転移点を有するガラスである。
本発明のガラスは、ガラスに含まれる陽イオン全体に対する割合(カチオン%表示)で、B3+を10cat%以上50cat%以下含有する。B3+は光学塩基度Bの値が0.028と小さく、酸素を放出しにくい。
光学塩基度Bは以下のようにして定義する。酸化物MOのM-O間の結合力は陽イオン-酸素イオン間引力Aとすると、下記式(1)のようになる。ここで、Zi=Miイオンの価数、ZO2-=酸素イオンの価数、ri=Miイオンのイオン半径、rO2-=酸素イオンのイオン半径である。
Figure 0007250434000001
下記式(2)のAiの逆数(1/Ai)を構成成分酸化物MiOの酸素供給能力とするBiとする。
Figure 0007250434000002
このBをCaO=1、SiO2=0として規格化したものがBである。
光学ガラスを高温に加熱して軟化させ、型(鋳型)に流し込んでプレス加工をして成形するガラスモールドでは、ガラス中の酸素イオンが型と反応し気体が発生することにより転写不良が生じる原因となる。本発明の光学ガラスは、B3+を10cat%以上50cat%以下含有するので、ガラスモールドで光学レンズを作製する場合に転写不良を抑制することができる。B3+が10cat%未満だと、ガラスが得られ難く、またガラスモールドでレンズを作製する場合に転写不良が生じ易い。また、B3+が50cat%より多いと、屈折率が低下し、高屈折率高分散ガラスが得られない。
本発明の光学ガラスは、B3+を20cat%以上50cat%以下含有することが好ましい。
本発明の光学ガラスは、La3+を15cat%以上35cat%以下含有する。La3+等の希土類イオン(La3+、Y3+、Gd3+、Lu3+、Yb3+)は網目形成成分と同様の働きをしていると考えられる。La3+等の希土類イオンの含有量が15cat%未満だとガラスが得られ難い。La3+等の希土類イオンの含有量が35cat%より多いと、低分散化し高分散ガラスが得られず、またガラス転移点(Tg)が高くなりガラスモールドでレンズを作製する場合に高温を要する。ここで、La3+は、Y3+、Gd3+、Lu3+、Ybから選ばれる少なくとも1つ以上の希土類イオンと置換が可能である。Y3+、Lu3+、Ybは0cat%以上10cat%以下、Gd3+は0cat%以上15cat%以下La3+と置換することができる。Y3+、Lu3+、Yb3+は10cat%、Gd3+は15cat%より多いと結晶化する。
本発明の光学ガラスは、Nb5+を20cat%以上50cat%以下含有する。ガラス中でNb5+は、一部ガラス網目形成成分として働き、特に高屈折率高分散を付与する働きをする。Nb5+が20cat%未満であると高屈折率ガラスが得られず、Nb5+が50cat%を超えると、ガラスが不安定化し結晶化(失透)してしまう。
本発明の光学ガラスは、Ti4+を15cat%以上25cat%以下含有する。Ti4+は高屈折率高分散を与える必須成分である。Ti4+が15cat%未満であるとガラスが不安定化し失透してしまう。25cat%より多いとガラス転移点が上昇し、ガラスに黄色味が帯びて透過率が低下する。
本発明の光学ガラスは、Al3+を0cat%以上5cat%以下含有することができる。Al3+は溶融時の粘性をあげ失透防止の役割を果たす。しかしながら、Al3+が5cat%より多いと屈折率が低下する。
本発明の光学ガラスは、Ga3+を0cat%以上5cat%以下含有することができる。Ga3+はガラス化促進の効果を有するが、Ga3+が5cat%より多いと揮発しやすくなりガラスモールドで成形してレンズを作製した場合に転写不良が起こりやすくなる。
本発明の光学ガラスは、Zn2+を0cat%以上10cat%以下含有することができる。Zn2+はガラス化範囲を広げ、ガラス転移点を下げる効果があり、屈折率低下を抑制する成分である。Zn2+が10cat%より多いとガラスが不安定化し結晶化(失透)し易くなる。また、Zn2+が10cat%より多いと溶融時の粘度が低くなり大きなガラス体を得られ難く、揮発しやすくなりガラスモールドで成形してレンズを作製した場合に転写不良が起こりやすくなる。
