JP2018037507A - 振動子、圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】より大きい検出信号を出力することのできる振動子、圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置を提供する。【解決手段】振動子は、基部と、前記基部の振動を検出し、圧電体を有する振動検出部と、を備え、前記振動検出部は、前記圧電体に配置されている第１検出電極および第２検出電極を含む検出電極対を複数有している。また、前記振動検出部は、前記基部に配置されている。また、前記第１検出電極および前記第２検出電極は、櫛歯状に配置されている。【選択図】図１

Description

本発明は、振動子、圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置に関するものである。

従来から、圧電モーターとして特許文献１のような構成が知られている。特許文献１の圧電モーターは、ステーターとステーターに接着された圧電素子とを有しており、圧電素子を駆動させて発振回路の発振素子として利用すると共に、ピックアップ信号（検出信号）を検出して位相器により駆動回路自身に正帰還をかけて圧電モーターの共振周波数よりも大きな周波数で発振させるように構成されている。

特開昭６３−２０２２７８号公報

しかしながら、引用文献１の圧電モーターの構成では検出信号が十分に得られない場合もあり、フィードバックの精度が低下するという問題がある。

本発明の目的は、より大きい検出信号を出力することのできる振動子、圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置を提供することにある。

上記目的は、下記の本発明により達成される。

本発明の振動子は、基部と、
前記基部の振動を検出し、圧電体を有する振動検出部と、を備え、
前記振動検出部は、前記圧電体に配置されている第１検出電極および第２検出電極を含む検出電極対を複数有していることを特徴とする。
このように振動検出部が複数の検出電極対を有することで、より大きい検出信号を出力することができる。

本発明の振動子では、前記振動検出部は、前記基部に配置されていることが好ましい。
これにより、効果的に基部の振動に基づいた検出信号を出力することができる。

本発明の振動子では、前記振動検出部は、前記基部の端部に配置されていることが好ましい。
基部の端部は、基部の振動にそれほど寄与しない部分であるため、このような部分に振動検出部を配置することで、例えば、後述する振動部を基部の振動に寄与し易い場所に配置することができ、基部を効率的に振動させることができる。

本発明の振動子では、前記第１検出電極および前記第２検出電極は、櫛歯状に配置されていることが好ましい。
これにより、振動検出部の構成が簡単となると共に、振動検出部の小型化を図ることができる。

本発明の振動子では、前記第１検出電極および前記第２検出電極は、前記圧電体の前記基部とは反対側の面に配置されていることが好ましい。
これにより、第１検出電極および第２検出電極の配置（形成）が容易となる。

本発明の振動子では、前記圧電体は、前記検出電極対ごとに分割されており、
前記第１検出電極と前記第２検出電極との間に前記圧電体がそれぞれ配置されていることが好ましい。
これにより、第１検出電極および第２検出電極の配置（形成）が容易となる。

本発明の振動子では、前記圧電体の前記基部と前記圧電体とが重なる方向の幅は、前記基部の前記基部と前記圧電体とが重なる方向の幅よりも小さいことが好ましい。
これにより、振動子の小型化を図ることができる。

本発明の振動子では、前記基部を支持している支持部と、
前記基部と前記支持部とを接続している接続部と、を有し、
前記振動検出部は、前記接続部に配置されていることが好ましい。
これにより、効果的に、基部の振動を検出することができる。また、基部に振動検出部を配置しないことで、基部に後述する振動部をより大きく配置することができる。

本発明の振動子では、前記接続部は、前記基部の振動の節となる部分に接続されていることが好ましい。
これにより、基部の振動によって接続部が過剰に振動したり、接続部によって基部の振動が阻害されたりすることを抑制することができる。

本発明の振動子では、前記接続部は、前記基部を間に挟んで一対配置されており、
前記基部と前記振動検出部とが重なる方向から見た平面視で、一対の前記接続部の並び方向と交差する方向に沿って、前記検出電極対が配置されていることが好ましい。
これにより、基部の振動をより精度よく検出することができる。

本発明の振動子では、前記基部に配置されている複数の振動部を有し、
前記振動検出部からの信号に基づいて、前記複数の振動部のうちの少なくとも１つの前記振動部の駆動を制御する制御部を有することが好ましい。
これにより、基部を精度よく振動させることができる。

本発明の圧電アクチュエーターは、本発明の振動子と、
前記基部に接続されている凸部と、を有することを特徴とする。
これにより、高い駆動特性を有する圧電アクチュエーターが得られる。

本発明の圧電モーターは、本発明の振動子を備えることを特徴とする。
これにより、高い駆動特性を有する圧電モーターが得られる。

本発明のロボットは、本発明の振動子を備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高いロボットが得られる。

本発明の電子部品搬送装置は、本発明の振動子を備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子部品搬送装置が得られる。

本発明の第１実施形態に係る圧電モーターの全体構成を示す概略図である。 図１中のＡ−Ａ線断面図である。 図１中のＢ−Ｂ線断面図である。 振動検出部を示す平面図である。 振動検出部の別構成を示す断面図である。 圧電アクチュエーターを駆動させるための駆動電圧を示す図である。 図１に示す圧電モーターの駆動を説明する概略図である。 圧電アクチュエーターの回路系を示すブロック図である。 駆動信号と検出信号を示す図である。 本発明の第２実施形態に係る振動検出部を示す平面図である。 図１０に示す振動検出部の断面図である。 本発明の第３実施形態に係る圧電モーターの全体構成を示す概略図である。 図１２中のＣ−Ｃ線断面図である。 振動板の初期状態からのずれ量を示すグラフである。 本発明の第４実施形態に係る圧電モーターの全体構成を示す概略図である。 振動検知部を示す平面図である。 振動板が初期状態に対して位置ずれした状態を示す平面図である。 本発明の第５実施形態に係るロボットの斜視図である。 本発明の第６実施形態に係る電子部品搬送装置の斜視図である。 図１９に示す電子部品搬送装置が有する電子部品保持部の斜視図である。 本発明の第７実施形態に係るプリンターの全体構成を示す概略図である。

