JP7167367B2 - 耐火材 - Google Patents

耐火材 Download PDF

Info

Publication number
JP7167367B2
JP7167367B2 JP2021568109A JP2021568109A JP7167367B2 JP 7167367 B2 JP7167367 B2 JP 7167367B2 JP 2021568109 A JP2021568109 A JP 2021568109A JP 2021568109 A JP2021568109 A JP 2021568109A JP 7167367 B2 JP7167367 B2 JP 7167367B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
refractory material
less
sic particles
particle size
sic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2021568109A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2022049818A1 (ja
Inventor
常夫 古宮山
浩臣 松葉
裕樹 臼杵
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NGK Insulators Ltd
NGK Adrec Co Ltd
Original Assignee
NGK Insulators Ltd
NGK Adrec Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NGK Insulators Ltd, NGK Adrec Co Ltd filed Critical NGK Insulators Ltd
Publication of JPWO2022049818A1 publication Critical patent/JPWO2022049818A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7167367B2 publication Critical patent/JP7167367B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/66—Monolithic refractories or refractory mortars, including those whether or not containing clay
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/56—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides
    • C04B35/565—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/14—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment
    • F27B9/20—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path
    • F27B9/24—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path being carried by a conveyor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/14—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment
    • F27B9/20—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path
    • F27B9/24—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path being carried by a conveyor
    • F27B9/2407—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path being carried by a conveyor the conveyor being constituted by rollers (roller hearth furnace)
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/30—Details, accessories or equipment specially adapted for furnaces of these types
    • F27B9/36—Arrangements of heating devices
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D3/00—Charging; Discharging; Manipulation of charge
    • F27D3/12—Travelling or movable supports or containers for the charge
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/42—Non metallic elements added as constituents or additives, e.g. sulfur, phosphor, selenium or tellurium
    • C04B2235/428—Silicon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54—Particle size related information
    • C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5436—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof micrometer sized, i.e. from 1 to 100 micron

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Tunnel Furnaces (AREA)
  • Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)
  • Furnace Charging Or Discharging (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Description

