JP7235356B2 - ディスプレイ基板製造用ポリアミック酸組成物およびこれを利用してディスプレイ用基板を製造する方法 - Google Patents
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Description
本出願は、2018年12月24日付け韓国特許出願第10-2018-0168515号と2019年5月24日付け韓国特許出願第10-2019-0061188号に基づく優先権の利益を主張し、当該韓国特許出願の文献に開示されたすべての内容は、本明細書の一部として含まれる。
本発明は、ディスプレイ基板製造用ポリアミック酸組成物およびこれを利用してディスプレイ用基板を製造する方法に関する。
芳香族ジアンヒドリド系単量体および芳香族ジアミン系単量体が重合されたポリアミック酸重合体を含み、
前記芳香族ジアンヒドリド系単量体は、ビフェニル構造を有する第1成分、および1個のベンゼン環を有する第2成分およびベンゾフェノン構造を有する第3成分を含み、
ポリアミック酸組成物は、非晶質または結晶質シリコン基板上で硬化した状態で、前記非晶質または結晶質シリコンとの接着力が0.05~0.1N/cmであり、
非晶質または結晶質シリコン基板上で硬化した状態で、波長308nmのレーザーを150mJ/cm2で照射した後に測定された接着力が0.01N/cm以下のポリアミック酸組成物を提供する。前記接着力は、ASTM D 3359によって、硬化した前記ポリアミック酸組成物の幅が1cmになるように非晶質または結晶質シリコン基板に付着し、20mm/minの剥離速度および180°の剥離角度で剥離しつつ測定した接着力でありうる。
本発明によるポリアミック酸組成物は、
芳香族ジアンヒドリド系単量体および芳香族ジアミン系単量体が重合されたポリアミック酸重合体を含み、
前記芳香族ジアンヒドリド系単量体は、ビフェニル構造を有する第1成分、および1個のベンゼン環を有する第2成分およびベンゾフェノン構造を有する第3成分を含み、
ポリアミック酸組成物は、非晶質または結晶質シリコン基板上で硬化した状態で、前記非晶質または結晶質シリコンとの接着力が0.05~0.1N/cmであり、
非晶質または結晶質シリコン基板上で硬化した状態で、波長308nmのレーザーを150mJ/cm2で照射した後に測定された接着力が0.01N/cm以下でありうる。
・8ppm/℃以下の熱膨張係数
・490℃以上のガラス転移温度
・555℃以上の熱分解温度
・350MPa以上の引張強度
・20%以上の伸率
・60%以上の透過率
一般的に、前記非晶質または結晶質シリコン基板は、非制限的にディスプレイ基板の製造に利用され得、特に、ディスプレイ基板の製造時に可撓性基板に接着されてから除去される犠牲層として利用され得る。この際、本発明のポリアミック酸組成物は、前記非晶質または結晶質シリコン基板上に硬化してポリイミド樹脂を形成することができ、前記ポリイミド樹脂は、可撓性基板として好適に利用され得る。
横1cm*縦10cmの非晶質または結晶質シリコン基板上にポリアミック酸組成物を塗布し、熱処理して、厚さが約10μm~20μmまたは13μm~17μmのポリイミド樹脂薄膜を形成した状態で、前記非晶質または結晶質シリコン基板に波長308nmのレーザーを照射した後、ポリイミド樹脂の端部に幅1cmのテープを付着し、このテープを利用して基板からポリイミド樹脂を剥離しながら、これに要求された力を測定する。
ベンゾフェノン構造を有する第3成分は、カルボニル基を基準として一対のベンゼン環が屈曲されることができて、分子構造の観点から相対的に柔軟な単量体であり得、柔軟な単量体は、ポリアミック酸組成物に由来するポリイミド樹脂の熱膨張係数を増加するのに助けになり得る。
本発明によるポリアミック酸組成物は、シラン系カップリング剤およびシリコン系界面活性剤のうち少なくとも一つをさらに含むことができる。
前記ポリアミック酸組成物を成すポリアミック酸を製造する方法は、例えば、
(1)ジアミン系単量体全量を有機溶媒中に入れ、その後、ジアンヒドリド系単量体をジアミン系単量体と実質的に等モルになるように添加して重合する方法;
(2)ジアンヒドリド系単量体全量を有機溶媒中に入れ、その後、ジアミン系単量体をジアンヒドリド系単量体と実質的に等モルになるように添加して重合する方法;
(3)ジアミン系単量体のうち一部の成分を有機溶媒中に入れた後、反応成分に対してジアンヒドリド系単量体のうち一部の成分を約95モル%~105モル%の割合で混合した後、残りのジアミン系単量体成分を添加し、これに連続して残りのジアンヒドリド系単量体成分を添加して、ジアミン系単量体およびジアンヒドリド系単量体が実質的に等モルになるようにして重合する方法;