以下、本発明の振動子、圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
まず、本発明の第１実施形態に係る圧電モーターについて説明する。

図１は、本発明の第１実施形態に係る圧電モーターの全体構成を示す概略図である。図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。図３は、図１中のＢ−Ｂ線断面図である。図４は、振動検出部を示す平面図である。図５は、振動検出部の別構成を示す断面図である。図６は、圧電アクチュエーターを駆動させるための駆動電圧を示す図である。図７は、図１に示す圧電モーターの駆動を説明する概略図である。図８は、圧電アクチュエーターの回路系を示すブロック図である。図９は、駆動信号と検出信号を示す図である。なお、以下では説明の便宜上、図１中の紙面手前側を「上」とも言い、紙面奥側を「下」とも言う。

図１に示す圧電モーター２００（超音波モーター）は、回動軸Ｏまわりに回転可能な被駆動部（従動部）としてのローター２１０と、ローター２１０の外周面２１１に当接する圧電アクチュエーター１００と、を有している。このような圧電モーター２００では、圧電アクチュエーター１００を駆動（振動）させることで、ローター２１０を回動軸Ｏまわりに回転させることができる。なお、圧電モーター２００の構成としては図１の構成に限定されない。例えば、本実施形態では、圧電アクチュエーター１００により駆動される被駆動部として、回転移動するローター２１０を用いているが、これに限定されず、例えば、被駆動部として直線移動するものを用いてもよい。

また、圧電アクチュエーター１００は、振動子１と、振動子１の振動板２１（基部）に接続されている凸部１１０と、を有している。凸部１１０は、振動子１の駆動力をローター２１０に伝達するための部材であり、ローター２１０の外周面２１１に接触して設けられている。なお、以下では、説明の便宜上、圧電アクチュエーター１００（振動子１）のローター２１０側を「先端側」と言い、反対側を「基端側」とも言う。

図１および図４に示すように、振動子１は、基部としての振動板２１と、振動板２１の振動を検出し、圧電体４１を有する振動検出部４と、を備え、振動検出部４は、圧電体４１に配置されている第１検出電極４２および第２検出電極４３を含む検出電極対４４を複数有している。このように、振動子１は、複数の検出電極対４４を有しているため、振動検出部４から例えば検出電極対４４が１つの場合と比較して大きな検出信号を出力することができる。そのため、信号のＳ／Ｎ比が向上し、この検出信号を用いて精度よく振動子１の駆動を制御することができる。また、このような振動子１を備える圧電アクチュエーター１００および圧電モーター２００は、それぞれ、上述した効果を享受することができ、高い信頼性および高い駆動特性を発揮することができる。以下、このような振動子１について、詳細に説明する。

図１に示すように、振動子１は、基板２と、基板２に配置された振動部３および振動検出部４と、を有している。基板２は、基部としての振動板２１と、振動板２１を支持している支持部２２と、振動板２１と支持部２２とを接続している一対の接続部２３と、を有しており、振動板２１に振動部３および振動検出部４が配置されている。

振動板２１は、振動板２１の厚さ方向から見た平面視で、略長方形状をなしている。また、支持部２２は、振動板２１の基端側を囲むようにＵ字形状となっている。また、一対の接続部２３は、振動板２１の幅方向両側に位置し、振動板２１を両持ち支持するようにして振動板２１と支持部２２とを接続している。また、接続部２３は、振動板２１の振動の節となる部分に接続されている（図７参照）。これにより、振動板２１の振動によって接続部２３が過剰に振動し、振動板２１の振動が接続部２３を介して漏れてしまったり、接続部２３によって振動板２１の振動が阻害されたりすることを抑制することができる。

また、凸部１１０は、振動板２１の先端部に接続されており、振動板２１から先端側へ突出していると共に、その先端面がローター２１０の外周面２１１に接触している。このような凸部１１０を有することで、ローター２１０に振動板２１の振動を効率的に伝達することができる。また、振動板２１とローター２１０の接触を防止でき、振動板２１の破損の可能性を低減することができる。このような凸部１１０は、振動板２１と一体形成されている。ただし、凸部１１０は、振動板２１と別体として形成され、接着剤等を介して振動板２１に接続されていてもよい。

以上、振動板２１、支持部２２、接続部２３および凸部１１０について説明したが、これらの形状や配置としては、その機能を発揮することができる限り、特に限定されない。

このような基板２は、シリコン基板（半導体基板）から形成されている。このような構成とすることで、基板２（振動板２１）の構成が簡単となる。また、例えば、半導体プロセスを用いて振動板２１上に振動部３および振動検出部４を形成することができるため、振動子１の製造が容易となる。なお、図示しないが、振動板２１の表面には絶縁層が設けられている。例えば、振動板２１としてシリコン基板を用いる場合、絶縁層は、シリコン基板の表面を熱酸化して形成した酸化シリコンで構成することができる。

次に、振動部３について説明する。図１に示すように、振動部３は、振動板２１の一方の面側に配置されており、複数（５つ）の振動部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅを含んでいる。振動部３ｅは、振動板２１の幅方向の中央部において、振動板２１の長手方向に沿って配置されている。この振動部３ｅに対して振動板２１の幅方向の一方側には振動部３ａ、３ｂが振動板２１の長手方向に沿って配置され、他方側には振動部３ｃ、３ｄが振動板２１の長手方向に沿って配置されている。ただし、振動部の数や配置は、特に限定されない。

また、振動部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅは、圧電素子で構成されており、図２および図３に示すように、それぞれ、振動板２１上に設けられた第１電極３１と、第１電極３１上に設けられた圧電体３２と、圧電体３２上に設けられた第２電極３３と、を有している。第１電極３１は、振動部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅに共通して設けられた共通電極である。一方、第２電極３３は、振動部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅごとに個別に設けられた個別電極である。また、圧電体３２は、振動部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅに共通して一体的に設けられている。なお、圧電体３２は、振動部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅごとに個別に設けられていてもよい。また、本実施形態とは逆に、第１電極３１が振動部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅごとに個別に設けられ、第２電極３３が振動部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅに共通して設けられていてもよい。

第１電極３１および第２電極３３の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、銅（Ｃｕ）等の金属材料や、チタン（Ｔｉ）／タングステン（Ｗ）、アルミニウム（Ａｌ）／銅（Ｃｕ）等の合金材料が用いられる。また、第１電極３１および第２電極３３は、それぞれ、蒸着、スパッタリング、めっき（特に、無電解めっき）等により形成することができる。後述する第１検出電極４２および第２検出電極４３についても同様である。

圧電体３２は、振動板２１の厚さ方向に沿った方向の電界が印加されることにより振動板２１の長手方向に沿った方向に伸縮する。圧電体３２の構成材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の圧電セラミックスを用いることができる。圧電セラミックスで構成された圧電体３２は、例えば、バルク材料から形成してもよいし、ゾル−ゲル法やスパッタリング法を用いて形成してもよい。なお、圧電体３２の構成材料としては、上述した圧電セラミックスの他にも、ポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いてもよい。後述する圧電体４１についても同様である。

次に、振動検出部４について説明する。図１に示すように、振動検出部４は、振動板２１に配置されている。そのため、振動板２１の振動が効果的に振動検出部４に伝達され、振動検出部４から高い精度の検出信号を出力することができる。そのため、振動板２１の振動をより精度よく検出することができる。さらには、本実施形態では、振動検出部４は、振動板２１の端部に配置されている。より具体的には、振動検出部４は、振動板２１の先端部の幅方向の一方側（図１中の左側）に偏在し、振動部３ａの先端側に配置されている。振動板２１の端部は、振動板２１の振動にそれほど寄与しない部分（言い換えると、当該部分を振動部によって振動させても効率的に振動板２１を振動させることができない部分）である。そのため、このような部分に振動検出部４を配置することで、振動検出部４に邪魔されることなく、振動部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅを、振動板２１の振動に寄与し易い場所である中央部に配置することができるため、振動部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅによって振動板２１を効率的に振動させることができる。

このような振動検出部４は、図４に示すように、振動板２１上に設けられた圧電体４１と、圧電体４１の上面（振動板２１とは反対側の面）に設けられた第１検出電極４２および第２検出電極４３と、を有している。また、第１検出電極４２は、櫛歯状に配置されており、振動板２１の幅方向に延在すると共に振動板２１の長手方向に沿って並んで配置された複数の櫛歯部４２１を有している。同様に、第２検出電極４３は、櫛歯状に配置されており、振動板２１の幅方向に延在すると共に振動板２１の長手方向に沿って並んで配置された複数の櫛歯部４３１を有している。そして、隣り合う一対の櫛歯部４２１の間に１本の櫛歯部４３１が位置するように第１検出電極４２および第２検出電極４３が配置され、隣り合う櫛歯部４２１、４３１が検出電極対４４を構成する。そのため、本実施形態では、複数の検出電極対４４が振動板２１の長手方向に沿って配置された構成となっている。このように、第１検出電極４２および第２検出電極４３が櫛歯状に配置されており、これにより、振動検出部４の構成が簡単となると共に、振動検出部４の小型化を図ることができる。すなわち、より小さいスペースからより大きい検出信号を出力することができる。また、第１検出電極４２および第２検出電極４３は、圧電体４１の上面（振動板２１とは反対側の面）に配置されており、これにより、第１検出電極４２および第２検出電極４３の配置（形成）が容易となる。なお、第１、第２検出電極４２、４３は、それぞれ、圧電体４１の下面に配置されていてもよい。

このような振動検出部４では、検出電極対４４と、検出電極対４４の間に位置する圧電体４１とによってキャパシタ４０が形成されている。そして、振動板２１の振動によって圧電体４１が撓むと、この撓みによって圧電体４１から発生した電荷が検出電極対４４（第１検出電極４２と第２検出電極４３との間）から検出信号として出力され、この検出信号を用いて精度よく振動子１の振動を検出することができる。上述したように、振動検出部４は、複数の検出電極対４４を有しているため、各検出電極対４４から出力される検出信号を足し合せることができ、例えば検出電極対４４が１つの場合と比較して大きな検出信号を出力することができる。そのため、信号のＳ／Ｎ比が向上し、振動子１の振動をより精度よく検出することができる。なお、検出電極対４４から検出信号を取り出せるように、圧電体４１には事前に分極処理が施されている。

ここで、例えば、図５に示すように、第１検出電極４２と第２検出電極４３が圧電体４１を介して圧電体４１の厚さ方向に対向配置されている場合、圧電体４１の厚さＴが薄い程、キャパシタ４０の電気容量（静電容量）が大きくなるため、発生した電荷が外部へ放出され難くなり、結果として振動検出部４から出力される検出信号が小さくなる。反対に、厚さＴが厚い程、キャパシタ４０の電気容量が小さくなるため、発生した電荷が外部へ放出され易くなり、結果として振動検出部４から出力される検出信号が大きくなる。このように、第１検出電極４２と第２検出電極４３が圧電体４１を介して圧電体４１の厚さ方向に対向配置されていると、振動検出部４から出力される検出信号の強度が圧電体４１の厚さＴに依存してしまい、特に、圧電体４１の厚さＴが薄い場合（例えば、圧電体４１をゾル−ゲル法やスパッタリング法を用いて成膜した薄膜とする場合）には、十分な強度の検出信号が得られないおそれがある。これに対して、本実施形態のように、第１検出電極４２と第２検出電極４３が圧電体４１の面方向に並んで配置されていると、圧電体４１の厚さＴとは関係なく、櫛歯部４２１と櫛歯部４３１との離間距離Ｄを調整することでキャパシタ４０の電気容量を調整することができる。そのため、キャパシタ４０の設計が容易となる。特に、圧電体４１は、圧電体３２と一括形成される場合が多く、圧電体４１の厚さは、圧電体３２の厚さに揃えられるのが通常である。すなわち、駆動に用いられ振動部３の圧電体３２の厚さが優先的に設定されるため、圧電体４１の厚さＴを振動検出部４の特性に合わせて設定することはできない。そのため、圧電体４１の厚さＴに依存しない本実施形態の構成によれば、優れた検出特性を有する振動検出部４が得られる。

ここで、圧電体４１の厚さＴ（振動板２１と圧電体４１とが重なる方向の幅）は、振動板２１の厚さｔ（振動板２１と圧電体４１とが重なる方向の幅）よりも小さいことが好ましい（図５参照）。すなわち、Ｔ＜ｔの関係を満足することが好ましい。これにより、圧電体４１が十分に薄くなり、上述した効果（圧電体４１の厚さＴとは関係なくキャパシタ４０の電気容量を調整することができるという効果）をより顕著に発揮することができる。また、振動子１の小型化を図ることができる。より具体的には、圧電体４１の厚さＴは、０．７μｍ以上、５μｍ以下であることが好ましい。これにより、薄膜で構成された圧電体４１（例えば、ゾル−ゲル法やスパッタリング法等で成膜された薄膜からなる圧電体４１）となり、上述した効果をより顕著に発揮することができる。

また、圧電体４１の厚さＴおよび櫛歯部４２１と櫛歯部４３１との離間距離Ｄ（図４参照）が、Ｔ＜Ｄなる関係を満足することが好ましい。これにより、離間距離Ｄを十分に大きくすることができ、振動検出部４から出力される検出信号を十分に大きくすることができる。ここで、離間距離Ｄを大きくし、キャパシタ４０の電気容量を小さくすると、Ｃ＝Ｑ／Ｖの関係（Ｃは電気容量（静電容量）、Ｑは電荷、Ｖは電位）から明らかなように電荷が小さくなり、振動検出部４から出力される検出信号が小さくなる。そこで、本実施形態では、櫛歯部４２１および櫛歯部４３１を長尺状に延在させることで電極の面積を大きくし、電荷を大きく確保している。これにより、振動検出部４から出力される検出信号の強度を高めることができる。

以上のような振動子１（圧電モーター２００）の作動の一例を説明する。ただし、振動子１の作動方法は、以下の方法に限定されない。例えば、図６に示すように、振動部３ａ、３ｄと振動部３ｂ、３ｃと振動部３ｅとに、それぞれ、位相の異なる同じ周波数の駆動信号（交番電圧）を印加する。振動部３ａ、３ｄに印加する駆動信号Ｖ１は、振動部３ｂ、３ｃに印加する駆動信号Ｖ２に対して位相が３０°ずれており、振動部３ｅに印加する駆動信号Ｖ３は、振動部３ｂ、３ｃに印加する駆動信号Ｖ２に対して位相が１８０°ずれている。このような駆動信号を各振動部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅに印加すると、図７に示すように、各振動部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅがそれぞれ伸縮して振動板２１がその面内方向でＳ字形状に屈曲変形（長手方向へ伸縮変形すると共に幅方向へ２次の屈曲変形）し、凸部１１０の先端が矢印Ａで示すように楕円運動する。その結果、ローター２１０は、その回動軸Ｏまわりに矢印Ｂ方向に回転する。なお、振動部３ａ、３ｄに印加する駆動信号Ｖ１を振動部３ｂ、３ｃに印加する駆動信号Ｖ２に対して位相を２１０°ずらすことで、ローター２１０を逆回転させることができる。

次に、振動検出部４から出力される検出信号を用いた振動子１の制御方法について説明する。ただし、制御方法は、以下に説明する方法に限定されない。

図８に示すように、振動子１は、振動板２１に配置されている複数の振動部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅを有しており、振動検出部４からの信号（検出信号）に基づいて、複数の振動部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅのうちの少なくとも１つの振動部の駆動を制御する制御部５を有している。制御部５は、例えば、次のような制御を行う。図９に、振動部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅに印加する駆動信号Ｖと、振動検出部４から出力される検出信号Ｓとを示す。図９を基に説明すれば、１つの制御方法として、制御部５は、検出信号Ｓの振幅Ｗが最も大きくなるように、駆動信号Ｖの周波数を変化させる制御を行う。すなわち、検出信号Ｓの振幅Ｗの最大値を追尾するように、駆動信号Ｖの周波数を経時的に細かく変化させる。検出信号Ｓが大きくなれば、振動板２１の振幅も大きくなるため、ローター２１０をより効率的に回転させることができる。また、別の制御方法として、制御部５は、駆動信号Ｖと検出信号Ｓとの位相差Ｌが９０°となるように、駆動信号Ｖの周波数を変化させる制御を行う。駆動信号Ｖと検出信号Ｓとの位相差Ｌが９０°のときに、振動板２１の振幅が大きくなることが見出されたため、このような制御を行うことで、ローター２１０をより効率的に回転させることができる。このように、制御部５によれば、振動板２１を精度よくかつ効率的に振動させることができる。

以上、第１実施形態について説明した。なお、本実施形態では、振動部３が振動板２１の一方の面に配置されているが、これに限定されず、振動部３が振動板２１の両面に配置されていてもよい。振動検出部４についても同様である。また、振動子１は、本実施形態の構造体を２つ用意し、互いに振動部３側を対向させて接合した構成であってもよい。また、この接合した接合体を複数枚積層させた構成であってもよい。また、本実施形態では、振動部３と振動検出部４とが振動板２１の同じ側の面に配置されているが、これらの配置は、特に限定されず、振動部３と振動検出部４とが振動板２１の異なる面に配置されていてもよい。後述する実施形態についても同様である。

また、本実施形態では、櫛歯部４２１、４３１が、振動板２１の幅方向に延在すると共に振動板２１の長手方向に沿って並んで配置された構成について説明したが、櫛歯部４２１、４３１の配置としては、圧電体４１から電荷を取り出すことができれば特に限定されず、例えば、振動板２１の長手方向に延在すると共に振動板２１の幅方向に沿って並んで配置された構成となっていてもよい。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る圧電モーターについて説明する。

図１０は、本発明の第２実施形態に係る振動検出部を示す平面図である。図１１は、図１０に示す振動検出部の断面図である。

本実施形態は、振動検出部の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態と同様である。

なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１０および図１１において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。

図１０および図１１に示すように、本実施形態の振動検出部４では、圧電体４１は、検出電極対４４ごとに分割されており、第１検出電極４２と第２検出電極４３との間に圧電体４１がそれぞれ配置されている。すなわち、第１検出電極４２および第２検出電極４３は、それぞれ、圧電体４１を間に挟んで、圧電体４１の側面に配置されている。より具体的には、圧電体４１は、振動板２１の長手方向に沿って複数に分割されており、各圧電体４１は、振動板２１の幅方向に延在する長手形状となっている。また、各圧電体４１の側面は、傾斜面となっており、その側面に第１検出電極４２の櫛歯部４２１および第２検出電極４３の櫛歯部４３１を半導体プロセスによって成膜し易くなっている。また、櫛歯部４２１、４３１は、圧電体４１の側面から圧電体４１の上面および振動板２１の上面に跨って配置されている。このような構成によれば、第１検出電極４２および第２検出電極４３の配置（形成）が容易となると共に、例えば、前述した第１実施形態と比較して、圧電体４１の電荷をより効率的に取り出すことができる。なお、隣り合う圧電体４１の離間距離としては、特に限定されないが、例えば、１０μｍ以上、３０μｍ以下程度であることが好ましい。このような範囲を満足することで、圧電体４１の分極処理（ボーリング）時に印加する電圧が高くなり過ぎることを抑制することができる。

このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る圧電モーターについて説明する。

図１２は、本発明の第３実施形態に係る圧電モーターの全体構成を示す概略図である。図１３は、図１２中のＣ−Ｃ線断面図である。図１４は、振動板の初期状態からのずれ量を示すグラフである。

本実施形態は、振動軌跡を調整する振動調整部をさらに有すること以外は、前述した第１実施形態と同様である。

なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１２ないし図１４において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。

図１２に示すように、本実施形態の振動子１（圧電アクチュエーター１００）は、振動板２１に配置されている振動調整部６を有している。振動調整部６は、凸部１１０の振動軌跡が理想的な軌跡（楕円軌跡）となるように、振動板２１の振動を調整する機能を有している。また、振動調整部６は、振動板２１の初期状態からのズレを小さくする機能も有している。

このような振動調整部６は、圧電素子で構成されており、図１３に示すように、振動板２１上に設けられた第１電極６１と、第１電極６１上に設けられた圧電体６２と、圧電体６２上に設けられた第２電極６３と、を有している。なお、第１電極６１は、第１電極３１と共通して設けられており、圧電体６２は、圧電体３２と共通して設けられている。これにより、第１電極６１および圧電体６２を第１電極３１および圧電体３２と一括形成することができるため、第１電極６１および圧電体６２の形成が容易となる。このような振動調整部６は、第１電極６１と第２電極６３との間に振動調整用の信号（電圧）を印加することで伸縮し、この伸縮の仕方（周波数、振幅等）を変化させることで、振動板２１の振動を調整することができる。

特に、本実施形態では、振動調整部６は、振動板２１の長手方向（図１２中の上下方向）の中央部に配置されている。振動板２１の長手方向の中央部は、前述したように、振動板２１の振動に寄与し易い場所である。そのため、このような部分に振動調整部６を配置することで、振動調整部６の振動が振動板２１の振動に及ぼす影響を高めることができ、より効果的に、振動板２１の振動を調整することができる。さらには、振動調整部６は、振動板２１の幅方向の一方側に偏在して配置されている。そのため、振動調整部６の振動によって、振動板２１の振動バランスを崩し易くなり、より効果的に、振動板２１の振動を調整することができる。

次に、この振動調整部６を用いた振動子１の具体的な制御方法について説明する。ただし、制御方法は、以下に説明する方法に限定されない。

図１４は、圧電モーター２００を長時間使用した際の振動板２１（凸部１１０）の初期状態からのずれ量を示すグラフであり、鎖線が振動調整部６を使用しない場合であり、実線が振動調整部６を使用した場合である。図１４の鎖線から分かるように、圧電モーター２００を長時間使用すると、振動板２１は、接続部２３の支持力に対抗しながらローター２１０の回転方向側に徐々に傾いていき、その傾きが所定値に達したところで、接続部２３の支持力（復元力）に対抗できなくなり、一気に初期状態を通り越して反対側へ傾いた状態へと変化する。このような振動板２１のズレにより、凸部１１０の振動軌跡が理想的な楕円軌跡からずれてしまったり、凸部１１０とローター２１０との摩擦力が変動してスティックスリップ（摩擦力が足りずに凸部１１０がローター２１０に対して滑ってしまう現象）やそれに伴う騒音を招いてしまったりし、圧電モーター２００の特性が低下してしまう。そこで、図１４の実線で示すように、例えば、振動板２１が初期状態に対して所定値以下のズレ量に収まるように振動調整部６を駆動させ、初期状態に対するズレ量を小さくするような制御を行う。このような制御によれば、経時的に振動板２１の初期状態からのずれを小さく抑えることができ、凸部１１０の振動軌跡が理想的な軌跡（楕円軌跡）に近づくと共に、スティックスリップやそれに伴う騒音を抑制することができる。

なお、振動板２１の初期状態からのズレ量を検出する方法としては、特に限定されないが、例えば、次のような方法を用いることができる。振動板２１の位置が初期状態からずれるに連れて、振動検出部４から出力される検出信号に含まれる振動板２１の駆動周波数以外の周波数成分が大きくなる。そのため、検出信号から駆動周波数以外の周波数成分の信号を取り出し、取り出した信号の強度に基づいて、振動板２１の初期状態からのズレ量を検出することができる。

このような第３実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態に係る圧電モーターについて説明する。

図１５は、本発明の第４実施形態に係る圧電モーターの全体構成を示す概略図である。図１６は、振動検知部を示す平面図である。図１７は、振動板が初期状態に対して位置ずれした状態を示す平面図である。

本実施形態は、振動板の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態と同様である。

なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１５ないし図１７において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。

図１５に示すように、本実施形態の振動子１は、振動板２１と、振動板２１を支持している支持部２２と、振動板２１と支持部２２とを接続している接続部２３と、を有している。そして、振動検出部４は、接続部２３に配置されている。このように、接続部２３に振動検出部４を配置することで、例えば第１実施形態のように振動板２１に振動検出部４を配置した構成と比較して、振動板２１のより広い領域に振動部３を配置することができるため、振動部３によって振動板２１をより効率的に振動させることができる。また、接続部２３に振動検出部４を配置しても、効果的に振動板２１の振動（特に、振動板２１の初期状態からのずれ量）を検出することができる。

図１６に示すように、接続部２３は、前述したように、振動板２１を間に挟んで一対配置されており、振動板２１と振動検出部４とが重なる方向から見た平面視で、一対の接続部２３の並び方向Ｘと交差（本実施形態では直交）する方向Ｙに沿って、検出電極対４４が配置されている。

具体的には、振動検出部４は、複数の検出部４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄを含んでいる。そして、これら検出部４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄのうち、検出部４ａ、４ｂは、一方の接続部２３上に方向Ｙに沿って配置されている。そして、検出部４ａ、４ｂは、接続部２３上に設けられた第１検出電極４２と、第１検出電極４２上に設けられた圧電体４１と、圧電体４１上に設けられた第２検出電極４３と、を有している。第１検出電極４２は、検出部４ａ、４ｂに共通して設けられた共通電極である。一方、第２検出電極４３は、検出部４ａ、４ｂごとに個別に設けられた個別電極である。また、圧電体４１は、検出部４ａ、４ｂに共通して一体的に設けられている。なお、圧電体４１は、検出部４ａ、４ｂごとに個別に設けられていてもよい。また、本実施形態とは逆に、第１検出電極４２が検出部４ａ、４ｂごとに個別に設けられ、第２検出電極４３が検出部４ａ、４ｂに共通して設けられていてもよい。

一方、検出部４ｃ、４ｄは、他方の接続部２３上に方向Ｙに沿って配置されている。そして、検出部４ｃ、４ｄは、接続部２３上に設けられた第１検出電極４２と、第１検出電極４２上に設けられた圧電体４１と、圧電体４１上に設けられた第２検出電極４３と、を有している。第１検出電極４２は、検出部４ｃ、４ｄに共通して設けられた共通電極である。一方、第２検出電極４３は、検出部４ｃ、４ｄごとに個別に設けられた個別電極である。また、圧電体４１は、検出部４ｃ、４ｄに共通して一体的に設けられている。なお、圧電体４１は、検出部４ｃ、４ｄごとに個別に設けられていてもよい。また、本実施形態とは逆に、第１検出電極４２が検出部４ｃ、４ｄごとに個別に設けられ、第２検出電極４３が検出部４ｃ、４ｄに共通して設けられていてもよい。

このような構成の振動検出部４は、次のようにして振動板２１の振動（特に、振動板２１の初期状態からのずれ量）を検出することができる。ただし、検出方法としては、以下の方法に限定されない。図１７に、初期状態から面方向にずれた状態の振動板２１を示す。この状態では、検出部４ａ、４ｂが配置されている接続部２３の前方部分が伸張し、後方部分が収縮するため、検出部４ａから出力される検出信号と検出部４ｂから出力される検出信号が反対の極性となる（ここでは、検出部４ａから出力される検出信号がプラスとなり、検出部４ｂから出力される検出信号がマイナスとなる）。同様に、検出部４ｃ、４ｄが配置されている接続部２３の前方部分が収縮し、後方部分が伸張するため、検出部４ｃから出力される検出信号と検出部４ｄから出力される検出信号が反対の極性となる（ここでは、検出部４ｃから出力される検出信号がマイナスとなり、検出部４ｄから出力される検出信号がプラスとなる）。すなわち、対角線上にある検出部同士（４ａと４ｄ、４ｂ、４ｃ）が同じ極性を有し、一方の対角線上にある検出部４ａ、４ｄと他方の対角線上にある検出部４ｂ、４ｃとが反対の極性を有している。そのため、例えば、検出部４ａ、４ｄの信号を加算する共に、検出部４ｂ、４ｃの信号を加算し、これら加算後の２つの信号の差分を取った信号（すなわち、（４ａ＋４ｄ）−（４ｂ＋４ｃ））を得れば、この信号の極性と強度に基づいて振動板２１の初期状態からの面方向のずれ量を検出することができる。

以上のように、このような振動検出部４によれば、振動板２１の振動をより精度よく検出することができる。

ここで、振動板２１は、上述した面方向のずれに加えて、図１５に示すように、接続部２３を回転軸Ｊとして回転し、その厚さ方向に変位する場合もある。この場合は、各検出部４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄからは、振動板２１の面方向の変位に起因する信号と、振動板２１の厚さ方向の変位に起因する信号とが重畳した検出信号が出力される。しかしながら、振動板２１が厚さ方向に変位すると各接続部２３が回転軸Ｊまわりに捩じれるため、検出部４ａ、４ｃから出力される検出信号が同極となり、検出部４ｂ、４ｄから出力される検出信号が同極でかつ検出部４ａ、４ｃから出力される検出信号と反対の極となる。そのため、上述した（４ａ＋４ｄ）−（４ｂ＋４ｃ）を求める際に、振動板２１の厚さ方向の変位に起因する信号をキャンセルすることができる。そのため、このような場合によっても、振動板２１の初期状態からの面方向のずれ量を精度よく検出することができる。

このような第４実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態に係るロボットについて説明する。

図１８は、本発明の第５実施形態に係るロボットの斜視図である。
図１８に示すロボット１０００は、精密機器やこれを構成する部品（対象物）の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット１０００は、６軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース１０１０と、ベース１０１０に回動自在に連結されたアーム１０２０と、アーム１０２０に回動自在に連結されたアーム１０３０と、アーム１０３０に回動自在に連結されたアーム１０４０と、アーム１０４０に回動自在に連結されたアーム１０５０と、アーム１０５０に回動自在に連結されたアーム１０６０と、アーム１０６０に回動自在に連結されたアーム１０７０と、これらアーム１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０の駆動を制御するロボット制御部１０８０と、を有している。また、アーム１０７０にはハンド接続部が設けられており、ハンド接続部にはロボット１０００に実行させる作業に応じたエンドエフェクター１０９０が装着される。また、各関節部のうちの全部または一部には圧電モーター２００（振動子１）が搭載されており、この圧電モーター２００の駆動によって各アーム１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０が回動する。なお、各圧電モーター２００の駆動は、ロボット制御部１０８０によって制御される。

このようなロボット１０００は、圧電モーター２００（振動子１）を備えている。そのため、上述した振動子１の効果を享受することができ、優れた信頼性を発揮することができる。

＜第６実施形態＞
次に、本発明の第６実施形態に係る電子部品搬送装置について説明する。

図１９は、本発明の第６実施形態に係る電子部品搬送装置の斜視図である。図２０は、図１９に示す電子部品搬送装置が有する電子部品保持部の斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。

図１９に示す電子部品搬送装置２０００は、電子部品検査装置に適用されており、基台２１００と、基台２１００の側方に配置された支持台２２００と、を有している。また、基台２１００には、検査対象の電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される上流側ステージ２１１０と、検査済みの電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される下流側ステージ２１２０と、上流側ステージ２１１０と下流側ステージ２１２０との間に位置し、電子部品Ｑの電気的特性を検査する検査台２１３０と、が設けられている。なお、電子部品Ｑの例として、例えば、半導体、半導体ウェハー、ＣＬＤやＯＬＥＤ等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド、各種ＭＥＭＳデバイス等などが挙げられる。

また、支持台２２００には、支持台２２００に対してＹ軸方向に移動可能なＹステージ２２１０が設けられており、Ｙステージ２２１０には、Ｙステージ２２１０に対してＸ軸方向に移動可能なＸステージ２２２０が設けられており、Ｘステージ２２２０には、Ｘステージ２２２０に対してＺ軸方向に移動可能な電子部品保持部２２３０が設けられている。また、図２０に示すように、電子部品保持部２２３０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能な微調整プレート２２３１と、微調整プレート２２３１に対してＺ軸まわりに回動可能な回動部２２３２と、回動部２２３２に設けられ、電子部品Ｑを保持する保持部２２３３と、を有している。また、電子部品保持部２２３０には、微調整プレート２２３１をＸ軸方向に移動させるための圧電アクチュエーター１００（１００ｘ）と、微調整プレート２２３１をＹ軸方向に移動させるための圧電アクチュエーター１００（１００ｙ）と、回動部２２３２をＺ軸まわりに回動させるための圧電アクチュエーター１００（１００θ）と、が内蔵されている。

このような電子部品搬送装置２０００は、圧電アクチュエーター１００（振動子１）を備えている。そのため、上述した振動子１の効果を享受することができ、優れた信頼性を発揮することができる。

＜第７実施形態＞
次に、本発明の圧電モーター（振動子）をプリンターに適用した場合の第７実施形態について説明する。

図２１は、本発明の第７実施形態に係るプリンターの全体構成を示す概略図である。
図２１に示すプリンター３０００は、装置本体３０１０と、装置本体３０１０の内部に設けられている印刷機構３０２０、給紙機構３０３０および制御部３０４０と、を備えている。

装置本体３０１０には、記録用紙Ｐを設置するトレイ３０１１と、記録用紙Ｐを排出する排紙口３０１２と、液晶ディスプレイ等の操作パネル３０１３とが設けられている。

印刷機構３０２０は、ヘッドユニット３０２１と、キャリッジモーター３０２２と、キャリッジモーター３０２２の駆動力によりヘッドユニット３０２１を往復動させる往復動機構３０２３と、を備えている。

ヘッドユニット３０２１は、インクジェット式記録ヘッドであるヘッド３０２１ａと、ヘッド３０２１ａにインクを供給するインクカートリッジ３０２１ｂと、ヘッド３０２１ａおよびインクカートリッジ３０２１ｂを搭載したキャリッジ３０２１ｃと、を有している。

往復動機構３０２３は、キャリッジ３０２１ｃを往復移動可能に支持しているキャリッジガイド軸３０２３ａと、キャリッジモーター３０２２の駆動力によりキャリッジ３０２１ｃをキャリッジガイド軸３０２３ａ上で移動させるタイミングベルト３０２３ｂと、を有している。

給紙機構３０３０は、互いに圧接している従動ローラー３０３１および駆動ローラー３０３２と、駆動ローラー３０３２を駆動する給紙モーターである圧電モーター２００と、を有している。

制御部３０４０は、例えばパーソナルコンピュータ等のホストコンピュータから入力された印刷データに基づいて、印刷機構３０２０や給紙機構３０３０等を制御する。

このようなプリンター３０００では、給紙機構３０３０が記録用紙Ｐを一枚ずつヘッドユニット３０２１の下部近傍へ間欠送りする。このとき、ヘッドユニット３０２１が記録用紙Ｐの送り方向とほぼ直交する方向に往復移動して、記録用紙Ｐへの印刷が行なわれる。

このようなプリンター３０００は、圧電モーター２００（振動子１）を備えている。そのため、上述した振動子１の効果を享受することができ、優れた信頼性を発揮することができる。

以上、本発明の振動子、圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。

また、前述した実施形態では、圧電アクチュエーターをロボットや電子部品搬送装置に適用した構成について説明したが、圧電アクチュエーターは、これら以外の各種電子デバイスに適用することができる。より具体的には、例えば、圧電アクチュエーターは、プリンターの紙送りローラーの駆動源、プリンターのインクジェットヘッドの駆動源等に適用することができる。

１…振動子、２…基板、２１…振動板、２２…支持部、２３…接続部、３…振動部、３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅ…振動部、３１…第１電極、３２…圧電体、３３…第２電極、４…振動検出部、４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ…検出部、４０…キャパシタ、４１…圧電体、４２…第１検出電極、４２１…櫛歯部、４３…第２検出電極、４３１…櫛歯部、４４…検出電極対、５…制御部、６…振動調整部、６１…第１電極、６２…圧電体、６３…第２電極、１００、１００ｘ、１００ｙ、１００θ…圧電アクチュエーター、１１０…凸部、２００…圧電モーター、２１０…ローター、２１１…外周面、１０００…ロボット、１０１０…ベース、１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０…アーム、１０８０…ロボット制御部、１０９０…エンドエフェクター、２０００…電子部品搬送装置、２１００…基台、２１１０…上流側ステージ、２１２０…下流側ステージ、２１３０…検査台、２２００…支持台、２２１０…Ｙステージ、２２２０…Ｘステージ、２２３０…電子部品保持部、２２３１…微調整プレート、２２３２…回動部、２２３３…保持部、３０００…プリンター、３０１０…装置本体、３０１１…トレイ、３０１２…排紙口、３０１３…操作パネル、３０２０…印刷機構、３０２１…ヘッドユニット、３０２１ａ…ヘッド、３０２１ｂ…インクカートリッジ、３０２１ｃ…キャリッジ、３０２２…キャリッジモーター、３０２３…往復動機構、３０２３ａ…キャリッジガイド軸、３０２３ｂ…タイミングベルト、３０３０…給紙機構、３０３１…従動ローラー、３０３２…駆動ローラー、３０４０…制御部、Ｐ…記録用紙、Ｄ…離間距離、Ｊ…回転軸、Ｏ…回動軸、Ｑ…電子部品、Ｓ…検出信号、Ｖ、Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３…駆動信号、Ｘ…方向、Ｙ…方向

Claims (15)

1. 基部と、
   前記基部の振動を検出し、圧電体を有する振動検出部と、を備え、
   前記振動検出部は、前記圧電体に配置されている第１検出電極および第２検出電極を含む検出電極対を複数有していることを特徴とする振動子。
2. 前記振動検出部は、前記基部に配置されている請求項１に記載の振動子。
3. 前記振動検出部は、前記基部の端部に配置されている請求項２に記載の振動子。
4. 前記第１検出電極および前記第２検出電極は、櫛歯状に配置されている請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動子。
5. 前記第１検出電極および前記第２検出電極は、前記圧電体の前記基部とは反対側の面に配置されている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動子。
6. 前記圧電体は、前記検出電極対ごとに分割されており、
   前記第１検出電極と前記第２検出電極との間に前記圧電体がそれぞれ配置されている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動子。
7. 前記圧電体の前記基部と前記圧電体とが重なる方向の幅は、前記基部の前記基部と前記圧電体とが重なる方向の幅よりも小さい請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動子。
8. 前記基部を支持している支持部と、
   前記基部と前記支持部とを接続している接続部と、を有し、
   前記振動検出部は、前記接続部に配置されている請求項１に記載の振動子。
9. 前記接続部は、前記基部の振動の節となる部分に接続されている請求項８に記載の振動子。
10. 前記接続部は、前記基部を間に挟んで一対配置されており、
    前記基部と前記振動検出部とが重なる方向から見た平面視で、一対の前記接続部の並び方向と交差する方向に沿って、前記検出電極対が配置されている請求項８または９に記載の振動子。
11. 前記基部に配置されている複数の振動部を有し、
    前記振動検出部からの信号に基づいて、前記複数の振動部のうちの少なくとも１つの前記振動部の駆動を制御する制御部を有する請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の振動子。
12. 請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の振動子と、
    前記基部に接続されている凸部と、を有することを特徴とする圧電アクチュエーター。
13. 請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の振動子を備えることを特徴とする圧電モーター。
14. 請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の振動子を備えることを特徴とするロボット。
15. 請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の振動子を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。

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