JP7163928B2 - 研磨スラリーを製造する方法 - Google Patents
研磨スラリーを製造する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7163928B2 JP7163928B2 JP2019546789A JP2019546789A JP7163928B2 JP 7163928 B2 JP7163928 B2 JP 7163928B2 JP 2019546789 A JP2019546789 A JP 2019546789A JP 2019546789 A JP2019546789 A JP 2019546789A JP 7163928 B2 JP7163928 B2 JP 7163928B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suspension
- slurry
- filtration
- separation
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
- C09G1/02—Polishing compositions containing abrasives or grinding agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
- C09K3/1463—Aqueous liquid suspensions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D21/00—Separation of suspended solid particles from liquids by sedimentation
- B01D21/02—Settling tanks with single outlets for the separated liquid
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D37/00—Processes of filtration
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/50—Mixing liquids with solids
- B01F23/51—Methods thereof
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/50—Mixing liquids with solids
- B01F23/58—Mixing liquids with solids characterised by the nature of the liquid
- B01F23/581—Mixing liquids with solids, slurries or sludge, for obtaining a diluted slurry
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Separation Of Solids By Using Liquids Or Pneumatic Power (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
Description
本出願は、2017年2月23日に出願された米国仮特許出願第62/462,508号明細書の優先権および利益を主張しており、その開示内容は、参照により本明細書に組み込まれる。
Claims (8)
- スラリー生成システムにより研磨スラリーを製造する方法であって、
前記システムの分散部分において、流体媒質に研磨固体粒子を含む第1の懸濁液を生成することと、
前記システムの分離部分において、前記流体媒質に前記研磨固体粒子の第2の懸濁液を生成するために、前記第1の懸濁液に含まれる粘性成分を前記第1の懸濁液から分離すること、
前記システムの濾過部分において、前記第2の懸濁液を少なくとも1つのフィルタに通して閾値寸法を超える寸法の粒子を除去することで前記第2の懸濁液を濾過することと、
前記分離は、所定の容器内で実施され、
前記第1の懸濁液を、前記容器の前記第1の懸濁液によって形成される液面を横断する第1の軸に沿って前記容器へ移送することと、
前記液面に対して傾いている前記容器の表面に前記粘性成分の沈殿物を生成することと、
前記容器から、前記液面に実質的に平行な第2の軸に沿って前記第2の懸濁液を取り出すことと、
を含む方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記分離は、前記第1の懸濁液中の前記研磨固体粒子の相対的割合を超える、前記研磨固体粒子の相対的割合の前記第2の懸濁液を生成することを含む、方法。 - 請求項1または2に記載の方法であって、
前記分離は、前記沈殿物の上方の前記流体媒質中に研磨固体粒子を懸濁させている間に、前記容器の前記表面に前記粘性成分の前記沈殿物を生成する工程を含む、方法。 - 請求項1または2に記載の方法であって、
前記生成は、前記第1の懸濁液が前記容器を通って流れている間に、前記容器の底部に前記沈殿物を生成することを含む、方法。 - 請求項4に記載の方法であって、
前記第1の懸濁液が前記容器を通って流れ続けている間に、前記容器の前記底部から前記沈殿物を除去することをさらに含む、方法。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載の方法であって、
前記濾過は、濾過圧力レベルの全体が、前記濾過の持続期間全体にわたって、前記第2の懸濁液を前記システムの前記濾過部分に供給するときの供給圧力レベルより実質的に下回るように維持される、方法。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の方法であって、
前記濾過は、前記システムの前記濾過部分のフィルタを通る前記第2の懸濁液の流量について、前記流量が、前記濾過の開始における実質的ゼロ・レベルから一定のレベルまで増加し、前記濾過の持続期間の実質的に全体にわたって、前記一定のレベルで実質的に変化せずに維持される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、(i)前記容器の容積と、(ii)前記分離する間の前記第1の懸濁液の流体流量の逆数を示す値、との積に実質的に等しい分離時間の間、前記分離を実施することをさらに含む、方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762462508P | 2017-02-23 | 2017-02-23 | |
PCT/US2018/019092 WO2018156678A1 (en) | 2017-02-23 | 2018-03-09 | Fluid synthesis system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020513046A JP2020513046A (ja) | 2020-04-30 |
JP7163928B2 true JP7163928B2 (ja) | 2022-11-01 |
Family
ID=63254381
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019546789A Active JP7163928B2 (ja) | 2017-02-23 | 2018-03-09 | 研磨スラリーを製造する方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11401450B2 (ja) |
JP (1) | JP7163928B2 (ja) |
WO (1) | WO2018156678A1 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000273443A (ja) | 1999-03-23 | 2000-10-03 | Asahi Glass Co Ltd | ディスプレイ用ガラス基板の研磨用砥材、研磨方法および砥材の品質評価方法 |
JP2001009706A (ja) | 1999-07-02 | 2001-01-16 | Toshiba Corp | ウエーハ研磨剤スラリー用フィルター装置 |
WO2005017989A1 (ja) | 2003-08-14 | 2005-02-24 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | 半導体平坦化用研磨剤 |
