JP7240166B2 - 決定方法、露光方法、露光装置、および物品製造方法 - Google Patents
決定方法、露光方法、露光装置、および物品製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7240166B2 JP7240166B2 JP2018236721A JP2018236721A JP7240166B2 JP 7240166 B2 JP7240166 B2 JP 7240166B2 JP 2018236721 A JP2018236721 A JP 2018236721A JP 2018236721 A JP2018236721 A JP 2018236721A JP 7240166 B2 JP7240166 B2 JP 7240166B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mark
- shot
- image
- positional deviation
- deviation amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70425—Imaging strategies, e.g. for increasing throughput or resolution, printing product fields larger than the image field or compensating lithography- or non-lithography errors, e.g. proximity correction, mix-and-match, stitching or double patterning
- G03F7/70475—Stitching, i.e. connecting image fields to produce a device field, the field occupied by a device such as a memory chip, processor chip, CCD, flat panel display
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70775—Position control, e.g. interferometers or encoders for determining the stage position
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70605—Workpiece metrology
- G03F7/70616—Monitoring the printed patterns
- G03F7/70633—Overlay, i.e. relative alignment between patterns printed by separate exposures in different layers, or in the same layer in multiple exposures or stitching
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7003—Alignment type or strategy, e.g. leveling, global alignment
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7003—Alignment type or strategy, e.g. leveling, global alignment
- G03F9/7007—Alignment other than original with workpiece
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7049—Technique, e.g. interferometric
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7088—Alignment mark detection, e.g. TTR, TTL, off-axis detection, array detector, video detection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Eyeglasses (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
図1に、実施形態における露光装置の概略構成を示す。この露光装置は、例えば、投影光学系を用いたミラープロジェクション方式を採用した走査型露光装置である。なお、本明細書および図面においては、基板ステージによる基板保持面と平行な方向をXY平面とするXYZ座標系において方向を示す。XYZ座標系におけるX軸、Y軸、Z軸にそれぞれ平行な方向をX方向、Y方向、Z方向という。また、露光時の原版及び基板の走査方向をY方向する。
図3のフローチャートを参照して、本実施形態における、つなぎ露光のためのショットS1およびショットS2の位置合わせに関する補正量を決定する処理および決定された補正量に基づいて行う露光処理の概略を説明する。まず、ショットS1およびショットS2に対して1回目のつなぎ露光を行う(S101)。この1回目のつなぎ露光は、補正量を決定するための露光である。このとき使用する基板は生産用の基板でもよいし、テスト用の基板でもよい。次に、つなぎ領域における、上下レイヤーの重ね合わせ(オーバーレイ)誤差と、ショットS1およびショットS2の位置ずれ(左右ショットの配列ずれ)を計測する(S102)。この計測は、露光装置外部の計測装置を用いて行ってもよいし、アライメントスコープ80またはオフアクシススコープ81を用いて行ってもよい。
Δ2=M1-(M2/2) (5)
M1+(a/100)・M2 (6)
とする。また、1回目の露光結果から得られる位置ずれ量を用いて、ショットS2の露光によるX位置x1の補正量を、
M1-((100-a)/100)・M2 (7)
とする。
=(100-a)/100×Δ1+a/100×Δ2 (9)
=(((100-a)/100)・Δ1+(a/100)・Δ2+a(Δ1-Δ2)/100)
-(((100-a)/100)・Δ1+(a/100)・Δ2-(100-a)(Δ1-Δ2)/100)
=Δ1-Δ2 (10)
・上下レイヤーのオーバーレイ
1回目の露光のずれ量:(100-a)/100)・Δ1+(a/100)・Δ2
2回目の露光時の補正量:(100-a)/100・Δ1+(a/100)・Δ2
⇒補正残差:0
・左右ショットの配列ずれ
1回目の露光のずれ量:Δ1-Δ2
2回目の露光の補正量:Δ1-Δ2
⇒補正残差:0
