JP7238549B2 - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Description

本発明は、ノズルから液体を吐出する液体吐出ヘッドに関する。

液体吐出ヘッドとしては、マニホールドから液体が供給される圧力室の圧力を変動させ、圧力室に連通するノズルから液体を吐出するものがある。特許文献１には、圧力発生室（圧力室）の一方側にマニホールドが配置されており、圧力発生室の一方側とは反対の他方側にノズル開口（ノズル）に繋がる連通路が配置されたインクジェット記録ヘッドが開示されている。ノズル開口は、連通路が設けられる連通板の下面に接合されたノズルプレートに形成されている。また、圧力発生室への供給用のマニホールドの下面は、連通板の下面に接合された蓋部材で画定されている。蓋部材は、マニホールド内の圧力変化によって変形可能なコンプライアンス部として機能する。

特開２０１３－１８４３３６号公報

使用する液体の物性によっては、圧力発生室への供給用のマニホールド（第１マニホールド）からノズルに至る流路において、液体の増粘や含有粒子の沈降などの不具合が生じることがある。これらの不具合を抑制するために、供給用のマニホールドからノズルに至る流路を流れる液体をインクタンクなどの液体吐出ヘッドへの液体供給源に戻すための帰還用のマニホールド（第２マニホールド）を設けることが考えられる。これにより、液体吐出ヘッドと液体供給源との間において液体が循環する構成とすることができる。

ここで、特許文献１のインクジェット記録ヘッドに帰還用のマニホールドを設けることを考える。ヘッドの大型化を避ける観点から、供給用のマニホールドとノズルに繋がる連通路との間に帰還用のマニホールドを設けることが好ましい。また、製造コストの観点から、帰還用のマニホールドの下面を、比較的高価なノズルプレートではなく、蓋部材で覆うことが考えられる。

蓋部材は、供給用のマニホールドのダンパーとして機能する。したがって、蓋部材として、樹脂フィルムを採用することが考えられるが、樹脂フィルムで帰還用のマニホールドの下面を覆うことは困難である。すなわち、帰還用のマニホールドの下面を、供給用のマニホールのダンパーとして機能する樹脂フィルムで覆う場合には、樹脂フィルムの上面を連通板に熱溶着し、且つ、樹脂フィルムの下面をノズルプレートの上面と熱溶着する必要がある。このように、樹脂フィルムの両面を別々の部材に熱溶着するのは困難であり、溶着が不十分である場合には、帰還用のマニホールドにリークが生じる虞がある。かかる問題は、供給用のマニホールドのダンパーとして金属フィルムを採用した場合も同様である。

本発明の目的は、第１マニホールドのダンパーとして樹脂フィルムや金属フィルムを採用した場合であっても、製造コストの増大を抑えつつ第２マニホールドを設けることができる液体吐出ヘッドを提供することである。

本発明の液体吐出ヘッドは、複数の圧力室、前記複数の圧力室に共通の第１マニホールド、一方向に関して前記複数の圧力室を挟んで前記第１マニホールドとは反対側に配置されており、前記複数の圧力室にそれぞれ接続された複数のディセンダ、及び前記複数の圧力室に共通の第２マニホールドを有する流路部材と、前記複数のディセンダにそれぞれ接続される複数のノズルを有するノズルプレートと、前記第１マニホールドの一部を画定するダンパーフィルムと、前記第２マニホールドの一部を画定するカバープレートと、を備え、前記ダンパーフィルム、及び前記カバープレートは、前記一方向と直交する直交方向に関して前記流路部材に対して前記ノズルプレートが配置されている側と同じ側に配置されており、前記ノズルプレート及び前記ダンパーフィルムは、前記直交方向から見て重複しておらず、且つ、いずれも前記カバープレートに接合されていることを特徴とする。

この構成によると、第２マニホールドの一部がノズルプレートではなく、カバープレートで画定されているので、コストの増大を抑えることができる。さらに、ノズルプレート及びダンパーフィルムは、直交方向から見て重複しておらず、且つ、いずれもカバープレートに接合されているので、ダンパーフィルムの両面に別々の部材が接合されることがない。したがって、ダンパーフィルムとして樹脂フィルムや金属フィルムを採用した場合であっても、接合を確実に行うことができる。よって、製造コストの増大を抑えつつ第２マニホールドを設けることができる。

別の観点によると、本発明の液体吐出ヘッドは、複数のノズルにより構成される第１ノズル列と、前記第１ノズル列とは異なる第２ノズル列と、を有するノズルプレートと、前記第１ノズル列の前記ノズルに対応する複数の第１圧力室、前記第２ノズル列の前記ノズルに対応する複数の第２圧力室、前記複数の第１圧力室に共通の第１マニホールド、前記複数の第２圧力室に共通の第２マニホールドであって前記第１マニホールドともに一方向に関して前記複数の第１圧力室と前記複数の第２圧力室とを挟むように配置される第２マニホールド、前記一方向と直交する直交方向において前記複数の第１圧力室のうちの１つの前記第１圧力室と前記第１マニホールドとの間にある第１絞り、前記直交方向において前記複数の第２圧力室のうちの１つの前記第２圧力室と前記第２マニホールドとの間にある第２絞り、前記一方向に関して前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとの間に配置されており前記複数の第１圧力室のうちの１つの前記第１圧力室に接続された第１ディセンダ、前記一方向に関して前記第１ディセンダと前記第２マニホールドとの間に配置されており前記複数の第２圧力室のうちの１つの前記第２圧力室に接続された第２ディセンダ、前記第１マニホールドと前記第１ディセンダとの間にあり前記複数の第１圧力室に共通の第３マニホールド、前記第２マニホールドと前記第２ディセンダとの間にあり前記複数の第２圧力室に共通の第４マニホールド、前記一方向において前記第１ディセンダと前記第３マニホールドとの間にある第３絞り及び前記一方向において前記第２ディセンダと前記第４マニホールドとの間にある第４絞りを有する流路部材と、前記第１供給マニホールドの一部を画定する第１ダンパーフィルムと、前記第２供給マニホールドの一部を画定する第２ダンパーフィルムと、前記第１帰還絞りの一部を画定する第１カバープレートと、前記第２帰還絞りの一部を画定する第２カバープレートと、を備える。そして、前記第１絞りは、前記第１マニホールドから前記第１圧力室へ、前記第３絞りが前記第１ディセンダから前記第３マニホールドへと延びる方向と交差する方向に延び、前記第２絞りは、前記第２マニホールドから前記第２圧力室へ、前記第４絞りが前記第２ディセンダから前記第４マニホールドへと延びる方向と交差する方向に延び、前記第１ダンパーフィルム、前記第２ダンパーフィルム、前記第１カバープレート及び前記第２カバープレートは、前記直交方向に関して前記流路部材の前記ノズルプレートが配置されている側と同じ側に配置されており、前記ノズルプレート及び前記第１ダンパーフィルムは、前記直交方向に関して重複しておらず、且つ、いずれも前記第１カバープレートに接合され、前記ノズルプレート及び前記第２ダンパーフィルムは、前記直交方向に関して重複しておらず、且つ、いずれも前記第２カバープレートに接合されていることを特徴とする。

