JP7246038B2 - 窒化物半導体レーザダイオード - Google Patents

Description

本発明は窒化物半導体レーザダイオードに関する。

窒化物半導体レーザダイオードには構造の違いにより様々な種類が存在するが、その中の一つに結晶の劈開面を反射ミラーとして用いるファブリーペロー型窒化物半導体レーザダイオードがある。劈開面を露出させる方法としては、一般的に結晶の劈開面に沿って切断する方法と、エッチング技術を用いる方法の二種類がある。エッチング技術を用いる方法は、基板と基板上の窒化物半導体の劈開面が異なる場合でも適用可能で汎用性が高いことから、一般的に実用化されている。

特許文献１には、サファイア基板上に３族窒化物半導体を積層させた構造に対し、ドライエッチングとウェットエッチングを組み合わせたエッチング方法を行うことで３族窒化物半導体を除去してサファイア基板を露出させることにより、３族窒化物半導体の側面に共振器面を有する構造のレーザダイオードを形成する方法および構造が開示されている。

特開平１０－４１５８５号公報

特許文献１に開示された構造を有するレーザダイオードは、レーザダイオードの組み立て時の洗浄工程の歩留まりの低下や、レーザダイオードの短寿命化の問題が発生するという問題を有している。

本発明の目的は、歩留まり向上および長寿命化を図ることができる窒化物半導体レーザダイオードを提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明の一態様による窒化物半導体レーザダイオードは、基板上に設けられた基部と、前記基部の上面の一部に設けられた第一半導体層と、前記第一半導体層の上面の一部に設けられた発光部と、前記第一半導体層の上面の一部に設けられた第一電極と、前記発光部の上に設けられた第二電極と、を備え、前記基部は、前記第一半導体層が形成されていない領域であってＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎ（ｘ１＋ｙ１＝１、０≦ｘ１＜１、０＜ｙ１≦１）で形成された前記上面を含む上部領域を有することを特徴とする。

本発明の一態様によれば、歩留まり向上および長寿命化を図ることができる。

本発明の一実施形態による窒化物半導体レーザダイオードの構造の一例を模式的に示す斜視図である。 本発明の一実施形態による窒化物半導体レーザダイオードを説明する図であって、窒化物半導体レーザダイオードに備えられた基部の上面を形成するＡｌＧａＮのＡｌ組成比に対する、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液（２５％）に８５℃で５分浸漬した場合の、当該ＡｌＧａＮのエッチング量の相関グラフである。 本発明の一実施形態の実施例１による窒化物半導体レーザダイオードを説明する図であって、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液（２５％）に８５℃で５分浸漬した場合の窒化物半導体レーザダイオードの断面のＳＥＭ画像である。 本発明の一実施形態による窒化物半導体レーザダイオードを説明する図であって、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液（２５％）に８５℃で１５分浸漬した場合の比較例１による窒化物半導体レーザダイオードの断面のＳＥＭ画像である。 本発明の一実施形態による窒化物半導体レーザダイオードを説明する図であって、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液（２５％）に８５℃で３０分浸漬した場合の比較例２による窒化物半導体レーザダイオードの断面のＳＥＭ画像である。

特許文献１に開示された構造を有するレーザダイオードの組み立て時の洗浄工程の歩留まりの低下や、レーザダイオードの短寿命化の問題が発生する原因について、本発明者らが鋭意検討した結果、当該構造のレーザダイオードは、耐薬品性や耐湿性に乏しく、特に塩基性の環境下においては窒化物半導体の溶解や腐食の侵攻が激しいことが分かった。そこで、本発明者らは、この知見に基づき、以下の窒化物半導体レーザダイオードの発明に至った。

本発明の一実施形態による窒化物半導体レーザダイオードについて図１から図５を用いて説明する。まず、本実施形態による窒化物半導体レーザダイオード（以下、「レーザダイオード」と略記する）１の構造の一例について図１を用いて説明する。

図１に示すように、本実施形態によるレーザダイオード１は、基板１１と、基板１１上に設けられた基部１２と、基部１２の上面１２ａの一部に設けられた第一半導体層３１１と、第一半導体層３１１上の一部に設けられたメサ部半導体層３１２とを備えている。レーザダイオード１は、メサ部半導体層３１２上に設けられた下部ガイド層３２１と、下部ガイド層３２１上に設けられた発光層３２２と、発光層３２２上に設けられた上部ガイド層３２３とを備えている。レーザダイオード１は、上部ガイド層３２３上に設けられた第二半導体層３３１と、第二半導体層３３１上に設けられたリッジ部半導体層３３２とを備えている。レーザダイオード１は、第一半導体部３１上に設けられた第一電極１４と、リッジ部半導体層３３２上に設けられた第二電極１５とを備えている。

下部ガイド層３２１と、発光層３２２と、上部ガイド層３２３とを合わせて発光部３２が構成されている。第二半導体層３３１と、リッジ部半導体層３３２とを合わせて第二半導体部３３が構成されている。第一半導体層３１１は、基部１２の上面１２ａの一部に配置されている。このため、基部１２の上面１２ａには、第一半導体層３１１が形成されていない領域と、第一半導体層３１１が形成されている領域とが存在する。第一半導体層３１１と、メサ部半導体層３１２とを合わせて第一半導体部３１が構成されている。第一半導体部３１と、発光部３２と、第二半導体部３３とを合わせて窒化物半導体素子部１３が構成されている。

レーザダイオード１は、第一半導体層３１１及び発光部４の側面を少なくとも含む光を外部へ出射する方向の側面に設けられた共振器面１６を備えている。より具体的には、共振器面１６は、第一半導体部３１の側面と、発光部３２の側面と、第二半導体部３３の側面とによって形成される同一平面で構成されている。共振器面１６は、Ａｌ_ｘ２Ｇａ_ｙ２Ｎ（ｘ２＋ｙ２＝１、０≦ｘ２≦０．８、０．２≦ｙ２≦１）で形成されている。共振器面１６は、第一半導体部３１、発光部３２及び第二半導体部３３という複数の層で構成されているが、第一半導体部３１、発光部３２及び第二半導体部３３のそれぞれの側面が、Ａｌ_ｘ２Ｇａ_ｙ２Ｎ（ｘ２＋ｙ２＝１、０≦ｘ２≦０．８、０．２≦ｙ２≦１）で形成されている。

レーザダイオード１の基部１２は、第一半導体層３１１が形成されていない領域であってＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎ（ｘ１＋ｙ１＝１、０≦ｘ１＜１、０＜ｙ１≦１）で形成された前記上面を含む上部領域１２１を有している。また、レーザダイオード１は、窒化物半導体素子部１３及び基部１２の露出面を被覆する絶縁層を備えていてもよい。この絶縁層は、例えばＳｉＮや、ＳｉＯ_２、ＳｉＯＮ、Ａｌ_２Ｏ_３、ＺｒＯ層などの酸化物や窒化物が挙げられるが、この限りでは無い。絶縁層を被覆することにより、レーザダイオード１の耐久性を向上させて、長寿命のレーザダイオード１を実現することが可能である。

