JP2005158937A - マーク位置検出装置の調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 、調整用マーク2の各辺の位置を測定し、外側正方形と内側正方形のX軸方向、Y軸方向の位置ずれをそれぞれ測定する。この測定を、最初に、調整用マーク2の中心を視野中心に一致させて行い、次に、X軸方向、Y軸方向に、それぞれ所定距離だけ離して、測定を行う。そして、これらのデータより、測定位置とそのときのTISとの関係を求め、TISが小さくなるように、結像光学系のレンズのチルト調整機構、シフト調整機構、Z軸まわりの回転機構を調整する。
【選択図】 図1
Description
L ≦ Lave ± 5nm
但し、Laveは視野内全域での測定値の平均値である。
L ≦ Lt ± 5nm
但し、Ltは前記距離の真値である。
L0(0,0)=Lt+TIS(0,0)
L180(0,0)=−Lt+TIS(0,0)
であるので
上記測定値よりLtは以下のように求められる。
Lt=(L0(0,0)−L180(0,0))/2 …(4)
これより、各測定点(I,J)におけるTIS量TIS(I,J)は、以下のように求められる。
TIS(I,J)=L0(I,J)−Lt …(5)
(5)式が示すように測定値L0(I,J)が視野内の測定位置により変化する場合、それに伴いTIS値も変化する。図2はX軸上のTIS値である、TIS(I,0)とIとの関係を示す図である(本来はIが離散的であるので離散的な図であるが、内挿補間を行い曲線で示してある)。このようなTIS値の視野内依存性を示すグラフをTISマップと呼ぶことにする。
更に、本願の実施例では、リレーレンズを有する結像光学系において、第2リレーレンズ32の偏心調整を行う例を示したが、リレーレンズを有さない結像光学系の場合には結像レンズ29の偏心調整を行うことにより同様の効果を得ることができる。この場合にも、シフト調整及びチルト調整機構を有するレンズは結像レンズ29のうちの少なくとも1枚の単レンズまたは接合レンズであってもよく、また、互いに隣接する複数のレンズであってもよいことは同様である。
Claims (17)
- 積層された2層間のパターンの位置ずれを検査するためのマークの位置を検出するマーク位置検出装置であって、測定マークに白色光を照明する照明手段と、前記測定マークから反射した反射光を結像面に結像させる結像手段と、前記結像面に設けられた撮像手段と、前記撮像手段の出力信号を解析する画像処理手段を有し、前記結像手段中には、偏心調整機構を有する結像レンズが設けられているものにおける、測定誤差を補正する方法であって、マークを視野内の3カ所以上で測定して、その測定値に応じて、前記結像レンズの偏心調整機構を操作し、前記測定値の変化が少なくなるように前記結像手段の調整を行う工程を有することを特徴とするマーク位置検出装置の調整方法。
- 前記マークが1本の線と、その線に平行で、中心線の位置が前記1本の線と略等しい位置にある2本の線を有し、前記測定値が、前記1本の線と、前記2本の線の中心線との距離であることを特徴とする請求項1に記載のマーク位置検出装置の調整方法。
- 前記マークの前記1本の線を視野中心に置いたときの前記測定値から、前記1本の線と、前記2本の線の中心線の距離の真値を求め、各位置における測定値として、実際の前記測定値からこの真値を差し引いたものを採用することを特徴とする請求項2に記載のマーク位置検出装置の調整方法。
- 前記マークが、2組の平行な2本の組を有し、各組の2本の線の中心線の位置がほぼ一致するものであり、前記測定値が、第1の組の2本の線の中心線と、第2の組の2本の線の中心線との距離であることを特徴とする請求項1に記載のマーク位置検出装置の調整方法。
- 前記第1の組の2本の線の中心線を視野中心においたときの前記測定値から、前記第1の組の2本の線の中心線と、前記第2の組の2本の線の中心線との距離の真値を求め、各位置における測定値として、実際の前記測定値からこの真値を差し引いたものを採用することを特徴とする請求項4に記載のマーク位置検出装置の調整方法。
- 前記マークが1本の線と、その線に平行で、中心線の位置が前記1本の線と略等しい位置にある2本の線からなる第1マークと、この第1マークと直角な方向を向いた1本の線と、その線に平行で、中心線の位置が前記1本の線と略等しい位置にある2本の線からなる第2マークとを有し、前記測定値が、前記第1マークと前記第2マークそれぞれにおける、前記1本の線と、前記2本の線の中心線との距離であることを特徴とする請求項1に記載のマーク位置検出装置の調整方法。
- 前記第1マークの前記1本の線と前記第2マークの前記1本の線の交点を視野中心に置いたときの前記測定値から、前記第1マーク、前第2マークそれぞれの、前記1本の線と、前記2本の線の中心線の距離の真値を求め、各位置における測定値として、実際の前記測定値からこれらの真値を差し引いたものを採用することを特徴とする請求項6に記載のマーク位置検出装置の調整方法。
- 前記マークが、2組の平行な2本の組からなり、各組の2本の線の中心線の位置がほぼ一致する第1マークと、この第1マークと直角な方向を向いた2組の平行な2本の組からなり、各組の2本の線の中心線の位置がほぼ一致する第2マークとを有し、前記測定値が、前記第1マークと前記第2マークそれぞれにおける、第1の組の2本の線の中心線と、第2の組の2本の線の中心線との距離であることを特徴とする請求項1に記載のマーク位置検出装置の調整方法。
- 前記2組のマークの2本の線の中心線の交点を視野中心に置いたときの、前記測定値から、前記第1マーク、前第2マークそれぞれの、第1の組の2本の線の中心線と、第2の組の2本の線の中心線との距離の真値を求め、各位置における測定値として、実際の前記測定値からこれらの真値を差し引いたものを採用することを特徴とする請求項8に記載のマーク位置検出装置の調整方法。
- 前記マークが1本の線と、その線に平行で、中心線の位置が前記1本の線と略等しい位置にある2本の線からなる第1マークと、この第1マークと直角な方向を向いた2組の平行な2本の組からなり、各組の2本の線の中心線の位置がほぼ一致する第2マークとを有し、前記測定値が、前記第1マークの前記1本の線と、前記2本の線の中心線との距離、及び前記第2マークの第1の組の2本の線の中心線と、第2の組の2本の線の中心線との距離であることを特徴とする請求項1に記載のマーク位置検出装置の調整方法。
- 前記第1マークの前記1本の線と前記第2マークの2本の線の中心線との交点を視野中心に置いたときの前記測定値から、それぞれ、前記1本の線と、前記2本の線の中心線の距離の真値、前記第1の組の2本の線の中心線と、前記第2の組の2本の線の中心線との距離の真値を求め、各位置における測定値として、実際の前記測定値からこれらの真値を差し引いたものを採用することを特徴とする請求項10に記載のマーク位置検出装置の調整方法。
- 請求項1から請求項11のうちいずれか1項に記載のマーク位置検出装置の調整方法であって、前記マーク、前記第1マーク、前記第2マークのいずれかの前記測定値を、これらのマークの位置の関数として近似したときの1次成分を、前記結像レンズのシフトにより調整することを特徴とするマーク位置検出装置の調整方法。
- 請求項1から請求項11のうちいずれか1項に記載のマーク位置検出装置の調整方法であって、前記マーク、前記第1マーク、前記第2マークのいずれかの前記測定値を、これらのマークの位置の関数として近似したときの2次成分を、前記結像レンズの光軸まわりの回転により調整することを特徴とするマーク位置検出装置の調整方法。
- 請求項1、請求項3、請求項5、請求項7、請求項9、請求項11のうちいずれか1項に記載のマーク位置検出装置の調整方法であって、前記マーク、前記第1マーク、前記第2マークのいずれかの前記測定値を、これらのマークの位置の関数として近似したときの0次成分(バイアス)を、前記結像レンズの傾き(チルト)により調整することを特徴とするマーク位置検出装置の調整方法。
- 積層された2層間のパターンの位置ずれを、前記積層された2層のうち下層に形成された少なくとも1つのマークの中心位置と、上層に形成された少なくとも1つのマークの中心位置との距離を検出して検査するためのマーク位置検出装置であって、マークを照明する照明手段と、前記マークから反射した反射光を結像面に結像させる結像手段と、前記結像面に設けられた撮像手段と、前記撮像手段の出力信号を解析する画像処理手段とを有し、前記結像手段中には偏心調整機構を有する結像レンズが設けられ、前記結像レンズの調整によって、前記距離の測定値Lが、視野内の全ての位置で以下の式を満足することを特徴とするマーク位置検出装置。
L ≦Lave ± 5nm
但し、Laveは視野内全域での測定値の平均値である。 - 請求項15に記載のマーク位置検出装置であって、前記距離の測定値Lが、前記視野内の全ての位置で以下の式を満足することを特徴とするマーク位置検出装置。
L ≦ Lt ± 5nm
但し、Ltは前記距離の真値である。 - 積層された2層間のパターンの位置ずれを、前記積層された2層のうち下層に形成された少なくとも1つのマークの中心位置と、上層に形成された少なくとも1つのマークの中心位置との距離を検出して検査するためのマーク位置検出装置であって、該マーク位置検出装置は、マークを照明する照明手段と、前記マークから反射した反射光を結像面に結像させる結像手段と、前記結像面に設けられた撮像手段と、前記撮像手段の出力信号を解析する画像処理手段と、前記撮像手段を制御する制御手段と、マークを有する基板を置載するためのステージと、該マークと前記結像手段とを視野内で所定のピッチで基板面に対して平行な方向に相対移動させる移動手段を有し、前記制御手段は前記移動手段による移動に伴う視野内の位置ごとのマーク像を撮像し、前記画像処理手段は前記視野内の位置ごとに前記距離の測定値を出力することを特徴とするマーク位置検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003393847A JP2005158937A (ja) | 2003-11-25 | 2003-11-25 | マーク位置検出装置の調整方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR20220003907A (ko) * | 2020-07-02 | 2022-01-11 | (주)오로스 테크놀로지 | 오버레이 측정장치 |
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2003
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