図8に示すように、露光ショットのレイアウトは実施例1と同様とする。ショットS1におけるつなぎ領域外の位置に、ショットの特定箇所の絶対位置のずれが検出できるマークC1(第1ショット領域側のつなぎ位置計測マーク)が形成されている。また、ショットS1におけるつなぎ領域外の位置には、特定箇所の上下レイヤーの相対位置ずれが検出できるマークB1(第1ショット領域側の重ね合わせマーク)も形成されている。同様に、ショットS2におけるつなぎ領域外の位置に、ショットの特定箇所の絶対位置のずれが検出できるマークC2(第2ショット領域側のつなぎ位置計測マーク)が形成されている。また、ショットS2におけるつなぎ領域外の位置には、特定箇所の上下レイヤーの相対位置ずれが検出できるマークB2(第2ショット領域側の重ね合わせマーク)も形成されている。
さらに、図9のように、ショットS1とショットS2の各ショット内に、任意の直線上にショットの特定箇所の絶対位置のずれを検出するマークを複数配置している場合、仮想マークは、つなぎ領域内における直線上の箇所に配置することが可能である。マークC10、C11、C20、C21から仮想マークC30までの距離をそれぞれ、D10、D11、D20、D21とする。また、マークC10、C11、C20、C21の検出量をそれぞれ、QC10、QC11、QC20、QC21とする。この場合、仮想マークC30の検出量QC30は、次式により推定される。
[((QC11-QC10)/(D11-D10))×D11+QC11]-
[((QC21-QC20)/(D21-D20))×D21+QC21]
{[(QB11-QB10)/(E11-E10)×E11+QB11]+
[(QB21-QB20)/(E21-E20)×E21+QB21]}/2
図1で示したように、実施形態における露光装置は、アライメントスコープ80およびオフアクシススコープ81を備えている。本実施形態では、アライメントスコープ80およびオフアクシススコープ81の双方により、基板上に露光されたマークを計測し、計測データをデータ保持部71に保存する。アライメントスコープ80およびオフアクシススコープ81は、制御部70によりキャリブレーション処理が実施され、同一マークを計測する場合にどちらのスコープで計測しても計測値が同じになるように調整される。ここで、露光前に原版30と基板60の上に形成されたマークを計測することにより、実施例1で説明したΔ1、Δ2の計測が可能になる。この方法を使用することによっても、第1実施形態における実施例は実現可能である。
本発明の実施形態に係る物品製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記のパターン形成方法あるいはリソグラフィ装置を用いて潜像パターンを形成する工程(基板を露光する工程)と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を加工(現像)する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
本発明は、上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
Claims (7)
- 基板の第1ショット領域を露光して第1の像を形成し、前記第1ショット領域の一部と重複する第2ショット領域を露光して第2の像を形成し、前記第1の像と前記第2の像とをつなぎ合わせた像を得るつなぎ露光のための、前記第1ショット領域および前記第2ショット領域の位置合わせに関する補正量を決定する決定方法であって、
前記第1ショット領域を露光して、前記つなぎ領域に、該つなぎ領域の下レイヤーに形成されている下地マークとの位置合わせのための第1マークと、前記第1ショット領域と前記第2ショット領域との位置合わせのための第2マークを形成し、
前記第2ショット領域を露光して、前記下地マークとの位置合わせのために前記第1マークと重複するように第3マークを形成するとともに、前記つなぎ領域における前記第2マークと重複する位置に第4マークを形成し、
前記第1マークと前記第3マークとが重ね合わされることで形成された合成マークの前記下地マークに対する位置ずれ量を第1位置ずれ量として求め、
前記第2マークに対する前記第4マークの位置ずれ量を第2位置ずれ量として求め、
前記第1位置ずれ量に前記第2位置ずれ量の所定の割合を加算して得られる位置ずれ量を、前記第1ショット領域と前記第2ショット領域とが重複するつなぎ領域における前記第1の像の補正量として決定し、
前記第1位置ずれ量から前記第2位置ずれ量の前記所定の割合に対する残りの割合を減算して得られる位置ずれ量を、前記つなぎ領域における前記第2の像の補正量として決定し、
前記下地マーク、前記第1マーク、前記第2マーク、前記第3マーク、及び前記第4マークは、それぞれ、前記つなぎ領域における、前記第1ショット領域と前記第2ショット領域との重複幅の方向の両端を含まない位置に形成され、
前記所定の割合は、前記つなぎ領域における、前記第1ショット領域と前記第2ショット領域との重複幅の方向の前記下地マーク、前記第1マーク、前記第2マーク、前記第3マーク、及び前記第4マークの位置に応じた割合である
ことを特徴とする決定方法。 - 前記下地マーク、前記第1マーク、前記第2マーク、前記第3マーク、及び前記第4マークは、それぞれ、前記つなぎ領域における、前記第1ショット領域と前記第2ショット領域との重複幅の方向の中央に設けられることを特徴とする請求項1に記載の決定方法。
- 前記所定の割合は、50%であることを特徴とする請求項1または2に記載の決定方法。
- 前記第1ショット領域から前記第2ショット領域にわたる照度分布が平準化されるように、前記第1ショット領域を露光するときと、前記第2ショット領域を露光するときとで、前記つなぎ領域における露光量をクロスフェードさせることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の決定方法。
- 基板の第1ショット領域を露光して第1の像を形成する第1工程と、
前記第1ショット領域の一部と重複する第2ショット領域を露光して第2の像を形成する第2工程とを有し、
前記第1の像と前記第2の像とをつなぎ合わせた像を得る露光方法であって、
前記第1工程において、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の決定方法により決定された前記第1の像の補正量で、前記第1ショット領域の前記第2ショット領域と重複するつなぎ領域における前記第1の像を補正し、
前記第2工程において、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の決定方法により決定された前記第2の像の補正量で、前記つなぎ領域における前記第2の像を補正する