(4)ジアンヒドリド系単量体を有機溶媒中に入れた後、反応成分に対してジアミン化合物のうち一部の成分を95モル%~105モルの割合で混合した後、他のジアンヒドリド系単量体成分を添加し、連続して残りのジアミン系単量体成分を添加して、ジアミン系単量体およびジアンヒドリド系単量体が実質的に等モルになるようにして重合する方法;および
(5)有機溶媒中で一部のジアミン系単量体成分と一部のジアンヒドリド系単量体成分をいずれか一つが過量になるように反応させて、第1重合物を形成し、また、他の有機溶媒中で一部のジアミン系単量体成分と一部のジアンヒドリド系単量体成分をいずれか一つが過量になるように反応させて第2重合物を形成した後、第1、第2重合物を混合し、重合を完結する方法であり、この際、第1重合物を形成するとき、ジアミン系単量体成分が過剰の場合、第2重合物ではジアンヒドリド系単量体成分を過量とし、第1重合物においてジアンヒドリド系単量体成分が過剰の場合、第2重合物ではジアミン系単量体成分を過量として、第1、第2重合物を混合して、これらの反応に使用される全体ジアミン系単量体成分とジアンヒドリド系単量体成分が実質的に等モルになるようにして重合する方法などが挙げられる。
本発明は、前述した実施様態のポリアミック酸組成物を利用してディスプレイ基板を製造する方法を提供する。
前記ポリアミック酸組成物を40℃~200℃で第2熱処理する段階;および
前記ポリアミック酸組成物を200℃~500℃で第3熱処理する段階を含むことができる。
前記ポリイミド樹脂上に薄膜トランジスター(TFT)を形成させる段階および
前記非晶質または結晶質シリコン基板にレーザーを所定の時間の間照射して、前記ポリイミド樹脂から前記非晶質または結晶質シリコン基板を除去する段階をさらに含むことができ、
前記レーザー照射後に測定されたポリイミド樹脂と非晶質または結晶質シリコン基板の間の接着力が0.01N/cm以下でありうる。
NMPが満たされた40℃の反応器に芳香族ジアンヒドリド系単量体としてBPDA(第1成分)、PMDA(第2成分)、BTDA(第3成分)および芳香族ジアミン系単量体としてPPDを下記表1に示したモル比で添加し、約30分間撹拌して、ポリアミック酸を重合した。
・シラン系カップリング剤:3-アミノプロピルトリメトキシシラン0.02重量%(ポリアミック酸固形分の重量を基準)
・シリコン系界面活性剤:BYK社の「BYK-378」0.01重量%(ポリアミック酸固形分の重量を基準)
・添加剤:イソキノリン10重量%(ポリアミック酸固形分の重量を基準)
BPDA(第1成分)、PMDA(第2成分)およびBTDA(第3成分)のモル比を下記表1に示したモル比に変更して添加したことを除いて、実施例1と同じ方法で粘度が約5,000cPのポリアミック酸組成物を製造した。
BPDA(第1成分)、PMDA(第2成分)およびBTDA(第3成分)のモル比を下記表1に示したモル比に変更して添加したことを除いて、実施例1と同じ方法で粘度が約5,100cPのポリアミック酸組成物を製造した。
BPDA(第1成分)、PMDA(第2成分)およびBTDA(第3成分)のモル比を下記表1に示したモル比に変更して添加したことを除いて、実施例1と同じ方法で粘度が約4,800cPのポリアミック酸組成物を製造した。
芳香族ジアンヒドリド系単量体の成分としてBTDA(第3成分)を除外し、BPDA(第1成分)およびPMDA(第2成分)のモル比を下記表1に示したモル比に変更して添加したことを除いて、実施例1と同じ方法で粘度が約4,800cPのポリアミック酸組成物を製造した。
芳香族ジアンヒドリド系単量体の成分としてBTDA(第3成分)を除外し、BPDA(第1成分)およびPMDA(第2成分)のモル比を下記表1に示したモル比に変更して添加したことを除いて、実施例1と同じ方法で粘度が約5,300cPのポリアミック酸組成物を製造した。
芳香族ジアンヒドリド系単量体の成分としてBTDA(第3成分)を除外し、BPDA(第1成分)およびPMDA(第2成分)のモル比を下記表1に示したモル比に変更して添加したことを除いて、実施例1と同じ方法で粘度が約4,750cPのポリアミック酸組成物を製造した。
芳香族ジアンヒドリド系単量体の成分でBTDA(第3成分)を除外し、BPDA(第1成分)およびPMDA(第2成分)のモル比を下記表1に示したモル比に変更して添加したことを除いて、実施例1と同じ方法で粘度が約4,950cPのポリアミック酸組成物を製造した。
BPDA(第1成分)、PMDA(第2成分)およびBTDA(第3成分)のモル比を下記表1に示したモル比に変更して添加したことを除いて、実施例1と同じ方法で粘度が約5,100cPのポリアミック酸組成物を製造した。
