JP7206529B2 - モード等化フィルタ - Google Patents

Description

本発明は、マルチモード光ファイバにおけるモード間における伝送損失差を低減させるモード等化フィルタに関する。

近年、通信サービスの高速化・大容量化と共に、幹線系光伝送システムで伝送されるトラフィックが爆発的に増大している。基幹系システムにおけるトラフィックの増大ヘ対処するため、光伝送システムの伝送容量を飛躍的に増大する技術的検討が進められている。様々な伝送方式が知られているが、最近では、それらの中でモード分割多重（Ｍｏｄｅ Ｄｉｖｉｓｉｏｎ Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｉｎｇ：以下、ＭＤＭと呼ぶ）光伝送に関する技術開発が急速に進んでいる。

このＭＤＭ光伝送方式は、光信号の複数の異なるモードに対してそれぞれ異なる信号を重畳させることができ、しかも重畳された信号を長距離伝送できることが知られている。また、ＭＤＭ光伝送方式において、光信号が光ファイバの内部を伝搬する際にモード変換が発生しても、元の信号は保持されるため、受信機の信号処理で複数の異なるモードの信号を識別して受信することが可能である。この信号処理の一例として、ＭＩＭＯ（ｍｕｌｔｉｐｌｅ－ｉｎｐｕｔ ａｎｄ ｍｕｌｔｉｐｌｅ－ｏｕｔｐｕｔ）技術が知られており、その関連技術は、下記の非特許文献１に開示されている。

上述したＭＤＭ光伝送方式において、光信号を伝送させるために使用されるマルチモード光ファイバは、光信号の所定のモードだけが伝搬を許容されるモードとなるように設計されている。汎用例として、フューモードファイバ（Ｆｅｗ Ｍｏｄｅ Ｆｉｂｅｒ：以下、ＦＭＦと呼ぶ）が挙げられる。

一般に、ＦＭＦの内部を伝搬する光信号の伝送距離に対する伝送損失は、光信号のモード毎に異なるため、係る事象をモード依存損失と呼んでいる。また、ＭＤＭ光伝送において、使用される光増幅器は、ＦＭＦが伝搬を許容するモードと同じであるか、それよりも高次のモードを光増幅できる光増幅器であり、モード毎に利得値が異なる。

このため、長距離ＭＤＭ光伝送方式によって、光信号を長距離伝送させると、光信号の各モード間における光パワー差が伝送距離と共に増大する。更に、それら光パワーを光増幅した場合には、光信号の各モード間において一層大きな光パワーの差を生じる。この結果、光信号の伝送特性において、モード間におけるばらつきが生じ、光信号の伝送距離が制限されてしまうという問題がある。こうした問題は、非特許文献１に開示された技術にも該当する。尚、光信号は、信号光と実質上同じであるため、以下は信号光と呼ぶ。

Ｋ.Ｓｈｉｂａｈａｒａ ｅｔ ａｌ.，"Ｄｅｎｓｅ ＳＤＭ（１２－ｃｏｒｅ×３－ｍｏｄｅ）ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ ｏｖｅｒ ５２７ ｋｍ ｗｉｔｈ ３３．２－ｎｓ ｍｏｄｅ－ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ ｅｍｐｌｏｙｉｎｇ ｌｏｗ－ｃｏｍｐｌｅｘｉｔｙ ｐａｒａｌｌｅｌ ＭＩＭＯ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ－ｄｏｍａｉｎ ｅｑｕａｌｉｚａｔｉｏｎ"，Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｊａｎｕａｒｙ，２０１６，ｖｏｌ.３４，Ｎｏ.１，ｐｐ.１９６－２０４

本発明は、上記問題を解決するためになされたもので、その目的は、ＦＭＦの内部を伝搬する信号光の各モード間における光パワー差を低減させるためのモード等化フィルタを提供することにある。下記の構成を採用することにより、目的が達成される。この結果、伝搬モード間の光パワーの差に起因して信号光の伝送距離が制限されるという問題が解消される。