この構成によると、第３及び第４マニホールドの一部がノズルプレートではなく、第１及び第２カバーカバープレートで画定されているので、コストの増大を抑えることができる。さらに、ノズルプレート及び第１及び第２ダンパーフィルムは、直交方向から見て重複しておらず、且つ、いずれも第１及び第２カバープレートに接合されているので、第１及び第２ダンパーフィルムの両面に別々の部材が接合されることがない。したがって、第１及び第２ダンパーフィルムとして樹脂フィルムや金属フィルムを採用した場合であっても、接合を確実に行うことができる。よって、製造コストの増大を抑えつつ第３及び第４マニホールドを設けることができる。

本発明では、第１マニホールド（又は、第１及び第２マニホールド）のダンパーとして樹脂フィルムや金属フィルムを採用した場合であっても、製造コストの増大を抑えつつ第２マニホールド（又は、第３及び第４マニホールド）を設けることができる。

本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッドを備えたプリンタの平面図である。 図１に示すインクジェットヘッドの平面図である。 図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿ったインクジェットヘッドの断面図である。 図３に示すカバープレートの平面図である。 本発明の第２実施形態に係るインクジェットヘッドの平面図である。 図５のＶＩ－ＶＩ線に沿ったインクジェットヘッドの断面図である。 （ａ）は第１実施形態の第１変形例にかかるカバープレートを示す図であり、（ｂ）は第１実施形態の第２変形例にかかるカバープレートを示す図である。 第２実施形態の一変形例に係るインクジェットヘッドの断面図である。

［第１実施形態］
以下、本発明の好適な第１実施形態について説明する。

＜プリンタの全体構成＞
図１に示すように、第１実施形態にかかるプリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３（本発明の「液体吐出ヘッド」）、プラテン４、及び、搬送ローラ５、６を備えている。

キャリッジ２は、走査方向（図１中左右方向）に延びた２本のガイドレール１１、１２に支持され、ガイドレール１１、１２に沿って走査方向に移動する。インクジェットヘッド３は、キャリッジ２に搭載され、キャリッジ２とともに走査方向に移動する。また、インクジェットヘッド３は、その下面に形成された複数のノズル４７からインクを吐出する。なお、インクジェットヘッド３については後ほど詳細に説明する。

プラテン４は、インクジェットヘッド３の下面と対向して配置され、走査方向に記録用紙Ｐの全長にわたって延びている。プラテン４は、記録用紙Ｐを下方から支持する。搬送ローラ５、６は、それぞれ、走査方向と直交する搬送方向（図２中下方から上方に向かう方向）において、キャリッジ２よりも上流側及び下流側に配置され、記録用紙Ｐを搬送方向に搬送する。

プリンタ１では、搬送ローラ５、６によって、記録用紙Ｐを搬送方向に所定距離ずつ搬送させる搬送処理と、キャリッジ２を走査方向に移動させつつ、インクジェットヘッド３の複数のノズル４７からインクを吐出させる走査処理とを交互に行うことで、記録用紙Ｐに印刷を行う。すなわち、プリンタ１は、シリアル式である。なお、以下の説明においては、走査方向と搬送方向との両方に直交する方向を上下方向とする。

＜インクジェットヘッド３＞
次に、図２、３を参照しつつ、インクジェットヘッド３の詳細な構成について説明する。図２に示すように、インクジェットヘッド３は、上面視で搬送方向に長尺な矩形形状を有している。インクジェットヘッド３は、図３に示すように、流路部材２１、ノズルプレート２２、ダンパーフィルム２３ａ、２３ｂ、カバープレート２４ａ、２４ｂ、圧電素子２５、及びドライバＩＣ２６などを備えている。インクジェットヘッド３には、インクタンク９０（図２参照）からインクが供給される。

図３に示すように、流路部材２１は、プレート３１、３２、振動板３３、保護基板３４、及び蓋部材３５が積層されることで形成されている。プレート３１、３２、振動板３３、保護基板３４、及び蓋部材３５は、下方からこの順に積層されている。なお、図２に示すように、流路部材２１は蓋部材３５を２枚備えている。各蓋部材３５は、搬送方向に長尺な矩形形状を有しており、保護基板３４の上面における走査方向の両端部にそれぞれ接合されている。ノズルプレート２２、ダンパーフィルム２３ａ、２３ｂ、及びカバープレート２４ａ、２４ｂは、流路部材２１の下面、すなわちプレート３１の下面に接合されている。すなわち、ダンパーフィルム２３ａ、２３ｂ、及びカバープレート２４ａ、２４ｂは、上下方向に関して流路部材２１に対してノズルプレート２２が配置されている側と同じ側に配置されている。

図２、３に示すように、流路部材２１は、２つの第１マニホールド４１ａ、４１ｂ、複数の圧力室４３、複数のディセンダ４５、及び２つの第２マニホールド４２ａ、４２ｂを有する。以下の説明において、２つの第１マニホールド４１ａ、４１ｂを区別しない場合には、「第１マニホールド４１」とする。また、２つの第２マニホールド４２ａ、４２ｂを区別しない場合には、「第２マニホールド４２」とする。

２つの第１マニホールド４１a、４１ｂは、いずれも搬送方向に延在しており、流路部材２１における走査方向の両端部にそれぞれ位置している。第１マニホールド４１ａは、流路部材２１における走査方向の一方側（図３中左側）に位置している。第１マニホールド４１ｂは、流路部材２１における走査方向の他方側（図３中右側）に位置している。図３に示すように、上下方向及び走査方向に平行な面における第１マニホールド４１の断面形状は、その下端部が流路部材２１の走査方向に関する中央に向けて曲がった鉤形状である。

図３に示すように、第１マニホールド４１ａ、４１ｂの上面は、いずれも蓋部材３５によって画定されている。また、第１マニホールド４１aの下面は、ダンパーフィルム２３ａ（本発明の「第１ダンパーフィルム」）によって画定されている。第１マニホールド４１ｂの下面は、ダンパーフィルム２３ｂ（本発明の「第２ダンパーフィルム」）によって画定されている。すなわち、ダンパーフィルム２３ａ、２３ｂは、第１マニホールド４１a、４１ｂの下面の流路壁となっている。

また、第１マニホールド４１は、蓋部材３５とダンパーフィルム２３ａ又はダンパーフィルム２３ｂとの間にあるプレート３１、３２、振動板３３、保護基板３４に形成された貫通孔によって主に構成されている。第１マニホールド４１の下端部の流路部材２１の走査方向に関する中央に向けて曲がった部分は、プレート３１に形成された下方に開口する凹部によって構成されている。

ダンパーフィルム２３ａ、２３ｂは、樹脂フィルムであり、流路部材２１の下面に熱溶着されている。ダンパーフィルム２３ａ、２３ｂにより、第１マニホールド４１内でのインクの圧力変動を減衰させることができる。なお、ダンパーフィルム２３ａ、２３ｂとして、金属製フィルムを適用することもできる。

図２に示すように、流路部材２１の上壁における２つの第１マニホールド４１ａ、４１ｂの搬送方向の下流側（図２中右側）の端部と対向する部分には、供給ポート４８ａ、４８ｂがそれぞれ形成されている。供給ポート４８ａは、第１マニホールド４１ａの上面を画定する蓋部材３５に形成された貫通孔によって構成されている。供給ポート４８ｂは、第１マニホールド４１ｂの上面を画定する蓋部材３５に形成された貫通孔によって構成されている。第１マニホールド４１ａ、４１ｂは、供給ポート４８ａ、４８ｂに取り付けられた管（図示せず）を介して、インクタンク９０とそれぞれ連通している。インクタンク９０と供給ポート４８ａ、４８ｂとの間の流路の途中には、インクタンク９０内のインクを供給ポート４８ａ、４８ｂに向けて送るポンプ９１、９２がそれぞれ設けられている。

複数の圧力室４３は、図２に示すように、２つの第１マニホールド４１ａ、４１ｂの間において、搬送方向に千鳥状に配列されている。つまり、搬送方向に等間隔で配列された複数の圧力室４３で構成された２つの圧力室列４３ａ、４３ｂが、走査方向に並んで配置されている。圧力室列４３aに属する各圧力室４３と圧力室列４３ｂに属する各圧力室４３とは、第１マニホールと４１ａと第１マニホールド４１ｂとに挟まれている。図３に示すように、各圧力室４３は、プレート３２に形成された貫通孔により構成されている。全ての圧力室４３は、プレート３２の上面に積層された振動板３３に覆われている。

２つの圧力室列４３ａ、４３ｂのうち、走査方向の一方側（図２中上側）に位置する圧力室列４３ａに属する各圧力室４３（本発明の「第１圧力室」）は、供給絞り４４（本発明の「第１絞り」）を介して第１マニホールド４１ａに連通している。第１マニホールド４１ａは、圧力室列４３ａに属する複数の圧力室４３に共通して設けられている。かかる供給絞り４４は、圧力室列４３ａに属する圧力室４３毎に設けられており、上下方向に関して各圧力室４３と第１マニホールド４１ａとの間に位置している。つまり、かかる供給絞り４４は、上下方向に延びており、各圧力室４３の下端と第１マニホールド４１ａの上端とを繋いでいる。また、かかる供給絞り４４は、圧力室列４３ａに属する各圧力室４３における走査方向の一方側（図２中上側）の端部と、第１マニホールド４１ａにおける走査方向の他方側（図２中下側）の端部とを繋いでいる。

２つの圧力室列４３ａ、４３ｂのうち、走査方向の他方側（図２中下側）に位置する圧力室列４３ｂに属する各圧力室４３（本発明の「第２圧力室」）は、供給絞り４４（本発明の「第２絞り」）を介して第１マニホールド４１ｂに連通している。第１マニホールド４１ｂは、圧力室列４３ｂに属する複数の圧力室４３に共通して設けられている。かかる供給絞り４４は、圧力室列４３ｂに属する圧力室４３毎に設けられており、上下方向に関して各圧力室４３と第１マニホールド４１ｂとの間に位置している。つまり、かかる供給絞り４４は、上下方向に延びており、各圧力室４３の下端と第１マニホールド４１ｂの上端とを繋いでいる。また、かかる供給絞り４４は、圧力室列４３ｂに属する各圧力室４３における走査方向の他方側（図２中下側）の端部と、第１マニホールド４１ｂにおける走査方向の一方側（図２中上側）の端部とを繋いでいる。

図３に示すように、供給絞り４４は、プレート３１に形成された貫通孔によって構成されている。より詳細には、供給絞り４４は、プレート３１に形成された、第１マニホールド４１の下端部の一部を構成する下方に開口する凹部の底部に形成された貫通孔によって構成されている。

圧力室列４３ａに属する複数の圧力室４３にそれぞれ接続された複数のディセンダ４５（本発明の「第１ディセンダ」）が、走査方向に関して第１マニホールド４１ａと第１マニホールド４１ｂとの間に配置されている。かかるディセンダ４５は、走査方向に関して、圧力室列４３ａに属する複数の圧力室４３を挟んで第１マニホールド４１ａとは反対側に配置されている。また、かかるディセンダ４５は、圧力室４３における走査方向の他方側（図２中下側）の端部に接続されている。

また、圧力室列４３ｂに属する複数の圧力室４３にそれぞれ接続された複数のディセンダ４５（本発明の「第２ディセンダ」）が、圧力室列４３ａに属する複数の圧力室４３にそれぞれ接続された複数のディセンダ４５と第１マニホールド４１ｂとの間に配置されている。かかるディセンダ４５は、走査方向に関して、圧力室列４３ｂに属する複数の圧力室４３を挟んで第１マニホールド４１ｂとは反対側に配置されている。さらに、かかるディセンダ４５は、圧力室４３における走査方向の一方側（図２中上側）の端部に接続されている。

すなわち、ディセンダ４５は、圧力室４３毎に設けられている。ディセンダ４５は、図３に示すように、プレート３１に形成された貫通孔により構成されており、圧力室４３の下端から下方に延在する。各ディセンダ４５は、その下端においてノズル４７に接続されている。

ノズル４７は、図３に示すように、流路部材２１の下面に接合されたノズルプレート２２に形成されている。ノズルプレート２２は、シリコンからなり、図２に示すように、搬送方向に等間隔で配列された複数のノズル４７で構成され、且つ走査方向に並ぶ２つのノズル列４７ａ、４７ｂを有する。ノズル列４７ａ（本発明の「第１ノズル列」）は、圧力室列４３ａに属する圧力室４３に流体的に連通する。ノズル列４７ａの各ノズル４７と、当該ノズル４７に対応する圧力室４３との間には、ディセンダ４５が接続される。ノズル列４７ｂ（本発明の「第２ノズル列」）は、圧力室列４３ｂに属する圧力室４３に流体的に連通する。ノズル列４７ｂの各ノズル４７と、当該ノズル４７に対応する圧力室４３との間には、ディセンダ４５が接続される。すなわち、ノズル列４７ａは、圧力室列４３ａに属する圧力室４３に対応し、ノズル列４７ｂは、圧力室列４３ｂに属する圧力室４３に対応する。

