JP2022023557A - 試料分析装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
次に図3~図5を参照して第1実施形態について説明する。図3は、第1実施形態にかかるX線分光器の処理の流れを示すフローチャートである。
次に図6と図7を参照して、第2実施形態について説明する。図6は、第2実施形態にかかる処理の流れを示すフローチャートである。図6におけるステップS10~S18までの処理は、基本的に、図3に示した第1実施形態の場合と同様である。
図8~図11を参照して、第3実施形態について説明する。図8は、第3実施形態にかかる処理の流れを示すフローチャートである。図8におけるステップS10~S18までの処理は、基本的に、図3に示した第1実施形態の場合と同様である。
Claims (7)
- 電子線を照射された試料から発生するX線を分光することで取得された強度スペクトルを入力する入力手段と、
加速電位が異なる電子線に対応した各前記強度スペクトルについて、関心領域におけるピークトップを基準とする規格化を行い、規格化された各前記強度スペクトル間の差分スペクトルを取得する取得手段と、
を備えることを特徴とする試料分析装置。 - 請求項1に記載の試料分析装置において、
前記関心領域の付近における前記差分スペクトルの分布を、既知の化合物についてのデータベースと比較して、前記試料の化合物状態を推定する推定手段をさらに備える、ことを特徴とする試料分析装置。 - 請求項2に記載の試料分析装置において、
前記推定手段は、加速電位が異なる電子線に対して取得された前記差分スペクトルが類似する場合には、その加速電位に対応する深さ範囲について前記データベースとの比較を行い、当該深さ範囲における化合物状態を推定する、ことを特徴とする試料分析装置。 - 請求項2に記載の試料分析装置において、
前記推定手段は、加速電位が異なる電子線に対して取得された前記差分スペクトルが非類似の場合には、非類似となる加速電位に対応する深さ範囲については別々に前記データベースとの比較を行う、ことを特徴とする試料分析装置。 - 請求項1に記載の試料分析装置において、
前記電子線の加速電位が変化する場合おける、電子の侵入深さの変動率と、強度スペクトルのピークトップの強度の変動率の変化傾向を表示する表示部を備える、ことを特徴とする試料分析装置。 - 請求項1に記載の試料分析装置において、
前記電子線の加速電位が変化する場合おける、電子の侵入深さの変動率と、強度スペクトルのピークトップの強度の変動率の変化傾向に基づいて、深さ方向の化合物状態の類否を識別する識別手段を備える、ことを特徴とする試料分析装置。 - 請求項1に記載の試料分析装置において、
さらに、電子線を照射された試料から発生するX線を分光するX線分光器を備え、
前記入力手段は、前記X線分光器から前記強度スペクトルを入力する、ことを特徴とする試料分析装置。
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