本出願は、２０２０年９月７日に出願された日本国特許出願第２０２０－１５００６０号に基づく優先権を主張する。その出願の全ての内容は、この明細書中に参照により援用されている。本明細書は、耐火材に関する技術を開示する。特に、ＳｉＣ粒子間に金属Ｓｉが含まれるＳｉ－ＳｉＣ質の耐火材に関する技術を開示する。
特開２００４－１８３３２号公報（以下、特許文献１と称する）に、Ｓｉ－ＳｉＣ質の耐火材（シリコン／炭化ケイ素複合材料）に関する技術が開示されている。特許文献１の耐火材は、平均粒径が０．０１～２μｍのＳｉＣ粒子と、平均粒径が０．１～１０μｍのＳｉＣ粒子と、ＳｉＣ粒子間に分散した金属Ｓｉによって構成されている。
Ｓｉ－ＳｉＣ質（Ｓｉ含浸ＳｉＣ）は、骨材であるＳｉＣ粒子間に金属Ｓｉが分散しており、耐火材の靭性及び機械的強度等の特性が向上する。しかしながら、耐火材の薄肉化、あるいは、高耐久化（長寿命化）のため、さらなる特性の向上が必要とされている。本明細書は、Ｓｉ－ＳｉＣ質の耐火材において、高強度の耐火材を提供することを目的とする。
本明細書で開示する耐火材は、骨材としてＳｉＣ粒子を主体とし、そのＳｉＣ粒子間に金属Ｓｉが含まれるＳｉ－ＳｉＣ質であってよい。また、骨材であるＳｉＣ粒子の平均粒子径が１０μｍ以下であり、耐火材の断面を観察したときに、０．０５μｍ以上２５μｍ以下の気孔が、１００μｍ×１００μｍの範囲に１００個以上存在していてよい。なお、この耐火材は、ローラー、焼成用セッター、加熱炉用ビームを形成することができる。
耐火材の一例（ローラー）を示す。 耐火材の一例（焼成用セッター）を示す。 耐火材の一例（加熱炉用ビーム）であり、（ａ）は加熱炉用ビームの外観を示し、（ｂ）は加熱炉用ビームの断面を示す。 実施例の結果を示す。
本明細書で開示する耐火材は、加熱炉の構成部品、あるいは、加熱炉内で用いられる部品として利用することができる。具体的には、加熱炉の壁材、ビーム（梁）、連続式加熱炉のローラー、被焼成物（被加熱物）を載置するための焼成用セッター等として利用することができる。
耐火材は、骨材としてＳｉＣ粒子を主体とし、ＳｉＣ粒子間に金属Ｓｉが含まれるＳｉ－ＳｉＣ質の耐火材であってよい。耐熱性に優れたＳｉＣ粒子を骨材の主体とすることにより、耐火材の耐熱性を向上させることができる。なお、「骨材としてＳｉＣ粒子を主体とする」とは、骨材の全質量に占めるＳｉＣ粒子の割合が５０質量％以上であることを意味している。すなわち、耐火材を構成する骨材は、ＳｉＣ粒子以外の粒子を含んでいてもよい。なお、骨材に占めるＳｉＣ粒子の割合は、６０質量％以上であってよいし、７０質量％以上であってよいし、８０質量％以上であってよいし、９０質量％以上であってよいし、９５質量％以上であってもよい。なお、耐火材は、骨材としてＳｉＣ粒子に加え、例えば、Ｂ４Ｃ粒子、Ｃ粒子を含んでいてもよい。
ＳｉＣ粒子の平均粒子径は、１５μｍ以下であってよい。これにより、耐火材の構造（組織構造）が緻密化し、耐火材の機械的強度を向上させることができる。骨材（ＳｉＣ粒子）の平均粒子径は、１０μｍ以下であってよいし、７μｍ以下であってよいし、５μｍ以下であってよいし、３μｍ以下であってよいし、１μｍ以下であってもよい。なお、骨材の最小粒子径は、０．０５μｍ以上であってよい。耐火材を製造する際、骨材（粒子）が凝集することを抑制することができる。また、骨材の最大粒子径は、１５μｍ以下であってよい。耐火材の組織構造内において骨材自体が欠陥となることが抑制され、耐火材の機械的強度の低下を抑制することができる。ＳｉＣ粒子の粒径（平均粒子径、最小粒子径、最大粒子径）は、走査型顕微鏡（ＳＥＭ）等を利用し、耐火材の断面観察によって確認することができる。
耐火材は、耐火材の断面１００μｍ×１００μｍの範囲に、０．０５μｍ以上２５μｍ以下の気孔が１００個以上存在していてよい。換言すると、小サイズの気孔（０．０５μｍ以上２５μｍ以下の気孔）が、耐火材の内部に分散して存在していてよい。耐火材の内部に大サイズの気孔（例えば５０μｍ超の気孔）が存在することを抑制でき、耐火材の機械的強度を向上させることができる。すなわち、破壊の起点となり得る大サイズの気孔が耐火材の内部に存在することを抑制することにより、耐火材の機械的強度が向上する。なお、気孔の大きさは、骨材の粒径と同様に、走査型顕微鏡等を利用し、耐火材の断面観察によって確認することができる。具体的には、気孔の大きさは、耐火材の断面１００×１００μｍの範囲を観察し、その範囲に現れる気孔の最大径を測定することにより確認することができる。
また、耐火材の気孔率（見掛け気孔率）は、１％以下であってよい。これにより、耐火材の機械的強度が向上する。耐火材の気孔率（見掛け気孔率）は、０．８％以下であってよく、０．６％以下であってよく、０．５％以下であってよい。なお、耐火材の気孔率は、ＪＩＳ Ｒ２２０５－１９９２に準拠して測定することができる。
上記したように、本明細書で開示する耐火材は、ＳｉＣ粒子間に金属Ｓｉが含まれている。耐火材に占める金属Ｓｉの割合は、２０質量％以上、６０質量％以下であってよい。耐火材に占める金属Ｓｉの割合が６０質量％以下であれば、耐火材の製造過程（主として焼成工程）において、内部クラックの発生を抑制することができる。なお、耐火材に占める金属Ｓｉの割合は、５５質量％以下であってよく、５０質量％以下であってよく、４５質量％以下であってよく、４０質量％以下であってよく、３５質量％以下であってもよい。また、耐火材に占める金属Ｓｉの割合が２０質量％以上であれば、金属ＳｉがＳｉＣ粒子間の隙間を十分に充填することができる（見掛け気孔率が増大することが抑制される）。耐火材に占める金属Ｓｉの割合は、３０質量％以上であってよく、４０質量％以上であってもよい。
図１は、加熱炉（図示省略）で用いられるローラー１０を示している。ローラー１０は、貫通孔１２を有する円筒状であり、Ｓｉ－ＳｉＣ質で形成されている。ローラー１０は、耐火材の一例である。ローラー１０は、骨材として、粒径０．４～１５μｍ、平均粒子径３０μｍのＳｉＣ粒子で構成されている。また、ＳｉＣ粒子間には、金属Ｓｉが存在している。なお、骨材（ＳｉＣ粒子）の粒径は、ローラー１０の中央部分の断面のＳＥＭ画像を取得し、画像内の１００μｍ×１００μｍの範囲に存在する骨材の形状を測定し、算出した。また、骨材（ＳｉＣ粒子）及び骨材間の物質（金属Ｓｉ）は、取得したＳＥＭ画像についてＥＤＳを用いて元素分析を行うことにより特定した。
取得したＳＥＭ画像の１００μｍ×１００μｍの範囲には、０．０５μｍ以上２５μｍ以下の気孔が７２２個確認され、１５μｍ超の気孔は確認されなかった。ローラー１０の気孔率（見掛け気孔率）は、０．５％であった。ローラー１０について、ＪＩＳ Ｒ１６０１－２００８に準拠して曲げ強度試験を行った結果、４４８ＭＰａであった。なお、ローラー１０は、押出成型法により作製した。押出成形法については、公知のため、説明を省略する。
図２は、加熱炉（図示省略）で用いられるセッター１４を示している。セッター１４は、ローラー１０と同様の特性を有している。セッター１４は、プレス法により作製することができる。
図３は、加熱炉（図示省略）を構成するビーム１６を示している。（ａ）及び（ｂ）に示すように、ビーム１６は円柱状であり、中実である。ビーム１６は、押出成型法により作製することができる。
骨材（ＳｉＣ粒子）の粒径（平均粒子径）が異なる耐火材（試料１～９）を作製し、曲げ強度の測定を行った。図４に、各試料を作製する際に用いた骨材の粒径を示す。具体的な耐火物の作成方法としては、まず、図４に示す骨材を用い、押出成形機にて外径３８ｍｍ、内径２５ｍｍ、長さ１０００ｍｍの円筒状（ローラー状）の成形体を作製し、温度１００℃、大気雰囲気下で２４時間以上乾燥させた。その後、金属Ｓｉを含浸させた後、不活性ガス（Ａｒ）雰囲気下で１６００℃にて焼成し、Ｓｉ－ＳｉＣ質のローラー状耐火材を得た。
得られた試料１～９について曲げ強度の測定を行った。曲げ強度は、ＪＩＳ Ｒ１６０１－２００８に準拠して測定した。図４に、曲げ強度の測定結果を示す。なお、図４には、曲げ強度の測定結果と併せ、曲げ強度が３５０ＭＰａ以上の試料に「◎」、３００ＭＰａ以上３５０ＭＰａ未満の試料に「〇」、２００ＭＰａ以上３００ＭＰａ未満の試料に「△」、２００ＭＰａ未満の試料に「×」を付して示している。「◎」及び「〇」が合格レベルである。また、試料１～９について、曲げ強度の他、ＳｉＣ粒子の粒径（平均粒子径、最小粒子径、最大粒子径）、１００μｍ×１００μｍ範囲の断面観察における気孔数、気孔率、成形性、保形性の評価も行った。
ＳｉＣ粒子の粒径（平均粒子径、最小粒子径、最大粒子径）は、耐火材の断面をＳＥＭ観察し、１００μｍ×１００μｍ範囲内に現れたＳｉＣ粒子を全てについて測定し、算出した。気孔数は、耐火材の断面をＳＥＭ観察し、１００μｍ×１００μｍ範囲内の気孔（０．０５μｍ以上２５μｍ以下の気孔）を目視でカウントした。また、気孔率（見掛け気孔率）は、ＪＩＳ Ｒ２２０５－１９９２に準拠して測定した。なお、断面のＳＥＭ観察は、（株）日立ハイテクノロジーズ社製のＴＭ４０００を用いて行った。気孔数及び気孔率の結果を図４に示す。
成形性は、押出成形後の試料を目視で観察し、異常が確認されない試料を「◎」とし、変形が確認された試料を「〇」とし、変形及び切れ（シート切れ）が確認された試料に「△」、押出中にシート切れが頻繁に発生し、成形不能であった試料を「×」として評価した。
保形性は、押出成形後の試料を目視で観察し、設計公差の範囲内の試料を「◎」とし、設計公差からのずれが２ｍｍ未満の試料を「〇」とし、設計公差からのずれが２ｍｍ超の試料を「△」とし、実質的に測定不能（形状を維持していない）の試料を「×」として評価した。
図４に示すように、ＳｉＣ粒子の平均粒子径が１５μｍ以下であり、０．０５μｍ以上２５μｍ以下の気孔の数が１００個以上の試料（試料１～６）は、良好な強度（３００ＭＰａ以上）が得られることが確認された。また、ＳｉＣ粒子の最大粒子径が３０μｍ以下の試料（試料１～５）は、特に良好な強度（３５０ＭＰａ以上）が得られることが確認された。なお、ＳｉＣ粒子の最大粒子径が１５μｍ以下の試料（試料１～３）は、極めて良好な強度（４００ＭＰａ以上）が得られることが確認された。なお、良好な強度を示した試料（試料１～６）は、何れも最小粒子径が０．０５μｍ以上であり、見掛け気孔率が１％以下であった。なお、試料１～６は、試料７～９と比較して、何れも成形性、保形性が良好であることが確認された。
上述したように、試料１～３は、極めて高強度の耐火材が得れることが確認された。試料１～３と試料４～６について比較すると、試料１～３は、見掛け気孔率が０．５％以下であるという特徴を有している。この結果より、耐火材の見掛け気孔率を０．５％以下にすることにより、耐火材の強度をさらに向上させることができることが確認された。
上記実施例において、耐火材を利用したローラー、セッター、ビームの例を示したが、本明細書で開示する耐火材は、高温環境下で用いられる部品であれば、上記実施例以外の部品（製品）として利用することもできる。また、上記実施例では、円柱状のビームの例を示したが、ビームは角柱状であってもよい。
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、請求の範囲を限定するものではない。請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
１０：ローラー
１４：焼成用セッター
１６：加熱炉用ビーム

Claims (7)

  1. 骨材としてＳｉＣ粒子を主体とし、前記ＳｉＣ粒子間に金属Ｓｉが含まれるＳｉ－ＳｉＣ質の耐火材であって、
    前記ＳｉＣ粒子の平均粒子径が１５μｍ以下であり、
    断面を観察したときに、０．０５μｍ以上２５μｍ以下の気孔が、１００μｍ×１００μｍの範囲に１００個以上存在しており、
    １００μｍ×１００μｍの範囲における、前記ＳｉＣ粒子の最大粒子径が３０μｍ以下である耐火材。
  2. １００μｍ×１００μｍの範囲における、前記ＳｉＣ粒子の最小粒子径が０．０５μｍ以上である請求項１に記載の耐火材。
  3. 耐火材の見掛け気孔率が１％以下である請求項１または２に記載の耐火材。
  4. 前記金属Ｓｉの割合が２０質量％以上６０質量％以下である請求項１から３のいずれか一項に記載の耐火材。
  5. 請求項１から４のいずれか一項に記載の耐火材によって形成されているローラー。
  6. 請求項１から４のいずれか一項に記載の耐火材によって形成されている焼成用セッター。
  7. 請求項１から４のいずれか一項に記載の耐火材によって形成されている加熱炉用ビーム。
JP2021568109A 2020-09-07 2021-04-02 耐火材 Active JP7167367B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020150060 2020-09-07
JP2020150060 2020-09-07
PCT/JP2021/014378 WO2022049818A1 (ja) 2020-09-07 2021-04-02 耐火材

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2022049818A1 JPWO2022049818A1 (ja) 2022-03-10
JP7167367B2 true JP7167367B2 (ja) 2022-11-08

Family

ID=80490949

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021568109A Active JP7167367B2 (ja) 2020-09-07 2021-04-02 耐火材

