JP7151017B2 - 温度測定器 - Google Patents
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Description
2 温度測定器
W ワーク
11 プロセスチューブ
11A 開口端
12 ボート
13 開閉蓋
14 ヒータ
15 昇降機構
20A、20B 熱電対素線
20C 電気絶縁材
21 第1保護管
21a 先端部
21b 基端部
21c 周面
21d 先端面
22 第2保護管
22b 基端部
23 第3保護管
23a 先端部
24 気体導入部
Dt 長手方向
Gn 気体
Pt 測温接点
211 貫通孔
211a 第1貫通孔
211b 第2貫通孔
231、231A、231B 短管
231a、231b 開口端部
232 開口部
232a、232b テーパ面
251 第1通気口
252 第2通気口
253 通気口
Claims (5)
- 熱電対素線と、
前記熱電対素線を被覆する電気絶縁材(20C)と、
前記熱電対素線及び前記電気絶縁材を包囲する第1保護管(21)と、
前記第1保護管を包囲する第2保護管(22)と、
を備え、
前記第1保護管に、貫通孔(211)が設けられており、
前記貫通孔(211)は、前記第1保護管の長手方向の位置が異なる位置に設けられた複数の貫通孔を含み、
前記第2保護管(22)の基端部に、前記第2保護管(22)内に発生した物質を排出するための通気口(253)が設けられている、
温度測定器。 - 前記複数の貫通孔(211)は、前記第1保護管の先端側に設けられている第1貫通孔(211a)と、前記第1保護管の基端側に設けられている第2貫通孔(211b)とを含む、請求項1に記載の温度測定器。
- 前記貫通孔(211)は、前記第1貫通孔(211a)と前記第2貫通孔(211b)の間に設けられた第3貫通孔を含む、請求項2記載の温度測定器。
- 前記第3貫通孔が複数設けられる請求項3に記載の温度測定器。
- 前記第1保護管(21)と前記第2保護管(22)との間にこれらが接触しないように前記第1保護管(21)の先端部と基端部に外装され、これらの先端部と基端部以外が開口した開口部とする第3保護管(23)を備えることを特徴とする、請求項1~4のいずれかに記載の温度測定器。
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