ことを特徴とする露光方法。 - 基板の第1ショット領域を露光して第1の像を形成し、前記第1ショット領域の一部と重複する第2ショット領域を露光して第2の像を形成し、前記第1の像と前記第2の像とをつなぎ合わせた像を得るつなぎ露光を行う露光装置であって、
前記第1ショット領域および前記第2ショット領域の位置合わせに関する補正量を決定する処理を行う処理部と、
前記つなぎ露光の制御を行う制御部と、を有し、
前記処理部は、
前記第1ショット領域を露光して、前記つなぎ領域に、該つなぎ領域の下レイヤーに形成されている下地マークとの位置合わせのための第1マークと、前記第1ショット領域と前記第2ショット領域との位置合わせのための第2マークを形成し、
前記第2ショット領域を露光して、前記下地マークとの位置合わせのために前記第1マークと重複するように第3マークを形成するとともに、前記つなぎ領域における前記第2マークと重複する位置に第4マークを形成し、
前記第1マークと前記第3マークとが重ね合わされることで形成された合成マークの前記下地マークに対する位置ずれ量を第1位置ずれ量として求め、
前記第2マークに対する前記第4マークの位置ずれ量を第2位置ずれ量として求め、
前記第1位置ずれ量に前記第2位置ずれ量の所定の割合を加算して得られる位置ずれ量を、前記第1ショット領域と前記第2ショット領域とが重複するつなぎ領域における前記第1の像の補正量として決定し、
前記第1位置ずれ量から前記第2位置ずれ量の前記所定の割合に対する残りの割合を減算して得られる位置ずれ量を、前記つなぎ領域における前記第2の像の補正量として決定し、
前記下地マーク、前記第1マーク、前記第2マーク、前記第3マーク、及び前記第4マークは、それぞれ、前記つなぎ領域における、前記第1ショット領域と前記第2ショット領域との重複幅の方向の両端を含まない位置に形成され、
前記所定の割合は、前記つなぎ領域における、前記第1ショット領域と前記第2ショット領域との重複幅の方向の前記下地マーク、前記第1マーク、前記第2マーク、前記第3マーク、及び前記第4マークの位置に応じた割合であり、
前記制御部は、
前記決定された前記第1の像の補正量で、前記つなぎ領域における前記第1の像を補正するとともに、前記決定された前記第2の像の補正量で、前記つなぎ領域における前記第2の像を補正して、前記つなぎ露光を実行する
ことを特徴とする露光装置。 - 請求項5に記載の露光方法を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で前記露光された基板を現像する工程と、
を含み、
前記現像された基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018236721A JP7240166B2 (ja) | 2018-12-18 | 2018-12-18 | 決定方法、露光方法、露光装置、および物品製造方法 |
TW108140193A TWI803710B (zh) | 2018-12-18 | 2019-11-06 | 決定方法、曝光方法、曝光裝置及物品製造方法 |
KR1020190158678A KR102649936B1 (ko) | 2018-12-18 | 2019-12-03 | 결정 방법, 노광 방법, 노광 장치, 및 물품제조 방법 |
CN201911278438.5A CN111338186B (zh) | 2018-12-18 | 2019-12-13 | 决定方法、曝光方法、曝光装置以及物品制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018236721A JP7240166B2 (ja) | 2018-12-18 | 2018-12-18 | 決定方法、露光方法、露光装置、および物品製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020098285A JP2020098285A (ja) | 2020-06-25 |
JP7240166B2 true JP7240166B2 (ja) | 2023-03-15 |
Family
ID=71106543
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018236721A Active JP7240166B2 (ja) | 2018-12-18 | 2018-12-18 | 決定方法、露光方法、露光装置、および物品製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7240166B2 (ja) |
KR (1) | KR102649936B1 (ja) |
CN (1) | CN111338186B (ja) |
TW (1) | TWI803710B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022027020A (ja) | 2020-07-31 | 2022-02-10 | キヤノン株式会社 | 決定方法、露光方法、露光装置、および物品製造方法 |
TWI809871B (zh) * | 2022-02-25 | 2023-07-21 | 南亞科技股份有限公司 | 光學系統及其操作方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001060546A (ja) | 1999-08-20 | 2001-03-06 | Nikon Corp | 露光方法及び露光装置 |
JP2012114270A (ja) | 2010-11-25 | 2012-06-14 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体チップの製造方法 |
JP2018010211A (ja) | 2016-07-14 | 2018-01-18 | キヤノン株式会社 | マスク、計測方法、露光方法、及び、物品製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4924257A (en) * | 1988-10-05 | 1990-05-08 | Kantilal Jain | Scan and repeat high resolution projection lithography system |
JPH10177946A (ja) * | 1996-12-19 | 1998-06-30 | Sony Corp | 露光精度測定パターン及び露光精度測定方法 |
TW432469B (en) * | 1998-02-06 | 2001-05-01 | Nippon Kogaku Kk | Exposure apparatus, exposure method, and recording medium |