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP7167367B2 (ja)
KR (1) KR102733915B1 (ja)
CN (1) CN115956064A (ja)
TW (1) TWI821649B (ja)
WO (1) WO2022049818A1 (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000130951A (ja) 1998-10-28 2000-05-12 Ngk Insulators Ltd プラズマ・ディスプレイ・パネル用基板焼成炉及びそれに用いる炉内部材
JP2001174165A (ja) 1999-12-20 2001-06-29 Ngk Insulators Ltd リング付き炉内搬送用ローラーとその製造方法
JP2003071555A (ja) 2001-09-03 2003-03-11 Showa Denko Kk Ｓｉ−ＳｉＣ複合材の製造方法
JP2003090685A (ja) 2001-07-13 2003-03-28 Ngk Insulators Ltd 基板上に形成された機能膜材料の熱処理炉
JP2006003376A (ja) 2004-06-15 2006-01-05 Taiheiyo Cement Corp 光学反射ミラー

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4154787A (en) * 1977-07-25 1979-05-15 Coors Porcelain Company Method for manufacturing silicon carbide bodies
US4795673A (en) * 1978-01-09 1989-01-03 Stemcor Corporation Composite material of discontinuous silicon carbide particles and continuous silicon matrix and method of producing same
CA1158259A (en) * 1980-07-17 1983-12-06 Francis J. Frechette Composite material of silicon carbide and silicon and methods of producing
JPS605550B2 (ja) * 1980-11-21 1985-02-12 京セラ株式会社 炭化珪素焼結体の製法
JPS60138913A (ja) * 1983-12-26 1985-07-23 Toshiba Ceramics Co Ltd 半導体拡散炉管の製造方法
JPS6236087A (ja) * 1985-08-06 1987-02-17 東海高熱工業株式会社 粒状ＳｉＣを分散配置させた金属シリコン耐熱材料
JPH0597520A (ja) * 1991-10-04 1993-04-20 Sumitomo Metal Ind Ltd 炭化珪素質材料の製造方法
DE4243864C2 (de) * 1991-12-24 1996-04-18 Schunk Ingenieurkeramik Gmbh Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus Siliciumcarbid
DE4392693T1 (de) * 1992-06-08 1994-09-08 Ngk Insulators Ltd Temperaturwechselbeständige, kriechfeste und oxydationsfeste Einsätze
JPH06263538A (ja) * 1993-03-05 1994-09-20 Shin Etsu Chem Co Ltd 炭化珪素質部材の製造方法
JPH0867581A (ja) * 1994-08-30 1996-03-12 Sumitomo Metal Ind Ltd 半導体用治工具及びその製造方法
JP3270798B2 (ja) * 1994-12-27 2002-04-02 京セラ株式会社 炭化珪素質焼結体の製造方法
JPH10310474A (ja) * 1997-05-08 1998-11-24 Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd ＳｉＣ−Ｓｉ複合セラミックス材
JPH1171178A (ja) * 1997-08-25 1999-03-16 Bridgestone Corp 耐熱性部材
JPH11171671A (ja) * 1997-12-10 1999-06-29 Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd 板状ＳｉＣ−Ｓｉ系複合セラミックスの製造方法
JP3688138B2 (ja) * 1998-09-29 2005-08-24 東芝セラミックス株式会社 半導体熱処理用シリコン含浸炭化珪素質材料及びこれを用いたウェーハボート
JP3830733B2 (ja) * 2000-06-05 2006-10-11 株式会社東芝 粒子分散シリコン材料およびその製造方法
JP2004510674A (ja) * 2000-09-29 2004-04-08 グッドリッチ・コーポレイション 炭化ホウ素をベースとしたセラミックマトリックス複合材料
DE102005060304B4 (de) * 2005-12-16 2008-12-18 Schunk Ingenieurkeramik Gmbh Verfahren zum Herstellen von Formkörpern aus nichtsilicatischer technischer Keramik
JP4847237B2 (ja) * 2006-07-11 2011-12-28 イビデン株式会社 複合セラミック粉末とその製造方法
JP4327190B2 (ja) * 2006-10-11 2009-09-09 日本碍子株式会社 Ｓｉ−ＳｉＣ質焼結体及びその製造方法
JP4612608B2 (ja) * 2006-10-31 2011-01-12 株式会社東芝 シリコン／炭化ケイ素複合材料の製造方法
JP2008156169A (ja) * 2006-12-25 2008-07-10 Bridgestone Corp 炭化ケイ素顆粒、これを用いた炭化ケイ素焼結体の製造方法および炭化ケイ素焼結体
CN101323524B (zh) * 2008-04-15 2011-04-06 西安交通大学 一种定向排列孔碳化硅多孔陶瓷的制备方法
WO2012071353A1 (en) * 2010-11-22 2012-05-31 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Infiltrated silicon carbide bodies and methods of making
CN115625629A (zh) * 2012-08-02 2023-01-20 3M创新有限公司 具有精确成形特征部的研磨元件、用其制成的研磨制品及其制造方法
JP6182082B2 (ja) * 2013-03-15 2017-08-16 日本碍子株式会社 緻密質複合材料、その製法及び半導体製造装置用部材
CN104387073B (zh) * 2014-10-09 2016-03-09 奉化市中立密封件有限公司 基于反应烧结法制造超细高韧性碳化硅陶瓷材料的方法
CN105669205B (zh) * 2014-11-17 2018-04-13 中国科学院上海硅酸盐研究所 以颗粒级配粉体为原料制备致密固相烧结碳化硅的方法
JP6489891B2 (ja) * 2015-03-24 2019-03-27 昭和電工株式会社 昇華再結晶法に用いるＳｉＣ原料の製造方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000130951A (ja) 1998-10-28 2000-05-12 Ngk Insulators Ltd プラズマ・ディスプレイ・パネル用基板焼成炉及びそれに用いる炉内部材
JP2001174165A (ja) 1999-12-20 2001-06-29 Ngk Insulators Ltd リング付き炉内搬送用ローラーとその製造方法
JP2003090685A (ja) 2001-07-13 2003-03-28 Ngk Insulators Ltd 基板上に形成された機能膜材料の熱処理炉
JP2003071555A (ja) 2001-09-03 2003-03-11 Showa Denko Kk Ｓｉ−ＳｉＣ複合材の製造方法
JP2006003376A (ja) 2004-06-15 2006-01-05 Taiheiyo Cement Corp 光学反射ミラー