BPDA(第1成分)、PMDA(第2成分)およびBTDA(第3成分)のモル比を下記表1に示したモル比に変更して添加したことを除いて、実施例1と同じ方法で約5,100cPのポリアミック酸組成物を製造した。
実施例1~4および比較例1~6で製造されたポリアミック酸組成物を横1cm*縦10cmの非晶質シリコン基板に30μmでキャストし、20℃~460℃の温度範囲で乾燥させて、平均厚さが約15~17μmの薄膜形態のポリイミド樹脂および非晶質シリコン基板が接着された積層体を製造した。
・第1接着力:ポリイミド樹脂の端部に幅1cmのテープを付着し、このテープを利用して基板からポリイミド樹脂を剥離しながら、これに要求された力を測定する。
・カールテスト:製造された積層体を約400℃の温度下に約1時間の間熱処理した後、非晶質シリコン基板上でポリイミド樹脂のエッジ部位にカールが発生するかを確認した。
・第2接着力:非晶質シリコン基板に波長308nmのレーザーを150mJ/cm2で照射した後、ポリイミド樹脂の端部に幅1cmのテープを付着し、このテープを利用して基板からポリイミド樹脂を剥離しながら、これに要求された力を測定する。
・前記接着力は、ASTM D 3359によって、20mm/minの剥離速度および180°の剥離角度で剥離しながら測定した。
実施例1~5および比較例1~6で製造されたポリアミック酸組成物をステンレス系支持体に薄膜の形態で塗布後、20℃~350℃の温度範囲で熱処理し、次いで、支持体から剥離して、平均厚さがそれぞれ約15~17μmのフィルム形態のポリイミド樹脂を製造した。
(1)熱膨張係数(CTE)
熱膨張係数は、TMAを利用して100~350℃の範囲で測定した。
(2)ガラス転移温度(Tg)
ガラス転移温度は、TMAを利用して各ポリイミド樹脂の損失弾性率と貯蔵弾性率を求め、これらのタンジェントグラフで変曲点をガラス転移温度として測定した。
(3)熱分解温度(Td)
熱重量分析装置(TG-DTA2000)を利用して、窒素中で昇温速度10℃/分で昇温しつつ、ポリイミド樹脂の初期重量が1%減少したときの温度を測定した。
(4)引張強度
引張強度は、KS6518に提示された方法によって測定した。
(5)伸率
伸率は、ASTM D1708に提示された方法によって測定した。
(6)透過率
HunterLab社のColorQuesetXEモデルを利用して可視光領域でASTM D1003に提示された方法によって波長550nmの透過率を測定した。
Claims (16)
- 芳香族ジアンヒドリド系単量体および芳香族ジアミン系単量体が重合されたポリアミック酸重合体と、シラン系カップリング剤と、シリコン系界面活性剤とを含み、
前記芳香族ジアンヒドリド系単量体は、ビフェニル構造を有する第1成分、および1個のベンゼン環を有する第2成分およびベンゾフェノン構造を有する第3成分を含み、
前記芳香族ジアンヒドリド系単量体の全体モル数に対して、第1成分の含量が50モル%~70モル%であり、第2成分の含量が20モル%~40モル%であり、第3成分の含量が1モル%超過~7モル%未満である、ポリアミック酸組成物。 - 前記第1成分は、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボキシリックジアンヒドリド(BPDA)および2,3,3’,4’-ビフェニルテトラカルボキシリックジアンヒドリド(a-BPDA)よりなる群から選択される1種以上である、請求項1に記載のポリアミック酸組成物。
- 前記第2成分は、ピロメリチックジアンヒドリド(PMDA)である、請求項1に記載のポリアミック酸組成物。
- 前記第3成分は、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボキシリックジアンヒドリド(BTDA)である、請求項1に記載のポリアミック酸組成物。
- 前記芳香族ジアミン系単量体は、1個のベンゼン環を有するジアミン成分をそれの全体モル数に対して50モル%超過で含む、請求項1に記載のポリアミック酸組成物。
- 前記1個のベンゼン環を有するジアミン成分は、1,4-ジアミノベンゼン(PPD)、1,3-ジアミノベンゼン(MPD)、2,4-ジアミノトルエン、2,6-ジアミノトルエンおよび3,5-ジアミノ安息香酸よりなる群から選択される1種以上である、請求項5に記載のポリアミック酸組成物。
- 前記1個のベンゼン環を有するジアミン成分は、1,4-ジアミノベンゼンである、請求項5に記載のポリアミック酸組成物。
- 前記シラン系カップリング剤は、
