JP7208728B2 - 露光装置、および物品の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明に係る第1実施形態について説明する。図1は、本実施形態の露光装置100を示す概略図である。露光装置100は、照明光学系10と、原版M(マスク)を保持して移動可能な原版ステージ20と、投影光学系30と、基板W(ウェハ)を保持して移動可能な基板ステージ40と、制御部50とを含みうる。制御部50は、例えばCPUやメモリを含み、露光装置100の各部を制御する(基板Wの露光処理を制御する)。ここで、以下の説明では、投影光学系30の光軸(投影光学系30を通過する光の光軸、光学素子32の光軸とも呼ばれる)に平行な方向をZ方向とし、投影光学系30の光軸に垂直な面内において互いに直行する2つの方向をX方向およびY方向とする。
[条件1]第1端部61aと第2端部61bとの間の経路中(即ち、放熱体61の全体)において、最大厚み(最大径)をHmax、最小厚み(最小径)をHminとしたときに、Hmax/Hmin≦2を満たすこと。
[条件2]放熱体61の引っ張り強度、即ち、第1端部61aと第2端部61bとを引っ張ったときの強度が、100MPa以上(より好ましくは150MPa以上)であること。
[条件3]放熱体61全体における融点が、200℃以上(より好ましくは250℃以上)であること。
本発明に係る第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態の構成を基本的に引き継ぐものである。本実施形態の調整機構60は、投影光学系30の鏡筒31によって支持された第1保持部材64a(第1部材)および第2保持部材64b(第2部材)を含む。そして、放熱体61のうち投影光学系30の鏡筒31の内部に配置された中央部分61cが、第1保持部材64aと第2保持部材64bとによって挟まれて保持される。ここで、本実施形態では、放熱体61として、例えばフレキケーブルなど、導体の厚さが薄く且つ幅が広いものであって、厚さ方向の剛性が低い板形状(箔形状)の部材が用いられうる。
本発明に係る第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態の構成を基本的に引き継ぐものである。本実施形態の調整機構60は、光学素子32に熱を与えるための放熱体61を複数含み、多種の収差を補正することができるように構成されている。
本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程(基板を露光する工程)と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を現像(加工)する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (20)
- 基板を露光する露光装置であって、
鏡筒とその内部に設けられた光学素子とを有する光学系と、
放熱する放熱体を有し、該放熱体により前記光学素子に熱を与えて前記光学系の結像特性を調整する調整部と、
を含み、
前記放熱体は、第1端部とその反対側の第2端部とを含み、且つ、前記第1端部と前記第2端部との間が通電されることにより発熱する単一部材で構成され、
前記放熱体における前記第1端部と前記第2端部との間の中央部分は、前記光学素子から離れて前記鏡筒の内部に配置され、
前記放熱体の前記第1端部および前記第2端部は、前記鏡筒の外部に配置されている、ことを特徴とする露光装置。 - 前記放熱体は、物性値のばらつきが、前記第1端部と第2端部との間において予め定められた範囲内である部材である、ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記放熱体は、前記第1端部と前記第2端部との間における物性値のばらつきが3%以内である、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記放熱体は、前記第1端部と前記第2端部との間において同一材料で構成されている、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記放熱体は、最大厚さをHmax、最小厚さをHminとしたとき、前記第1端部と前記第2端部との間においてHmax/Hmin≦2を満たすように構成されている、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記放熱体は、前記第1端部と前記第2端部との間の引っ張り強度が100MPa以上である、ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記放熱体は、融点が200℃以上である、ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記放熱体は、前記鏡筒によって支持された第1部材および第2部材に挟まれている、ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記第1部材は、前記第2部材より前記光学素子側に配置され、
前記第1部材の熱伝導率は、前記第2部材の熱伝導率より大きい、ことを特徴とする請求項8に記載の露光装置。 - 前記調整部は、前記放熱体への通電を制御する制御部と、前記放熱体の前記第1端部および前記第2端部を前記制御部に電気的に接続する接続部と、を更に含み、
前記接続部は、前記鏡筒の外側に配置されている、ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記中央部分は、前記光学素子の縁部に熱を与えるように、該縁部に沿った形状に構成されている、ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記中央部分は、前記光学素子の前記縁部に沿って円弧状に構成されている、ことを特徴とする請求項11に記載の露光装置。
- 前記放熱体は、前記第1端部と前記第2端部との間に、2つの部材を接合した場合に生じる接合箇所を含まない、ことを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記放熱体は、第1端部と前記第2端部との間に、半田接合および接着剤接合を含まない、ことを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記放熱体は、前記光学素子に対して複数設けられている、ことを特徴とする請求項1乃至14のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記放熱体は、物性値としての密度、抵抗率および熱伝導率のうち少なくとも1つのばらつきが、前記第1端部と前記第2端部との間において予め定められた範囲内である部材である、ことを特徴とする請求項1乃至15のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記放熱体は、前記第1端部と前記第2端部との間に電力供給の経路を構成し、前記経路中に接合部分を含まない部材である、ことを特徴とする請求項1乃至16のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記光学素子は、レンズである、ことを特徴とする請求項1乃至17のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記放熱体の前記中央部分は、前記光学素子としての前記レンズの縁部に熱を与えるように前記鏡筒の内部に配置され、前記光学系内の光路に配置されていない、ことを特徴とする請求項18に記載の露光装置。
- 請求項1乃至19のいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光を行われた前記基板を現像する工程と、を含み、
現像された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
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