本発明の一態様に係るモード等化フィルタは、ＦＭＦのコアを伝搬した信号光の複数のモード間の光強度差を低減させるモード等化フィルタであって、入力側のＦＭＦから出射した信号光をコリメートするコリメートレンズと、コリメートレンズでコリメートした信号光が通過する小さい透過率を有するリング部が設けられたニュートラルデンシティーフィルタ（Ｎｅｕｔｒａｌ Ｄｅｎｓｉｔｙ：以下、ＮＤと呼ぶ）と、リング部を通過してＮＤフィルタを透過した信号光を出力側のＦＭＦに集光する集光レンズと、を含み、リングは、ＮＤフィルタの信号光の入力側の主面における一部に設けられ、ＮＤフィルタは、信号光が透過する際に、コリメートレンズでコリメートした当該信号光の一部がリング部と重なるように配置されており、
ニューラルデンシティフィルタは、互いに主面が平行に配置されると共に、個別に設けられたリング部に依存して信号光のモード毎の透過率が異なる複数個の部分ニュートラルデンシティ―フィルタが組み合わされて構成されており、
部分ニュートラルデンシティーフィルタは、透過率をコリメート光強度分布が異なるモード光に対してモード毎に異なるように設定可能とするため、少なくとも信号光の光軸に垂直な面の一方向にスライド可能であることを特徴とする。

本発明の実施形態１に係るモード等化フィルタの基本構成を模式的に示す斜視図である。 図１に示すモード等化フィルタに備えられるＦＭＦを伝搬する６－ＬＰモード（１０モード）の場合のコア断面内における光パワー分布図である。（ａ）乃至（ｊ）は、それぞれＬＰ_０１、ＬＰ_１１о、ＬＰ_１１ｅ、ＬＰ_２１о、ＬＰ_２１ｅ、ＬＰ_０２、ＬＰ_３１о、ＬＰ_３１ｅ、ＬＰ_１２о、及びＬＰ_１２ｅのモードに対応する。 図２に示されるＬＰ_３１оモードとＬＰ_３１ｅモードとの縮退の様子を示すコア断面内における光パワー分布図である。（ａ）乃至（ｃ）は、それぞれ奇モードＬＰ_３１о、偶モードＬＰ_３１ｅ、それらが縮退した縮退モードＬＰ_３１に対応する。

以下は、本発明の実施形態に係るモード等化フィルタについて、図面を参照して詳細に説明する。

（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るモード等化フィルタの基本構成を模式的に示す斜視図である。

図１を参照すれば、実施形態１に係るモード等化フィルタは、ＭＤＭ光伝送方式のＦＭＦのコアを伝搬した信号光の複数のモード間の光強度差を低減させるための構成要素を持つ。その構成要素は、入力側のＦＭＦ１ａと、コリメートレンズ２ａと、ＮＤフィルタ３と、集光レンズ２ｂと、出力側のＦＭＦ１ｂと、によって構成される。

このうち、ＮＤフィルタ３は、互いに主面が平行に配置された一対の部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂが組み合わされて構成されている。部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂは、平板形状であり、その主面の平面の法線が光軸１０１と平行となるように配置されている。また、部分ＮＤフィルタ３ａの信号光の入力側となる主面における一部には、透過率の小さいリング部４ａが設けられている。更に、部分ＮＤフィルタ３ｂの信号光の入力側となる主面における一部にも、同様に透過率の小さいリング部４ｂが設けられている。

即ち、ＮＤフィルタ３において、コリメートレンズ２ａでコリメートした信号光が透過する際、信号光が部分ＮＤフィルタ３ａのリング部４ａを通過した後、強度が弱められて部分ＮＤフィルタ３ａを透過する。この後、部分ＮＤフィルタ３ｂにおいても、部分ＮＤフィルタ３ａを透過した信号光がリング部４ｂを通過した後、強度が弱められて部分ＮＤフィルタ３ｂを透過する。部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂは、信号光が透過する際に、コリメートレンズ２ａでコリメートした信号光の一部がリング部４ａ、４ｂと重なるように配置されている。