ポリアミック酸組成物のポリアミック酸固形分の重量に対して0.01~0.05重量%で含まれ;
3-アミノプロピルトリメトキシシラン((3-Aminopropyl)trimethoxysilane,APTMS)、アミノプロピルトリエトキシシラン(Aminopropyltriethoxysilane)、3-(2-アミノエチルアミノ)プロピル-ジメトキシメチルシラン(3-(2-aminoethylamino)propyl-dimethoxymethylsilane)、3-グリシドキシプロピルジメトキシメチルシラン(3-Glycidoxypropyldimethoxymethylsilane)および2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)トリメトキシシラン(2-(3,4-epoxycyclohexyl)trimethoxysilane)よりなる群から選択される1種以上を含む、請求項1に記載のポリアミック酸組成物。 - 前記シリコン系界面活性剤は、ポリアミック酸組成物のポリアミック酸固形分の重量に対して0.001~0.02重量%で含まれる、請求項1に記載のポリアミック酸組成物。
- ポリアミック酸組成物は、23℃で測定した粘度が3,000~7,000cPである、請求項1に記載のポリアミック酸組成物。
- 請求項1に記載のポリアミック酸組成物で製造され、
ガラス転移温度が490℃以上であり、
熱分解温度が555℃以上であり、
熱膨張係数が8ppm/℃以下である、ポリイミド樹脂。 - 引張強度が350MPa以上であり、伸率が20%以上であり、透過率が60%以上である、請求項11に記載のポリイミド樹脂。
- 非晶質または結晶質シリコン基板上に請求項1に記載のポリアミック酸組成物を塗布する段階を含むディスプレイ基板の製造方法。
- 前記ポリアミック酸組成物を20℃~40℃で第1熱処理する段階;
前記ポリアミック酸組成物を40℃~200℃で第2熱処理する段階;および
前記ポリアミック酸組成物を200℃~500℃で第3熱処理する段階を含み、
前記第1熱処理、第2熱処理および第3熱処理段階を通じて、前記ポリアミック酸組成物は、ポリアミック酸のアミック酸基が閉環、脱水反応したイミド基を含むポリイミド樹脂を生成し、有機溶媒が揮発して硬化し、
前記第3熱処理が完了すると、前記ポリイミド樹脂が前記非晶質または結晶質シリコン基板上で硬化して接着される、請求項13に記載のディスプレイ基板の製造方法。 - 前記第1熱処理、第2熱処理および第3熱処理段階は、それぞれ独立して、3℃/min~7℃/minの範囲で選択される2つ以上の可変的な昇温速度、または前記範囲で選択される一つの不変的な昇温速度で行われる、請求項14に記載の製造方法。
- 前記ポリイミド樹脂上に薄膜トランジスター(TFT)を形成させる段階および
前記非晶質または結晶質シリコン基板にレーザーを所定の時間の間照射して、前記ポリイミド樹脂から前記非晶質または結晶質シリコン基板を除去する段階を含み、
前記レーザー照射後に測定されたポリイミド樹脂と非晶質または結晶質シリコン基板の間の接着力が0.01N/cm以下である、請求項14に記載の製造方法。
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---|---|---|---|---|
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---|---|---|---|---|
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KR102013534B1 (ko) * | 2018-12-24 | 2019-08-22 | 에스케이씨코오롱피아이 주식회사 | 디스플레이 기판 제조용 폴리아믹산 조성물 및 이를 이용하여 디스플레이용 기판을 제조하는 방법 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006307114A (ja) | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Hitachi Chem Co Ltd | ポリイミド樹脂、塗料、シームレス管状体及び耐熱性塗料 |
JP2007194603A (ja) | 2005-12-19 | 2007-08-02 | Du Pont Toray Co Ltd | フレキシブルプリント配線板およびその製造方法 |
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