JP6452606B2 - 温度計 - Google Patents
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- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 468
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 157
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 125
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 125
- 229910021397 glassy carbon Inorganic materials 0.000 claims description 96
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 68
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 35
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 34
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 34
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 34
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 33
- 239000002296 pyrolytic carbon Substances 0.000 claims description 29
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 23
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 22
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 45
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 33
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 33
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 32
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 26
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 description 24
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N Beryllium oxide Chemical compound O=[Be] LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 16
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N Calcium oxide Chemical compound [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(iv) oxide Chemical compound O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N ZrO Inorganic materials [Zr]=O GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 6
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 4
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- CPTRSPMWMMISFA-UHFFFAOYSA-N [Rh].[Ir].[Ir] Chemical compound [Rh].[Ir].[Ir] CPTRSPMWMMISFA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N rhenium atom Chemical compound [Re] WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DECCZIUVGMLHKQ-UHFFFAOYSA-N rhenium tungsten Chemical compound [W].[Re] DECCZIUVGMLHKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/02—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K1/00—Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
- G01K1/08—Protective devices, e.g. casings
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Description
本実施例では、第1実施形態に係る温度計を用いた。当該温度計を構成する黒鉛(第2保護管)/Ir(第1保護管)/HfO2(絶縁管)/Ir及びIr−40wt%Rh(素線)の熱電対を、黒鉛を炉材とする炉内で、Siを主成分とする融液に対して20mm挿入し、Ar雰囲気において1900℃でこの融液温度測定を実施した。なお、黒鉛(第2保護管)は外径が10mm、肉厚が1.75mm、Ir(第1保護管)は外径4.8mm、肉厚が0.5mm、HfO2(絶縁管)は外径3.2mm、内径0.9mmの2穴管、Ir及びIr−40wt%Rh(素線)は線径がいずれも0.5mmである。また、黒鉛(第2保護管)は内外が隔離されておらず、内部雰囲気は炉内雰囲気と同じであった。加えて、Ir(第1保護管)内部はArを充填し、外部と隔離した。上記の条件において、温度測定を開始し、63.7時間経過したところで、熱電対において熱起電力異常が生じたため、測定を中断した。この熱電対は、測温可能時間の目安となる50時間を越えても使用することができた。この熱電対を取り外し、部材の状態を確認したところ、Ir(第1保護管)の先端から20mm程度において、表面の荒れを確認した。
本実施例では、第1実施形態に係る温度計を用いた。当該温度計を構成するガラス状炭素(第2保護管)/Ir(第1保護管)/HfO2(絶縁管)/Ir及びIr−40wt%Rh(素線)の熱電対を、黒鉛を炉材とする炉内で、Siを主成分とする融液に対して20mm挿入し、Ar雰囲気において1900℃でこの融液温度測定を実施した。なお、ガラス状炭素(第2保護管)は外径が10mm、肉厚が1.75mm、Ir(第1保護管)は外径4.8mm、肉厚が0.5mm、HfO2(絶縁管)は外径3.2mm、内径0.9mmの2穴管、Ir及びIr−40wt%Rh(素線)は線径がいずれも0.5mmである。また、ガラス状炭素(第2保護管)は内外が隔離されておらず、内部雰囲気は炉内雰囲気と同じであった。加えて、Ir(第1保護管)内部はArを充填し、外部と隔離した。上記の条件において温度測定を開始し、100時間経過したところで温度測定を終了した。その間、熱起電力の異常は確認されなかった。また、測定後の外観観察においても、Ir(第1保護管)先端部から20mmの範囲で若干の変色(薄茶褐色)が見られたものの、その他の異常は確認されなかった。
本実施例では、第1実施形態に係る温度計を用いた。当該温度計を構成する熱分解炭素被覆黒鉛(第2保護管)/Ir(第1保護管)/HfO2(絶縁管)/Ir及びIr−40wt%Rh(素線)の熱電対を、黒鉛を炉材とする炉内で、Siを主成分とする融液に対して20mm挿入し、Ar雰囲気において1900℃でこの融液の温度測定を実施した。なお、熱分解炭素被覆黒鉛(第2保護管)は外径が10mm、肉厚が1.75mm、Ir(第1保護管)は外径4.8mm、肉厚が0.5mm、HfO2(絶縁管)は外径3.2mm、内径0.9mmの2穴管、Ir及びIr−40wt%Rh(素線)は線径がいずれも0.5mmである。また、熱分解炭素被覆黒鉛(第2保護管)は内外が隔離されておらず、内部雰囲気は炉内雰囲気と同じであった。加えて、Ir(第1保護管)内部はArを充填し、外部と隔離した。上記の条件において温度測定を開始し、100時間経過したところで温度測定を終了した。その間、熱起電力の異常は確認されなかった。また、測定後の外観観察においても、Ir(第1保護管)先端部から20mmの範囲で若干の変色(薄茶褐色)及び表面の荒れが見られたものの、その他の異常は確認されなかった。
本実施例では、第1実施形態に係る温度計を用いた。当該温度計を構成するガラス状炭素被覆黒鉛(第2保護管)/Ir(第1保護管)/HfO2(絶縁管)/Ir及びIr−40wt%Rh(素線)の熱電対を、黒鉛を炉材とする炉内で、Siを主成分とする融液に対して20mm挿入し、Ar雰囲気において1900℃でこの融液の温度測定を実施した。なお、ガラス状炭素被覆黒鉛(第2保護管)は外径が10mm、肉厚が1.75mm、Ir(第1保護管)は外径4.8mm、肉厚が0.5mm、HfO2(絶縁管)は外径3.2mm、内径0.9mmの2穴管、Ir及びIr−40wt%Rh(素線)は線径がいずれも0.5mmである。また、ガラス状炭素被覆黒鉛(第2保護管)は内外が隔離されておらず、内部雰囲気は炉内雰囲気と同じであった。加えて、Ir(第1保護管)内部はArを充填し、外部と隔離した。上記の条件において温度測定を開始し、100時間経過したところで温度測定を終了した。その間、熱起電力の異常は確認されなかった。また、測定後の外観観察においても、Ir(第1保護管)先端部から20mmの範囲で若干の変色(薄茶褐色)及び表面の荒れが見られたものの、その他の異常は確認されなかった。
本実施例では、第1実施形態に係る温度計を用いた。当該温度計を構成するBN(第2保護管)/Ir(第1保護管)/HfO2(絶縁管)/Ir及びIr−40wt%Rh(素線)の熱電対を、黒鉛を炉材とする炉内で、Siを主成分とする融液に対して20mm挿入し、Ar雰囲気において1900℃でこの融液の温度測定を実施した。なお、BN(第2保護管)は外径が10mm、肉厚が1mm、Ir(第1保護管)は外径4.8mm、肉厚が0.5mm、HfO2(絶縁管)は外径3.2mm、内径0.9mmの2穴管、Ir及びIr−40wt%Rh(素線)は線径がいずれも0.5mmである。また、BN(第2保護管)は内外が隔離されておらず、内部雰囲気は炉内雰囲気と同じであった。加えて、Ir(第1保護管)内部はArを充填し、外部と隔離した。上記の条件において温度測定を開始し、100時間経過したところで温度測定を終了した。その間、熱起電力の異常は確認されなかった。また、測定後の外観観察においても、特に異常は確認されなかった。
本実施例では、第1実施形態に係る温度計を用いた。当該温度計を構成するAl2O3(第2保護管)/Ir(第1保護管)/HfO2(絶縁管)/Ir及びIr−40wt%Rh(素線)の熱電対を、黒鉛を炉材とする炉内で、Siを主成分とする融液に対して20mm挿入し、Ar雰囲気において1800℃でこの融液の温度測定を実施した。なお、Al2O3(第2保護管)は外径が10mm、肉厚が2mm、Ir(第1保護管)は外径4.8mm、肉厚が0.5mm、HfO2(絶縁管)は外径3.2mm、内径0.9mmの2穴管、Ir及びIr−40wt%Rh(素線)は線径がいずれも0.5mmである。また、Al2O3(第2保護管)は内外が隔離されておらず、内部雰囲気は炉内雰囲気と同じであった。加えて、Ir(第1保護管)内部はArを充填し、外部と隔離した。上記の条件において温度測定を開始し、100時間経過したところで温度測定を終了した。その間、熱起電力の異常は確認されなかった。また、測定後の外観観察においても、Ir(第1保護管)先端部から20mmの範囲で若干の変色(薄茶褐色)及び表面の荒れが見られたものの、その他の異常は確認されなかった。
本実施例では、第2実施形態に係る温度計を用いた。当該温度計を構成する黒鉛(第2保護管)/ガラス状炭素(第3保護管)/Ir(第1保護管)/HfO2(絶縁管)/Ir及びIr−40wt%Rh(素線)の熱電対を、黒鉛を炉材とする炉内で、Siを主成分とする融液に対して20mm挿入し、Ar雰囲気において1900℃でこの融液の温度測定を実施した。なお、黒鉛(第2保護管)は外径が30mm、肉厚が10mm、ガラス状炭素(第3保護管)は外径が8mm、肉厚が1mm、Ir(第1保護管)は外径4.8mm、肉厚が0.5mm、HfO2(絶縁管)は外径3.2mm、内径0.9mmの2穴管、Ir及びIr−40wt%Rh(素線)は線径がいずれも0.5mmである。また、黒鉛(第2保護管)及びガラス状炭素(第3保護管)は内外が隔離されておらず、内部雰囲気は炉内雰囲気と同じであった。加えて、Ir(第1保護管)内部はArを充填し、外部と隔離した。上記の条件において温度測定を開始し、100時間経過したところで温度測定を終了した。その間、熱起電力の異常は確認されなかった。また、測定後の外観観察においても、特に異常は確認されなかった。
本実施例では、第2実施形態に係る温度計を用いた。当該温度計を構成する黒鉛(第2保護管)/熱分解炭素被覆黒鉛(第3保護管)/Ir(第1保護管)/HfO2(絶縁管)/Ir及びIr−40wt%Rh(素線)の熱電対を、黒鉛を炉材とする炉内で、Siを主成分とする融液に対して20mm挿入し、Ar雰囲気において1900℃でこの融液の温度測定を実施した。なお、黒鉛(第2保護管)は外径が30mm、肉厚が10mm、熱分解炭素被覆黒鉛(第3保護管)は外径が8mm、肉厚が1mm、Ir(第1保護管)は外径4.8mm、肉厚が0.5mm、HfO2(絶縁管)は外径3.2mm、内径0.9mmの2穴管、Ir及びIr−40wt%Rh(素線)は線径がいずれも0.5mmである。また、黒鉛(第2保護管)及び熱分解炭素被覆黒鉛(第3保護管)は内外が隔離されておらず、内部雰囲気は炉内雰囲気と同じであった。加えて、Ir(第1保護管)内部はArを充填し、外部と隔離した。上記の条件において温度測定を開始し、100時間経過したところで温度測定を終了した。その間、熱起電力の異常は確認されなかった。また、測定後の外観観察においても、Ir(第1保護管)先端部から20mmの範囲で若干の変色(薄茶褐色)が見られたものの、その他の異常は確認されなかった。
本実施例では、第2実施形態に係る温度計を用いた。当該温度計を構成する黒鉛(第2保護管)/ガラス状炭素被覆黒鉛(第3保護管)/Ir(第1保護管)/HfO2(絶縁管)/Ir及びIr−40wt%Rh(素線)の熱電対を、黒鉛を炉材とする炉内で、Siを主成分とする融液に対して20mm挿入し、Ar雰囲気において1900℃でこの融液の温度測定を実施した。なお、黒鉛(第2保護管)は外径が30mm、肉厚が10mm、ガラス状炭素被覆黒鉛(第3保護管)は外径が8mm、肉厚が1mm、Ir(第1保護管)は外径4.8mm、肉厚が0.5mm、HfO2(絶縁管)は外径3.2mm、内径0.9mmの2穴管、Ir及びIr−40wt%Rh(素線)は線径がいずれも0.5mmである。また、黒鉛(第2保護管)及びガラス状炭素被覆黒鉛(第3保護管)は内外が隔離されておらず、内部雰囲気は炉内雰囲気と同じであった。加えて、Ir(第1保護管)内部はArを充填し、外部と隔離した。上記の条件において温度測定を開始し、100時間経過したところで温度測定を終了した。その間、熱起電力の異常は確認されなかった。また、測定後の外観観察においても、Ir(第1保護管)先端部から20mmの範囲で若干の変色(薄茶褐色)が見られたものの、その他の異常は確認されなかった。
本実施例では、第2実施形態に係る温度計を用いた。当該温度計を構成する黒鉛(第2保護管)/BN(第3保護管)/Ir(第1保護管)/HfO2(絶縁管)/Ir及びIr−40wt%Rh(素線)の熱電対を、黒鉛を炉材とする炉内で、Siを主成分とする融液に対して20mm挿入し、Ar雰囲気において1900℃でこの融液の温度測定を実施した。なお、黒鉛(第2保護管)は外径が30mm、肉厚が10mm、BN(第3保護管)は外径が8mm、肉厚が0.8mm、Ir(第1保護管)は外径4.8mm、肉厚が0.5mm、HfO2(絶縁管)は外径3.2mm、内径0.9mmの2穴管、Ir及びIr−40wt%Rh(素線)は線径がいずれも0.5mmである。また、黒鉛(第2保護管)及び熱分解炭素被覆黒鉛(第3保護管)は内外が隔離されておらず、内部雰囲気は炉内雰囲気と同じであった。加えて、Ir(第1保護管)内部はArを充填し、外部と隔離した。上記の条件において温度測定を開始し、100時間経過したところで温度測定を終了した。その間、熱起電力の異常は確認されなかった。また、測定後の外観観察においても、特に異常は確認されなかった。
本実施例では、第1実施形態に係る温度計を用いた。当該温度計を構成するガラス状炭素(第2保護管)/Mo(第1保護管)/HfO2(絶縁管)/Ir及びIr−40wt%Rh(素線)の熱電対を、黒鉛を炉材とする炉内で、Siを主成分とする融液に対して20mm挿入し、Ar雰囲気において1900℃でこの融液の温度測定を実施した。なお、ガラス状炭素(第2保護管)は外径が10mm、肉厚が1.75mm、Mo(第1保護管)は外径4.8mm、肉厚が0.5mm、HfO2(絶縁管)は外径3.2mm、内径0.9mmの2穴管、Ir及びIr−40wt%Rh(素線)は線径がいずれも0.5mmである。また、ガラス状炭素(第2保護管)は内外が隔離されておらず、内部雰囲気は炉内雰囲気と同じであった。加えて、Mo(第1保護管)内部はArを充填し、外部と隔離した。上記の条件において温度測定を開始し、100時間経過したところで温度測定を終了した。その間、熱起電力の異常は確認されなかった。また、測定後の外観観察においては、Mo(第1保護管)先端部から20mmの範囲で、ガラス状炭素(第2保護管)に起因する黒色異物の付着が確認されたが、Mo(第1保護管)のリークは確認されなかった。
本実施例では、第1実施形態に係る温度計を用いた。当該温度計を構成するBN(第2保護管)/Mo(第1保護管)/HfO2(絶縁管)/Ir及びIr−40wt%Rh(素線)の熱電対を、黒鉛を炉材とする炉内で、Siを主成分とする融液に対して20mm挿入し、Ar雰囲気において1900℃でこの融液の温度測定を実施した。なお、BN(第2保護管)は外径が10mm、肉厚が1mm、Ir(第1保護管)は外径4.8mm、肉厚が0.5mm、HfO2(絶縁管)は外径3.2mm、内径0.9mmの2穴管、Ir及びIr−40wt%Rh(素線)は線径がいずれも0.5mmである。また、BN(第2保護管)は内外が隔離されておらず、内部雰囲気は炉内雰囲気と同じであった。加えて、Mo(第1保護管)内部はArを充填し、外部と隔離した。上記の条件において温度測定を開始し、100時間経過したところで温度測定を終了した。その間、熱起電力の異常は確認されなかった。また、測定後の外観観察においては、先端部から20mmの範囲で若干の表面の荒れが見られたものの、その他の異常は確認されなかった。
本実施例では、第1実施形態に係る温度計を用いた。当該温度計を構成するガラス状炭素(第2保護管)/Ta(第1保護管)/HfO2(絶縁管)/Ir及びIr−40wt%Rh(素線)の熱電対を、黒鉛を炉材とする炉内で、Siを主成分とする融液に対して20mm挿入し、Ar雰囲気において1900℃でこの融液の温度測定を実施した。なお、ガラス状炭素(第2保護管)は外径が10mm、肉厚が1.75mm、Ta(第1保護管)は外径4.8mm、肉厚が0.5mm、HfO2(絶縁管)は外径3.2mm、内径0.9mmの2穴管、Ir及びIr−40wt%Rh(素線)は線径がいずれも0.5mmである。また、ガラス状炭素(第2保護管)は内外が隔離されておらず、内部雰囲気は炉内雰囲気と同じであった。加えて、Ta(第1保護管)内部はArを充填し、外部と隔離した。上記の条件において温度測定を開始し、100時間経過したところで温度測定を終了した。その間、熱起電力の異常は確認されなかった。また、測定後の外観観察においても、特に異常は確認されなかった。
