JP7199783B2 - 温度測定器 - Google Patents
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Description
図2は、第1実施形態に係る温度測定器2を示した概念図である。図2に示される様に、温度測定器2は、熱電対素線20A及び20Bと、電気絶縁材20Cと、第1保護管21と、第2保護管22と、第3保護管23と、気体導入部24と、を備える。
図5は、第2実施形態に係る温度測定器2を示した概念図である。本実施形態の温度測定器2では、気体Gnを導入して温度測定器2内に対流を発生させることに代えて、温度測定器2に生じる温度差を利用して自然対流を発生させる。以下、第1実施形態と異なる構成について説明する。
上記第1実施形態及び第2実施形態で説明した温度測定器2の各部構成は、長尺状の温度測定器に限らず、様々な長さの温度測定器に適用することができる。例えば、第3保護管23の構成材料としてボロンナイトライド(BN)を用いる場合において、ボロンナイトライドで形成可能な管の長さより温度測定器2の長さが短い場合には、第3保護管23を1つの短管231で構成することができる。
2 温度測定器
W ワーク
11 プロセスチューブ
11A 開口端
12 ボート
13 開閉蓋
14 ヒータ
15 昇降機構
20A、20B 熱電対素線
20C 電気絶縁材
21 第1保護管
21a 先端部
21b 基端部
21c 周面
21d 先端面
22 第2保護管
22b 基端部
23 第3保護管
23a 先端部
24 気体導入部
Dt 長手方向
Gn 気体
Pt 測温接点
211 貫通孔
211a 第1貫通孔
211b 第2貫通孔
231、231A、231B 短管
231a、231b 開口端部
232 開口部
232a、232b テーパ面
251 第1通気口
252 第2通気口
253 通気口
Claims (7)
- 熱電対素線と、
前記熱電対素線を被覆する電気絶縁材(20C)と、
前記熱電対素線及び前記電気絶縁材を包囲する第1保護管(21)と、
前記第1保護管を包囲する第2保護管(22)と、
前記第1保護管(21)と前記第2保護管(22)との間に配置される第3保護管(23)と、
を備え、
前記第1保護管の先端部に、貫通孔(211)が設けられており、
前記第3保護管(23)は、その内側と外側との間に気体を通す隙間が形成され、
前記第1保護管の基端部に、前記貫通孔を通って流れる対流を発生させる第1通気口(251)が設けられている、温度測定器。 - 前記隙間は、前記第3保護管(23)の長手方向に沿って複数形成されている請求項1記載の、温度測定器。
- 前記貫通孔(211)は、前記第1保護管(21)の周面に設けられると共に、前記第1保護管の長手方向において前記熱電対素線の先端よりも前記第1保護管の先端に近い位置に配されており、
前記第2保護管(22)の基端部に、前記第1保護管と前記第2保護管との間に通じる第2通気口(252)が設けられている、請求項1~2のいずれかに記載の温度測定器。 - 前記第1通気口(251)及び前記第2通気口(252)の何れか一方から気体を導入する気体導入部(24)を更に備える、請求項3に記載の温度測定器。
- 前記貫通孔(211)は、前記第1保護管(21)の周面に複数設けられている、請求項1に記載の温度測定器。
- 熱電対素線と、
前記熱電対素線を被覆する電気絶縁材(20C)と、
前記熱電対素線及び前記電気絶縁材を包囲する第1保護管(21)と、
前記第1保護管を包囲する第2保護管(22)と、
前記第1保護管(21)と前記第2保護管(22)との間に前記第1保護管(21)の先端部と基端部に外挿され、これらの先端部と基端部以外が開口した開口部232とする第3保護管(23)と、
を備え、
前記第1保護管(21)の周面において、前記開口部の先端側に第1貫通孔(211a)が設けられ、且つ、基端側に第2貫通孔(211b)が設けられている、温度測定器。 - 前記第1保護管(21)の基端部又は前記第2保護管(22)の基端部に通気口が設けられ、当該通気口は、前記第2保護管内に通じている、請求項6に記載の温度測定器。
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