JP2006043781A (ja) | 2004-07-30 | 2006-02-16 | Nec Electronics Corp | 研磨スラリーの製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3772799A (en) * | 1969-08-19 | 1973-11-20 | Mitsubishi Edogawa Kagaku Kk | Apparatus for treating a mixture |
FR2223065B2 (ja) * | 1972-08-25 | 1976-06-11 | Degremont | |
JPH0631802U (ja) * | 1992-09-28 | 1994-04-26 | 嚴一 佐藤 | ろ過装置 |
JP2001300844A (ja) * | 2000-04-21 | 2001-10-30 | Nec Corp | スラリー供給装置及びその供給方法 |
JP3634792B2 (ja) * | 2001-10-31 | 2005-03-30 | 三洋電機株式会社 | 被除去物の除去方法 |
US20130183889A1 (en) * | 2010-09-24 | 2013-07-18 | Kao Corporation | Process for producing polishing liquid composition |
ITUB20159304A1 (it) * | 2015-12-22 | 2017-06-22 | Eni Spa | Procedimento per il trattamento di correnti di spurgo da raffineria. |
-
2018
- 2018-03-09 WO PCT/US2018/019092 patent/WO2018156678A1/en active Application Filing
- 2018-03-09 JP JP2019546789A patent/JP7163928B2/ja active Active
-
2019
- 2019-07-22 US US16/518,201 patent/US11401450B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000273443A (ja) | 1999-03-23 | 2000-10-03 | Asahi Glass Co Ltd | ディスプレイ用ガラス基板の研磨用砥材、研磨方法および砥材の品質評価方法 |
JP2001009706A (ja) | 1999-07-02 | 2001-01-16 | Toshiba Corp | ウエーハ研磨剤スラリー用フィルター装置 |
WO2005017989A1 (ja) | 2003-08-14 | 2005-02-24 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | 半導体平坦化用研磨剤 |
JP2006043781A (ja) | 2004-07-30 | 2006-02-16 | Nec Electronics Corp | 研磨スラリーの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11401450B2 (en) | 2022-08-02 |
US20190338174A1 (en) | 2019-11-07 |
JP2020513046A (ja) | 2020-04-30 |
WO2018156678A1 (en) | 2018-08-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP3302749B1 (en) | Multilayer media bed filter with improved backwash | |
CN110740799B (zh) | 过滤膜模块及过滤处理方法 | |
JP7163928B2 (ja) | 研磨スラリーを製造する方法 | |
CN102176952B (zh) | 凝聚沉淀处理方法 | |
EP3191411B1 (en) | Measurement and treatment of fluid streams | |
JP2007223007A (ja) | シリコン含有排水の処理方法及び装置 | |
KR101409425B1 (ko) | SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치 및 방법 | |
JP6616593B2 (ja) | 膜の洗浄方法 | |
JP4763670B2 (ja) | ろ過装置 | |
RU2773574C1 (ru) | Способ регенерации отработанных технологических жидкостей и устройство для регенерации отработанных технологических жидкостей | |
CN111617535B (zh) | 一种固液过滤分离装置及方法 | |
JP2014151278A (ja) | 砂ろ過装置の洗浄方法 | |
JP7289085B2 (ja) | 軟水化システムおよび軟水化装置 | |
JP5831698B2 (ja) | ろ過装置 | |
JP7305090B2 (ja) | レジスト廃液からの有価金属粉回収方法、及び有価金属粉回収装置 | |
JP7118761B2 (ja) | 微粒子の処理システム | |
US20060006123A1 (en) | Method of regenerating filter media in a filter | |
JP2018205280A (ja) | 充填剤の粒度調整方法及び調整装置並びに液体クロマトグラフィー用カラムの充填方法 | |
US20180345223A1 (en) | Multi-stage filtration system for heterogeneous food mixtures | |
CN115282692A (zh) | 一种磨抛设备研磨液过滤循环方法 | |
JPS62234515A (ja) | プレコ−ト型平行流濾過装置の運転方法 | |
CN118615786A (zh) | 一种白酒过滤方法及用于白酒过滤的自动化系统 | |
AU2019368295A1 (en) | Multilayer media bed filter comprising glass bead micromedia | |
JP2013192982A (ja) | ろ過装置 | |
Gwegwe et al. | REMOVAL OF SUSPENDED SOLIDS FROM CLEAR JUICE BY DEEP BED FILTRATION |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191118 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191017 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20200228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20200228 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210122 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20210423 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20210715 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20210812 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220308 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220428 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220920 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221003 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7163928 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |