KR101409425B1 - SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치 및 방법 - Google Patents

SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치 및 방법 Download PDF

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은태희
여임규
김흥락
이승석
서한석
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재단법인 포항산업과학연구원
주식회사 포스코
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C02F2103/346—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated from industrial activities not provided for in groups C02F2103/12 - C02F2103/32 from semiconductor processing, e.g. waste water from polishing of wafers

Abstract

SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치 및 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, SiC 가공 시 발생하는 SiC 폐슬러리로부터 절삭액과 피절삭재 및 절삭재를 분리하는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치에 있어서, SiC 반도체 웨이퍼 가공 작업 중에 발생한 폐슬러리가 유입되는 유입관과, 상기 폐슬러리가 배출되는 배출관을 갖는 폐슬러리 탱크; 상기 폐슬러리 탱크내의 절삭액을 흡입하여 상기 배출관측으로 배출하는 진공 펌프; 상기 배출관에 설치되고, 상기 폐슬러리에 존재하는 절삭액과 절삭재 및 피절삭재들을 분리하는 여과 필터; 상기 여과 필터에 의하여 분리된 절삭재 및 피절삭재들의 고형분에 포함된 불순물을 열처리하여 제거하기 위한 불순물 열처리부: 및 상기 여과 필터에 의하여 분리된 절삭액을 저장하는 절삭액 탱크를 포함한다.

Description

SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치 및 방법{DEVICE AND METHOD FOR RECYCLING ABRASIVE USING SiC WASTE SLURRY}
본 발명은 SiC 가공 시 발생하는 SiC 폐슬러리로부터 피절삭재 및 절삭재를 분리하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 이미 사용된 폐슬러리 내의 고경도 SiC 및 다이아몬드 입자를 정제하여 연마제로 재사용이 가능한 폐슬러리의 재생에 관한 것이다.
대표적인 반도체 소자 재료로 사용된 Si이 물리적 한계를 보이게 됨에 따라, 차세대 반도체 소자 재료로서 SiC, GaN, AlN 및 ZnO 등의 광대역 반도체 재료가 각광을 받고 있다. 여기서, GaN, AlN 및 ZnO 에 비해 SiC는 열적 안정성이 우수하고, 내산화성이 우수한 특징을 가지고 있다.
또한, SiC는 4.6W/Cm℃ 정도의 우수한 열 전도도를 가지고 있으며, 직경 2인치 이상의 대구경의 기판으로서 생산 가능하다는 장점이 있어, GaN, AlN 및 ZnO 등의 기판에 비해 각광을 받고 있다. 이러한 SiC 결정은 웨이퍼 제조공정에서 잉곳을 자르는 절단 공정인 와이어 소(wire saw) 공정을 비롯하여 래핑(lapping), 그라인딩(grinding), 폴리싱(polishing)의 연마 공정을 통하여 웨이퍼로 완성이 된다. 이 때, 잉곳으로부터 떨어진 SiC 입자 및 와이어 소(wire saw), 다이아몬드 휠(diamond wheel)로부터 떨어진 입자는 절삭액속에 함께 존재하며 폐슬러리로 회수된다.
상기와 같이 회수된 폐슬러리 내의 고형분들은 원심분리 방법으로 액체와 분리되고, 그 중 일부는 추출되어 재활용되기도 한다. 상기 원심분리에 의한 방법으로 폐슬러리를 재활용하는 경우에는 통상 원심분리는 2단계를 걸쳐 이루어지는데, 1차 원심분리 단계에서는 고체의 연마재나 피연마재가 추출되어 회수되고, 2차 원심분리 단계에서는 절삭유를 추출하여 회수한다.
상기와 같은 폐슬러리 속에는 계면활성제나 절삭유를 비롯하여 절삭재인 다이아몬드, 피절삭재인 SiC를 포함하고 있으며, 일정 정도 이상의 점도값을 갖는 경우에는 원심분리가 어려워진다.