次に、レーザダイオード１を構成する各構成要件の詳細について図１を参照しつつ図２を用いて説明する。

（基板）
基板１１を形成する材料の具体例としては、Ｓｉ、ＳｉＣ、ＭｇＯ、Ｇａ_２Ｏ_３、Ａｌ_２Ｏ_３、ＺｎＯ、ＧａＮ、ＩｎＮ、ＡｌＮ、あるいはこれらの混晶等が挙げられる。これらの材料うち、ＧａＮおよびＡｌＮおよびＡｌＧａＮ等の窒化物半導体で形成された基板を用いると、基板１１と基部１２との間の格子定数差および熱膨張係数差が小さく、欠陥の少ない窒化物半導体層を成長できる。さらに、ＡｌＮ基板も用いた場合、圧縮応力下で基部１２を成長させることができ、基部１２にクラックの発生を抑制することができる。また、基板１１を形成する上記材料には不純物が混入していてもよい。

基板１１は、薄板の四角形状を有していることが組立上好ましいが、これに限らない。

（基部）
基部１２を形成する材料は、ＡｌＮ、ＧａＮ、およびその混晶である。つまり、基部１２は、ＡｌＮを含んでいてもよい。具体例としてはＡｌＮ、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}Ｎ（０≦ｘ＜１）が挙げられる。また、これらの材料には、Ｐ、Ａｓ、ＳｂといったＮ以外のＶ族元素や、Ｃ、Ｈ、Ｆ、Ｏ、Ｍｇ、Ｓｉなどの不純物が含まれていてもよい。また、基部１２の上部領域１２１のうちの少なくとも上面１２ａは、第一半導体層３１１が形成されていない領域がＡｌＧａＮで形成されている。基部１２は、ＩＩＩ族元素としてＡｌ、Ｇａ以外の例えばＢやＩｎを含んでいてもよいが、ＢやＩｎを含む箇所において欠陥の形成や耐久性の変化が生まれることから、Ａｌ、Ｇａ以外のＩＩＩ族元素を含まないことが好ましい。基部１２は、導電性を有していても絶縁体であっても良い。基部１２をｎ型半導体にする場合、例えばＳｉをドープ（例えば１×１０^１９ｃｍ^－３）することで基部１２をｎ型化させる。基部１２をｐ型半導体にする場合、例えばＭｇをドープする（例えば３×１０^１９ｃｍ^－３）ことで基部１２をｐ型化させる。

基部１２は、単層構造を有していても、積層構造を有していてもよい。基部１２は、積層構造として例えば基板１１上に設けられたＡｌＮ層と、当該ＡｌＮ層上に設けられたＡｌ_ｘＧａ_ｙＮ層（０≦ｘ＜１）との積層構造を有していてもよい。また、基部１２は、積層構造として例えばＡｌ_ｘ３Ｇａ_ｙ３Ｎ層（０≦ｘ３＜１）と、当該Ａｌ_ｘ３Ｇａ_ｙ３Ｎ層上に設けられたＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎ層（０≦ｘ１＜ｘ３＜１）とを含む構造を有していてもよい。さらに、基部１２は、積層構造として例えばＡｌＮ層と、当該ＡｌＮ層上に設けられたＡｌ_ｘ３Ｇａ_ｙ３Ｎ層（０≦ｘ３＜１）と、当該Ａｌ_ｘ３Ｇａ_ｙ３Ｎ層上に設けられたＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎ層（０≦ｘ１＜ｘ３＜１）とを含む構造を有していてもよい。また、基部１２は、組成を傾斜させた構造を有していても良い。例えば、基部１２は、ｘを１から０．６まで連続的又は階段状に変化させたＡｌ_ｘＧａ_ｙＮ層（０≦ｘ＜１）層を有していても良い。

基部１２が、ＡｌＮ層と、当該ＡｌＮ層上に設けられたＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎ層（０≦ｘ１＜１）とが積層され、当該Ａｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎ層の上面に上部領域１２１を備えている場合、上部領域１２１がＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎ（ｘ１＋ｙ１＝１、０≦ｘ１＜１、０＜ｙ１≦１）で形成された部分の厚みをｔナノメートル（ｎｍ）とすると、以下の式（１）を満たしていてもよい。
２×ｅｘｐ（７×（ｘ１））＜ｔ＜１００００ ・・・（１）

ここで、本実施形態における、上部領域１２１がＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎで形成された部分の厚み（以下、「膜厚」と称する場合もある）ｔ（ｎｍ）は、共振器面１６と垂直な仮想平面において、リッジ部半導体層３３２を共振器面１６方向から見て中心で二分割する断面と、基部１２の上面１２ａとの交点において、その交点を通り基板１１と垂直方向での基部１２の長さと定義する。換言すると、上部領域１２１がＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎで形成された部分の膜厚ｔ（ｎｍ）は、上面１２ａと直交し、かつ上面１２ａから基板１１に向かう方向における基部１２の長さである。

上部領域１２１の厚みは、ＡｌＧａＮが複数層を有していたり，組成に分布があったりする場合も、連続するＡｌＧａＮ組成の層の厚み全体を指す。つまり、上部領域１２１は、上面１２ａの組成と全く同じ組成で形成された層のみの領域で形成されているとは限られない。

上部領域１２１がＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎで形成された部分の厚みｔ（ｎｍ）が式（１）に示す範囲を満たすことにより、レーザダイオード１の製造時の洗浄工程において基部１２が薬液により溶解除去され、Ａｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎの下に形成されたＡｌＮ層や基板１１が露出することが防止される。また、上部領域１２１がＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎで形成された部分の厚みｔ（ｎｍ）が式（１）に示す範囲を満たすことにより、レーザダイオード１が使用環境下において長期間使用されたりするときに大気中の水分等により基部１２が腐食された場合でも、Ａｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎの下に形成されたＡｌＮ層や基板１１が露出することが防止される。製造工程においてＡｌＮ層や基板１１が露出されることが防止されることによって、洗浄以降の工程におけるレーザダイオード１の歩留まりの向上を図ることができる。また、使用環境下においてＡｌＮ層や基板１１が露出されることが防止されることによって、寿命の長いレーザダイオード１を実現することが可能になる。

上部領域１２１は、レーザダイオード１の製造過程の洗浄工程において一部が溶解除去される。このため、完成品のレーザダイオード１に設けられた上部領域１２１は、第一半導体層３１１が形成されていない基部１２の上面の全ての領域を含んで形成されてはいるものの、全ての領域で式（１）の関係を満たす厚みｔ（ｎｍ）（但し、ｔはゼロでない（ｔ≠０））を有していない場合もある。つまり、完成品のレーザダイオード１に設けられた上部領域１２１は、少なくとも一部の領域では式（１）の範囲を満たす厚みｔ（ｎｍ）を有しているが、残余の領域では式（１）の範囲を満たす厚みｔ（ｎｍ）を有していない（具体的には式（１）の下限値よりも薄い厚みを有する）場合がある。しかしながら、上部領域１２１が外部から受けるダメージは、洗浄環境下と比較すると使用環境下では極めて小さい。このため、上部領域１２１の一部が式（１）の範囲を満たす厚みｔ（ｎｍ）を有していなくても、レーザダイオード１は、使用環境下において、ＡｌＮ層や基板１１が露出することを十分に防止でき、長寿命化を図ることができる。

