JP7203677B2 - パターン形成方法及びパターン形成システム - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態にかかるパターン形成システム1の構成の概略を示す説明図である。本実施形態にかかるパターン形成システム1は、基板としてのウェハに対して、たとえばカーボン系のハードマスクを、スピンコーティング法によって塗布するハードマスク塗布装置10と、当該ハードマスク上にレジスト膜の定着性を向上させるHMDSの蒸気を供給するアドヒージョン装置20と、レジスト膜、たとえばEBレジスト膜を塗布するレジスト塗布装置30とを有している。
次に、前記した構成にかかるパターン形成システム1を用いた実施の形態にかかるパターン形成方法を説明する。
第2の実施の形態にかかるパターン形成方法について、図3に基づいて説明する。第2の実施の形態にかかるパターン形成方法は、前記した第1の実施の形態にかかるパターン形成方法と比較して、シルセスキオキサン塗布装置50へ搬入し、例えばスピンコーティング法によってシルセスキオキサンをウェハW上に塗布するまでは同じである。すなわち、第2の実施の形態にかかるパターン形成方法における図3(a)~(c)までの処理は、第1の実施の形態にかかるパターン形成方法における図2(a)~(c)と同じである。
(1)基板にパターンを形成する方法であって、
基板上にレジスト膜を塗布するレジスト膜塗布工程と、
前記レジスト膜に対してパターンのマスクを介してエネルギーを照射し、照射領域の前記レジスト膜の架橋を促進させる架橋促進工程と、
前記エネルギーの未照射領域のレジスト膜をUV光の照射によって除去する除去工程と、
前記エネルギーの未照射領域のレジスト膜を除去した領域に、残置しているレジスト膜の高さ以下の高さで、シルセスキオキサンを塗布する塗布工程と、
を有する、パターン形成方法。
(2)前記塗布工程の後にUV光を照射して前記シルセスキオキサンの酸化を促進する酸化促進工程を有する、(2)に記載のパターン形成方法。
(3)前記塗布工程の後に、前記残置しているレジスト膜を除去する残置レジスト膜除去工程を有する、(1)または(2)のいずれかに記載のパターン形成方法。
(4)基板にパターンを形成するシステムであって、
基板上にレジスト膜を塗布するレジスト塗布装置と、
前記レジスト膜に対してマスクを介してエネルギーを照射して照射領域の架橋が促進された基板に対して、UV光を照射するUV光照射装置と、
前記エネルギーの未照射領域のレジスト膜を除去した領域に、残置しているレジスト膜の高さ以下の高さでシルセスキオキサンを塗布するシルセスキオキサン塗布装置と、
を有するパターン形成システム。
2 露光装置
3 エッチング装置
10 ハードマスク塗布装置
20 アドヒージョン装置
30 レジスト塗布装置
40 UV光照射装置
50 シルセスキオキサン塗布装置
61 カーボン膜
62 HMDS膜
63 EBレジスト膜
64、64a SiO2膜
65 シルセスキオキサン膜
100 制御部
W ウェハ
Claims (3)
- 基板にパターンを形成する方法であって、
基板上にレジスト膜を塗布するレジスト膜塗布工程と、
前記レジスト膜に対してパターンのマスクを介してエネルギーを照射し、照射領域の前記レジスト膜の架橋を促進させる架橋促進工程と、
前記エネルギーの未照射領域のレジスト膜を酸素が存在するエア雰囲気内でUV光の照射によって除去する除去工程と、
前記エネルギーの未照射領域のレジスト膜を除去した領域に、残置しているレジスト膜の高さ以下の高さで、シルセスキオキサンを塗布する塗布工程と、
前記塗布工程の後に、前記残置しているレジスト膜を除去する残置レジスト膜除去工程と、
を有する、パターン形成方法。 - 前記塗布工程の後にUV光を照射して前記シルセスキオキサンの酸化を促進する酸化促進工程を有する、請求項1に記載のパターン形成方法。
- 基板にパターンを形成するシステムであって、
基板上にレジスト膜を塗布するレジスト塗布装置と、
前記レジスト膜に対してマスクを介してエネルギーを照射して照射領域の架橋が促進された基板に対して、UV光を照射するUV光照射装置と、
前記エネルギーの未照射領域のレジスト膜を除去した領域に、残置しているレジスト膜の高さ以下の高さでシルセスキオキサンを塗布するシルセスキオキサン塗布装置と、
前記残置しているレジスト膜を除去する装置と、
を有するパターン形成システム。
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JP2010286618A (ja) | 2009-06-10 | 2010-12-24 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | パターン形成方法 |
JP2012533674A (ja) | 2009-07-23 | 2012-12-27 | ダウ コーニング コーポレーション | 反転パターン形成方法及び材料 |
JP2016081065A (ja) | 2014-10-16 | 2016-05-16 | 東京エレクトロン株式会社 | Euvレジストエッチング耐久性を向上しパターン崩壊の軽減するパターン化の方法。 |
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2019
- 2019-04-17 JP JP2019078886A patent/JP7203677B2/ja active Active
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