即ち、コリメートレンズ２ａを透過した信号光は、一部が部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂ上に設けられた小さい透過率を有するリング部４ａ、４ｂの通過するように配置されている。ここでは、コリメートレンズ２ａを透過した信号光のうち、部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂの平面と平行な断面の一部と部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂ上に設けられた小さい透過率を有するリング部４ａ、４ｂの一部とが重なる状態となる。部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂにおけるリング部４ａ、４ｂは、透過可変部として機能する。

各部の機能構成を簡単に説明すれば、ＦＭＦ１ａは、信号光の入力側に配置され、信号光が入射される。コリメートレンズ２ａは、そのレンズ面がＦＭＦ１ａの端部に対向するように配置され、ＦＭＦ１ａの端部から出射された信号光を透過し、コリメート（平行光線化）する。ＮＤフィルタ３は、コリメートレンズ２ａでコリメートした信号光を後述する可変モード等化フィルタの機能により、各モード間における光パワー差を低減させるように透過する。集光レンズ２ｂは、ＮＤフィルタ３を透過した信号光を出力側のＦＭＦ１ｂに集光する。ＦＭＦ１ｂは、集光レンズ２ｂで集光された信号光を伝搬して信号光を出射する。

各部の機能構成の細部を説明すれば、ＮＤフィルタ３は、一対の部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂで構成され、しかも信号光の入力側となる主面における一部にリング部４ａ、４ｂが設けられている。このため、ＮＤフィルタ３において、コリメートレンズ２ａでコリメートした信号光を透過する際、信号光が部分ＮＤフィルタ３ａのリング部４ａを通過した後、部分ＮＤフィルタ３ａを透過する。この後、部分ＮＤフィルタ３ｂにおいても、部分ＮＤフィルタ３ａを透過した信号光がリング部４ｂを通過した後、部分ＮＤフィルタ３ｂを透過する。

ここで、信号光のうち、リング部４ａ、４ｂを通過する信号光の光パワーは、部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂのうちのリング部４ａ、４ｂが設けられていない部分を通過する信号光の光パワーと較べて小さくなる。換言すれば、信号光の強度は、リング部４ａを通過して部分ＮＤフィルタ３ａを透過する場合の方が、リング部４ａを通過せずに部分ＮＤフィルタ３ａを透過する場合の方よりも小さくなる。この信号光の強度の関係は、リング部４ｂを通過して部分ＮＤフィルタ３ｂを透過する場合と、リング部４ｂを通過せずに部分ＮＤフィルタ３ｂを透過する場合との対比においても、同様となる。

集光レンズ２ｂは、その一方のレンズ面が部分ＮＤフィルタ３ｂ及びリング部４ｂに対向するように配置され、他方のレンズ面がＦＭＦ１ｂの端部に対向するように配置されている。集光レンズ２ｂは、リング部４ａ、４ｂ及び部分ＮＤフィルタを通過して透過された信号光を出力側のＦＭＦ１ｂに集光する。即ち、集光レンズ２ｂは、部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂのリング部４ａ、４ｂでの通過分を含め、部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂを透過した信号光のうち、光軸１０１に平行な方向の信号光をＦＭＦ１ｂの端部に集光する。ＦＭＦ１ｂは、集光レンズ２ｂで集光された信号光を伝搬して信号光を出射する。

上記した部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂは、透過性のガラス基板に透過率の小さいリング部４ａ、４ｂをそれぞれ設けて、コリメート光強度分布の一部の透過率を減じるように設計される。更に、部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂは、コリメート光強度分布が異なるモード光に対してモード毎に透過率を異なるように設定可能とするため、信号光の光軸１０１に垂直な面の一方向にそれぞれスライド可能となっている。

具体的に云えば、部分ＮＤフィルタ３ａでは、光軸１０１に垂直な軸１０２ａ、部分ＮＤフィルタ３ｂでは、光軸１０１に垂直な軸１０２ａと平行な軸１０２ｂに対して、それぞれスライド可能となっている。このために、部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂにスライド機構を設け、それぞれ軸１０２ａ、１０２ｂの方向に移動させれば良い。係る構造は、周知技術を適用できる。

