JP7200550B2 - 圧電駆動装置、ロボットおよびプリンター - Google Patents
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Description
前記振動部の振動を制御する制御部と、
を有し、
前記振動部は、
基板と、
前記基板上に設けられ、互いに表裏の関係にある第1面と第2面を有する圧電体と、
前記基板上に設けられ、互いに異なる第3面および第4面を有する保護層と、
前記第1面に配置されている第1電極と前記第2面に配置されている第2電極を備え、前記制御部からの駆動信号を前記第2電極に入力することで、前記圧電体が振動する駆動用電極と、
前記第1面に配置されている第3電極と前記第2面に配置されている第4電極を備え、前記圧電体の振動に応じた検出信号を、前記第4電極を介して前記制御部へ出力する検出用電極と、
前記保護層の前記第3面に設けられ、前記第3電極と前記制御部とを電気的に接続する第1振動部配線を有する第1検出配線と、
前記保護層の前記第3面に前記第1振動部配線から離れて設けられ、前記第4電極と前記制御部とを電気的に接続する第2振動部配線を有する第2検出配線と、
前記第1振動部配線の端部に設けられている第1端子と、
前記第2振動部配線の端部に設けられている第2端子と、
を備え、
前記第1面において、前記第1電極と前記第3電極とが離れており、かつ、前記第2面において、前記第2電極と前記第4電極とが離れており、
前記第4電極は前記第3電極よりも前記基板から離れており、
前記第2端子の面積は、前記第1端子の面積より大きい。
図1は、本発明の第1実施形態に係る圧電モーターを示す平面図である。図2は、図1に示す圧電モーターに含まれる圧電アクチュエーターのうち電極の配置を示す平面図である。図3は、図1に示す圧電モーターに含まれる圧電アクチュエーターのうち配線の配置を示す平面図である。図4は、図3のA-A線断面図である。図5は、図3のB-B線断面図である。図6は、図3のC-C線断面図である。図7は、図3のD-D線断面図である。図8は、図2に示す圧電アクチュエーターに印加する交番電圧を示す図である。図9および図10は、それぞれ、図1に示す圧電モーターの駆動状態を示す平面図である。図11は、図1中のE-E線断面図である。
図12に示すように、制御装置7は、駆動パルス信号Pdを生成する駆動パルス信号生成部71と、駆動パルス信号Pdから圧電素子6A、6B、6C、6D、6E、6Fに印加する駆動信号Sdを生成する駆動信号生成部72と、圧電素子6Gから出力される検出信号Ssを2値化して検出パルス信号Psを生成する検出パルス信号生成部73と、駆動パルス信号Pdと検出パルス信号Psとの位相差を取得する位相差取得部74と、位相差に基づいて駆動パルス信号生成部71の駆動を制御する駆動制御部75と、を有している。
以上のようにして、圧電駆動装置3の駆動を制御することができる。
図15に示す第1振動部配線81aでは、左面、右面および上面が、いずれも側面81bである。同様に、図15に示す第2振動部配線82aでも、左面、右面および上面が、いずれも側面82bである。
かかる観点からも、電磁シールドとしての機能がより強化される。
図16は、本発明の第2実施形態に係るロボットを示す斜視図である。
図17は、本発明の第3実施形態に係るプリンターの全体構成を示す概略図である。
Claims (10)
- 振動によって被駆動部材を駆動する振動部と、
前記振動部の振動を制御する制御部と、
を有し、
前記振動部は、
基板と、
前記基板上に設けられ、互いに表裏の関係にある第1面と第2面を有する圧電体と、
前記基板上に設けられ、互いに異なる第3面および第4面を有する保護層と、
前記第1面に配置されている第1電極と前記第2面に配置されている第2電極を備え、前記制御部からの駆動信号を前記第2電極に入力することで、前記圧電体が振動する駆動用電極と、
前記第1面に配置されている第3電極と前記第2面に配置されている第4電極を備え、前記圧電体の振動に応じた検出信号を、前記第4電極を介して前記制御部へ出力する検出用電極と、
前記保護層の前記第3面に設けられ、前記第3電極と前記制御部とを電気的に接続する第1振動部配線を有する第1検出配線と、
前記保護層の前記第3面に前記第1振動部配線から離れて設けられ、前記第4電極と前記制御部とを電気的に接続する第2振動部配線を有する第2検出配線と、
前記第1振動部配線の端部に設けられている第1端子と、
前記第2振動部配線の端部に設けられている第2端子と、
を備え、
前記第1面において、前記第1電極と前記第3電極とが離れており、かつ、前記第2面において、前記第2電極と前記第4電極とが離れており、
前記第4電極は前記第3電極よりも前記基板から離れており、
前記第2端子の面積は、前記第1端子の面積より大きいことを特徴とする圧電駆動装置。 - 前記保護層を貫通し、前記第2振動部配線と前記第4電極との間に設けられる貫通配線を備える請求項1に記載の圧電駆動装置。
- 前記制御部は、前記第1検出配線と前記第2検出配線に接続されている差動アンプを有する請求項1または2に記載の圧電駆動装置。
- 前記保護層の前記第3面に設けられ、基準電位に接続されている、第1基準電位配線と第2基準電位配線を有し、
前記第1基準電位配線と前記第2基準電位配線との間に、前記第1振動部配線と前記第2振動部配線が配置されている請求項1ないし3のいずれか1項に記載の圧電駆動装置。 - 前記保護層の前記第4面に設けられ、基準電位に接続されている第3基準電位配線を有し、
前記第1面の平面視で、前記第1基準電位配線、前記第2基準電位配線、前記第1振動部配線、および前記第2振動部配線と、前記第3基準電位配線とが重なっている請求項4に記載の圧電駆動装置。 - 前記第1振動部配線の長さと前記第2振動部配線の長さが揃っている請求項1ないし5のいずれか1項に記載の圧電駆動装置。
- 前記第1振動部配線および前記第2振動部配線は、構成材料が同じである請求項1ないし6のいずれか1項に記載の圧電駆動装置。
- 前記第1振動部配線および前記第3電極と前記基板との間の寄生容量と、前記第2振動部配線および前記第4電極と前記基板との間の寄生容量とが、同じである請求項1ないし7のいずれか1項に記載の圧電駆動装置。
- 請求項1ないし8のいずれか1項に記載の圧電駆動装置を有することを特徴とするロボット。
- 請求項1ないし8のいずれか1項に記載の圧電駆動装置を有することを特徴とするプリンター。
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