一方、上部領域１２１は、レーザダイオード１の製造過程において、上部領域１２１の形成後であって洗浄工程の前までは、全ての領域で式（１）の範囲を満たす厚みｔ（ｎｍ）を有している。これにより、当該洗浄工程において、上部領域１２１を構成するＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎ層の下に形成されたＡｌＮ層や基板１１が露出することが防止される。

ここで、上述の式（１）について図２を用いて詳細に説明する。図２中に示すグラフの横軸は、基部１２の上部領域１２１を構成するＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎ（ｘ１＋ｙ１＝１、０≦ｘ１＜１、０＜ｙ１≦１）のＡｌ組成比ｘ１を示している。図２中に示すグラフの縦軸は、基部１２の上部領域１２１を構成するＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎ（ｘ１＋ｙ１＝１、０≦ｘ１＜１、０＜ｙ１≦１）のエッチング量（ｎｍ）を示している。

発明者らが鋭意検討を行った結果、ＴＭＡＨ水溶液（テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液）を濃度２５％、温度８５℃、５分の条件下では、図２に示すように、基部１２のＡｌ組成比ｘ１と積層方向に溶解除去される基部１２の除去膜厚（すなわちエッチング量）は、２×ｅｘｐ（７×（ｘ１））の関係式があることを見出した。つまり、上部領域１２１がＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎで形成された部分の厚みｔ（ｎｍ）が２×ｅｘｐ（７×（ｘ１））より大きいことにより、基部１２が積層方向に貫通除去されることを防止することができる。したがって、例えば上部領域１２１の全体がＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎで形成されている場合、基部１２の上部領域１２１の下層が露出することを防止することができる。

また、上部領域１２１がＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎで形成された部分の厚みｔ（ｎｍ）は、１００００ｎｍより小さいことが望ましい。厚みｔ（ｎｍ）が１００００ｎｍより小さいことで基部１２を形成する際にレーザダイオード１を基板１１の水平方向に２分割するようなクラックの発生を抑制することができる。

従来のレーザダイオードは、本実施形態によるレーザダイオード１と異なり、基部１２を有していない。つまり、図１に示す参照符号を用いると、従来のレーザダイオードは、基板１１上に窒化物半導体素子部１３が形成された構造を有している。このため、従来のレーザダイオードでは、基板１１上に第一半導体層３１１が直接、形成されている。このため、従来のレーザダイオードでは、第一半導体層３１１の形成時に、第一半導体層３１１を形成するための成長薄膜と、基板１１との隙間から薬液が染み込み、当該成長薄膜が基板１１から剥離する不良が多発する。

これに対し、本実施形態によるレーザダイオード１では、基板１１上に基部１２が形成されているので、第一半導体層３１１を形成するための成長薄膜の形成時に、基板１１が露出されることが防止され、当該成長薄膜と基板１１との隙間に薬液が染み込まなくなる。その結果、レーザダイオード１の製造工程において、成長薄膜が基部１２から剥離する不良の発生が極めて少ない数に抑制される。

（第一半導体層）

第一半導体層３１１は、基部１２の上であって基部１２の一部に形成されている。第一半導体層３１１は、発光部３２へ電子あるいは正孔を供給するために、導電性を有していてもよい。第一半導体層３１１を形成する材料として、ＡｌＮ、ＧａＮ、およびその混晶が挙げられる。第一半導体層３１１を形成する材料の具体例は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}Ｎ（０≦ｘ≦１）である。第一半導体層３１１を形成するＡｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘは、基部１２の上面１２ａのＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１ＮのＡｌ組成比ｘ１と同じであってもよいし、上面１２ａのＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１ＮのＡｌ組成比ｘ１よりも小さくてもよい。これにより、基部１２と第一半導体層３１１との積層界面での欠陥の発生を抑制することが可能となる。また、第一半導体層３１１を形成する材料には、Ｐ、Ａｓ又はＳｂといったＮ以外のＶ族元素や、Ｉｎ又はＢといったＩＩＩ族元素、Ｃ、Ｈ、Ｆ、Ｏ、Ｓｉ、Ｃｄ、Ｚｎ又はＢｅなどの不純物が含まれていてもよい。

第一半導体層３１１がｎ型半導体の場合、例えばＳｉを１×１０^１９ｃｍ^－３ドープすることでｎ型化させることが可能である。第一半導体層３１１がｐ型半導体の場合、例えばＭｇを３×１０^１９ｃｍ^－３ドープすることでｐ型化させることが可能である。第一半導体層３１１は、組成を傾斜させた構造を有していてもよい。例えば、第一半導体層３１１は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘが０．８から０．６に連続的又は階段状に変化させた層構造を有していてもよい。第一半導体層３１１の厚さは、特に制限されない。例えば、第一半導体層３１１の抵抗を低減させるために１００ｎｍ以上であってもよいし、第一半導体層３１１の形成時のクラックの発生を抑制する観点から１０μｍ以下であってもよい。

（メサ部第一半導体層）
メサ部半導体層３１２は、第一半導体層３１１の上であって第一半導体層３１１の一部に形成されている。メサ部半導体層３１２が第一半導体層３１１の一部に形成されることにより、第一半導体層３１１の上面に第一電極１４を配置する領域を確保することができる。メサ部半導体層３１２は、発光部３２へ電子あるいは正孔を供給するために、導電性を有していてもよい。メサ部半導体層３１２を形成する材料として、ＡｌＮ、ＧａＮ、およびその混晶が挙げられる。メサ部半導体層３１２を形成する材料の具体例は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}Ｎ（０≦ｘ≦１）である。メサ部半導体層３１２のＡｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘは、第一半導体層３１１のＡｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘと同じであってもよいし、第一半導体層３１１の上面よりも小さくてもよい。ここで、第一半導体層３１１の上面は、メサ部半導体層３１２が形成される面である。これにより、メサ部半導体層３１２と第一半導体層３１１との積層界面での欠陥の発生を抑制することが可能となる。また、メサ部半導体層３１２を形成する材料には、Ｐ、Ａｓ又はＳｂといったＮ以外のＶ族元素や、Ｉｎ又はＢといったＩＩＩ族元素、Ｃ、Ｈ、Ｆ、Ｏ、Ｓｉ、Ｃｄ、Ｚｎ又はＢｅなどの不純物が含まれていてもよい。

メサ部半導体層３１２がｎ型半導体の場合、例えばＳｉを１×１０^１９ｃｍ^－３ドープすることでｎ型化させることが可能である。メサ部半導体層３１２がｐ型半導体の場合、例えばＭｇを３×１０^１９ｃｍ^－３ドープすることでｐ型化させることが可能である。メサ部半導体層３１２は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比を傾斜させた構造を有していてもよい。例えば、メサ部半導体層３１２は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘを０．８から０．６に連続的又は階段状に変化させる層構造を有していてもよい。メサ部半導体層３１２の厚さは、特に制限されない。メサ部半導体層３１２の厚さは、発光層３２２からの発光を効率よく発光部３２へ閉じ込めるために１０ｎｍ以上であってもよい。また、メサ部半導体層３１２の厚さは、メサ部半導体層３１２の抵抗を低減させる観点から５μｍ以下であってもよい。