スライド機構は、例えば軸１０２ａ、１０２ｂに平行なガイドに部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂを設置することを前提とし、一方からばねで他方からマイクロメータヘッドにより部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂを押し付ける構造とする。そして、マイクロメータヘッドの挿抜により部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂのスライド量を可変とする機構を構成するのが好適である。但し、スライド機構は、コリメートされた信号光を遮らない構成であれば、どのような機構でも適用できる。スライド機構において、部分ＮＤフィルタ３ｂのスライド量がマイナス値であることは、部分ＮＤフィルタ３ｂが部分ＮＤフィルタ３ａと反対向きにシフトしたことを示す。

実施形態１に係るモード等化フィルタでは、部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂに設けた個別なリング部４ａ、４ｂの内半径、外半径、透過率、シフト量を所定の設定とすれば、信号光の伝搬モード毎に所定の伝送損失が得られる。これにより、信号光の伝搬モード毎に異なる伝送損失の程度を低減させる効果を得ることが可能となる。また、部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂを適宜スライド調整すれば、可変モード等化フィルタの機能が得られる。これにより、部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂについて、リング部４ａ、４ｂの内半径、外半径、透過率、シフト量に依存して信号光のモード毎の透過率が異なる性質を持たせ得るようになる。

ところで、実施形態１に係るモード等化フィルタに含まれる構成要素は、信号光の進行方向の光軸１０１上に沿って配置される。この構成要素は、上記したＦＭＦ１ａ、１ｂと、コリメートレンズ２ａと、集光レンズ２ｂと、ＮＤフィルタ３（リング部４ａ、４ｂが設けられた部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂ）とを示す。配置上では、ＦＭＦ１ａ、１ｂの間にコリメートレンズ２ａ及び集光レンズ２ｂが位置され、コリメートレンズ２ａと集光レンズ２ｂとの間にリング部４ａ、４ｂを設けた部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂが位置される。

ＦＭＦ１ａ、１ｂは、それらのコアの主軸と信号光の光軸１０１とが一致するように配置される。ＦＭＦ１ａ、１ｂは、コア及びコアよりも屈折率の低いクラッドから構成され、信号光はコアの内部を伝搬する。ここでは、ＦＭＦ１ａ、１ｂに伝搬モード数が６個となる６－ＬＰモードの光ファイバを用いている。このため、ＦＭＦ１ａ、１ｂのコアの内部を伝搬する伝搬モードは、６個（偶モードと奇モードとを区別すると、総計１０モードとなる）である。

即ち、ＦＭＦ１ａ、１ｂの一方の端部より入力された信号光は、６個の伝搬モードで伝搬し、それら伝搬モードを維持しながら他方の端部より出力される。但し、ここで開示した６－ＬＰモードは、あくまでも一例であり、モード数はこれに限定されず、異なる態様にしても、各種レンズ、ＮＤフィルタ３等を適用できる。

その他、部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂの材質は、信号光が通過・透過するときに、その信号光の光パワーが低下しない限り、特に制限されない。例えば、石英ガラス（ＳｉＯ_２）を用いる場合を例示できる他、信号光が通過・透過する際にその光パワーを低下させない材質を任意に採用することができる。

リング部４ａ、４ｂは、部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂ上に平面的に、且つ平滑に設けられることが好ましい。例えば、公知の薄膜製造方法を適用することにより、部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂ上にリング部４ａ、４ｂを容易に設けることができる。また、リング部４ａ、４ｂの形状は、コリメートされた信号光の断面の一部と重なって信号光がその部分を通過した後に通過する前よりも光パワーが小さくなるという条件を持たす限り、特に制限されない。例えば、リング部４ａ、４ｂの形状として、汎用的な真円環状、楕円環状、多角形環状、その他の形状に近似した環状の形態であれば、任意に採用することができる。

尚、ＮＤフィルタ３を構成する部分ＮＤフィルタの個数は、３個以上の複数個であっても良いが、上述したスライド調整設定の手間、コスト等を考慮すれば、必要以上に増設するのは好ましくない。