따라서, 상기한 제반 문제점을 감안하여 이를 해결하기 위하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 폐슬러리 내에 포함된 입자들을 여과장치를 이용하여 쉽게 용액과 분리하며, 또한, 분리된 용액은 계면활성제 혹은 알코올, 솔벤트류를 이용하여 쉽게 폐액처리를 할 수 있으며, 피절삭재 및 절삭재는 건조와 열처리를 통하여 재활용이 가능한 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치 및 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, SiC 가공 시 발생하는 SiC 폐슬러리로부터 절삭액과 피절삭재 및 절삭재를 분리하는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치에 있어서,
SiC 반도체 웨이퍼 가공 작업 중에 발생한 폐슬러리가 유입되는 유입관과, 상기 폐슬러리가 배출되는 배출관을 갖는 폐슬러리 탱크;
상기 폐슬러리 탱크내의 절삭액을 흡입하여 상기 배출관측으로 배출하는 진공 펌프;
상기 배출관에 설치되고, 상기 폐슬러리에 존재하는 절삭액과 절삭재 및 피절삭재들을 분리하는 여과 필터;
상기 여과 필터에 의하여 분리된 절삭재 및 피절삭재들의 고형분에 포함된 불순물을 열처리하여 제거하기 위한 불순물 열처리부: 및
상기 여과 필터에 의하여 분리된 절삭액을 저장하는 절삭액 탱크를 포함하는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치가 제공될 수 있다.
상기 폐슬러리 탱크에는 상기 폐슬러리의 응집된 입자들을 분산하기 위한 교반기가 설치될 수 있다.
상기 폐슬러리 탱크에는 상기 응집된 입자들을 분산하는 초음파 처리기가 설치될 수 있다.
상기 폐슬러리 탱크에는 상기 폐슬러리 탱크 내에 초순수를 공급하기 위한 초순수 공급관이 구비될 수 있다.
상기 여과 필터는 다수의 기공을 가지며 그 내부가 서로 연결되어 있는 격자 구조를 가질 수 있다.
상기 여과 필터의 재질은 기공 형성이 가능한 세라믹 소재나 폴리머 소재 혹은 금속 소재로 이루어질 수 있다.
상기 절삭액에는 비이온계 계면활성제와, 알코올 또는 솔벤트류가 각각 1~15%, 5~40% 첨가될 수 있다.
상기 폐슬러리 탱크의 하단부에는 침전물을 침전시켜 저장할 수 있는 침전물 저장부를 구비할 수 있다.
상기 유입관과 상기 초순수 공급관은 상기 폐슬러리 탱크의 상부에 설치되고, 상기 배출관은 상기 폐슬러리 탱크의 하부에 설치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, SiC 반도체 웨이퍼 가공 작업 중에 발생한 폐슬러리가 유입관을 통하여 폐슬러리 탱크에 유입되는 유입 단계;
진공펌프를 이용하여 상기 폐슬러리 탱크 내의 용액을 흡입하여 상기 폐슬러리 탱크의 배출관을 통하여 배출하는 배출 단계;
상기 폐슬러리를 여과하여 상기 폐슬러리에 존재하는 절삭액과 절삭재 및 피절삭재를 1차로 분리하는 1차 분리 단계;
상기 1차 분리 단계에서 분리된 절삭액을 오일과 물로 분리하는 절삭액 분리 단계, 및 상기 절삭재 및 피절삭재를 건조한 후 열처리하는 건조 및 열처리 단계를 포함하는 구비하는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 방법이 제공될 수 있다.
상기 절삭액 분리 단계에서 분리된 오일과 물을 저장하여 폐액 처리하는 폐액 처리 단계, 및 상기 건조 및 열처리 단계에서 불순물이 제거된 절삭재 및 피절삭재를 분급하여 재활용하는 분급, 재활용 단계를 포함할 수 있다.
상기 1차 분리 단계와 상기 절삭액 분리 단계 사이에 비이온계 계면활성제와 알코올 혹은 솔벤트류가 각각 첨가되는 첨가 단계를 포함할 수 있다.
상기 첨가 단계에서 비이온계 계면활성제와, 알코올 또는 솔벤트류가 각각 1~15%, 5~40% 첨가될 수 있다.
상기 1차 분리 단계와 상기 건조 및 열처리 단계 사이에 상기 절삭재 및 피절삭재들의 입자에 붙어 있는 계면 활성제 및 불순물들을 제거하기 위하여 상기 절삭재 및 피절삭재를 수세 또는 산세척하는 세척 단계를 포함할 수 있다.
상기 세척 단계에서 산세척은 산도 3~30%가 되도록 질산과 불산을 물과 혼합한 산성용액으로 실시될 수 있다.
본 실시예에 따르면, 여과 분리 공정을 통하여 절삭재 및 피절삭재의 재활용이 가능하며, 공정 비용이 적게 드는 폐액처리도 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치의 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 방법을 나타낸 플로차트이다.
도 3은 폐슬러리 탱크 하부로서 절삭재 및 피절삭재의 입자들을 침전된 상태로 수거하는 상태를 도시한 개략적인 구성도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 설명한다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 이해할 수 있는 바와 같이, 후술하는 실시예는 본 발명의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 형태로 변형될 수 있다. 가능한 한 동일하거나 유사한 부분은 도면에서 동일한 도면부호를 사용하여 나타낸다.
이하에서 사용되는 전문용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지 않는다. 여기서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다. 명세서에서 사용되는 “포함하는” 의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.
이하에서 사용되는 기술용어 및 과학용어를 포함하는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 일반적으로 이해하는 의미와 동일한 의미를 가진다. 사전에 정의된 용어들은 관련기술문헌과 현재 개시된 내용에 부합하는 의미를 가지는 것으로 추가 해석되고, 정의되지 않는 한 이상적이거나 매우 공식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치의 개략적인 구성도이다.
본 발명에 따른 따른 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치는 SiC 반도체 웨이퍼 가공 작업 중에 회수되는 절삭재(예컨대, 다이아몬드, B4C), 피절삭재(예컨대, SiC 분말), 절삭액(예컨대, PEG 절삭유)을 포함하는 폐슬러리에서 추출한 고형분들을 재활용 및 폐액을 처리하기 위한 장치이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 폐슬러리 처리 장치는 폐슬러리 탱크(100), 여과 필터(200), 진공펌프(300), 절삭액 탱크(400), 침전물 저장부(500)를 기본적으로 포함한다.
상기 폐슬러리 탱크(100)에는 SiC 반도체 웨이퍼 가공 작업 중에 발생한 폐슬러리(10)가 유입되고, 상기 폐슬러리 탱크(100)에는 설치된 교반기(110)에 의하여 상기 폐슬러리의 응집된 입자들이 분산된다.
상기 폐슬러리 탱크(100)에는 응집된 입자들을 보다 용이하게 분산할 수 있는 초음파 처리기(120)가 설치될 수 있다. 캐비테이션(cavitation) 현상은 상기 초음파 처리기에 의하여 초음파가 용액 중으로 전파될 때 초음파의 큰 압력 변화에 의해 미세기포군이 생성되고 소멸되는 현상으로, 이 미세기포군에 의해 SiC에 응집되어 다이아몬드 입자가 분리된다.
상기 폐슬러리 탱크(100)는 폐슬러리(10)의 유입을 위한 유입관(130)과 폐슬러리의 배출을 위한 배출관(140)이 마련되어 있다. 상기 폐슬러리 탱크(100)에는 상기 폐슬러리 탱크(100), 상기 유입관(130), 상기 배출관(140)을 세척할 수 있도록 초순수를 공급하기 위한 초순수 공급관(150)이 구비된다. 상기 초순수 공급관(150)에는 상기 여과 필터(200)를 세척할 수 있도록 상기 배출관(140)에 초순수를 공급하는 초순수 공급관(160)이 연결될 수 있다.
상기 초순수 공급관(150, 160)에는 이의 개폐를 제어하기 위한 밸브(151, 161)이 각각 설치될 수 있다.
상기 유입관(130)과 상기 초순수 공급관(150)은 상기 폐슬러리 탱크(100)의 상부에 설치되고, 상기 배출관(140)은 상기 폐슬러리 탱크(100)의 하부에 설치될 수 있다.
상기 여과 필터(200)는 상기 배출관(140)에 설치되고, 상기 폐슬러리에 존재하는 절삭액(20)과 절삭재 및 피절삭재들(30)을 분리하는 역할을 한다. 상기 여과 필터(200)는 다수의 기공을 가지며 그 내부가 서로 연결되어 있는 격자 구조로서, 상기 여과 필터(200)의 재질은 기공 형성이 가능한 세라믹 소재나 폴리머 소재 혹은 금속 소재로 이루어질 수 있으나, 굳이 이 소재들에만 한정되지 않는다.
상기 진공 펌프(300)는 상기 폐슬러리 탱크(100)내의 절삭액을 상기 배출관(140)측으로 흡입 배출하기 위한 것이다. 또한, 상기 배출관(140)에는 상기 배출관(140)의 개폐를 위한 밸브(141)가 설치되고, 상기 폐슬러리 탱크(100) 아래의 배출관(140)에 설치되어 있는 밸브(160)을 열면, 상기 진공 펌프(300)에 의하여 흡입된 절삭액은 상기 여과 필터(200)를 거쳐 절삭액 탱크(400)로 공급되어 상기 절삭액 탱크(400)에 저장된다.
상기 여과 필터(200)를 거쳐 상기 절삭액 탱크(400)에 저장된 절삭액은 오일과 물로 분리된다. 상기 절삭액에는 절삭액을 오일과 물로 분리하기 위하여, 비이온계 계면활성제와 알코올 혹은 솔벤트류가 각각 1~15%, 5~40% 정도 첨가되는 것이 바람직하며, 상기 절삭액으로부터 분리된 오일과 물은 폐액처리를 거쳐 처분된다.
또한, 상기 여과 필터(200)에 의하여 분리된 절삭재 및 피절삭재들의 고형분에 포함된 불순물을 열처리하여 제거하기 위한 불순물 열처리부(미도시)가 구비될 수 있다.
상기 진공 펌프(300)의 용액 흡입으로 폐슬러리 내에 존재하는 작은 입자는, 상기 여과 필터(200)의 기공 속으로 유입될 수도 있으나, 격자 구조의 특성상 입구와 출구간 통로가 직선이 아니므로 출구측 기공으로 통과하지 못하고 상기 여과 필터(200)의 내부에 잔존하게 된다.
이후, 많은 양의 입자들이 상기 여과 필터에 걸려 상기 진공 펌프(300)의 작동이 원활하지 않으면 상기 여과 필터(200)를 분리하여 필터에 붙어있는 고형분들을 제거하여 다시 사용할 수 있다.
좀더 효율적으로 절삭재 및 피절삭재를 회수하기 위하여 도 3에 표시된 바와 같이 폐슬러리 탱크(100)의 하단부에는 침전물을 침전시켜 저장할 수 있는 침전물 저장부(500)를 구비할 수 있다. 상기 침전물 저장부(500)에 저장된 침전물은 폐슬러리가 모두 빠진 뒤에 회수될 수 있다.
상기 침전물 저장부(500)는 상기 침전물을 용이하게 침전시켜 저장할 수 있도록 상기 배출관(140)을 중심으로 양단부쪽으로 일정한 각도 경사지게 제공될 수 있다.
또한, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 방법을 나타낸 플로차트이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 SiC 폐슬러리의 피절삭재 절삭재의 분리 방법은, SiC 반도체 웨이퍼 가공 작업 중에 발생한 폐슬러리(10)가 유입관(130)을 통하여 폐슬러리 탱크(100)에 유입되는 유입 단계(S10);
진공펌프(300)를 이용하여 상기 폐슬러리 탱크(100) 내의 용액을 흡입하여 상기 폐슬러리 탱크(100)의 배출관(140)을 통하여 배출하는 배출 단계(S20);
상기 폐슬러리(10)를 여과하여 상기 폐슬러리에 존재하는 절삭액(20)과 절삭재 및 피절삭재(30)를 1차로 분리하는 1차 분리 단계(S30);
상기 1차 분리 단계에서 분리된 절삭액을 오일과 물로 분리하는 절삭액 분리 단계(40), 및 상기 절삭재 및 피절삭재를 건조한 후 열처리하는 건조 및 열처리 단계(S50)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 절삭액 분리 단계(S40)에서 분리된 오일과 물을 저장하여 폐액 처리하는 폐액 처리 단계(S60), 및 상기 건조 및 열처리 단계(S50)에서 불순물이 제거된 절삭재 및 피절삭재를 분급하여 재활용하는 분급, 재활용 단계(S70)를 포함할 수 있다.
상기 1차 분리 단계(S30)와 상기 절삭액 분리 단계(S40) 사이에 비이온계 계면활성제와 알코올 혹은 솔벤트류가 각각 첨가되는 첨가 단계(S41)를 포함할 수 있다.
상기 첨가 단계(S41)에서 비이온계 계면활성제와, 알코올 또는 솔벤트류가 각각 1~15%, 5~40% 첨가될 수 있다.
또한, 상기 1차 분리 단계(S30)와 상기 건조 및 열처리 단계(S50) 사이에 상기 절삭재 및 피절삭재들의 입자에 붙어 있는 계면 활성제 및 불순물들을 제거하기 위하여 상기 절삭재 및 피절삭재를 수세 또는 산세척하는 세척 단계(S51)를 포함할 수 있다.
상기 세척 단계(S51)에서 산세척은 산도 3~30%가 되도록 질산과 불산을 물과 혼합한 산성용액으로 실시될 수 있다.
이에 따라, SiC 반도체 웨이퍼 가공 작업 중에 발생한 폐슬러리(10)는 여과 필터(30)를 거쳐 여과된 후, 절삭액(20)과 피절삭액 및 절삭재(30)로 분리된다.
상기 절삭액은 첨가되는 1~15%의 비이온계 계면활성제와 5~40%의 알코올 혹은 솔벤트류에 의하여 오일과 물로 분리된 후 폐액처리된다.