（下部ガイド層）
下部ガイド層３２１は、メサ部半導体層３１２の上に形成されている。下部ガイド層３２１は、発光層３２２で発光した光を発光部３２に閉じ込めるために、メサ部半導体層３１２と屈折率差をつけている。下部ガイド層３２１を形成する材料として、ＡｌＮ、ＧａＮ、およびその混晶が挙げられる。下部ガイド層３２１を形成する材料の具体例は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}Ｎ（０≦ｘ≦１）である。下部ガイド層３２１を形成するＡｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘは、メサ部半導体層３１２を形成するＡｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘよりも小さくてもよい。これにより、下部ガイド層３２１は、メサ部半導体層３１２よりも屈折率が大きくなり、発光層３２２で発光した光を発光部３２に閉じ込めることが可能となる。また、下部ガイド層３２１を形成する材料には、Ｐ、Ａｓ又はＳｂといったＮ以外のＶ族元素や、Ｉｎ又はＢといったＩＩＩ族元素、Ｃ、Ｈ、Ｆ、Ｏ、Ｓｉ、Ｃｄ、Ｚｎ又はＢｅなどの不純物が含まれていてもよい。

下部ガイド層３２１がｎ型半導体の場合、例えばＳｉを１×１０^１９ｃｍ^－３ドープすることでｎ型化させることが可能である。下部ガイド層３２１がｐ型半導体の場合、例えばＭｇを３×１０^１９ｃｍ^－３ドープすることでｐ型化させることが可能である。下部ガイド層３２１は、アンドープ層であってもよい。下部ガイド層３２１は、組成を傾斜させた構造を有していてもよい。例えば、下部ガイド層３２１は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘを０．６から０．５に連続的又は階段状に変化させる層構造を有していてもよい。下部ガイド層３２１の厚さは、特に制限されない。下部ガイド層３２１の厚さは、発光層３２２からの発光を効率よく発光部３２へ閉じ込めるために１０ｎｍ以上であってもよい、また、下部ガイド層３２１の厚さは、下部ガイド層３２１の抵抗を低減させる観点から２μｍ以下であってもよい。

（発光層）
発光層３２２は、レーザダイオード１の発光が得られる層である。発光層３２２を形成する材料として、ＡｌＮ、ＧａＮ、およびその混晶が挙げられる。発光層３２２を形成する材料の具体例は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}Ｎ（０≦ｘ≦１）である。発光層３２２のＡｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘは、第一電極１４および第二電極１５から注入したキャリアを効率よく発光部３２に閉じ込めるために、下部ガイド層３２１のＡｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘよりも小さくてもよい。また、発光層３２２を形成する材料には、Ｐ、Ａｓ又はＳｂといったＮ以外のＶ族元素や、Ｉｎ又はＢといったＩＩＩ族元素、Ｃ、Ｈ、Ｆ、Ｏ、Ｓｉ、Ｃｄ、Ｚｎ又はＢｅなどの不純物が含まれていてもよい。

発光層３２２がｎ型半導体の場合、例えばＳｉを１×１０^１９ｃｍ^－３ドープすることでｎ型化させることが可能である。発光層３２２がｐ型半導体の場合、例えばＭｇを３×１０^１９ｃｍ^－３ドープすることでｐ型化させることが可能である。発光層３２２は、アンドープ層でもよい。発光層３２２は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘを傾斜させた構造を有していてもよい。例えば、発光層３２２は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘを０．５から０．４に連続的又は階段状に変化させる層構造を有していてもよい。

発光層３２２は、例えばＡｌＧａＮで形成された障壁層を有し、井戸層及び障壁層が１つずつ交互に積層された多重量子井戸（ＭＱＷ：Ｍｕｌｔｉｐｌｅ Ｑｕａｎｔｕｍ Ｗｅｌｌ）構造を有していてもよい。レーザダイオード１は、多重量子井戸構造の発光層３２２を有することにより、発光層３２２の発光効率や発光強度の向上を図ることができる。発光層３２２は、例えば「障壁層／井戸層／障壁層／井戸層／障壁層」という二重量子井戸構造を有していてもよい。これら井戸層のそれぞれの膜厚は例えば３ｎｍであってよく、これらの障壁層のそれぞれの膜厚は例えば１０ｎｍであってよく、発光層３２２の膜厚は３６ｎｍであってもよい。

（上部ガイド層）
上部ガイド層３２３は、発光層３２２の上に形成されている。上部ガイド層３２３は、発光層３２２で発光した光を発光部３２に閉じ込めるために、第二半導体層３３１と屈折率差をつけている。上部ガイド層３２３を形成する材料として、ＡｌＮ、ＧａＮ、およびその混晶が挙げられる。上部ガイド層３２３を形成する材料の具体例は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}Ｎ（０≦ｘ≦１）である。上部ガイド層３２３のＡｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘは、発光層３２２のＡｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘよりも大きくてもよい。これにより、発光層３２２へキャリアを閉じ込めることが可能となる。また、上部ガイド層３２３を形成する材料には、Ｐ、Ａｓ又はＳｂといったＮ以外のＶ族元素や、Ｉｎ又はＢといったＩＩＩ族元素、Ｃ、Ｈ、Ｆ、Ｏ、Ｓｉ、Ｃｄ、Ｚｎ又はＢｅなどの不純物が含まれていてもよい。

上部ガイド層３２３がｎ型半導体の場合、例えばＳｉを１×１０^１９ｃｍ^－３ドープすることでｎ型化させることが可能である。上部ガイド層３２３がｐ型半導体の場合、例えばＭｇを３×１０^１９ｃｍ^－３ドープすることでｐ型化させることが可能である。上部ガイド層３２３は、アンドープ層でもよい。上部ガイド層３２３は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比を傾斜させた構造を有していてもよい。例えば、上部ガイド層３２３は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘを０．５から０．６に連続的又は階段状に変化させる層構造を有していてもよい。上部ガイド層３２３の厚さは、特に制限されない。上部ガイド層３２３の厚さは、発光層３２２からの発光を効率よく発光部３２へ閉じ込めるために１０ｎｍ以上であってもよい。また、上部ガイド層３２３の厚さは、上部ガイド層３２３の抵抗を低減させる観点から２μｍ以下であってもよい。上部ガイド層３２３及び下部ガイド層３２１のそれぞれのＡｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}Ｎ（０≦ｘ≦１）のＡｌ組成比ｘは、同じ値であってもよいし、異なる値であってもよい。

（第二半導体層）
第二半導体層３３１は、上部ガイド層３２３の上に形成されている。第二半導体層３３１は、発光部３２へ電子あるいは正孔を供給するために、導電性を有していてもよい。第二半導体層３３１を形成する材料として、ＡｌＮ、ＧａＮ、およびその混晶が挙げられる。第二半導体層３３１を形成する具体例は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}Ｎ（０≦ｘ≦１）である。第二半導体層３３１のＡｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘは、上部ガイド層３２３のＡｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘよりも大きくてもよい。これにより、上部ガイド層３２３と第二半導体層３３１との間に屈折率差が生じ、発光層３２２からの発光を効率よく発光部３２へ閉じ込めることができる。また、第二半導体層３３１のＡｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘが、上部ガイド層３２３のＡｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘよりも大きいと、第二電極１５から注入したキャリアを効率よく発光部３２へ閉じ込めることができる。

また、第二半導体層３３１には、Ｐ、Ａｓ又はＳｂといったＮ以外のＶ族元素や、Ｉｎ又はＢといったＩＩＩ族元素、Ｃ、Ｈ、Ｆ、Ｏ、Ｓｉ、Ｃｄ、Ｚｎ又はＢｅなどの不純物が含まれていてもよい。第二半導体層３３１がｎ型半導体の場合、例えばＳｉを１×１０^１９ｃｍ^－３ドープすることでｎ型化させることが可能である。第二半導体層３３１がｐ型半導体の場合、例えばＭｇを３×１０^１９ｃｍ^－３ドープすることでｐ型化させることが可能である。第二半導体層３３１は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比を傾斜させた構造を有していてもよい。例えば、第二半導体層３３１は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘを０．８から０．３に連続的又は階段状に変化させる層構造を有していてもよい。第二半導体層３３１の厚さは、特に制限されない。第二半導体層３３１の厚さは、発光層３２２からの発光を効率よく発光部３２へ閉じ込めるために１０ｎｍ以上であってもよい。また、第二半導体層３３１の厚さは、第二半導体層３３１の抵抗を低減させる観点から５μｍ以下であってもよい。第二半導体層３３１は、単層構造でもよく、積層構造でもよい。第二半導体層３３１が積層構造を有する場合、例えばｕ－Ａｌ_０．８Ｇａ_０．２Ｎで形成されて厚さが２０ｎｍの層の上にｐ－ＡｌｘＧａ_ｙＮの組成を傾斜させて形成されて厚さが１５０ｎｍの層を有していてもよい。ｐ－ＡｌｘＧａ_ｙＮの組成を傾斜させ層（組成傾斜層）は、ｕ－Ａｌ_０．８Ｇａ_０．２Ｎで形成された層側から例えばＡｌ組成比ｘが０．８から０．３に傾斜し、Ｇａ組成比ｙが０．２から０．７に傾斜してもよい。

（リッジ部半導体層）
リッジ部半導体層３３２は、第二半導体層３３１の上であって第二半導体層３３１の一部に形成されている。リッジ部半導体層３３２が第二半導体層３３１の一部に形成されることにより、第二電極１５から注入されるキャリアがリッジ部半導体層３３２中で基板１１の水平方向に拡散することが抑制される。これにより、発光層３２２での発光が、リッジ部半導体層３３２の下方に位置する領域に制御される。その結果、レーザダイオード１は、高電流密度を実現し、レーザ発振の閾値を低減させることが可能になる。リッジ部半導体層３３２は、発光部３２へ電子あるいは正孔を供給するために、導電性を有していてもよい。リッジ部半導体層３３２を形成する材料として、ＡｌＮ、ＧａＮ、およびその混晶が挙げられる。リッジ部半導体層３３２を形成する材料の具体例は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}Ｎ（０≦ｘ≦１）である。リッジ部半導体層３３２のＡｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘは、第二半導体層３３１のＡｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘと同じであってもよいし、大きくてもよい。これにより、第二半導体部３３は、第二電極１５から注入されたキャリアを効率よく発光部３２へ運搬することができる。また、リッジ部半導体層３３２を形成する材料には、Ｐ、Ａｓ又はＳｂといったＮ以外のＶ族元素や、Ｉｎ又はＢといったＩＩＩ族元素、Ｃ、Ｈ、Ｆ、Ｏ、Ｓｉ、Ｃｄ、Ｚｎ又はＢｅなどの不純物が含まれていてもよい。

リッジ部半導体層３３２がｎ型半導体の場合、例えばＳｉを１×１０^１９ｃｍ^－３ドープすることでｎ型化させることが可能である。リッジ部半導体層３３２がｐ型半導体の場合、例えばＭｇを３×１０^１９ｃｍ^－３ドープすることでｐ型化させることが可能である。リッジ部半導体層３３２は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比を傾斜させた構造を有していてもよい。例えば、リッジ部半導体層３３２は、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘを０．８から０．３に連続的又は階段状に変化させる層構造を有していてもよい。リッジ部半導体層３３２の厚さは、特に制限されない。リッジ部半導体層３３２の厚さは、発光層３２２からの発光を効率よく発光部３２へ閉じ込めるために１０ｎｍ以上であってもよい。また、リッジ部半導体層３３２の厚さは、リッジ部半導体層３３２の抵抗を低減させる観点から５μｍ以下であってもよい。リッジ部半導体層３３２は、単層構造を有していてもよく、積層構造を有していてもよい。リッジ部半導体層３３２が積層構造を有する場合は、例えばｐ－Ａｌ_０．３Ｇａ_０．２Ｎで形成されて厚さが２０ｎｍの層の上にｐ－ＧａＮで形成されて厚さが１０ｎｍの層が積層されていてもよい。

（第一電極）
第一電極１４は、第一半導体層３１１の上に形成されている。第一電極１４がｎ型電極の場合、第一電極１４を形成する材料としては、第一電極１４が第一半導体層３１１に電子を注入する目的で用いられるのであれば、一般的な窒化物半導体発光素子のＮ型電極に対応する材料を使用することが可能である。例えば、第一電極１４がｎ型電極の場合の形成材料として、Ｔｉ、Ａｌ、Ｎｉ、Ａｕ、Ｃｒ、Ｖ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗおよびその合金、またはＩＴＯ等が適用される。

第一電極１４がｐ型電極の場合、第一電極１４を形成する材料としては、第一電極１４が窒化物半導体発光素子に正孔（ホール）を注入する目的で用いられるのであれば、一般的な窒化物半導体発光素子のｐ型電極層と同じ材料を使用することが可能である。例えば、第一電極１４がｐ型電極の場合の形成材料として、Ｎｉ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｃｕおよびその合金、またはＩＴＯ等が適用される。第一電極１４がｐ型電極の場合は、第一電極１４と窒化物半導体素子部１３の第一半導体層３１１とのコンタクト抵抗が小さいＮｉ、Ａｕ若しくはこれらの合金、又はＩＴＯであってもよい。

第一電極１４は、第一電極１４の全域に電流を均等に拡散させる目的で、上部にパッド電極を有していてもよい。パッド電極を形成する材料としては、例えばＡｕ、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｇ又はＷなどが挙げられる。当該パッド電極は、導電性の観点から、これらの材料のうち導電性が高いＡｕで形成されていてもよい。具体的には、第一電極１４の構造として、例えばＴｉ、Ａｌ、Ｎｉ及びＡｕの中から選択された素材の合金で形成された第一コンタクト電極を第一半導体層３１１上に形成し、Ａｕで形成された第一パッド電極を第一コンタクト電極上に形成した構造が挙げられる。

（第二電極）
第二電極１５は、リッジ部半導体層３３２上に形成されている。第二電極１５がｎ型電極の場合、第二電極１５を形成する材料としては、第二電極１５がリッジ部半導体層３３２に電子を注入する目的で用いられるのであれば、一般的な窒化物半導体発光素子のｎ型電極に対応する材料を使用することが可能である。例えば、第二電極１５がｎ型電極の場合の形成材料として、Ｔｉ、Ａｌ、Ｎｉ、Ａｕ、Ｃｒ、Ｖ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗおよびその合金、又はＩＴＯ等が適用される。

第二電極１５がｐ型電極の場合、第二電極１５を形成する材料としては、第二電極１５が窒化物半導体発光素子に正孔（ホール）を注入する目的で用いられるのであれば、一般的な窒化物半導体発光素子のｐ型電極層と同じ材料を使用することが可能である。例えば、第二電極１５がｐ型電極の場合の形成材料として、Ｎｉ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｃｕおよびその合金、又はＩＴＯ等が適用される。第二電極１５がｐ型電極の場合は、第二電極１５と窒化物半導体素子部１３のリッジ部半導体層３３２とのコンタクト抵抗が小さいＮｉ、Ａｕ若しくはこれらの合金、又はＩＴＯであってもよい。

第二電極１５は、第二電極１５の全域に電流を均等に拡散させる目的で、上部にパッド電極を有していてもよい。パッド電極を形成する材料としては、例えばＡｕ、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｇ又はＷなどが挙げられる。当該パッド電極は、導電性の観点から、これらの材料のうち導電性が高いＡｕで形成されていてもよい。具体的には、第二電極１５の構造として、例えばＮｉ及びＡｕの合金で形成された第二コンタクト電極をリッジ部半導体層３３２上に形成し、Ａｕで形成された第二パッド電極を第二コンタクト電極上に形成した構造が挙げられる。

（共振器面）
共振器面１６は、第一半導体部３１、発光部３２及び第二半導体部３３のそれぞれの側面によって形成される同一平面で構成されている。共振器面１６は、発光部３２の発光を共振器面１６で反射させることを目的として設けられている。共振器面１６で反射した光を発光部３２に閉じ込めるために、共振器面１６は、レーザダイオード１の光の出射側と、出射側の反対の側面に、対を成して備えられていてもよい。共振器面１６において、発光部３２からの発光を反射させるために、共振器面１６は、発光部３２と上部ガイド層３２３との接触面に対して垂直かつ平坦であってもよい。しかしながら、共振器面１６は、全体にあるいは部分的に傾斜部あるいは凹凸部を有していてもよい。

共振器面１６に露出しているＡｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘは、０≦ｘ≦０．８であってもよく、０≦ｘ≦０．６であってもよい。本発明者らが鋭意検討を行った結果、共振器面１６は、洗浄工程における化学耐性、及び大気中の水分による耐湿性が乏しいことが分かり、Ａｌ_ｘＧａ_{（１－ｘ）}ＮのＡｌ組成比ｘが０≦ｘ≦０．８又は０≦ｘ≦０．６の範囲内であると、凹凸の発生が少ないことが分かった。

共振器面１６の上には、誘電体多層膜等の絶縁保護膜、及び反射膜が形成されていてもよい。具体的には、当該絶縁保護膜は、ＳｉＯ_２で形成されていてよく、その他にＡｌ_２Ｏ_３、ＳｉＮ、ＳｎＯ_２、ＺｒＯ又はＨｆＯ_２等で形成されていてもよい。また、当該絶縁保護膜は、これらの材料が積層された構造を有していてもよい。当該絶縁保護膜は、レーザダイオード１の共振器面１６の光の出射側、及び光の反対側両方の面において形成されていてもよい。共振器面１６の光の出射側に形成された絶縁保護膜と、光の反射側に形成された絶縁保護膜は、同じ構造を有していてもよいし、異なる構造を有していてもよい。

（解析方法・観察方法）
本実施形成におけるレーザダイオード１の材料特定及び組成比は、エネルギー分散型Ｘ線分析（Ｅｎｅｒｇｙ ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ Ｘ－ｒａｙ ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ：ＥＤＸ）やオージェ電子分光法（Ａｕｇｅｒ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ：ＡＥＳ）等の手法で分析が可能である。また、レーザダイオード１を構成する各膜の膜厚及び距離は、共振器面１６と垂直な面でレーザダイオード１を分割及び研磨あるいは集束イオンビーム（Ｆｏｃｕｓｅｄ Ｉｏｎ Ｂｅａｍ：ＦＩＢ）加工し、その断面を走査型電子顕微鏡（Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＳＥＭ）観察あるいは透過電子顕微鏡（Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＴＥＭ）観察することによって測長することが可能である。高画質な画像を広範囲かつ簡易に得られるため、ＳＥＭを用いて観察することが好ましい。

（製法）
本実施形態によるレーザダイオード１の製造方法について説明する。レーザダイオード１を形成するためには、基板１１上に基部１２、第一半導体層３１１、メサ部半導体層３１２、下部ガイド層３２１、発光層３２２、上部ガイド層３２３、第二半導体層３３１及びリッジ部半導体層３３２をそれぞれ形成するためのＡｌＧａＮをこの順で積層させる。これらのＡｌＧａＮを積層させる方法としては特に限定されないが、例えば有機金属化合物気相成長法（ＭＯＶＰＥ法）で形成することができる。この成長方法においては、例えばトリメチルガリウム（ＴＭＧ）、トリエチルガリウム（ＴＥＧ）、トリメチルアルミニウム（ＴＭＡ）、トリエチルアルミニウム（ＴＥＡ）とアンモニア（ＮＨ３）を適当な温度に加熱された基板上に供給して、熱分解反応させることでＡｌＧａＮの混晶薄膜を成長させることが出来る。この他にも、ＩＩＩ族原料としてＧａ、Ａｌの固体金属を用い、Ｖ族原料としてＮＨ_３やＮ_２等の気体を原料として用いた分子線エピタキシー法（ＭＢＥ法）などを用いることが出来る。

ＡｌＧａＮで形成された半導体層を積層させた構造をエッチング技術により部分的に段階的に除去することで、基部１２、第一半導体層３１１及び第二半導体層３３１の上面を各々部分的に露出させることが可能である。エッチング技術としては、誘導結合型反応性イオンエッチングを用いることでＡｌＧａＮ層を除去することが出来る。例えば、雰囲気ガスとして塩素を用い、アンテナ電力とバイアス電力を適切な値とすることで半導体層を除去することが出来る。この際、処置時間を適切な時間とすることでエッチング深さを制御することが可能であり、基部１２、第一半導体層３１１及び第二半導体層３３１のそれぞれの膜厚を所定の厚さに制御することが可能である。

共振器面１６の形成方法としては、上述のエッチング技術を用いるだけで形成することも可能であるが、さらに薬液を用いたウェットエッチングを追加で行うことにより、共振器面１６を平坦化させることが可能である。このウェットエッチングには、例えばＫＯＨ水溶液やＴＭＡＨ水溶液を用いることが出来、薬液の温度、処置時間、濃度等を適切な値とすることで平坦化が可能である。

第一電極１４及び第二電極１５の形成方法としては、電子ビーム蒸着法や熱蒸着法、スパッタ法などの各種技術を用いることが出来る。また、第一電極１４及び第二電極１５と、窒化物半導体素子部１３とのコンタクト抵抗を低減させる目的で、第一電極１４及び第二電極１５のそれぞれを形成するための金属薄膜の形成後に熱処理を行ってもよい。この熱処理温度、時間、雰囲気を適切な条件に設定することで、駆動電圧が低く電力変換効率の高いレーザダイオード１を実現できる。