本実施例では、第1実施形態に係る温度計を用いた。当該温度計を構成するBN(第2保護管)/Ta(第1保護管)/HfO2(絶縁管)/Ir及びIr−40wt%Rh(素線)の熱電対を、黒鉛を炉材とする炉内で、Siを主成分とする融液に対して20mm挿入し、Ar雰囲気において1900℃でこの融液の温度測定を実施した。なお、BN(第2保護管)は外径が10mm、肉厚が1mm、Ir(第1保護管)は外径4.8mm、肉厚が0.5mm、HfO2(絶縁管)は外径3.2mm、内径0.9mmの2穴管、Ir及びIr−40wt%Rh(素線)は線径がいずれも0.5mmである。また、BN(第2保護管)は内外が隔離されておらず、内部雰囲気は炉内雰囲気と同じであった。加えて、Ta(第1保護管)内部はArを充填し、外部と隔離した。上記の条件において温度測定を開始し、100時間経過したところで温度測定を終了した。その間、熱起電力の異常は確認されなかった。また、測定後の外観観察においても、特に異常は確認されなかった。
本実施例では、第1実施形態に係る温度計から第2保護管を外した温度計を用いた。当該温度計を構成するIr(第1保護管)/HfO2(絶縁管)/Ir及びIr−40wt%Rh(素線)の熱電対を、黒鉛を炉材とする炉内で、Siを主成分とする融液に対して20mm挿入し、Ar雰囲気において1900℃でこの融液の温度測定を実施した。なお、Ir(第1保護管)は外径4.8mm、肉厚が0.5mm、HfO2(絶縁管)は外径3.2mm、内径0.9mmの2穴管、Ir及びIr−40wt%Rh(素線)は線径がいずれも0.5mmである。また、Ir(第1保護管)内部はArを充填した。上記の条件において、温度測定を開始し、7.6時間経過したところで、熱電対において熱起電力異常が生じたため、測定を中断した。その後、熱電対を取り外し、部材の状態を確認したところ、Ir(第1保護管)の先端から20mm程度において、表面の荒れを確認した。
本実施例では、第1実施形態に係る温度計から第2保護管を外した温度計を用いた。当該温度計を構成するIr(第1保護管)/HfO2(絶縁管)/Ir及びIr−40wt%Rh(素線)の熱電対を、黒鉛を炉材とする炉内で、Siを主成分とする融液に対して20mm挿入し、Ar雰囲気において1800℃でこの融液の温度測定を実施した。なお、Ir(第1保護管)は外径4.8mm、肉厚が0.5mm、HfO2(絶縁管)は外径3.2mm、内径0.9mmの2穴管、Ir及びIr−40wt%Rh(素線)は線径がいずれも0.5mmである。また、Ir(第1保護管)内部はArを充填した。上記の条件において、温度測定を開始し、8.1時間経過したところで、熱電対において熱起電力異常が生じたため、測定を中断した。その後、熱電対を取り外し、部材の状態を確認したところ、Ir(第1保護管)の先端から20mm程度において、表面の荒れを確認した。
Claims (5)
- 一対の素線と前記素線それぞれ同士の測温接点と前記素線を被覆する絶縁体とを有する熱電対と、
前記熱電対の前記素線、前記測温接点及び前記絶縁体から少なくとも一部分を離隔しつつ、前記熱電対の前記素線、前記測温接点及び前記絶縁体を囲繞する第1保護管と、
前記第1保護管から少なくとも一部分を離隔しつつ前記第1保護管を囲繞する第2保護管と、
前記第1保護管の外側であって前記第2保護管の内側に位置し、前記第1保護管及び前記第2保護管から少なくとも一部分を離隔しつつ、前記第1保護管を囲繞する第3保護管と、
を備え、
前記第1保護管は、Mo、W、Ta及びIrのいずれかを含み、前記第2保護管は、黒鉛、C/Cコンポジット、グラッシーカーボン、SiC及びBNのいずれかを含み、前記第3保護管は、Mo、W、Ta、Nb及びIrのいずれかを含む、温度計。 - 一対の素線と前記素線それぞれ同士の測温接点と前記素線を被覆する絶縁体とを有する熱電対と、
前記熱電対の前記素線、前記測温接点及び前記絶縁体から少なくとも一部分を離隔しつつ、前記熱電対の前記素線、前記測温接点及び前記絶縁体を囲繞する第1保護管と、
前記第1保護管から少なくとも一部分を離隔しつつ前記第1保護管を囲繞する第2保護管と、
前記第1保護管の外側であって前記第2保護管の内側に位置し、前記第1保護管及び前記第2保護管から少なくとも一部分を離隔しつつ、前記第1保護管を囲繞する第3保護管と、
を備え、
前記第1保護管は、Mo、W、Ta及びIrのいずれかを含み、前記第2保護管は、黒鉛、C/Cコンポジット、グラッシーカーボン、SiC、BN、Al 2 O 3 、ガラス状炭素、熱分解炭素被覆黒鉛、ガラス状炭素被覆黒鉛及びPBNのいずれかを含み、前記第3保護管は、Mo、W、Ta、Nb、Ir、黒鉛、C/Cコンポジット、SiC、グラッシーカーボン、ガラス状炭素、熱分解炭素被覆黒鉛、ガラス状炭素被覆黒鉛、BN及びPBNのいずれかを含む、温度計。 - 一対の素線と前記素線それぞれ同士の測温接点と前記素線を被覆する絶縁体とを有する熱電対と、
前記熱電対の前記素線、前記測温接点及び前記絶縁体から少なくとも一部分を離隔しつつ、前記熱電対の前記素線、前記測温接点及び前記絶縁体を囲繞する第1保護管と、
前記第1保護管から少なくとも一部分を離隔しつつ前記第1保護管を囲繞する第2保護管と、
前記第1保護管の外側であって前記第2保護管の内側に位置し、前記第1保護管及び前記第2保護管から少なくとも一部分を離隔しつつ、前記第1保護管を囲繞する第3保護管と、
を備え、
前記第1保護管は、Al 2 O 3 、MgO、CaO、BeO、ZrO 2 及びHfO 2 のいずれかを含み、前記第2保護管は、黒鉛、C/Cコンポジット、グラッシーカーボン、SiC及びBNのいずれかを含み、前記第3保護管は、Mo、W、Ta、Nb及びIrのいずれかを含む、温度計。 - 一対の素線と前記素線それぞれ同士の測温接点と前記素線を被覆する絶縁体とを有する熱電対と、
前記熱電対の前記素線、前記測温接点及び前記絶縁体から少なくとも一部分を離隔しつつ、前記熱電対の前記素線、前記測温接点及び前記絶縁体を囲繞する第1保護管と、
前記第1保護管から少なくとも一部分を離隔しつつ前記第1保護管を囲繞する第2保護管と、
前記第1保護管の外側であって前記第2保護管の内側に位置し、前記第1保護管及び前記第2保護管から少なくとも一部分を離隔しつつ、前記第1保護管を囲繞する第3保護管と、
を備え、
前記第1保護管は、Al 2 O 3 、MgO、CaO、BeO、ZrO 2 及びHfO 2 のいずれかを含み、前記第2保護管は、黒鉛、C/Cコンポジット、グラッシーカーボン、SiC、BN、Al 2 O 3 、ガラス状炭素、熱分解炭素被覆黒鉛、ガラス状炭素被覆黒鉛及びPBNのいずれかを含み、前記第3保護管は、Mo、W、Ta、Nb、Ir、SiC、BN及びPBNのいずれかを含む、温度計。 - 前記第1保護管の内部、前記第1保護管と前記第3保護管との間及び前記第2保護管と前記第3保護管との間の少なくともいずれかには、不活性ガスが封入されている、請求項1〜4の何れか一項に記載の温度計。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013165040 | 2013-08-08 | ||
JP2013165040 | 2013-08-08 | ||
PCT/JP2014/070943 WO2015020172A1 (ja) | 2013-08-08 | 2014-08-07 | 温度計 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018231570A Division JP6740328B2 (ja) | 2013-08-08 | 2018-12-11 | 温度計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015020172A1 JPWO2015020172A1 (ja) | 2017-03-02 |
JP6452606B2 true JP6452606B2 (ja) | 2019-01-16 |
Family
ID=52461497
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015530965A Active JP6452606B2 (ja) | 2013-08-08 | 2014-08-07 | 温度計 |
JP2018231570A Active JP6740328B2 (ja) | 2013-08-08 | 2018-12-11 | 温度計 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018231570A Active JP6740328B2 (ja) | 2013-08-08 | 2018-12-11 | 温度計 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10215645B2 (ja) |
EP (2) | EP3273212B1 (ja) |
JP (2) | JP6452606B2 (ja) |
WO (1) | WO2015020172A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020034381A (ja) * | 2018-08-29 | 2020-03-05 | 光洋サーモシステム株式会社 | 温度測定器 |
JP2022132659A (ja) * | 2018-08-29 | 2022-09-08 | 株式会社ジェイテクトサーモシステム | 温度測定器 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10598531B2 (en) * | 2018-04-23 | 2020-03-24 | General Electric Company | Coriolis flow meter with multiple actuators arranged on a flow tube and driven in different planes |
US11815403B2 (en) * | 2020-07-16 | 2023-11-14 | Solar Manufacturing, Inc. | Specialty control thermocouple for vacuum heat treat furnaces |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2193376A (en) * | 1936-06-23 | 1940-03-12 | Crown Cork & Seal Co | Machine for the manufacture of glass articles |
JPS5826531B2 (ja) * | 1977-08-24 | 1983-06-03 | 住友金属工業株式会社 | 熱電対保護装置 |