Also Published As

Publication number Publication date
WO2022049818A1 (ja) 2022-03-10
CN115956064A (zh) 2023-04-11
KR102733915B1 (ko) 2024-11-25
JPWO2022049818A1 (ja) 2022-03-10
TW202210414A (zh) 2022-03-16
KR20220033050A (ko) 2022-03-15
TWI821649B (zh) 2023-11-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102149166B1 (ko) 코팅액, 및 코팅층을 갖는 내화물의 제조 방법
DE102007000840B4 (de) Gebrannter Körper auf Si-SiC-Basis und Verfahren zur Herstellung desselben
JP6602827B2 (ja) 断熱材及びその製造方法
WO2013035645A1 (ja) 無機繊維成形体及びその製造方法
JP2021134092A (ja) 軽量窯道具及びその製造方法
JP6358275B2 (ja) スライドプレート耐火物
US20190241477A1 (en) Roller for a roller furnace having at least one coating on the surface
JP7167367B2 (ja) 耐火材
JP6607839B2 (ja) 断熱材
CN114430733B (zh) 耐火物
EP3307695B1 (en) Refractories for applications in combustion chambers intended for producing energy and/or waste disposal
JP6432869B2 (ja) 耐火れんがの製造方法
JP4724856B2 (ja) セラミックス部材及びその製造方法
Shahid et al. Synthesis and mechanical characterization of alumina based composite material for armor application
EP1136463A2 (en) Oxidation resistant carbonaceous material and method for producing the same
JP4485615B2 (ja) 耐食性スピネル質焼結体およびそれよりなる熱処理用部材
JP5066149B2 (ja) セラミックス成形体の焼成方法
TWI833586B (zh) 連續鑄造用之耐火物及耐火物構件
JP2001220260A (ja) アルミナ系多孔質シート状耐火物及びその製造方法
JP2016136070A (ja) 加熱炉
JP4795754B2 (ja) 高耐熱衝撃性セラミックス複合材及びその製造方法
JP2014024740A (ja) セラミック焼結体および熱処理用部材
JP7634736B1 (ja) 金属溶湯濾過部材
Suyama et al. Evaluation of microstructure for SiC/SiC composites
KR20260019070A (ko) 내식성이 우수한 도가니용 세라믹 입자

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20211112

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20211112

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220621

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220818

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20221018

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20221026

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7167367

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150