第１マニホールド４１ａと、圧力室列４３ａに属する複数の圧力室４３に接続された複数のディセンダ４５との間には、第２マニホールド４２ａが配置されている。第２マニホールド４２ａは、図２に示すように、搬送方向に延在しており、上面視において圧力室列４３ａに属する複数の圧力室４３と重複する位置に配置されている。また、第２マニホールド４２ａは、図３に示すように、圧力室列４３ａに属する圧力室４３の下方に位置している。

さらに、第１マニホールド４１ｂと、圧力室列４３ｂに属する複数の圧力室４３に接続された複数のディセンダ４５との間には、第２マニホールド４２ｂが配置されている。第２マニホールド４２ｂは、図２に示すように、搬送方向に延在しており、上面視において圧力室列４３ｂに属する複数の圧力室４３と重複する位置に配置されている。また、第２マニホールド４２ｂは、図３に示すように、圧力室列４３ｂに属する圧力室４３の下方に位置している。

図３に示すように、第２マニホールド４２ａ、４２ｂは、プレート３１に形成された下方に開口する凹部により構成されている。第２マニホールド４２ａの下面は、プレート３１の下面に接合されたカバープレート２４ａ（本発明の「第１カバープレート」）によって画定されている。第２マニホールド４２ｂの下面は、プレート３１の下面に接合されたカバープレート２４ｂ（本発明の「第２カバープレート」）によって画定されている。すなわち、カバープレート２４ａ、２４ｂは、第２マニホールド４２の下面の流路壁となっている。

複数の圧力室４３と第２マニホールド４２とを仕切る仕切り壁の厚みは、４０μｍ以上であり且つ１００μｍ以下であることが好ましい。また、複数のディセンダ４５と第２マニホールド４２とを仕切る仕切り壁の厚みは、４０μｍ以上であり且つ１００μｍ以下であることが好ましい。

図２に示すように、流路部材２１の上壁における第２マニホールド４２ａ、４２ｂの搬送方向の上流側（図２中左側）の端部と対向する部分には、帰還ポート４９ａ、４９ｂがそれぞれ形成されている。帰還ポート４９ａ、４９ｂは、プレート３１、３２、振動板３３、保護基板３４に形成された貫通孔によって構成されている。第２マニホールド４２ａ、４２ｂは、帰還ポート４９ａ、４９ｂに取り付けられた管（図示せず）を介して、インクタンク９０とそれぞれ連通している。インクタンク９０と帰還ポート４９ａとの間の流路の途中、及びインクタンク９０と帰還ポート４９ｂとの間の流路の途中には、帰還ポート４９ａ、４９ｂからのインクをインクタンク９０に送るポンプ９３、９４がそれぞれ設けられている。

ここで、図４をさらに参照しつつ、カバープレート２４ａ、２４ｂについてより詳細に説明する。カバープレート２４ａ、２４ｂは、第２マニホールド４２ａ、４２ｂを構成するプレート３１に形成された凹部の開口をそれぞれ覆うように、プレート３１の下面に接合されている。カバープレート２４ａは、図３に示すように、上面視において第１マニホールド４１ａ、及び第１マニホールド４１ａに連通するディセンダ４５に重複しない。また、カバープレート２４ｂは、上面視において第１マニホールド４１ｂ、及び第１マニホールド４１ｂに連通するディセンダ４５に重複しない。カバープレート２４ａ、２４ｂの搬送方向に関する長さは、流路部材２１の搬送方向に関する長さと同じである。

カバープレート２４ａには、圧力室列４３ａに属する圧力室４３に接続されたディセンダ４５と第２マニホールド４２ａとを連通する帰還絞り６１（本発明の「第３絞り」）を構成する上方に開口する凹部が形成されている。すなわち、第１マニホールド４１ａは、供給絞り４４、圧力室４３、ディセンダ４５、及び帰還絞り６１を介して第２マニホールド４２ａと連通している。第２マニホールド４２ａは、圧力室列４３ａに属する複数の圧力室４３に共通して設けられている。かかる帰還絞り６１は、ディセンダ４５毎に設けられており、走査方向に関して圧力室列４３ａに属する圧力室４３に接続されたディセンダ４５と第２マニホールド４２ａとの間に位置している。このため、かかる帰還絞り６１は、供給絞り４４と交差する方向に延びる。言い換えると、供給絞り４４は、帰還絞り６１がディセンダ４５から第２マニホールド４２ａへ延びる方向と交差する方向に延びる。

カバープレート２４ｂには、圧力室列４３ｂに属する圧力室４３に接続されたディセンダ４５と第２マニホールド４２ｂとを連通する帰還絞り６１（本発明の「第４絞り」）を構成する上方に開口する凹部が形成されている。すなわち、第１マニホールド４１ｂは、供給絞り４４、圧力室４３、ディセンダ４５、及び帰還絞り６１を介して第２マニホールド４２ｂと連通している。第２マニホールド４２ｂは、圧力室列４３ｂに属する複数の圧力室４３に共通して設けられている。かかる帰還絞り６１は、ディセンダ４５毎に設けられており、走査方向に関して圧力室列４３ｂに属する圧力室４３に接続されたディセンダ４５と第２マニホールド４２ｂとの間に位置している。このため、かかる帰還絞り６１は、供給絞り４４と交差する方向に延びる。言い換えると、供給絞り４４は、帰還絞り６１がディセンダ４５から第２マニホールド４２ｂへ延びる方向と交差する方向に延びる。

帰還絞り６１は、圧力室４３に接続されるディセンダ４５毎に設けられている。よって、図２に示すように、複数の帰還絞り６１は、各圧力室列４３ａ、４３ｂに属する複数の圧力室４３に対応して設けられ、圧力室４３の配列方向と同じ搬送方向に配列されている。

カバープレート２４ａ、２４ｂには、第２マニホールド４２ａ、４２ｂ内のインクの圧力変動を減衰させるためのダンパー部６２がそれぞれ形成されている。ダンパー部６２は、上方に開口する凹部である。すなわち、カバープレート２４ａ、２４ｂにおける凹部状のダンパー部６２が形成されている部分は、凹部が形成されていない部分に比べて肉薄になっている。

図４に示すように、第２マニホールド４２ａの下面を画定するカバープレート２４ａに形成されたダンパー部６２には、圧力室列４３ａに属する圧力室４３に接続されたディセンダ４５に連通する全ての帰還絞り６１が連通している。第２マニホールド４２ｂの下面を画定するカバープレート２４ｂに形成されたダンパー部６２には、圧力室列４３ｂに属する圧力室４３に接続されたディセンダ４５に連通する全ての帰還絞り６１が連通している。すなわち、各カバープレート２４ａ、２４ｂにおいて、１つのダンパー部６２に複数の帰還絞り６１が連通している。