共振器面１６上、及び窒化物半導体素子部１３上に絶縁層を形成する方法は特に限定されないが、例えばスパッタ法を用いることで絶縁膜を成膜することが出来る。

ウェハ状態のレーザダイオード１は、例えばレーザスクライブ法、レーザアブレーション法等のレーザ加工技術又はスクライブ法、ダイシング法等の加工技術と、エキスパンド法やブレーキング法などの劈開技術とを組み合わせることで個片化されることが可能である。レーザダイオード１を個片化した後には、加工傷やデブリ、パーティクルが残ることから、水あるいはアルカリ溶液での洗浄を行ってもよい。

＜実施例＞
次に、本実施形態の実施例による窒化物半導体レーザダイオードについて図１及び図２を参照しつつ図３から図５を用いて説明する。なお、図３から図５に示すＳＥＭ画像の右下にはそれぞれ、ＳＥＭ画像のスケールを示す数値と、スケールバーとが図示されている。

（実施例１）
ｃ面サファイア基板上に、有機金属化合物気相成長装置（大陽日酸製、ＳＲ４３３８ＫＳ－ＨＴ）を用いてトリメチルガリウム、トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、アンモニア、シラン、シクロペンタジエニルマグネシウムを原料ガスとして、厚さが２μｍのＡｌＮ層を形成し、当該ＡｌＮ層の上層に当該ＡｌＮ層とともに基部を構成しかつ上部領域に相当するｎ－Ａｌ_０．６ＧａＮ層を形成し、第一半導体層として厚さが１．９μｍのｎ－Ａｌ_０．６ＧａＮ層を形成し、当該ｎ－Ａｌ_０．６ＧａＮ層の上層に下部ガイド層として厚さが１５０ｎｍのｕ－Ａｌ_０．５ＧａＮ層を形成した。次いで、当該ｕ－Ａｌ_０．５ＧａＮ層の上層に障壁層として厚さが８ｎｍのｕ－Ａｌ_０．５ＧａＮ層、当該障壁層の上層に第一井戸層として厚さが４ｎｍのｕ－Ａｌ_０．３ＧａＮ層、当該第一井戸層の上層に障壁層として厚さが８ｎｍのｕ－Ａｌ_０．５ＧａＮ層、当該障壁層の上層に第二井戸層として厚さが４ｎｍのｕ－Ａｌ_０．３ＧａＮ層、当該第二井戸層の上層に障壁層として厚さが８ｎｍのｕ－Ａｌ_０．５ＧａＮ層、をこの順に形成して発光層を形成した。次いで、発光層の上層に上部ガイド層として厚さが１５０ｎｍのｕ－Ａｌ_０．５ＧａＮ層を形成し、当該ｕ－Ａｌ_０．５ＧａＮ層の上に第二半導体層としてＡｌ組成を０．８から０．３へ連続的に変化させたＡｌＧａＮを組成傾斜層として１５０ｎｍの厚さに形成し、その上層に厚さが１０ｎｍのｐ－ＧａＮ層を形成し、ＡｌＮ層からｐ－ＧａＮ層を積層させたウェハを用意する。

当該ウェハに対して、各工程において所定のパターニングマスクを用いて電子ビーム蒸着装置で１００ｎｍの膜厚のＮｉを蒸着し、当該Ｎｉをマスクとして誘導結合型反応性イオンエッチング装置を用いて、塩素ガスを反応ガスとしてエッチングを行うことでリッジ構造、メサ構造、共振器構造を作製する。この際、基部のＡｌＧａＮ層としてｎ－Ａｌ_０．６ＧａＮが２００ｎｍ残るようにエッチングを行った。

露出した第一半導体層の上面に電子ビーム蒸着装置を用いて第一電極として、Ｔｉ，Ａｌ，Ｔｉ及びＡｕをそれぞれ３０ｎｍ、１００ｎｍ、２０ｎｍ、１５０ｎｍの厚さに蒸着し、その後、高温熱処理装置を用いて窒素雰囲気下で９００℃３分加熱を行った。第二半導体層の上面にも電子ビーム蒸着装置を用いて第二電極として、Ｐｄ、Ｐｔ及びＡｕをそれぞれ１０ｎｍ，１０ｎｍ、４０ｎｍの厚さに蒸着し、その後、高温熱処理装置を用いて窒素雰囲気下で６００℃５分加熱を行った。第一電極及び第二電極のそれぞれの上層に、パッド電極としてＴｉ及びＡｕをそれぞれ５０ｎｍ、４００ｎｍの厚さに蒸着し、波長２８５ｎｍのレーザダイオードを作製した。

このレーザダイオードを洗浄するために濃度２５％のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＭＡＨ）水溶液に８５℃で５分浸漬させた。
図３中に破線の楕円で囲んで示すように、基部の上部領域に相当するｎ－Ａｌ_０．６ＧａＮ層が薄膜成長方向に沿ってエッチングされた。しかしながら、エッチング量は、１２５ｎｍであり、基部の上部領域に相当するｎ－Ａｌ_０．６ＧａＮ層が７５ｎｍの厚さで残った。このため、第一半導体層を形成するための薄膜の剥離等の不良は発生しなかった。

（実施例２）
ｃ面サファイア基板上に有機金属化合物気相成長装置（大陽日酸製、ＳＲ４３３８ＫＳ－ＨＴ）を用いてトリメチルガリウム、トリメチルアルミニウム、アンモニアを原料ガスとして、厚さが２μｍのＡｌＮ層を形成し、当該ＡｌＮ層の上層に当該ＡｌＮ層とともに基部を構成しかつ上部領域に相当するｕ－Ａｌ_０．７ＧａＮ層（厚さは２μｍ）を形成し、ＡｌＮ層とｕ－Ａｌ_０．７ＧａＮ層とを積層させたウェハを用意する。当該ウェハに対して、電子ビーム蒸着装置を用いて１００ｎｍの膜厚のＮｉを蒸着し、当該Ｎｉをマスクとして誘導結合型反応性イオンエッチング装置を用いて、塩素ガスを反応ガスとしてエッチングを行うことでｕ－Ａｌ_０．７ＧａＮ層を一部除去する。この際、基部の上部領域に相当するＡｌＧａＮ層としてｕ－Ａｌ_０．７ＧａＮ層が２５０ｎｍ残るようにエッチングを行った。

このウェハを洗浄するために濃度２５％のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＭＡＨ）水溶液に８５℃で５分浸漬させたところ、ｕ－Ａｌ_０．７ＧａＮ層が薄膜成長方向に沿ってエッチングされた。しかしながら、エッチング量は、２２５ｎｍであり、基部の上部領域に相当するｕ－Ａｌ_０．７ＧａＮ層が２５ｎｍの厚さで残った。このため、基板上に形成された薄膜の剥離等の不良は発生しなかった。

図２は、本実施例での同様の実験をｕ－ＡｌＧａＮ層のＡｌ組成比を変化させて行い、エッチング量を測長して得た結果である。図２に示すように、基板上に形成されたｕ－ＡｌＧａＮ層は、膜厚ｔ（ｎｍ）が上述の式（１）を満たす範囲内であればエッチングによって貫通されることはないことが分かる。

