CN109553104A - 研磨废浆中碳化硅的回收方法 - Google Patents
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Abstract
本发明的研磨废浆中碳化硅的回收方法，包括以下步骤：(1)加入水将研磨废浆稀释；(2)分离研磨废桨中的固体及液体，该固体包括硅粉颗粒及碳化硅颗粒；(3)移除硅粉颗粒和液体，保留碳化硅颗粒；(4)将该碳化硅颗粒加入至碱性溶液中浸泡；以及(5)加入酸性溶液去除残留的碱性溶液得到纯化后的碳化硅。本发明可有效回收研磨废浆中的碳化硅，从而将其循环利用，防止环境污染。
Description
技术领域
本发明涉及研磨废液处理，尤其涉及一种研磨废浆中碳化硅的回收方法。
背景技术
在硅晶圆被切割、研磨的过程中，使用过后的研磨液，会夹带着切削时所产生的硅粉碎屑、杂质与被磨耗的碳化硅，不断地排出切割区外，进而成为粒子浓度与浊度极高的浆状废油泥。以往，厂商对于这些废油泥只能以废弃物方式来处理，或是以重油进行焚烧后将灰渣掩埋。但是，仍需要支出高昂的处理费用，且废油泥如果以焚化方式处理，会产生大量的二氧化碳，不利于环保。
因此，亟待提供一种研磨废浆中碳化硅的回收方法，以将研磨废桨回收利用。
发明内容
本发明的目的在于提供一种研磨废浆中碳化硅的回收方法，其可有效回收研磨废浆中的碳化硅，从而将其循环利用。
为实现上述目的，本发明的研磨废浆中碳化硅的回收方法，包括以下步骤：
(1)加入水将研磨废浆稀释；
(2)分离研磨废桨中的固体及液体，该固体包括硅粉颗粒及碳化硅颗粒；
(3)移除硅粉颗粒和液体，保留碳化硅颗粒；
(4)将该碳化硅颗粒加入至碱性溶液中浸泡；以及
(5)加入酸性溶液去除残留的碱性溶液得到纯化后的碳化硅。
与现有技术相比，本发明的研磨废浆中碳化硅的回收方法简单、成本低廉，而且回收的碳化硅纯度高，可再次添加于硅晶块切削液、研磨液中作为研磨材，从而循环利用避免废液所造成的环境污染，具有较好的经济价值。
较佳地，步骤(2)中采用旋液分离器或过滤膜分离研磨废桨中的固体及液体
较佳地，步骤(3)中采用离心方式将硅粉颗粒和液体移除。
较佳地，步骤(4)中的碱性溶液为氢氧化钠。
较佳地，步骤(5)中的酸性溶液为草酸、硝酸、盐酸或硫酸。
附图说明
图1为本发明研磨废浆中碳化硅的回收方法的简化流程图。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明的不锈钢工件的清洗方法作进一步说明，但不因此限制本发明。
如图1所示，本发明的研磨废浆中碳化硅的回收方法的一个实施例依次包括以下步骤：
101，稀释步骤：加入水将研磨废浆稀释；
102，分离步骤：分离研磨废桨中的固体及液体，该固体包括硅粉颗粒及碳化硅颗粒；
103，移除步骤：移除硅粉颗粒和液体，保留碳化硅颗粒；
104，碱洗步骤：将该碳化硅颗粒加入至碱性溶液中浸泡；以及
105，酸洗步骤：加入酸性溶液去除残留的碱性溶液得到纯化后的碳化硅。
具体地，首先，将废弃的研磨液置入一处理槽中，该研磨液是自硅晶圆切割研磨后所产生的浆状废弃物，并且含有硅粉、碳化硅以及一系列的金属氧化物颗粒所构成的残留研磨浆液。
接着，在稀释步骤中，向该处理槽内加入去离子水，将该研磨废桨混合稀释，形成混合物。
继而，在分离步骤中，采用旋液分离器或过滤膜分离研磨废桨混合物中的固体及液体，该固体包含硅粉颗粒及碳化硅颗粒。
通过分离后获得硅粉颗粒及碳化硅颗粒，用水混合后，采用离心方式将硅粉颗粒和液体移除，从而保留碳化硅颗粒为主的固体。
在碱洗步骤中，将该碳化硅颗粒用碱性溶液如氢氧化钠溶液浸泡，并将溶液的pH值控制在9-10之间，从而去除碳化硅颗粒表面有可能存在的金属氧化物颗粒。
在酸洗步骤中，将碳化硅颗粒加入酸性溶液，如草酸、硝酸、盐酸或硫酸溶液中浸泡，从而将前次碱洗步骤的碱液中和，从而去除碱液，得到纯化后的碳化硅。当然，也可采用大量的清水冲洗碳化硅颗粒，接着将残留在碳化硅颗粒表面的水通过烘干步骤去除，即得到纯化后的碳化硅。
较佳地，在烘干之后还包括粉碎步骤，将结块的碳化硅粉碎成粉粒。
本发明的研磨废浆中碳化硅的回收方法简单、成本低廉，而且回收的碳化硅纯度高，可再次添加于硅晶块切削液、研磨液中作为研磨材，从而循环利用避免废液所造成的环境污染，具有较好的经济价值。
以上所揭露的仅为本发明的较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。
Claims (5)
1.一种研磨废浆中碳化硅的回收方法，包括以下步骤：
(1)加入水将研磨废浆稀释；
(2)分离研磨废桨中的固体及液体，该固体包括硅粉颗粒及碳化硅颗粒；
(3)移除硅粉颗粒和液体，保留碳化硅颗粒；
(4)将该碳化硅颗粒加入至碱性溶液中浸泡；以及
(5)加入酸性溶液去除残留的碱性溶液得到纯化后的碳化硅。
2.如权利要求1所述的研磨废浆中碳化硅的回收方法，其特征在于：步骤(2)中采用旋液分离器或过滤膜分离研磨废桨中的固体及液体。
3.如权利要求1所述的研磨废浆中碳化硅的回收方法，其特征在于：步骤(3)中采用离心方式将硅粉颗粒和液体移除。
4.如权利要求1所述的研磨废浆中碳化硅的回收方法，其特征在于：步骤(4)中的碱性溶液为氢氧化钠。
5.如权利要求1所述的研磨废浆中碳化硅的回收方法，其特征在于：步骤(5)中的酸性溶液为草酸、硝酸、盐酸或硫酸。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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