図４に示すように、ダンパー部６２（本発明の「幅広部」）は、上面視で搬送方向に長尺な矩形形状を有している。ダンパー部６２の搬送方向に関する長さＬ１は、ダンパー部６２に連通する複数の帰還絞り６１のうち搬送方向の両側に位置する２つの帰還絞り６１間の長さＬ２よりも長い。

図３に示すように、ダンパーフィルム２３ａとノズルプレート２２とは、上面視において重複していない。また、ダンパーフィルム２３ｂとノズルプレート２２とも、上面視において重複していない。ダンパーフィルム２３ａは、主走査方向の他方側（図３中右側）の端部においてカバープレート２４ａの下面に熱溶着されている。ダンパーフィルム２３ｂは、主走査方向の一方側（図３中左側）の端部においてカバープレート２４ｂの下面に熱溶着されている。さらに、ノズルプレート２２は、主走査方向の一方側（図３中左側）の端部においてカバープレート２４ａの下面に接合されており、且つ、主走査方向の他方側（図３中右側）の端部においてカバープレート２４ｂの下面に接合されている。

振動板３３の上面における複数の圧力室４３に対向する領域には、下方から順に共通電極５１、圧電体５２、及び個別電極５３が配置されている。共通電極５１及び圧電体５２は、圧力室列４３a、４３ｂ毎に設けられており、各圧力室列４３ａ、４３ｂに属する複数の圧力室４３に跨ってそれぞれ設けられている。個別電極５３は、圧力室４３毎に設けられており、上面視で各圧力室４３と重複している。１つの個別電極５３と共通電極５１及び圧電体５２における該個別電極５３と対向する部分とが、１つの圧電素子２５を構成する。すなわち、振動板３３の上面には、圧力室４３毎に圧電素子２５が配置されている。

振動板３３の上面に積層されている保護基板３４には、複数の圧電素子２５を収容するための空間を画定する下方に開口する２つの凹部３４ａが形成されている。２つの凹部３４ａ内には、各圧力室列４３ａ、４３ｂに対して設けられた共通電極５１、圧電体５２、及び複数の個別電極５３がそれぞれ収容される。

保護基板３４の上面には、ドライバＩＣ２６が配置されている。ドライバＩＣ２６は、走査方向に関して２つの凹部３４ａの間に位置する。図２に示すように、ドライバＩＣ２６は、搬送方向に延在している。ドライバＩＣ２６における搬送方向の一端（例えば、図２中左端）に、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）等からなる配線基板（図示せず）の一端が接続されている。配線基板の他端は、制御部基板（図示せず）に接続されている。ドライバＩＣ２６は、当該配線基板を介して制御基板に接続されている。

共通電極５１及び複数の個別電極５３は、保護基板３４の内部を通る電極（図示せず）を介して、ドライバＩＣ２６と電気的に接続されている。ドライバＩＣ２６は、共通電極５１の電位をグランド電位に維持する一方、個別電極５３の電位を変化させる。これにより、振動板３３及び圧電体５２において個別電極５３と圧力室４３とで挟まれた部分が、圧力室４３側に凸となるように変形する。この変形によって、圧力室４３の容積が小さくなって圧力室４３内のインクの圧力が上昇し、圧力室４３に連通するノズル４７からインクが吐出される。

次に、インクジェットヘッド３とインクタンク９０との間でのインクの循環について説明する。まず、ポンプ９１、９２を駆動することで、インクタンク９０に貯留されたインクが供給ポート４８ａ、４８ｂを介して２つの第１マニホールド４１ａ、４１ｂにそれぞれ流入する。第１マニホールド４１ａ、４１ｂ内に貯留されたインクは、複数の供給絞り４４を介して対応する圧力室４３に供給される。さらに、第１マニホールド４１ａ、４１ｂから流出したインクは、供給絞り４４、圧力室４３、ディセンダ４５、及び帰還絞り６１を介して第２マニホールド４２ａ又は第２マニホールド４２ｂに流入する。ポンプ９３、９４を駆動することで、第２マニホールド４２ａ、４２ｂ内のインクは、帰還ポート４９ａ、４９ｂを介してインクタンク９０に戻る。

[第１実施形態の特徴]
以上のように、上述の実施形態のインクジェットヘッド３は、複数の圧力室４３、複数の圧力室４３に連通する第１マニホールド４１、主走査方向に関して複数の圧力室４３を挟んで第１マニホールド４１とは反対側に配置されており、複数の圧力室４３にそれぞれ接続された複数のディセンダ４５、及び第１マニホールド４１と連通する第２マニホールド４２を有する流路部材２１と、複数のディセンダ４５にそれぞれ接続される複数のノズル４７を有するノズルプレート２２と、第１マニホールド４１の下面を画定するダンパーフィルム２３ａ、２３ｂと、第２マニホールド４２の下面を画定するカバープレート２４ａ、２４ｂと、を備えている。ノズルプレート２２及びダンパーフィルム２３ａ、２３ｂは、上面視で重複しておらず、且つ、いずれもカバープレート２４ａ、２４ｂに接合されている。

したがって、第２マニホールド４２の下面がノズルプレート２２ではなく、カバープレート２４ａ、２４ｂで画定されているので、コストの増大を抑えることができる。さらに、ノズルプレート２２及びダンパーフィルム２３ａ、２３ｂは、上面視で重複しておらず、且つ、いずれもカバープレート２４ａ、２４ｂに接合されているので、ダンパーフィルム２３ａ、２３ｂの両面に別々の部材が接合されることがない。よって、ダンパーフィルム２３ａ、２３ｂとして樹脂フィルムや金属フィルムを採用した場合であっても、接合を確実に行うことができる。よって、製造コストの増大を抑えつつ第２マニホールド４２を設けることができる。

また、本実施形態では、カバープレート２４ａ、２４ｂは、第２マニホールド４２に連通する複数の帰還絞り６１を有する。したがって、帰還絞り６１の流路径を調整することで、第２マニホールド４２に流入するインクの流速を調整することができる。

さらに、本実施形態では、帰還絞り６１は、複数のディセンダ４５のそれぞれに対応して複数設けられており、第２マニホールド４２と各ディセンダ４５とが複数の帰還絞り６１いずれかを介して連通している。したがって、帰還絞り６１により、ディセンダ４５に接続されたノズル４７からインクを吐出する際に圧力が逃げるのを抑えることができる。

加えて、本実施形態では、カバープレート２４ａ、２４ｂは、複数の帰還絞り６１に連通し、搬送方向に関する長さＬ１が、複数の帰還絞り６１のうち搬送方向の両側に位置する２つの帰還絞り６１間の長さＬ２よりも長い凹部であるダンパー部６２を有する。ダンパー部６２の長さＬ１が長さＬ２よりも短い場合、長さＬ１の範囲に収まる帰還絞り６１と、長さＬ１の範囲外にある帰還絞り６１とで、ダンパー部６２の有無が変わる。そうすると、長さＬ１の範囲に収まる帰還絞り６１と対応する個別流路と、長さＬ１の範囲外にある帰還絞り６１に対応する個別流路とで、液滴吐出後における残留振動の減衰の特性が異なる。このため、帰還絞り６１の流路抵抗の設計が複雑になる。一方、ダンパー部６２の長さＬ２が長さＬ１よりも長い場合、すべての帰還絞り６１で液滴吐出後における残留振動の減衰の特性に差違が生じにくくなる。したがって、帰還絞り６１の流路抵抗を設計しやすい。よって、インクの吐出性能と第１マニホールド４１へインクを送る送出手段（ポンプ９１、９２）の出力とのバランスをとりやすい。

さらに、本実施形態では、カバープレート２４ａ、２４ｂは、第２マニホールド４２ａ、４２ｂ内のインクの圧力変動を減衰させるダンパー部６２を有する。したがって、第２マニホールド４２ａ、４２ｂのダンパー性能を担保できる。

また、本実施形態では、複数の帰還絞り６１及びダンパー部６２は、カバープレート２４ａ、２４ｂに形成された凹部で構成されている。したがって、部品点数を増やすことなく帰還絞り６１とダンパー部６２とを設けることができる。

また、本実施形態では、カバープレート２４ａ、２４ｂにそれぞれ形成されるダンパー部６２の数は、帰還絞り６１の数よりも少ない。したがって、例えば１つの帰還絞り６１に対して１つのダンパー部６２を設ける場合に比べてダンパー性能を高くすることができる。

さらに、本実施形態では、第２マニホールド４２が、上面視で複数の圧力室４３と重複する位置に配置されている。したがって、第２マニホールド４２を複数の圧力室４３と重複しない位置に配置する場合に比べて小型化できる。

加えて、本実施形態では、複数の圧力室４３と第２マニホールド４２とを仕切る仕切り壁の厚みが、４０μｍ以上である。したがって、複数の圧力室４３と第２マニホールド４２との仕切り壁のダンピングを抑制することができるので、ノズル４７からのインクの吐出性能の低下を抑えることができる。

さらに、本実施形態では、複数のディセンダ４５と第２マニホールド４２とを仕切る仕切り壁の厚みが、４０μｍ以上である。したがって、複数のディセンダ４５と第２マニホールド４２との仕切り壁のダンピングを抑制することができるので、ノズル４７からのインクの吐出性能の低下を抑えることができる。

また、本実施形態では、第１マニホールド４１は、複数の圧力室４３にインクを供給する供給マニホールドであり、第２マニホールド４２は、第１マニホールド４１から流出したインクが流入する帰還マニホールドである。したがって、供給されたインクを帰還させることができ、インクの増粘や含有粒子の沈降などの不具合を抑制することができる。

[第２実施形態]
次に、図５及び図６を参照しつつ、本発明の第２実施形態について説明する。第２実施形態において第１実施形態と主に異なる点は、帰還絞り１６１の配置である。以下においては、第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を適宜省略する。

本実施形態のインクジェットヘッド３ａにおいては、第２マニホールド４２ａの下面を画定するカバープレート１２４ａに、第１マニホールド４１ａと第２マニホールド４２ａとを連通する帰還絞り１６１（本発明の「第３絞り」）を構成する上方に開口する凹部が２つ形成されている。かかる帰還絞り１６１は、第１マニホールド４１ａの走査方向の他方側（図６中右側）の端部と第２マニホールド４２ａの走査方向の一方側（図６中左側）の端部とを繋いでいる。

また、第２マニホールド４２ｂの下面を画定するカバープレート１２４ｂに、第１マニホールド４１ｂと第２マニホールド４２ｂとを連通する帰還絞り１６１（本発明の「第４絞り」）を構成する上方に開口する凹部が２つ形成されている。かかる帰還絞り１６１は、第１マニホールド４１ｂの走査方向の一方側（図６中左側）の端部と第２マニホールド４２ｂの走査方向の他方側（図６中左側）の端部とを繋いでいる。

図５に示すように、各カバープレート１２４ａ、１２４ｂに設けられた２つの帰還絞り１６１は、第１マニホールド４１と第２マニホールド４２との間における搬送方向の略中央部分と下流側の端部（図５中右端部）とにそれぞれ配置されている。なお、本実施形態においては、第１マニホールド４１ａ、４１ｂにインクが流入する供給ポート４８ａ、４８ｂは、上面視で第１マニホールド４１ａ、４１ｂの搬送方向の上流側の端部（図５中左端部）と対向する位置に設けられている。

ここで、各カバープレート１２４ａ、１２４ｂに設けられた２つの帰還絞り１６１のうち、搬送方向に関して供給ポート４８ａ、４８ｂから最も離れた帰還絞り１６１、すなわち第１マニホールド４１と第２マニホールド４２との搬送方向の下流側（図５中右側）端部同士を連通する帰還絞り１６１の配置について説明する。かかる帰還絞り１６１は、複数の圧力室４３のうち供給ポート４８ａ、４８ｂから最も離れた圧力室４３、すなわち搬送方向の最も下流側（図５中右側）に位置する圧力室４３に関して供給ポート４８ａ、４８ｂとは反対側に位置している。

次に、インクジェットヘッド３ａとインクタンク９０との間でのインクの循環について説明する。まず、ポンプ９１～９４を駆動することで、インクタンク９０に貯留されたインクが供給ポート４８ａ、４８ｂを介して２つの第１マニホールド４１ａ、４１ｂにそれぞれ流入する。第１マニホールド４１ａ、４１ｂ内に貯留されたインクは、各帰還絞り１６１を介して第２マニホールド４２ａ又は第２マニホールド４２ｂに流入する。第２マニホールド４２ａ、４２ｂ内のインクは、帰還ポート４９ａ、４９ｂを介してインクタンク９０に戻る。

[第２実施形態の特徴]
本実施形態においては、上述の第２実施形態と同様に、ダンパーフィルム２３ａ、２３ｂとして樹脂フィルムや金属フィルムを採用した場合であっても、大型化及び製造コストの増大を抑えつつ第２マニホールド４２を設けることができる。

また、本実施形態では、第２マニホールド４２と第１マニホールド４１とが帰還絞り１６１を介して連通している。したがって、第１マニホールド４１内のインクを循環させることができる。

さらに、本実施形態では、搬送方向に関して供給ポート４８ａ、４８ｂから最も離れた帰還絞り１６１は、複数の圧力室４３のうち供給ポート４８ａ、４８ｂから最も離れた圧力室４３に関して供給ポート４８ａ、４８ｂとは反対側に位置している。したがって、第１マニホールド４１内における複数の圧力室４３のうち供給ポート４８ａ、４８ｂから最も離れた圧力室４３にインクを供給する部分にあるインクまで循環させることができる。

以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

上述の第１及び第２実施形態においては、流路部材２１に、第１マニホールド４１及び第２マニホールド４２が２つずつ設けられている場合について説明したが、これには限定されない。すなわち、流路部材２１に第１マニホールド４１及び第２マニホールド４２が１つずつ設けられている構成であってもよい。

また、第１及び第２実施形態においては、カバープレート２４ａ、２４ｂ（１２４ａ、１２４ｂ）に帰還絞り６１（１６１）が形成されている場合について説明したが、これには限定されない。すなわち、例えば、帰還絞り６１（１６１）はプレート３１に形成されていてもよい。

さらに、第１実施形態において、１つのダンパー部６２に複数の帰還絞り６１が連通している場合について説明した。すなわち、カバープレート２４ａに形成された１つのダンパー部６２には、圧力室列４３ａに属する圧力室４３に接続されたディセンダ４５に連通する全ての帰還絞り６１が連通している。また、カバープレート２４ｂに形成された１つのダンパー部６２には、圧力室列４３ｂに属する圧力室４３に接続されたディセンダ４５に連通する全ての帰還絞り６１が連通している。しかしながら、これには限定されない。

図７（ａ）に示すように、第１実施形態の第１変形例にかかるカバープレート２２４ａには、搬送方向に並んで５つのダンパー部２６２が形成されている。搬送方向に関して隣り合うダンパー部２６２の仕切り壁２６２ａは、走査方向に関してダンパー部２６２の全長に亘って延びている。各ダンパー部２６２には、帰還絞り２６１が２つずつ連通している。各ダンパー部２６２の搬送方向に関する長さＬ３は、ダンパー部２６２に連通する２つの帰還絞り２６１間の長さＬ４よりも長い。本変形例のダンパー部２６２は、アスペクト比が比較的小さいので、ダンパー性能を高くすることができる。

また、図７（ｂ）に示すように、第１実施形態の第２変形例にかかるカバープレート３２４ａには、上述の第１変形例と同様に、それぞれ２つの帰還絞り３６１が連通するダンパー部３６２が、搬送方向に並んで５つ形成されている。搬送方向に関して隣り合うダンパー部３６２の仕切り壁３６２ａは、走査方向に関してダンパー部２６２の全長よりも短い。そして、本変形例においては、搬送方向に関して隣り合うダンパー部３６２は、走査方向の両端部において繋がっている。搬送方向に関して隣り合うダンパー部３６２は、走査方向のいずれか一方の端部でのみ繋がっていてもよい。

上述の第１実施形態、並びに、第１実施形態の第１及び第２変形例においては、１つのダンパー部６２（２６２、３６２）に複数の帰還絞り６１（２６１、３６１）が連通している場合について説明したが、これには限定されない。ダンパー部６２（２６２、３６２）の数は、帰還絞り６１（２６１、３６１）の数よりも少ないことが好ましいが、ダンパー部６２（２６２、３６２）が帰還絞り６１（２６１、３６１）ごとに設けられていてもよい。

また、上述の第２実施形態おいては、各カバープレート１２４ａ、１２４ｂに帰還絞り１６１が２つずつ設けられている場合について説明したが、これには限定されない。カバープレート１２４ａ、１２４ｂに設けられる帰還絞り１６１の数は、１つであってもよく、３つ以上であってもよい。

さらに、上述の第２実施形態においては、搬送方向に関して供給ポート４８ａ、４８ｂから最も離れた帰還絞り１６１は、供給ポート４８ａ、４８ｂから最も離れた圧力室４３に関して供給ポート４８ａ、４８ｂとは反対側に位置している場合について説明したが、これには限定されない。すなわち、供給ポート４８ａ、４８ｂから最も離れた帰還絞り１６１は、供給ポート４８ａ、４８ｂから最も離れた圧力室４３に関して供給ポート４８ａ、４８ｂと同じ側に位置していてもよい。

また、上述の第１及び第２実施形態では、カバープレート２４ａ、２４ｂ（１２４ａ、１２４ｂ）が、第２マニホールド４２内の圧力変動を減衰させるためのダンパー部６２を有している場合について説明したが、ダンパー部６２はなくてもよい。

さらに、上述の第１及び第２実施形態では、帰還絞り６１（１６１）及びダンパー部６２が、カバープレート２４ａ、２４ｂ（１２４ａ、１２４ｂ）に形成された凹部で構成されている場合について説明したが、これには限定されない。すなわち、例えば各カバープレート２４ａ、２４ｂ（１２４ａ、１２４ｂ）を２枚のプレートが上下に積層された構成とし、上方のプレートに形成した貫通孔により帰還絞り６１（１６１）及びダンパー部６２を構成してもよい。

加えて、上述の第１及び第２実施形態では、第２マニホールド４２が、上面視で複数の圧力室４３と重複する位置に配置されている場合について説明したが、第２マニホールド４２は、複数の圧力室４３と上面視で重複していなくてもよい。

また、図８に示すように、第２実施形態の一変形例に係るインクジェットヘッド３ｂにおいては、第１マニホールド４１の下面を画定するダンパーフィルム４２３ａ、４２３ｂが、走査方向に関してノズルプレート２２に向かって下方に傾斜している。本変形例においては、第１マニホールド４１内でよどみが生じるのを抑制できる。

また、上述の第１及び第２実施形態では、複数の圧力室４３と第２マニホールド４２とを仕切る仕切り壁の厚み、及び、複数のディセンダ４５と第２マニホールド４２とを仕切る仕切り壁の厚みが、いずれも４０μｍ以上である場合について説明したが、これには限定されない。これらの仕切り壁の厚みは、４０μｍよりも小さくてもよい。

さらに、上述の第１及び第２実施形態では、走査方向に関してディセンダ４５と共に圧力室４３を挟む位置に配置された第１マニホールド４１が、複数の圧力室４３にインクを供給する供給マニホールドである。また、走査方向に関して第１マニホールド４１とディセンダ４５との間に配置された第２マニホールド４２が、第１マニホールド４１から流出したインクが流入する帰還マニホールドである。しかしながら、査方向に関してディセンダ４５と共に圧力室４３を挟む位置に帰還マニホールドを配置し、走査方向に関して帰還マニホールドとディセンダ４５との間に供給マニホールドを配置してもよい。

アクチュエータは、圧電素子を用いたピエゾ方式のものに限定されず、その他の方式（例えば、発熱素子を用いたサーマル方式、静電力を用いた静電方式等）のものであってもよい。

プリンタ１の記録形式は、シリアル式に限定されず、記録用紙Ｐの幅方向に長尺であり、且つ、位置が固定されたヘッドのノズルからインクを吐出するライン式であってもよい。

ノズルから吐出される液体は、インクに限定されず、任意の液体（例えば、インク中の成分を凝集又は析出させる処理液等）であってよい。また、吐出対象は、記録用紙Ｐに限定されず、例えば布、基板等であってもよい。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。

３ インクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）
２１ 流路部材
２２ ノズルプレート
２３ａ、２３ｂ ダンパーフィルム
２４ａ、２４ｂ カバープレート
４３ 圧力室
４１、４１ａ、４１ｂ 第１マニホールド
４２、４２ａ、４２ｂ 第２マニホールド
４４ 供給絞り（第１絞り、第２絞り）
４５ ディセンダ
４７ａ、４７ｂ（第１ノズル列、第２ノズル列）
６１ 帰還絞り（第３絞り、第４絞り）
６２ ダンパー部

Claims (15)

1. 複数の圧力室、前記複数の圧力室に共通の第１マニホールド、一方向に関して前記複数の圧力室を挟んで前記第１マニホールドとは反対側に配置されており、前記複数の圧力室にそれぞれ接続された複数のディセンダ、及び前記複数の圧力室に共通の第２マニホールドを有する流路部材と、
   前記複数のディセンダにそれぞれ接続される複数のノズルを有するノズルプレートと、
   前記第１マニホールドの一部を画定するダンパーフィルムと、
   前記第２マニホールドの一部を画定するカバープレートと、
   を備え、
   前記ダンパーフィルム、及び前記カバープレートは、前記一方向と直交する直交方向に関して前記流路部材に対して前記ノズルプレートが配置されている側と同じ側に配置されており、
   前記ノズルプレート及び前記ダンパーフィルムは、前記直交方向から見て重複しておらず、且つ、いずれも前記カバープレートに接合されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記カバープレートは、前記第２マニホールドに連通する一又は複数の絞りを有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記絞りは、前記複数のディセンダのそれぞれに対応して複数設けられており、
   前記第２マニホールドと各ディセンダとが、複数の前記絞りのいずれかを介して連通していることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 複数の前記絞りは、前記一方向及び前記直交方向に直交する配列方向に配列されており、
   前記カバープレートは、複数の前記絞りのうちの少なくとも２つの絞りと連通し、且つ、前記配列方向に関する長さが、前記少なくとも２つの絞りのうち前記配列方向の両端に位置する２つの絞り間の距離よりも長い凹部である幅広部を有することを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第２マニホールドと前記第１マニホールドとが、前記一又は複数の絞りを介して連通していることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第１マニホールドに液体を供給するための供給ポートをさらに備えており、
   前記一又は複数の絞りのうち、前記供給ポートから最も離れた絞りは、前記複数の圧力室のうち前記供給ポートから最も離れた前記圧力室に関して前記供給ポートとは反対側に位置していることを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記カバープレートは、前記第２マニホールド内の液体の圧力変動を減衰させる一又は複数のダンパー部を有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記カバープレートは、前記第２マニホールド内の液体の圧力変動を減衰させる一又は複数のダンパー部をさらに有することを特徴とする請求項２～６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記一又は複数の絞り及び前記一又は複数のダンパー部は、前記カバープレートに形成された凹部で構成されていることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記一又は複数のダンパー部の数が前記一又は複数の絞りの数よりも少ないことを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第２マニホールドは、前記直交方向から見て前記複数の圧力室と重複する位置に配置されていることを特徴とする請求項１～１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記複数の圧力室と前記第２マニホールドとを仕切る仕切り壁の厚みは、４０μｍ以上であることを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記複数のディセンダと前記第２マニホールドとを仕切る仕切り壁の厚みは、４０μｍ以上であることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の液体吐出ヘッド。
14. 前記第１マニホールドは、前記複数の圧力室に液体を供給する供給マニホールドであり、
    前記第２マニホールドは、前記第１マニホールドから流出した液体が流入する帰還マニホールドであることを特徴とする請求項１～１３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
15. 複数のノズルにより構成される第１ノズル列と、前記第１ノズル列とは異なる第２ノズル列と、を有するノズルプレートと、
    前記第１ノズル列の前記ノズルに対応する複数の第１圧力室、前記第２ノズル列の前記ノズルに対応する複数の第２圧力室、前記複数の第１圧力室に共通の第１マニホールド、前記複数の第２圧力室に共通の第２マニホールドであって前記第１マニホールドともに一方向に関して前記複数の第１圧力室と前記複数の第２圧力室とを挟むように配置される第２マニホールド、前記一方向と直交する直交方向において前記複数の第１圧力室のうちの１つの前記第１圧力室と前記第１マニホールドとの間にある第１絞り、前記直交方向において前記複数の第２圧力室のうちの１つの前記第２圧力室と前記第２マニホールドとの間にある第２絞り、前記一方向に関して前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとの間に配置されており前記複数の第１圧力室のうちの１つの前記第１圧力室に接続された第１ディセンダ、前記一方向に関して前記第１ディセンダと前記第２マニホールドとの間に配置されており前記複数の第２圧力室のうちの１つの前記第２圧力室に接続された第２ディセンダ、前記第１マニホールドと前記第１ディセンダとの間にあり前記複数の第１圧力室に共通の第３マニホールド、前記第２マニホールドと前記第２ディセンダとの間にあり前記複数の第２圧力室に共通の第４マニホールド、前記一方向において前記第１ディセンダと前記第３マニホールドとの間にある第３絞り及び前記一方向において前記第２ディセンダと前記第４マニホールドとの間にある第４絞りを有する流路部材と、
    前記第１マニホールドの一部を画定する第１ダンパーフィルムと、
    前記第２マニホールドの一部を画定する第２ダンパーフィルムと、
    前記第３マニホールドの一部を画定する第１カバープレートと、
    前記第４マニホールドの一部を画定する第２カバープレートと、
    を備え、
    前記第１絞りは、前記第１マニホールドから前記第１圧力室へ、前記第３絞りが前記第１ディセンダから前記第３マニホールドへと延びる方向と交差する方向に延び、
    前記第２絞りは、前記第２マニホールドから前記第２圧力室へ、前記第４絞りが前記第２ディセンダから前記第４マニホールドへと延びる方向と交差する方向に延び、
    前記第１ダンパーフィルム、前記第２ダンパーフィルム、前記第１カバープレート及び前記第２カバープレートは、前記直交方向に関して前記流路部材に対して前記ノズルプレートが配置されている側と同じ側に配置されており、
    前記ノズルプレート及び前記第１ダンパーフィルムは、前記直交方向に関して重複しておらず、且つ、いずれも前記第１カバープレートに接合され、
    前記ノズルプレート及び前記第２ダンパーフィルムは、前記直交方向に関して重複しておらず、且つ、いずれも前記第２カバープレートに接合されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。

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