또한, 상기 절삭재와 피절삭재는 수세 또는 산세척을 행한 후 건조되고, 500℃에서 열처리된 후, 분급 재활용된다.
100: 폐슬러리 탱크 200: 교반기
110: 교반기 120: 초음파 처리기
130: 유입관 140: 배출관
150: 초순수 공급관 200: 여과 필터
300: 진공펌프 400: 절삭액 탱크
500: 침전물 저장부

Claims (15)

  1. SiC 가공 시 발생하는 SiC 폐슬러리로부터 절삭액과 피절삭재 및 절삭재를 분리하는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치에 있어서,
    SiC 반도체 웨이퍼 가공 작업 중에 발생한 폐슬러리가 유입되는 유입관과, 상기 폐슬러리가 배출되는 배출관을 갖는 폐슬러리 탱크;
    상기 폐슬러리 탱크내의 절삭액을 흡입하여 상기 배출관측으로 배출하는 진공 펌프;
    상기 배출관에 설치되고, 상기 폐슬러리에 존재하는 절삭액과 절삭재 및 피절삭재들을 1차로 분리하는 여과 필터;
    상기 여과 필터에 의하여 분리된 절삭재 및 피절삭재들의 고형분에 포함된 불순물을 열처리하여 제거하기 위한 불순물 열처리부: 및
    상기 여과 필터에 의하여 분리된 절삭액을 저장하는 절삭액 탱크
    를 포함하는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 폐슬러리 탱크에는 상기 폐슬러리의 응집된 입자들을 분산하기 위한 교반기가 설치되는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 폐슬러리 탱크에는 상기 응집된 입자들을 분산하는 초음파 처리기가 설치되는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 폐슬러리 탱크에는 상기 폐슬러리 탱크 내에 초순수를 공급하기 위한 초순수 공급관이 구비되는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 여과 필터는 다수의 기공을 가지며 그 내부가 서로 연결되어 있는 격자 구조를 갖는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 여과 필터의 재질은 기공 형성이 가능한 세라믹 소재나 폴리머 소재 혹은 금속 소재로 이루어지는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 절삭액에는 비이온계 계면활성제와, 알코올 또는 솔벤트류가 각각 1~15%, 5~40% 첨가되는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 폐슬러리 탱크의 하단부에는 침전물을 침전시켜 저장할 수 있는 침전물 저장부를 구비하는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치.
  9. 제4항에 있어서,
    상기 유입관과 상기 초순수 공급관은 상기 폐슬러리 탱크의 상부에 설치되고, 상기 배출관은 상기 폐슬러리 탱크의 하부에 설치되는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치.
  10. SiC 반도체 웨이퍼 가공 작업 중에 발생한 폐슬러리가 유입관을 통하여 폐슬러리 탱크에 유입되는 유입 단계;
    진공펌프를 이용하여 상기 폐슬러리 탱크 내의 용액을 흡입하여 상기 폐슬러리 탱크의 배출관을 통하여 배출하는 배출 단계;
    상기 폐슬러리를 여과하여 상기 폐슬러리에 존재하는 절삭액과 절삭재 및 피절삭재를 1차로 분리하는 1차 분리 단계;
    상기 1차 분리 단계에서 분리된 절삭액을 오일과 물로 분리하는 절삭액 분리 단계, 및 상기 절삭재 및 피절삭재를 건조한 후 열처리하는 건조 및 열처리 단계
    를 포함하는 구비하는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 절삭액 분리 단계에서 분리된 오일과 물을 저장하여 폐액 처리하는 폐액 처리 단계, 및 상기 건조 및 열처리 단계에서 불순물이 제거된 절삭재 및 피절삭재를 분급하여 재활용하는 분급, 재활용 단계를 포함하는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 방법.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서,
    상기 1차 분리 단계와 상기 절삭액 분리 단계 사이에 비이온계 계면활성제와 알코올 혹은 솔벤트류가 각각 첨가되는 첨가 단계를 포함하는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 첨가 단계에서 비이온계 계면활성제와, 알코올 또는 솔벤트류가 각각 1~15%, 5~40% 첨가되는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 방법.
  14. 제10항 또는 제11항에 있어서,
    상기 1차 분리 단계와 상기 건조 및 열처리 단계 사이에 상기 절삭재 및 피절삭재들의 입자에 붙어 있는 계면 활성제 및 불순물들을 제거하기 위하여 상기 절삭재 및 피절삭재를 수세 또는 산세척하는 세척 단계를 포함하는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 세척 단계에서 산세척은 산도 3~30%가 되도록 질산과 불산을 물과 혼합한 산성용액으로 실시되는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 방법.
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