本発明の光学ガラスは、Ta5+が0cat%以上15cat%以下含有することができる。Ta5+は、ガラス化を促進し、高屈折率効果を有する。Ta5+が15cat%より多いと揮発しやすくなりガラスモールドで成形してレンズを作製した場合に転写不良が起こりやすくなる。
本発明の光学ガラスは、上記の成分の他に、高屈折率高分散で無色透明の特性を維持できる範囲で他の成分を含有しても良い。例えば、陽イオンとしてはSi4+、Ge4+、Zr4+、Li、Na、K、Mg2+、Ca2+、Sr2+、Ba2+、陰イオンとしてはF、S2-を含有することができる。
本発明の光学ガラスは、Pb が0cat%以上3cat%以下であることが好ましく、0cat%以上1cat%以下であることがより好ましく、0cat%であることが更に好ましい。Pb が3cat%より多くなると、無容器凝固法で光学ガラスを作製する場合に、溶融時の粘性を低下させて、溶融時のガラスとノズルが付着しやすく大きな容量のガラスを得るのが困難となる。
本発明の光学ガラスは、W6+が0cat%以上3cat%以下であることが好ましく、0cat%以上1cat%以下であることがより好ましく、0cat%であることが更に好ましい。W6+は高屈折率高分散を与え、ガラス転移点を低下させる効果を有する。しかし、W6+が3cat%より多くなると、W6+は還元され易いので、ガラスモールドで成形してレンズを作製した場合に成形型と反応しガスを発生して転写不良が起こり易くなる。
本発明の光学ガラスは、Bi3+、Pb 、Te2+が各々0cat%以上3cat%以下であることが好ましく、0cat%以上1cat%以下であることがより好ましく、0cat%であることが更に好ましい。Bi3+、Pb2+、Te2+は、高い高屈折率高分散効果を与えるが、可視光領域に吸収を持つため添加することでガラスが黄色みを帯び易い。Bi3+、Pb2+、Te2+が各々0cat%以上3cat%より多いと、これらのイオンは還元され易いので、光学ガラス中に金属として析出し易くなる。また、ガラスモールドで成形してレンズを作製した場合に成形型と反応してガスを発生し転写不良が起こり易くなる。
本発明の光学ガラスは、B3+とLa3+とY3+とGd3+とLu3+、とYbとNb5+とTi4+の合計量が85cat%以上100cat%以下であることが好ましく、95cat%以上100cat%以下であることがより好ましい。
本発明の光学レンズは、d線における屈折率が2.07以上2.31以下、アッベ数が18以上25以下であることが好ましい。また、本発明の光学レンズは、ガラス転移点(Tg)が750℃以下であることが好ましく、730℃以下であることがより好ましく、710℃以下であることが更に好ましい。ガラス転移点(Tg)が高いとガラスをプレスするときの温度も上昇するため、ガラスとプレス型の反応が促進され、泡が発生し易くなる。
(光学素子)
本発明の光学素子は、上記の光学ガラスを成形することによって得られる。本明細書において、光学素子とは、レンズ、プリズム、反射鏡(ミラー)、回折格子等の光学機器を構成する素子をいう。
(光学ガラスの製造方法)
本発明の光学ガラスの製造方法は、炭酸ガスレーザをガラス材料に照射して溶解させ、その溶融物をノズルから噴出されたガス流体(浮上ガス)により浮上させた後、冷却固化させる無容器凝固法である。ガス流体のガス種は用途に合わせて、空気、窒素、酸素、アルゴンなどに代表される不活性ガスを用いることができる。また、ガス流量は溶融物の浮上に合わせて200~5000ml/分とすることができる。
無容器凝固法とは、Pt合金(Ptまたは白金合金、例えばPt―Au,Pt―Au―Rhなど)やC系(CやSiCなど)等の容器を用いずに、材料を加熱溶解させた後、冷却固化させてガラスを得る方法である。
無容器凝固法の特徴は大きく2つある。1つ目は容器を用いることが無い為、溶融物と容器の界面で発生する不均一核生成が無く、深い冷却度を得ることができることである。2つ目は、容器を用いることが無い為、従来は容器そのものの融点(例えばPtならば1768℃)以上の高融点を有する試料も加熱溶解できることである。
無容器凝固法での主な工程は、ガラス材料を加熱溶解させる工程、そのガラス材料を加熱溶解させた溶融物を浮上させる工程、及び加熱源を切り冷却固化させる工程、である。
ガラス材料料を加熱溶解させる工程では、加熱源として炭酸ガスレーザに代表されるレーザ加熱源、高周波加熱源、マイクロ波加熱源、ハロゲンランプの集光によるイメージ炉などを用いることができる。
溶融物を浮上させる工程では、磁気浮遊,静電浮遊,音波浮遊,ガスジェット浮遊(ガス浮上)やそれぞれの組み合わせ(例えば音波浮遊とガスジェット浮遊など),微小重力下(例えば落下や宇宙空間など)を用いることができる。これらの中では、簡便な装置の構成で浮上させることができるので、ガスジェット浮遊(ガス浮上)を用いることが好ましい。
溶融物を浮上させた状態で冷却固化する工程では、溶融物から結晶が発生しない冷却速度で冷却固化させることで透明なガラス球を得ることができる。
(光学レンズの製造方法)
本発明の光学レンズの製造方法では、上記の光学ガラスのレンズプリフォームを準備する。準備したレンズプリフォームを、上型と下型とを有する型部材を有する図1に示す成形機を用いて加圧して成形する。次に、成形した前記レンズプリフォームを型部材から離型して光学レンズを作製する。
図1は、本発明の光学レンズの製造方法に用いる成形機の概略図である。図1を用いて光学レンズの製造方法について説明する。成形機50には、チャンバー51、成形用型10を有している。さらに、成形されるレンズプリフォーム52が成形用型10に投入される。成型機50は、ヒーター53、上型をプレスするための軸54、上型をプレスする際に軸位置を決定する胴型55、下型を支え圧力を加える支持台56を有している。
チャンバー51の内部は窒素置換され、その後、ヒーター53により所望の温度までレンズプリフォーム52、成形用型10、胴型55が加熱される。その後、軸54と支持台56用いて上下の成形用型10で硝子プリフォーム52をプレス成形する。
成形型10の上型と下型の型部材は、レンズプリフォームと接触する表面に離型膜を有していることが好ましい。離型膜は、金属系の膜やアモルファスカーボン膜を用いることができる。耐食性に優れているのでアモルファスカーボン膜を用いることが好ましい。
以下に、実施例を用いて本発明を説明する。
出来上がったガラスはICP(誘導結合プラズマ)発光分析により測定した。
実施例1~57では、ガラス中の陽イオンの組成が表1に示すように、ガラス原料として、B(HBO)La(LaF,La)、Nb、TiO(TiS)、ZnOの合計が10gとなるよう秤量した。
その後メノウ乳鉢を用いて15分間ガラス合成の原料が均一になるよう混合した。この混合物中の水分を除く為に、600℃で7時間電気炉中にて焼成した。焼成粉末を加圧ゴム型に充填させた後、冷間等方圧加圧法にて20kNで1分間保持した。出来上がった棒状粉末(圧粉体)を、1200℃で7時間焼成を行ない、焼結体1を得た。この焼結体1を図2に示すガスジェット浮遊装置のノズル3上にセットし、500ml/分の酸素ガス4をノズル穴から流しながら、炭酸ガスレーザ5を上部から照射し加熱した。ここで酸素ガス4は乾燥空気でも窒素でも試料2を浮上させることができれば種類は問わない。またガス量は焼結体1の大きさに合わせて0.5~6L/分の間で適宜調節することが可能である。ガスジェット浮遊装置のノズル3上にセットした焼結体1を加熱し、完全に融液となり酸素ガスによる浮上を確認した後、レーザ出力を遮断して急速に冷却して透明な球体試料2の光学ガラスを得た。
図1に示す上型、下型を有する成形型10およびそれらを同一軸上で収納する胴型55からなる成形機50を用いて球形試料2をガラス素材として導入して光学素子の連続成形を行った。上型はプレス軸54に連結しており、プレス軸54の上下移動により下型に設置したガラス素材をプレス成形することができる。また胴型内にはヒーター53が内蔵されており、上下型の温度を制御することができる。型材料として炭化タングステンを主成分とする超硬合金を選択した。上型の成形面は凸形状に加工し、下型の成形面は凹形状に加工し、凸メニスカス形状の光学素子を成形した。上型、下型の成形面にはカーボン膜を形成した。プレス軸の移動により上型を十分引き上げた状態でヒーター53により成形用型10の加熱を行い、上下型の温度がTg+50℃以下でプレスを行い、ガラスモールドレンズを得た。
比較例1~42では、ガラス中の陽イオンの組成が表2及び表3に示すように、ガラス原料として、B(HBO)La(LaF,La)、Nb、TiO(TiS)、ZnOの合計が10gとなるよう秤量した。比較例1~42は、ガラス原料の組成が異なる以外は、実施例と同様にして、光学ガラスおよびガラスモールドレンズを作製した。
[評価方法]
(ガラス化判定)
球体の試料2は、その後光学顕微鏡(100倍)にて観察を行い結晶の有無を判定した。表1及び表2には、表1には直径3mmの球体の試料を顕微鏡で観察した時に結晶が観察されなかったものには○を表記している。
(ガラス転移点及びΔTxの測定)
球体の試料2をメノウ乳鉢で粉砕して、外径5mm高さ2.5mmの白金製パンに詰めた後、リガク製DSC8270示差走査型熱量計(DSC)にて10℃/分の昇温速度で1200℃まで加熱し、ガラス転移点(Tg)の検出を行った。結晶開始温度Txとガラス転移点Tgとの差ΔTx(Tx-Tg=ΔTx)を求めた。
(屈折率測定)
屈折率とアッベ数は、互いに直交する2面を研磨により作製し、島津製作所製KPR-2000を用いて測定した。サンプルが小さい場合は透明な球体試料を半球状に研磨した後エリプソメーター(J.A.Woollam.Co.,Inc製M-2000F)にて測定した。
(評価結果)
実施例1~57で得られた透明な球体試料の結果を表1及び表2に示す。また比較例1~42を表3及び表4に示す。
表1及び表2で、B3+が10cat%以上50cat%以下、La3+等の希土類イオンの合計が15cat%以上35cat%以下、Nb5+が20cat%以上50cat%以下、Ti4+が15cat%以上25cat%以下の組成の光学ガラスを作製した。実施例1~57の光学ガラスは、光学顕微鏡観察で結晶が観察されず、示差走査型熱量計での測定においてガラス転移点が確認され、透明な球体試料を得ることができた。また、実施例1~57の光学ガラスは、d線(587.56nm)における屈折率はすべて2.07以上2.31以下であった。またアッベ数(νd)はすべて25以下であった。プレス後のガラスモールドレンズはいずれも割れ、欠け、曇りなどの外観不良はなかった。
図3~図7に、実施例および比較例で、Ti4+が5cat%(図3)、10cat%(図4)、15cat%(図5)、20cat%(図6)、25cat%(図7)のB-La-Nbの三相図を示す。
表3及び表4に示すように、比較例1~14、18~28、33~42は、特許請求の範囲で規定するガラスの組成を満たさずガラスが得られなかった。比較例15~17、29~32は、Ti4+の組成が少なく特許請求の範囲を満たさず、ガラスは得られるがその量が少ないためにnd2.07以上の高屈折率ガラスが得られなかった。
Figure 0007250434000003
Figure 0007250434000004
Figure 0007250434000005
Figure 0007250434000006
例えばカメラ、デジタルカメラ、VTR、DVDなどの光ピックアップレンズとして使用することができる。
1 焼結体
2 試料
3 ノズル
4 酸素ガス
5 炭酸ガスレーザ
10 成形用型
50 成形機

Claims (16)

  1. ガラスを構成する陽イオンとして、カチオン%表示で、
    10cat%≦B3+≦50cat%、
    15cat%≦La3+≦35cat%、
    20cat%≦Nb5+≦50cat%、
    15cat%≦Ti4+≦25cat%
    を満たす(ただし、Ti 4+ =25cat%のとき、
    10cat%≦B 3+ ≦30cat%、
    15cat%≦La 3+ ≦25cat%、
    30cat%≦Nb 5+ ≦50cat%、を満たす)ことを特徴とする光学ガラス。
  2. 0cat%≦Al3+≦5cat%、
    0cat%≦Ga3+≦5cat%、
    0cat%≦Zn2+≦10cat%、
    0cat%≦Ta5+≦15cat%
    を満たすことを特徴とする請求項1に記載の光学ガラス。
  3. 85cat%≦(B3+とLa3+とNb5+とTi4+の合計量)≦100cat%
    を満たすことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学ガラス。
  4. 0cat%≦Pb ≦3cat%
    を満たすことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光学ガラス。
  5. d線における屈折率が2.07以上2.31以下、アッベ数が18以上25以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光学ガラス。
  6. ガラス転移点(Tg)が710℃以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光学ガラス。
  7. 20cat%≦B3+≦50cat%
    を満たすことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の光学ガラス。
  8. 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の光学ガラスを有する光学素子。
  9. 無容器凝固法を用いる光学ガラスの製造方法であって、カチオン%表示で、
    10cat%≦B3+≦50cat%、
    15cat%≦La3+≦35cat%、
    20cat%≦Nb5+≦50cat%、
    15cat%≦Ti4+≦25cat%
    を満たす(ただし、Ti 4+ =25cat%のとき、10cat%≦B 3+ ≦30cat%、15cat%≦La 3+ ≦25cat%、30cat%≦Nb 5+ ≦50cat%を満たす)ガラス材料を浮上ガスで浮上させる工程と、前記浮上させたガラス材料を加熱溶解して溶融物を得る工程と、前記溶融物を浮上させた状態で冷却固化する工程と、を有することを特徴とする光学ガラスの製造方法。
  10. 前記ガラス材料が
    0cat%≦Al3+≦5cat%、
    0cat%≦Ga3+≦5cat%、
    0cat%≦Zn2+≦10cat%、
    0cat%≦Ta5+≦15cat%
    を満たすことを特徴とする請求項9に記載の光学ガラスの製造方法。
  11. 前記ガラス材料が
    85cat%≦(B3+とLa3+とNb5+とTi4+の合計量)≦100cat%
    を満たすことを特徴とする請求項9又は10に記載の光学ガラスの製造方法。
  12. 前記ガラス材料が、
    0cat%≦Pb ≦3cat%
    を満たすことを特徴とする請求項9乃至11のいずれか一項に記載の光学ガラスの製造方法。
  13. ガラスを構成する陽イオンとして、カチオン%表示で、
    10cat%≦B3+≦50cat%、
    15cat%≦La3+≦35cat%、
    20cat%≦Nb5+≦50cat%、
    15cat%≦Ti4+≦25cat%
    を満たす(ただし、Ti 4+ =25cat%のとき、10cat%≦B 3+ ≦30cat%、15cat%≦La 3+ ≦25cat%、30cat%≦Nb 5+ ≦50cat%、を満たす)光学ガラスのレンズプリフォームを準備する工程と、
    加熱した前記レンズプリフォームを、型部材を用いて加圧して成形する工程と、
    成形した前記レンズプリフォームを前記型部材から離型して光学素子を作製する工程と、
    を有することを特徴とする光学素子の製造方法。
  14. 前記型部材は、前記レンズプリフォームと接触する表面に離型膜を有することを特徴とする請求項13に記載の光学素子の製造方法。
  15. 前記離型膜は、アモルファスカーボン膜であることを特徴とする請求項14に記載の光学素子の製造方法。
  16. 請求項8に記載の光学素子を有する光学機器。
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