JP2008043016A - 超音波モータ - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 51
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 32
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 42
- 230000008859 change Effects 0.000 description 17
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 13
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N palladium silver Chemical compound [Pd].[Ag] SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/0075—Electrical details, e.g. drive or control circuits or methods
- H02N2/008—Means for controlling vibration frequency or phase, e.g. for resonance tracking
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/202—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using longitudinal or thickness displacement combined with bending, shear or torsion displacement
- H10N30/2023—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using longitudinal or thickness displacement combined with bending, shear or torsion displacement having polygonal or rectangular shape
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
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Abstract
【解決手段】超音波振動子に設けられるとともに、一の振動モードにおいて同符号の電荷が生じ、かつ、他の振動モードにおいて異符号の電荷が略同量ずつ生ずる領域に配置される内部電極と、内部電極からの電気信号に基づいて検出される振動検出信号と、いずれか一方の駆動交番電圧との位相差φを検出し、該位相差φが基準位相差φrefとなるような駆動周波数を設定する制御装置30とを備え、制御装置30によって設定された駆動周波数の各駆動交番電圧を超音波振動子に印加する。
【選択図】図11
Description
(1)ギヤなしで高トルクが得られる。
(2)電気OFF時に保持力がある。
(3)高分解能である。
(4)静粛性に富んでいる。
(5)磁気的ノイズを発生せず、また、ノイズの影響も受けない。
本発明は、超音波振動子に2相の駆動交番電圧を印加することにより、前記超音波振動子に異なる2つの振動モードを同時に発生させ、前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、前記超音波振動子と前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータであって、前記超音波振動子に設けられるとともに、一の前記振動モードにおいて同符号の電荷が生じ、かつ、他の前記振動モードにおいて異符号の電荷が略同量ずつ生ずる領域に配置される内部電極と、前記内部電極からの電気信号に基づいて振動検出信号を検出し、該振動検出信号と、いずれか一方の前記駆動交番電圧との位相差を検出し、該位相差が所定の値となるような駆動周波数を設定し、設定された駆動周波数の各前記駆動交番電圧を前記超音波振動子に印加する制御手段とを具備する超音波モータを提供する。
これにより、超音波振動子に発生している実際の振動モードに応じて駆動交番電圧を制御することができる。
このように、モータ速度に応じて所定の値を決定することで、所望のモータ速度とすることができる。
また、上記超音波モータにおいて、前記2つの振動モードは、例えば、縦振動モードと屈曲振動モードである。
〔第1の実施形態〕
図1に示されるように、本発明の第1の実施形態に係る超音波モータ1は、被駆動体2に接触配置される超音波振動子3と、該超音波振動子3を被駆動体2に押し付ける押圧手段4とを備えている。被駆動体2は、ベース5に固定された直動ベアリング6の可動部7に固定されている。また、被駆動体2には、超音波振動子3に接触する面に、例えば、ジルコニアセラミックスからなる摺動板8が接着されている。図中符号9は、直動ベアリング6の固定部10をベース5に固定するためのネジである。
圧電積層体13を構成する圧電セラミックスシート11は、図4及び図5に示されるように、例えば、厚さ約80μmのチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックス素子(以下、PZTという。)である。PZTとしては、Qm値の大きなハード系材料を選択した。Qm値は約1800である。
また、内部電極12は、例えば、厚さ約4μmの銀パラジウム合金からなっている。積層方向の一端に配置される圧電セラミックスシート11a(図2参照)は内部電極12を備えていない。それ以外の圧電セラミックスシート11は、図4に示されるような2種類の内部電極12を備えている。
圧電積層体13を製造するには、まず、圧電セラミックスシート11を製造する。圧電セラミックスシート11は、例えば、PZTの仮焼粉末と所定のバインダとを混合して作成された泥しょうをドクターブレード法によってフィルム上にキャスティングした後に乾燥し、フィルムから剥離することにより製造する。
最後に、対向する内部電極12間に直流高電圧を加えることにより圧電セラミックスシート11を分極処理し、圧電的に活性化する。
圧電積層体13の長さ方向の一端に形成された6つの外部電極17を、圧電積層体13の他側面の側(図において上側)からA相(A+,A−)、C相(C+,C−)、およびB相(B+,B−)、他端に形成された4つの外部電極17を、圧電積層体13の他側面の側(図において上側)からB相(B+,B−)、およびA相(A+,A−)とする。A相およびB相は駆動用の外部電極であり、C相は振動検出用の外部電極である。
したがって、超音波振動子3のA相とB相とに、位相が90°ずれた共振周波数に対応する駆動交番電圧を印加することにより、1次の縦振動と2次の屈曲振動とが同時に発生して、図2に矢印Cで示されるように、摩擦接触子14の位置において時計回りまたは反時計回りの略楕円振動が発生するようになっている。
図11に示すように、制御装置30は、駆動パルス発生回路(信号発生器)31及びドライブIC(駆動回路)32を備えている。駆動パルス発生回路31は、図12に示すように、所定の駆動周波数、及び、所定の位相差θの2相の駆動制御信号を生成し、ドライブIC32に出力する。所定の位相差θは、例えば、約90°とされている。
ドライブIC32は、駆動パルス発生回路31から入力される2相の駆動制御信号に基づいて、所定の位相差、及び、所定の駆動周波数の2相の駆動交番電圧を生成し、各駆動交番信号を上述したA相、B相に対応する外部電極に印加する。
ここで、超音波モータ1は、共振周波数において駆動すると効率が良いことが知られている。ところが、共振周波数は環境温度によって変化する。具体的には、図14に示すように、環境温度が増加すると、共振周波数は減少するという特性を有している。したがって、最大のモータ速度が得られるように超音波モータ1を制御しようとする場合には、温度変化に追従して、共振周波数を変化させる必要がある。
まず、駆動パルス発生回路31から所定の駆動周波数、及び、所定の位相差θ(=90°)の2相の駆動制御信号がドライブIC32に入力され、これに基づいて、所定の位相差、及び、所定の駆動周波数の2相の駆動交番電圧が超音波振動子3の上述したA相の外部電極17(A+,A−)、及びB相の外部電極17(B+,B−)にそれぞれ印加される。これにより、超音波振動子3には、縦振動モードと屈曲振動モードとが同時に励起され、摩擦接触子14には略楕円振動が発生し、その楕円振動の接線方向に沿って被駆動体2の摺動板8との間の生ずる摩擦力により、被駆動体2が推進されることになる。
また、周波数を振動子の縦振動振幅が最大となる周波数の近傍に設定することにより、効率よく超音波モータを駆動することができ、高いモータ出力を得ることができる。
更に、本実施形態に係る超音波モータ1によれば、上記C相電気信号に基づいて縦振動モードの振動検出信号を生成し、この振動検出信号とA相の駆動制御信号との位相差φが基準位相差φrefになるように、2相の駆動制御信号の周波数をフィードバック制御するので、環境温度が変化した場合でも、常にモータ速度を一定に保つことができる。これにより、安定したモータ駆動を実現させることができる。
具体的には、位相比較回路34は、A相の駆動制御信号と振動検出信号との位相差φを求めると、この位相差φに応じた信号を周波数制御回路35に出力する。周波数制御回路35は、入力された位相差φに対応する周波数fを図16に示した特性テーブルを参照して取得し、この周波数fを周波数設定回路36に出力する。これにより、周波数設定回路では、周波数fのクロック信号が生成されて、駆動パルス発生回路31に出力されることとなる。
なお、図16に示した位相差φ−周波数fの特性テーブルに代えて、位相差φをパラメータとした演算式を用いることにより、位相差φに応じた周波数fを求めることとしても良い。
上述した第1の実施形態に係る超音波モータでは、縦振動モードに応じた振動検出信号を用いて周波数制御を行っていた。これに対し、本実施形態に係る超音波モータでは、屈曲振動モードに応じた振動検出信号を用いて周波数制御を行う。
ここで、屈曲振動モードにおける共振周波数についても、上述した縦振動モードにおける共振周波数と同様の性質を有している。つまり、図20に示すように、屈曲振動モードにおける共振周波数は温度が増加すると減少するが、図21に示すように、温度が増加して共振周波数が変化したとしても屈曲振動モードに応じた振動検出信号とA相の駆動制御信号との位相差φは一定の値を示すこととなる。したがって、屈曲振動モードに応じた振動検出信号とA相の駆動制御信号との位相差φが常に一定の値となるように、周波数を制御することによっても、モータ速度を一定に維持することができ、常に安定したモータ効率を得ることができることとなる。
以下、屈曲振動モードを検出するための装置構成及び方法について図22から図24を参照して説明する。
図22及び図23に示されるように、本実施形態に係る超音波モータは、図4及び図5に示した圧電セラミックスシート11の幅方向において中央に位置する内部電極12(C+,C−)が省略されるとともに、A相(A+)の一方(図5において左下に位置する方)がD相(D+)として、A相(A−)の一方(図4において左下に位置する方)がD相(D−)として、B相(B+)の一方(図5において右下に位置する方)がC相(C+)として、B相(B−)の一方(図4において右下に位置する方)がC相(C−)として使用される。図24は、本実施形態に係る超音波振動子を示す斜視図である。図22及び図23に示した圧電セラミックスシート11が交互に複数枚積層されることにより、直方体状の圧電積層体73が構成されている。
続いて、外部電極17(C+)と外部電極D(D−)とを配線L1で結線し、また、外部電極17C(C−)と外部電極17(D+)とを配線L2で結線し、これら一対の配線S1,S2を本実施形態に係る制御装置30´の振動検出回路33´の入力側に接続する(図25参照)。
更に、本実施形態に係る超音波モータによれば、上記配線L1、L2の出力端子間の電圧信号S1,S2に基づいて屈曲振動モードの振動検出信号を生成し、この振動検出信号とA相の駆動制御信号との位相差φが基準位相差φref´になるように、2相の駆動制御信号の周波数をフィードバック制御するので、環境温度が変化した場合でも、常にモータ速度を一定に保つことができる。これにより、安定したモータ駆動を実現させることができる。
また、上記各実施形態においては、内部電極の材質として銀パラジウム合金を用いたが、これに代えて、銀、ニッケル、白金または金を用いてもよい。
さらに、被駆動体2の表面にジルコニアセラミックスからなる摺動板を接着する代わりに、ジルコニアセラミックスを溶射法により被駆動体2の表面に付着させることにしてもよい。
また、上述した実施形態では、振動検出用の内部電極を全層にわたって設けるようにしているが、本発明はこれに限定されるものではなく、一層にだけもしくは数層にだけ設けるようにすることもできる。
2 被駆動体
3 超音波振動子
11 セラミックスシート(電気機械変換素子)
14 摩擦接触子
30,30´ 制御装置
31 駆動パルス発生回路
32 ドライブIC
33,33´ 振動検出回路
34 位相比較回路
35 周波数制御回路
36 周波数設定回路
Claims (5)
- 超音波振動子に2相の駆動交番電圧を印加することにより、前記超音波振動子に異なる2つの振動モードを同時に発生させ、前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、前記超音波振動子と前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータであって、
前記超音波振動子に設けられるとともに、一の前記振動モードにおいて同符号の電荷が生じ、かつ、他の前記振動モードにおいて異符号の電荷が略同量ずつ生ずる領域に配置される内部電極と、
前記内部電極からの電気信号に基づいて振動検出信号を検出し、該振動検出信号と、いずれか一方の前記駆動交番電圧との位相差を検出し、該位相差が所定の値となるような駆動周波数を設定し、設定された駆動周波数の各前記駆動交番電圧を前記超音波振動子に印加する制御手段と
を具備する超音波モータ。 - 前記所定の値がモータ速度に応じて設定されている請求項1に記載の超音波モータ。
- 前記制御手段は、
設定した前記駆動周波数及び所定の位相差を有する2相の駆動制御信号を生成する信号発生器と、
前記信号発生器から出力される2相の駆動制御信号に基づいて、前記駆動周波数及び所定の位相差の2相の駆動交番電圧を生成して、前記超音波振動子に印加する駆動回路と
を備え、
前記信号発生器から出力されるいずれか一方の駆動制御信号と前記振動検出信号との位相差を検出する請求項1または請求項2に記載の超音波モータ。 - 前記超音波振動子は、複数の圧電素子が積層された圧電積層体を備え、
少なくとも一の前記圧電素子に前記内部電極が設けられている請求項1から請求項3のいずれかに記載の超音波モータ。 - 前記2つの振動モードは、縦振動モードと屈曲振動モードである請求項1から請求項4に記載の超音波モータ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006212125A JP4795158B2 (ja) | 2006-08-03 | 2006-08-03 | 超音波モータ |
US11/881,979 US7573180B2 (en) | 2006-08-03 | 2007-07-30 | Ultrasonic motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006212125A JP4795158B2 (ja) | 2006-08-03 | 2006-08-03 | 超音波モータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008043016A true JP2008043016A (ja) | 2008-02-21 |
JP4795158B2 JP4795158B2 (ja) | 2011-10-19 |
Family
ID=39028460
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006212125A Expired - Fee Related JP4795158B2 (ja) | 2006-08-03 | 2006-08-03 | 超音波モータ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7573180B2 (ja) |
JP (1) | JP4795158B2 (ja) |
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JP4795158B2 (ja) | 2011-10-19 |
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A977 | Report on retrieval |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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