図２は、上述したモード等化フィルタに備えられるＦＭＦ１ａ、１ｂを伝搬する６－ＬＰモード（１０モード）の場合のコア断面内における光パワー分布図である。図２（ａ）乃至図２（ｊ）は、それぞれＬＰ_０１、ＬＰ_１１о、ＬＰ_１１ｅ、ＬＰ_２１о、ＬＰ_２１ｅ、ＬＰ_０２、ＬＰ_３１о、ＬＰ_３１ｅ、ＬＰ_１２о、及びＬＰ_１２ｅのモードに対応する光パワー分布図である。

但し、図２中において、黒色が濃い程、光パワーが大きく、黒色から白色（紙面色）に近付くに従って、光パワーは小さくなることを意味している。ここで、ＬＰの添え字のうちの数字は、伝搬するモードの態様を示すものである。оは、奇モードを示し、ｅは、偶モードを示すものである。

図２の各図を参照すれば、ＬＰ_１１оモードとＬＰ_１１ｅモード、ＬＰ_２１оモードとＬＰ_２１ｅモード、ＬＰ_３１оモードとＬＰ_３１ｅモード、及びＬＰ_１２оモードとＬＰ_１２ｅモードは、それぞれ６－ＬＰモードで伝搬中にモード変換を受ける。このモード変換の結果、それぞれの奇モードоと偶モードｅとが縮退し、それぞれ縮退モードＬＰ_１１、ＬＰ_２１、ＬＰ_３１、ＬＰ_１２となる。

図３は、図２に示されるＬＰ_３１оモードとＬＰ_３１ｅモードとの縮退の様子を示すコア断面内における光パワー分布図である。図３（ａ）乃至図３（ｃ）は、それぞれ奇モードＬＰ_３１о、偶モードＬＰ_３１ｅ、それらが縮退した縮退モードＬＰ_３１に対応する光パワー分布図である。

図３を参照すれば、図３（ａ）の奇モードＬＰ_３１о、図３（ｂ）の偶モードＬＰ_３１ｅでは、何れも光パワー分布が離散した斑点形状となっている。これに対し、それらが退縮した図３（ｃ）の縮退モードＬＰ_３１では、光パワー分布が繋がった円環形状になっていることが判る。更に、ＬＰ_２１モードとＬＰ_０２モード、及びＬＰ_３１モードとＬＰ_１２モードでは、それぞれ伝搬定数の値が非常に近くなっている。このため、ＦＭＦ１ａ、１ｂを伝搬中に頻繁にモード変換が発生し、それぞれで２つのモード間に光学特性上で区別できなくなる。従って、モード依存損失、光増幅器の利得等の光学的特性評価では、それぞれＬＰ_２１モード＋ＬＰ_０２モード、及びＬＰ_３１モード＋ＬＰ_１２モードとして扱うことが有効である。

実施形態１に係るモード等化フィルタでは、ＮＤフィルタ３を成す部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂの信号光のモード毎の透過率が上述したように、リング部４ａ、４ｂの態様に依存して異なるという性質を持つ。この性質は、本発明者等により先に提案された特願２０１８‐１３６１５０号に係るモード等化フィルタにおいても、同様である。

実施形態１のモード等化フィルタでは、部分ＮＤフィルタ３ａのリング部４ａについて、内半径、外半径、透過率、シフト量をそれぞれ４２６μｍ、７５０μｍ、０．００１４８、１７．８μｍに設定した。また、部分ＮＤフィルタ３ｂのリング部４ｂについて、内半径、外半径、透過率、シフト量をそれぞれ２２μｍ，７２４μｍ、０．１１、－１．９８μｍに設定した。

実施形態１のモード等化フィルタでは、リング部４ａ、４ｂを互いに異なる態様とすることにより、信号光の伝搬モード毎に所定の伝送損失を設定することができる。具体的に云えば、ＬＰ_０１モード、ＬＰ_１１モード、ＬＰ_２１モード＋ＬＰ_０２モード、ＬＰ３１モード＋ＬＰ_１２モードの伝送損失をそれぞれ７．０ｄＢ、４．６ｄＢ、３．１ｄＢ、２．３ｄＢに設定する場合を例示できる。

また、リング部４ａ、４ｂを互いに異なる態様とすることに加え、部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂをそれぞれ軸１０２ａ、１０２ｂの方向に移動させて調整設定すれば、可変モード等化フィルタの機能が得られる。この可変モード等化フィルタの機能によって、ＦＭＦ１ａ、１ｂと光増幅器とによって生じるモード間利得差（モード依存損失）を低減することができる。

具体的に云えば、ＬＰ_０１モード及びＬＰ_１１モードのモード間利得差２．６ｄＢを０．２ｄＢに、ＬＰ_０１モード及びＬＰ_２１モード＋ＬＰ_０２モードのモード間利得差４．１ｄＢを０．２ｄＢに低減することができた。更に、ＬＰ_０１モード及びＬＰ_３１モード＋ＬＰ_１２モードのモード間利得差５．１ｄＢを０．４ｄＢに、ＬＰ_１１モード及びＬＰ_２１モード＋ＬＰ_０２モードのモード間利得差１．５ｄＢを０．０ｄＢに低減することができた。加えて、ＬＰ_１１モード及びＬＰ_３１モード＋ＬＰ_１２モードのモード間利得差２．５ｄＢを０．２ｄＢに、ＬＰ_２１モード＋ＬＰ_０２モード及びＬＰ_３１モード＋ＬＰ_１２モードのモード間利得差１．０ｄＢを０．２ｄＢに低減することができた。

以上に説明した実施形態１に係るモード等化フィルタは、ＮＤフィルタ３を成す部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂの一部に信号光が通過する小さい透過率を有する透過可変部としてのリング部４ａ、４ｂを異なる態様で持たせている。そして、部分ＮＤフィルタ３ａ、３ｂを適宜スライドさせて調整設定することにより、可変モード等化フィルタの機能を得ている。これにより、ＭＤＭ光伝送方式のＦＭＦ１ａ、１ｂの内部を伝搬する信号光の各モード間における光パワー差、及びモード依存損失を低減させることができる。この結果、伝搬モード間の光パワーの差に起因して信号光の伝送距離が制限されるという問題が解消される。

Claims (3)

1. フューモードファイバのコアを伝搬した信号光の複数のモード間の光強度差を低減させるモード等化フィルタであって、
   入力側の前記フューモードファイバから出射した信号光をコリメートするコリメートレンズと、
   前記コリメートレンズでコリメートした信号光が通過する小さい透過率を有するリング部が設けられたニュートラルデンシティーフィルタと、
   前記リング部を通過して前記ニュートラルデンシティーフィルタを透過した信号光を出力側の前記フューモードファイバに集光する集光レンズと、を含み、
   前記リング部は、前記ニュートラルデンシティーフィルタの前記信号光の入力側の主面における一部に設けられ、
   前記ニュートラルデンシティーフィルタは、前記信号光が透過する際に、前記コリメートレンズでコリメートした当該信号光の一部が前記リング部と重なるように配置されており、
   前記ニュートラルデンシティーフィルタは、互いに主面が平行に配置されると共に、個別に設けられた前記リング部に依存して前記信号光のモード毎の透過率が異なる複数個の部分ニュートラルデンシティ―フィルタが組み合わされて構成されており、
   前記部分ニュートラルデンシティーフィルタは、前記透過率をコリメート光強度分布が異なるモード光に対してモード毎に異なるように設定可能とするため、少なくとも前記信号光の光軸に垂直な面の一方向にスライド可能である
   ことを特徴とするモード等化フィルタ。
2. 前記信号光の強度は、前記リング部を通過して前記部分ニュートラルデンシティーフィルタを透過する場合の方が、当該リング部を通過せずに当該部分ニュートラルデンシティーフィルタを透過する場合の方よりも小さい
   ことを特徴とする請求項１に記載のモード等化フィルタ。
3. 前記部分ニュートラルデンシティーフィルタは、前記コリメートレンズ及び前記集光レンズの間に配置された透過性の基板に前記リング部が設けられて構成されると共に、コリメート光強度分布の一部について前記透過率を減じるように設計された
   ことを特徴とする請求項２に記載のモード等化フィルタ。

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