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JPS57101730A (en) * | 1980-12-17 | 1982-06-24 | Sumitomo Alum Smelt Co Ltd | Protecting tube for measuring temperature of fused salt bath |
JPH0429385Y2 (ja) * | 1985-12-17 | 1992-07-16 | ||
US4724428A (en) | 1986-07-07 | 1988-02-09 | Emhart Industries, Inc. | Thermocouple jacket monitor |
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JPS63187018U (ja) * | 1987-05-25 | 1988-11-30 | ||
JPS63300924A (ja) * | 1987-05-30 | 1988-12-08 | Toshiba Corp | 熱電温度計 |
US4776705A (en) | 1987-06-11 | 1988-10-11 | Texaco Inc. | Thermocouple for use in a hostile environment |
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-
2014
- 2014-08-07 WO PCT/JP2014/070943 patent/WO2015020172A1/ja active Application Filing
- 2014-08-07 EP EP17189349.8A patent/EP3273212B1/en not_active Not-in-force
- 2014-08-07 US US14/910,132 patent/US10215645B2/en active Active
- 2014-08-07 JP JP2015530965A patent/JP6452606B2/ja active Active
- 2014-08-07 EP EP14833914.6A patent/EP3032231B1/en not_active Not-in-force
-
2018
- 2018-01-12 US US15/870,512 patent/US10215646B2/en active Active
- 2018-12-11 JP JP2018231570A patent/JP6740328B2/ja active Active
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---|---|---|---|---|
JP2020034381A (ja) * | 2018-08-29 | 2020-03-05 | 光洋サーモシステム株式会社 | 温度測定器 |
JP2022132659A (ja) * | 2018-08-29 | 2022-09-08 | 株式会社ジェイテクトサーモシステム | 温度測定器 |
JP7151017B2 (ja) | 2018-08-29 | 2022-10-11 | 株式会社ジェイテクトサーモシステム | 温度測定器 |
JP7199783B2 (ja) | 2018-08-29 | 2023-01-06 | 株式会社ジェイテクトサーモシステム | 温度測定器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3032231A4 (en) | 2017-03-15 |
JPWO2015020172A1 (ja) | 2017-03-02 |
EP3273212B1 (en) | 2019-02-13 |
US20180136049A1 (en) | 2018-05-17 |
US20160178447A1 (en) | 2016-06-23 |
WO2015020172A1 (ja) | 2015-02-12 |
EP3032231B1 (en) | 2018-12-19 |
EP3273212A1 (en) | 2018-01-24 |
US10215646B2 (en) | 2019-02-26 |
EP3032231A1 (en) | 2016-06-15 |
US10215645B2 (en) | 2019-02-26 |
JP6740328B2 (ja) | 2020-08-12 |
JP2019035778A (ja) | 2019-03-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
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|
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R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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