（比較例１）
基部を構成するＡｌＧａＮ層として、１００ｎｍのｎ－Ａｌ_０．６ＧａＮ層が残るようにエッチングを行った点以外は、上記実施例１と同じ方法で形成したウェハを用意した。当該ウェハを洗浄するために濃度２５％のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＭＡＨ）水溶液に８５℃で１５分浸漬させた。

本比較例では、ＡｌＮ層上に形成されたｎ－Ａｌ_０．６ＧａＮ層の厚みは、１００ｎｍであり、上述の式（１）の範囲に含まれていない。このため、図４中に下向きの直線矢印で示すように、エッチング端面から１．５μｍまでの距離においてｎ－Ａｌ_０．６ＧａＮ層が貫通して除去されて、さらに下層のＡｌＮも除去されて、サファイア基板が露出する結果が得られた。

（比較例２）
ｃ面サファイア基板上に有機金属化合物気相成長装置（大陽日酸製、ＳＲ４３３８ＫＳ－ＨＴ）を用いてトリメチルガリウム、トリメチルアルミニウム、アンモニアを原料ガスとして厚さが１．７μｍのＡｌＮ層を形成し、当該ＡｌＮ層の上層に厚さが１００ｎｍのｕ－Ａｌ_０．７Ｇａ_０．３Ｎ層を形成し、当該ｕ－Ａｌ_０．７Ｇａ_０．３Ｎ層の上層に厚さが１５０ｎｍのｕ－Ａｌ_０．３Ｇａ_０．７Ｎ層を形成し、当該ｕ－Ａｌ_０．３Ｇａ_０．７Ｎ層の上層に厚さが３００ｎｍのｕ－Ａｌ_０．１Ｇａ_０．９Ｎ層を形成し、これらの層が積層させたウェハを用意する。

当該ウェハに対して、電子ビーム蒸着装置を用いて１００ｎｍの膜厚のＮｉを蒸着し、当該Ｎｉをマスクとして誘導結合型反応性イオンエッチング装置を用いて、塩素ガスを反応ガスとしてエッチングを行った。この際、基部を構成するＡｌＧａＮ層としてｕ－Ａｌ_０．７Ｇａ_０．３Ｎ層が５０ｎｍ残るようにエッチングを行った。このウェハを洗浄するために濃度２５％のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＭＡＨ）水溶液に８５℃で３０分浸漬させた結果を図５に示す。

図５中の左側には、当該ウェハのサファイア基板からｕ－Ａｌ_０．１Ｇａ_０．９Ｎ層までのエッチング部の断面のＳＥＭ像が示されている。図５中の中央には、当該ウェハのＡｌＮ層からｕ－Ａｌ_０．１Ｇａ_０．９Ｎ層までのエッチング部の断面のＳＥＭ像が拡大されて示されている。図５中の右側には、ウェハの層構造が模式的に示されている。

本変形例においても、ＡｌＮ層上に形成されたｕ－Ａｌ_０．７Ｇａ_０．３Ｎ層の厚みは、５０ｎｍであり、上述の式（１）の範囲に含まれていない。このため、図５中の左側に示すように、ｕ－Ａｌ_０．７Ｇａ_０．３Ｎ層は、薄膜成長方向に沿ってエッチング除去され、さらに下層のＡｌＮも除去され、サファイア基板が露出した。さらに、図５中の中央に示すように、ＡｌＮ層の側面が非常に大きく凹み、さらにｕ－Ａｌ_０．７Ｇａ_０．３Ｎの側面も大きく凹み、サイドエッチングが進行していることが分かった。
以上の結果から、窒化物半導体レーザダイオードの共振器面は、Ａｌ_ｘ２Ｇａ_ｙ２Ｎ（ｘ２＋ｙ２＝１、０≦ｘ２≦０．８、０．２≦ｙ２≦１）で形成されていることが好ましく、またＡｌ_ｘ２Ｇａ_ｙ２Ｎ（ｘ２＋ｙ２＝１、０≦ｘ２＜０．７、０．３＜ｙ２≦１）で形成されていることがより好ましい。

以上説明したように、本実施形態によるレーザダイオード１は、基板１１上に設けられた基部１２と、基部１２の上面の一部に設けられた第一半導体層３１１と、第一半導体層３１１の上面の一部に設けられた発光部３２と、を備え、基部１２は、第一半導体層３１１が形成されていない領域であってＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎ（ｘ１＋ｙ１＝１、０≦ｘ１＜１、０＜ｙ１≦１）で形成された上面１２ａを含む上部領域１２１を有している。

当該構成を備えたレーザダイオード１は、製造工程においてＡｌＮ層や基板１１が露出することを防止できるので、製造歩留まりの向上を図ることができる。さらに、当該構成を備えたレーザダイオード１は、使用環境下においてＡｌＮ層や基板１１が露出することを防止できるので、長寿命化を図ることができる。

１ 窒化物半導体レーザダイオード（レーザダイオード）
４ 発光部
１１ 基板
１２ 基部
１２ａ 上面
１３ 窒化物半導体素子部
１４ 第一電極
１５ 第二電極
１６ 共振器面
３１ 第一半導体部
３２ 発光部
３３ 第二半導体部
１２１ 上部領域
３１１ 第一半導体層
３１２ メサ部半導体層
３２１ 下部ガイド層
３２２ 発光層
３２３ 上部ガイド層
３３１ 第二半導体層
３３２ リッジ部半導体層

Claims (5)

1. 基板上に設けられた基部と、
   前記基部の上面の一部に設けられた第一半導体層と、
   前記第一半導体層の上面の一部に設けられた発光部と、
   前記第一半導体層の上面の一部に設けられた第一電極と、
   前記発光部の上に設けられた第二電極と、
   を備え、
   前記基部は、前記第一半導体層が形成されていない領域であってＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎ（ｘ１＋ｙ１＝１、０≦ｘ１＜１、０＜ｙ１≦１）で形成された前記上面を含む上部領域を有する
   窒化物半導体レーザダイオード。
2. 前記第一半導体層及び前記発光部の側面を少なくとも含み、レーザー光を外部へ出射する方向の側面に設けられた共振器面を備え、
   前記上部領域の上面は前記共振器面の最下端で接するように繋がっていて、上面視で、少なくとも１つの前記共振器面が前記上部領域の端面より内側に配置されている
   請求項１に記載の窒化物半導体レーザダイオード。
3. 前記上部領域がＡｌ_ｘ１Ｇａ_ｙ１Ｎ（ｘ１＋ｙ１＝１、０＜ｘ１＜１、０＜ｙ１＜１）で形成された部分の厚みをｔナノメートルとすると、
   ２×ｅｘｐ（７×（ｘ１））＜ｔ＜１００００
   を満たす
   請求項１又は２に記載の窒化物半導体レーザダイオード。
4. 前記基部は、ＡｌＮを含んでいる
   請求項１から３までのいずれか一項に記載の窒化物半導体レーザダイオード。
5. 前記第一半導体層及び前記発光部の側面を少なくとも含み、光を外部へ出射する方向の側面に設けられた共振器面を備え、
   前記共振器面は、Ａｌ_ｘ２Ｇａ_ｙ２Ｎ（ｘ２＋ｙ２＝１、０≦ｘ２≦０．８、０．２≦ｙ２
   ≦１）で形成されている
   請求項１から４のいずれか一項に記載の窒化物半導体レーザダイオード。

Images