JP4635354B2 (ja) * | 2001-03-07 | 2011-02-23 | 株式会社ニコン | 露光方法及び継ぎ誤差計測方法並びにデバイス製造方法 |
JP4362999B2 (ja) * | 2001-11-12 | 2009-11-11 | 株式会社ニコン | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
-
2018
- 2018-12-18 JP JP2018236721A patent/JP7240166B2/ja active Active
-
2019
- 2019-11-06 TW TW108140193A patent/TWI803710B/zh active
- 2019-12-03 KR KR1020190158678A patent/KR102649936B1/ko active IP Right Grant
- 2019-12-13 CN CN201911278438.5A patent/CN111338186B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001060546A (ja) | 1999-08-20 | 2001-03-06 | Nikon Corp | 露光方法及び露光装置 |
JP2012114270A (ja) | 2010-11-25 | 2012-06-14 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体チップの製造方法 |
JP2018010211A (ja) | 2016-07-14 | 2018-01-18 | キヤノン株式会社 | マスク、計測方法、露光方法、及び、物品製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI803710B (zh) | 2023-06-01 |
JP2020098285A (ja) | 2020-06-25 |
KR20200075742A (ko) | 2020-06-26 |
CN111338186B (zh) | 2023-05-12 |
CN111338186A (zh) | 2020-06-26 |
KR102649936B1 (ko) | 2024-03-22 |
TW202024785A (zh) | 2020-07-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101144683B1 (ko) | 사전 계측 처리 방법, 노광 시스템 및 기판 처리 장치 | |
US7728953B2 (en) | Exposure method, exposure system, and substrate processing apparatus | |
JP5194800B2 (ja) | 重ね合わせ管理方法及び装置、処理装置、測定装置及び露光装置、デバイス製造システム及びデバイス製造方法、並びにプログラム及び情報記録媒体 | |
JP4434372B2 (ja) | 投影露光装置およびデバイス製造方法 | |
US8384900B2 (en) | Exposure apparatus | |
JP2011060919A (ja) | 露光装置およびデバイス製造方法 | |
JP6755733B2 (ja) | マスク、計測方法、露光方法、及び、物品製造方法 | |
JP7240166B2 (ja) | 決定方法、露光方法、露光装置、および物品製造方法 | |
JP6552312B2 (ja) | 露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法 | |
JP2011119457A (ja) | 位置合わせ条件最適化方法及びシステム、パターン形成方法及びシステム、露光装置、デバイス製造方法、並びに重ね合わせ精度評価方法及びシステム | |
JP2017090817A (ja) | 露光装置、及び物品の製造方法 | |
JP2002334826A (ja) | 露光方法、面位置合わせ方法、露光装置及びデバイス製造方法 | |
JP2012248647A (ja) | ダブルパターニング最適化方法及びシステム、パターン形成方法及びシステム、露光装置、並びにデバイス製造方法 | |
JP2006148013A (ja) | 位置合わせ方法及び露光方法 | |
KR102493922B1 (ko) | 결정 방법, 노광 방법, 노광 장치, 물품의 제조 방법 및 컴퓨터 프로그램 | |
US11579537B2 (en) | Pattern inspection method and photomask fabrication method | |
JP2022027020A (ja) | 決定方法、露光方法、露光装置、および物品製造方法 | |
JP2023106908A (ja) | 露光方法、露光装置、及び物品の製造方法 | |
JP7383840B1 (ja) | 情報処理装置、情報処理方法、プログラム、露光装置、露光方法、および物品の製造方法 | |
JP2010040632A (ja) | 計測条件最適化方法及びプログラムの作成方法、並びに露光装置 | |
JP2004087562A (ja) | 位置検出方法及びその装置、露光方法及びその装置、並びにデバイス製造方法 | |
JP2004029372A (ja) | マスク、結像特性計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法 | |
JPS62171126A (ja) | 投影型露光装置 | |
JP2004079585A (ja) | 結像特性計測方法及び露光方法 | |
JP2005158937A (ja) | マーク位置検出装置の調整方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20210103 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210113 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220721 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220808 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221005 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230303 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7240166 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |