JP7191902B2 - 試料分析装置及び方法 - Google Patents
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Description
次に図3~図5を参照して第1実施形態について説明する。図3は、第1実施形態にかかるX線分光器の処理の流れを示すフローチャートである。
次に図6と図7を参照して、第2実施形態について説明する。図6は、第2実施形態にかかる処理の流れを示すフローチャートである。図6におけるステップS10~S18までの処理は、基本的に、図3に示した第1実施形態の場合と同様である。
図8~図11を参照して、第3実施形態について説明する。図8は、第3実施形態にかかる処理の流れを示すフローチャートである。図8におけるステップS10~S18までの処理は、基本的に、図3に示した第1実施形態の場合と同様である。
Claims (8)
- 加速電位を変化させながら電子線を照射した試料から発生するX線を分光することで取得された複数の強度スペクトルを入力する入力手段と、
前記入力手段に入力された各強度スペクトルに含まれる基準ピークのトップの強度が所定の値になるように前記各強度スペクトルの強度を変えて前記複数の強度スペクトルを規格化する規格化手段と、
前記規格化手段により規格化された複数の強度スペクトルにおける基準となる強度スペクトルと前記規格化された複数の強度スペクトルにおける他の1又は複数の強度スペクトルとの間で1又は複数の差分スペクトルを演算する差分演算手段と、
既知の化合物についての既知の複数の状態に対応付けられた複数の差分スペクトルが登録されたデータベースと、
前記差分演算手段により演算された1又は複数の差分スペクトルを前記データベースに登録された複数の差分スペクトルと比較して前記試料を構成する化合物の状態を識別する分析手段と、
を備えることを特徴とする試料分析装置。 - 請求項1に記載の試料分析装置において、
前記入力手段に入力された各強度スペクトルに対し、前記基準ピークが含まれるように関心領域を設定する関心領域設定手段を含み、
前記入力手段に入力された各強度スペクトルにおける前記関心領域内の部分が規格化される、
ことを特徴とする試料分析装置。 - 請求項1に記載の試料分析装置において、
前記分析手段による化合物の状態の識別には、組成の識別、分子構造の識別、結晶構造の識別、又は、結晶方位の識別が含まれる、
ことを特徴とする試料分析装置。 - 請求項1に記載の試料分析装置において、
前記分析手段は、
前記差分演算手段が演算した複数の差分スペクトルをグループ化し、
グループごとに当該グループに含まれる差分スペクトルを前記データベースに登録された複数の差分スペクトルと比較して前記試料を分析する、
ことを特徴とする試料分析装置。 - 請求項1に記載の試料分析装置において、
前記電子線の加速電位が変化する場合おける、電子の侵入深さの変動率と、前記基準ピークのトップの強度の変動率と、の関係を示すプロットを表示する表示部を備える、ことを特徴とする試料分析装置。 - 請求項1に記載の試料分析装置において、
前記電子線の加速電位が変化する場合おける、電子の侵入深さの変動率と、前記基準ピークのトップの強度の変動率と、の関係を示すプロットに基づいて、深さ方向の化合物状態の変化を識別する識別手段を備える、ことを特徴とする試料分析装置。 - 請求項1に記載の試料分析装置において、
さらに、電子線を照射された試料から発生するX線を分光するX線分光器を備え、
前記入力手段は、前記X線分光器から前記強度スペクトルを入力する、ことを特徴とする試料分析装置。 - 加速電位を変化させながら電子線を照射した試料から発生する特性X線を分光し、これにより複数の強度スペクトルを取得する取得工程と、
前記取得工程において取得された各強度スペクトルに含まれる基準ピークのトップの強度が所定の値になるように前記各強度スペクトルの強度を変えて前記複数の強度スペクトルを規格化する規格化工程と、
前記規格化工程において規格化された複数の強度スペクトルにおける基準となる強度スペクトルと前記規格化された複数の強度スペクトルにおける他の1又は複数の強度スペクトルとの間で1又は複数の差分スペクトルを演算する差分演算工程と、
既知の化合物についての既知の複数の状態に対応付けられた複数の差分スペクトルが登録されたデータベースを用いて試料を分析する工程であって、前記差分演算工程において演算された1又は複数の差分スペクトルを前記データベースに登録された複数の差分スペクトルと比較して前記試料を構成する化合物の状態を識別する分析工程と、
を備えることを特徴とする試料分析方法。
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