JP2017090817A - 露光装置、及び物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露光装置は、互いに隣り合う領域同士が接続されるように複数の領域をそれぞれ露光することによって上記複数の領域からなる全体領域を露光するモードを有する。露光装置は、上記モードにおいて、制御情報に従って露光装置によって露光される全体領域における互いに隣り合う領域同士の接続状態に基づいて、接続状態が改善されるように制御情報を補正することによって補正制御情報を生成する補正部を有する。露光装置は、上記モードにおいて、補正制御情報に従って複数の領域をそれぞれ露光することによって全体領域を露光する。
【選択図】図1
Description
・ショット領域A,Bがそれぞれ、制御情報(ショットレイアウト情報)により定義される矩形から台形状に歪んでいること。
・ショット領域A(第1の領域)の下底とショット領域B(第2の領域)の上底とが重複しており(図10(a)の状態)、ショット領域Aの上底とショット領域Bの上底との長さの差が許容値以下であること。許容値とは、両者の上底の長さの差が実質的にないとみなせる値に設定されうる。
・ショット領域A左下:(X0L+ΔXaL, Y0L+ΔYaL)
・ショット領域A右下:(X0R+ΔXaR, Y0R+ΔYaR)
・ショット領域B左上:(X0L+ΔXbL, Y0L+ΔYbL)
・ショット領域B右上:(X0R+ΔXbR, Y0R+ΔYbR)
ただし、
ΔXaLは、テスト露光におけるショット領域Aの左下座標のXずれ量、
ΔYaLは、テスト露光におけるショット領域Aの左下座標のYずれ量、
ΔXaRは、テスト露光におけるショット領域Aの右下座標のXずれ量、
ΔYaRは、テスト露光におけるショット領域Aの右下座標のYずれ量、
ΔXbLは、テスト露光におけるショット領域Bの左下座標のXずれ量、
ΔYbLは、テスト露光におけるショット領域Bの左下座標のYずれ量、
ΔXbRは、テスト露光におけるショット領域Bの右下座標のXずれ量、
ΔYbRは、テスト露光におけるショット領域Bの右下座標のYずれ量、である。
・ショット領域A左下:(X0L+ΔXaL', Y0L+ΔYaL')
・ショット領域A右下:(X0R+ΔXaR', Y0R+ΔYaR')
ΔXaL'=ΔXaL+Sx+X0L*cosθ-Y0L*sinθ+X0L*Mx …式1
ΔYaL'=ΔYaL+Sy+X0L*sinθ+Y0L*cosθ …式2
ΔXaR'=ΔXaR+Sx+X0R*cosθ-Y0R*sinθ+X0R*Mx …式3
ΔYaR'=ΔYaR+Sy+X0R*sinθ+Y0R*cosθ …式4
ただし、
Sxは、ショット領域AをX方向に変化させる量、
Syは、ショット領域AをY方向に変化させる量、
θは、ショット領域Aを(0,0)を中心に回転させる量、
Mxは、ショット領域AをX方向に変化させる倍率、である。
ΔXaL'=ΔXbL …式5
ΔYaL =ΔYbL …式6
ΔXaR'=ΔXbR …式7
ΔYaR =ΔYbR …式8
ΔXbL=ΔXaL+Sx+X0L*cosθ-Y0L*sinθ+X0L*Mx …式9
ΔYbL=ΔYaL+Sy+X0L*sinθ+Y0L*cosθ …式10
ΔXbR=ΔXaR+Sx+X0R*cosθ-Y0R*sinθ+X0R*Mx …式11
ΔYbR=ΔYaR+Sy+X0R*sinθ+Y0R*cosθ …式12
Sx = -7.92 nm
Sy= -2.00 nm
θ= 0.69 μrad
Mx = -0.31 ppm
本発明の実施形態に係る物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程(基板を露光する工程)と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を現像する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
本発明は、上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
Claims (8)
- 互いに隣り合う領域同士が接続されるように複数の領域をそれぞれ露光することによって前記複数の領域からなる全体領域を露光する露光装置であって、
制御情報に従って前記露光装置によって露光される前記全体領域における互いに隣り合う領域同士の接続状態に基づいて、前記接続状態が改善されるように前記制御情報を補正することによって補正制御情報を生成する補正部を有し、
前記露光装置は、前記補正制御情報に従って前記複数の領域をそれぞれ露光することによって前記全体領域を露光する
ことを特徴とする露光装置。 - 前記制御情報に従ってテスト基板を露光した際に形成されたアライメントマークの座標を計測した結果に基づいて前記接続状態を評価することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記接続状態の改善は、前記領域同士が接する辺が一致するように前記複数の領域のうちの少なくともいずれかの位置をシフトさせることにより行われることを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記接続状態の改善は、前記領域同士が接する辺が一致するように前記複数の領域のうちの少なくともいずれかを回転させることにより行われることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記接続状態の改善は、前記領域同士が接する辺が一致するように前記複数の領域のうちの少なくともいずれかを変倍することにより行われることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記接続状態の改善は、前記領域同士が接する辺が一致するように前記複数の領域のそれぞれの露光において走査方向を互いに逆向きとすることにより行われることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の露光装置。
- マスクのパターンを基板の上の複数の領域のそれぞれに露光する露光装置であって、
前記基板のショットレイアウト情報に基づいて前記マスクのパターンを前記基板の上の複数の領域のそれぞれに前記複数の領域が互いに隣接するように露光する場合に生じる前記複数の領域の隣接部分のずれに基づいて修正された、前記基板の露光領域の形状を制御するための制御情報を取得する取得部を有し、
前記露光装置は、前記取得部により取得された制御情報を用いて、前記マスクのパターンを前記基板の上の複数の領域のそれぞれに前記複数の領域が互いに隣接するように露光する、ことを特徴とする露光装置。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記露光された基板を現像する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
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