JP7147680B2 - 半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物及び半導体装置 - Google Patents
半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物及び半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7147680B2 JP7147680B2 JP2019089575A JP2019089575A JP7147680B2 JP 7147680 B2 JP7147680 B2 JP 7147680B2 JP 2019089575 A JP2019089575 A JP 2019089575A JP 2019089575 A JP2019089575 A JP 2019089575A JP 7147680 B2 JP7147680 B2 JP 7147680B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin composition
- component
- carbon atoms
- maleimide
- thermosetting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
- H01L23/293—Organic, e.g. plastic
- H01L23/295—Organic, e.g. plastic containing a filler
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G59/00—Polycondensates containing more than one epoxy group per molecule; Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups
- C08G59/18—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing
- C08G59/40—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing characterised by the curing agents used
- C08G59/4007—Curing agents not provided for by the groups C08G59/42 - C08G59/66
- C08G59/4014—Nitrogen containing compounds
- C08G59/4042—Imines; Imides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G59/00—Polycondensates containing more than one epoxy group per molecule; Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups
- C08G59/18—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing
- C08G59/40—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing characterised by the curing agents used
- C08G59/50—Amines
- C08G59/5046—Amines heterocyclic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G59/00—Polycondensates containing more than one epoxy group per molecule; Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups
- C08G59/18—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing
- C08G59/40—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing characterised by the curing agents used
- C08G59/62—Alcohols or phenols
- C08G59/621—Phenols
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
- C08K3/01—Use of inorganic substances as compounding ingredients characterized by their specific function
- C08K3/013—Fillers, pigments or reinforcing additives
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K5/00—Use of organic ingredients
- C08K5/04—Oxygen-containing compounds
- C08K5/14—Peroxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L63/00—Compositions of epoxy resins; Compositions of derivatives of epoxy resins
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L79/00—Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon only, not provided for in groups C08L61/00 - C08L77/00
- C08L79/04—Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain; Polyhydrazides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
- C08L79/08—Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L79/00—Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon only, not provided for in groups C08L61/00 - C08L77/00
- C08L79/04—Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain; Polyhydrazides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
- C08L79/08—Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
- C08L79/085—Unsaturated polyimide precursors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
- H01L23/293—Organic, e.g. plastic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J2379/00—Characterised by the use of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing nitrogen with or without oxygen, or carbon only, not provided for in groups C08J2361/00 - C08J2377/00
- C08J2379/04—Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain; Polyhydrazides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
- C08J2379/08—Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J3/00—Processes of treating or compounding macromolecular substances
- C08J3/24—Crosslinking, e.g. vulcanising, of macromolecules
- C08J3/246—Intercrosslinking of at least two polymers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J3/00—Processes of treating or compounding macromolecular substances
- C08J3/24—Crosslinking, e.g. vulcanising, of macromolecules
- C08J3/247—Heating methods
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
- C08K3/34—Silicon-containing compounds
- C08K3/36—Silica
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L2203/00—Applications
- C08L2203/20—Applications use in electrical or conductive gadgets
- C08L2203/206—Applications use in electrical or conductive gadgets use in coating or encapsulating of electronic parts
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L2205/00—Polymer mixtures characterised by other features
- C08L2205/03—Polymer mixtures characterised by other features containing three or more polymers in a blend
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L2205/00—Polymer mixtures characterised by other features
- C08L2205/03—Polymer mixtures characterised by other features containing three or more polymers in a blend
- C08L2205/035—Polymer mixtures characterised by other features containing three or more polymers in a blend containing four or more polymers in a blend
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L2312/00—Crosslinking
- C08L2312/04—Crosslinking with phenolic resin
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L61/00—Compositions of condensation polymers of aldehydes or ketones; Compositions of derivatives of such polymers
- C08L61/04—Condensation polymers of aldehydes or ketones with phenols only
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L61/00—Compositions of condensation polymers of aldehydes or ketones; Compositions of derivatives of such polymers
- C08L61/34—Condensation polymers of aldehydes or ketones with monomers covered by at least two of the groups C08L61/04, C08L61/18 and C08L61/20
Description
すなわち、本発明は、下記の半導体用熱硬化性マレイミド樹脂組成物、該組成物の硬化物及び該硬化物で封止された半導体装置を提供するものである。
下記の(A)、(B)及び(C)成分を含む半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物。
(A)25℃で固体であるマレイミド化合物であって、
分子中に少なくとも1つのダイマー酸骨格、少なくとも1つの炭素数6以上の直鎖アルキレン基、及び少なくとも2つのマレイミド基を有するマレイミド化合物
(B)無機充填材
(C)硬化促進剤
さらに(D)成分としてエポキシ樹脂を含む[1]に記載の半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物。
さらに(E)成分として硬化剤を含む[2]に記載の半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物。
(E)成分の硬化剤がフェノール樹脂及び/又はベンゾオキサジン樹脂であることを特徴とする[3]に記載の半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物。
(A)成分のマレイミド化合物が下記一般式(1)及び/又は(2)で表されるものである請求項1から4のいずれか1項に記載の半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物。
前記一般式(1)中のA及び一般式(2)中のA’が下記構造のいずれかで表されるものである[5]に記載の半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物。
[1]から[6]のいずれかに記載の半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物の硬化物で封止された半導体装置。
(A)成分はマレイミド化合物であって、25℃で固体であるマレイミド化合物であって、分子中に少なくとも1つのダイマー酸骨格、少なくとも1つの炭素数6以上の直鎖アルキレン基、及び少なくとも2つのマレイミド基を有するマレイミド化合物である。炭素数6以上の直鎖アルキレン基を有することで優れた誘電特性を有するだけでなく、フェニル基の含有比率を低下させ、耐トラッキング性を向上させることができる。また、直鎖アルキレン基を有することで低弾性化することができ、硬化物による半導体装置へのストレス低減にも効果的である。
で示される4価の有機基のいずれかで表されるものであることが好ましい。
また、式(2)中のBは2価のヘテロ原子を含んでもよい脂肪族環を有する炭素数6から18のアルキレン鎖であり、該アルキレン鎖の炭素数は好ましくは8以上15以下である。式(2)中のBは下記構造式で示される脂肪族環を有するアルキレン鎖のいずれかであることが好ましい。
式(1)中のnは1~10の数であり、好ましくは2~7の数である。式(2)中のn’は1~10の数であり、好ましくは2~7の数である。式(2)中のmは1~10の数であり、好ましくは2~7の数である。
なお、本発明中で言及するMwとは、下記条件で測定したGPCによるポリスチレンを標準物質とした重量平均分子量を指すこととする。
[測定条件]
展開溶媒:テトラヒドロフラン
流量:0.35mL/min
検出器:RI
カラム:TSK-GEL Hタイプ(東ソー株式会社製)
カラム温度:40℃
試料注入量:5μL
本発明の組成物中、(A)成分は、8~80質量%含有することが好ましく、10~85質量%含有することがより好ましく、12~75質量%含有することがさらに好ましい。
(B)成分の無機充填材は、本発明の熱硬化性マレイミド樹脂組成物の硬化物の強度を高めるために配合される。(B)成分の無機充填材としては、通常エポキシ樹脂組成物やシリコーン樹脂組成物に配合されるものを使用することができる。例えば、球状シリカ、溶融シリカ及び結晶性シリカ等のシリカ類、アルミナ、窒化珪素、窒化アルミニウム、ボロンナイトライド、ガラス繊維及びガラス粒子等が挙げられる。さらに誘電特性改善のためにフッ素樹脂含有又はコーティングフィラーも挙げられる。
本発明の熱硬化性マレイミド樹脂組成物には(C)成分として硬化促進剤を含む。硬化促進剤は(A)成分のマレイミドの反応を促進するためのものだけでなく、後述する(D)成分のエポキシ樹脂、(E)成分のエポキシ樹脂の硬化剤の反応を促進させたり、(A)成分、(D)成分及び(E)成分の反応を促進させたりするために使用し、その種類に関しては特に限定されない。
光ラジカル重合開始剤の使用はハンドリング性、保存性の観点からあまり好ましくない。
(D)成分のエポキシ樹脂は、本発明の組成物の流動性や機械特性を向上、改善するのに用いることができる後述する(E)成分の硬化剤や、(A)成分のマレイミド化合物と反応することで三次元的な結合を作る。エポキシ樹脂としては1分子中に2個以上のエポキシ基を有するものであれば、特に制限なく使用することができるが、ハンドリング性の観点から室温で固体であることが好ましく、より好ましくは融点が40℃以上150℃以下または軟化点が50℃以上160℃以下の固体である。
(E)成分の硬化剤としては、フェノール樹脂、アミン硬化剤、酸無水物硬化剤、ベンゾオキサジン樹脂などが挙げられ、半導体封止材用途としてはフェノール樹脂及び/又はベンゾオキサジン樹脂が好ましい。
前記フェノール樹脂とベンゾオキサジン樹脂とを併用して用いる場合は、その好ましい配合比率は質量比として(フェノール樹脂):(ベンゾオキサジン樹脂)=50:50~10:90である。
本発明の半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物には、離型剤を配合することができる。(F)成分の離型剤は、成形時の離型性を高めるために配合するものである。離型剤としては、一般的な熱硬化性エポキシ樹脂組成物に使用するものであれば制限はない。離型剤としては天然ワックス(例えば、カルナバワックス、ライスワックス等)及び合成ワックス(例えば、酸ワックス、ポリエチレンワックス、脂肪酸エステル等)があるが、硬化物の離型性の観点からカルナバワックスが好ましい。
本発明の半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物には、難燃性を高めるために難燃剤を配合することができる。該難燃剤は、特に制限されず、公知のものを使用することができる。該難燃剤としては、例えばホスファゼン化合物、シリコーン化合物、モリブデン酸亜鉛担持タルク、モリブデン酸亜鉛担持酸化亜鉛、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、酸化モリブデン、三酸化アンチモン等が挙げられる。これらは1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。該難燃剤の配合量は、(A)成分、(D)成分及び(E)成分の総和100質量部に対して2~20質量部であり、好ましくは3~10質量部である。
本発明の半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物には、(A)成分、(D)成分及び/又は(E)成分の樹脂成分と(B)成分の無機充填材との結合強度を強くしたり、該樹脂成分と金属リードフレームとの接着性を高くしたりするため、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤等のカップリング剤を配合することができる。
また、無機充填材を予めカップリング剤で処理してもよいし、(A)成分、(D)成分及び/又は(E)成分の樹脂成分と(B)成分の無機充填材とを混練する際に、(H)成分のカップリング剤を添加して表面処理しながら組成物を製造してもよい。
(H)成分の含有量は、(A)成分、(D)成分及び(E)成分の総和に対して、0.1~8.0質量%とすることが好ましく、特に0.5~6.0質量%とすることが好ましい。該含有量が0.1質量%未満であると、基材への接着効果が十分でなく、また8.0質量%を超えると、粘度が極端に低下して、ボイドの原因となるおそれがある。
本発明の半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物には、更に必要に応じて各種の添加剤を配合することができる。該添加剤として本発明の効果を損なわない範囲で、樹脂特性を改善するためにオルガノポリシロキサン、シリコーンオイル、熱可塑性樹脂、熱可塑性エラストマー、有機合成ゴム、光安定剤、顔料、染料等を配合してもよいし、電気特性を改善するためにイオントラップ剤等を配合してもよい。さらには誘電特性を改善するために含フッ素材料等を配合してもよい。
本発明の組成物の製造方法は特に制限されるものでない。例えば、(A)~(C)成分及び必要に応じてその他の成分を所定の組成比で配合し、ミキサー等によって十分に均一に混合した後、熱ロール、ニーダー、エクストルーダー等による溶融混合し、次いで冷却固化させ、適当な大きさに粉砕すればよい。得られた樹脂組成物は封止材料として使用できる。
(A-1)下記式で示されるマレイミド化合物-1(BMI-2500:Designer Molecules Inc.製)
(B-1)溶融球状シリカ(RS-8225H/53C、(株)龍森製、平均粒径13μm)
(C-1)過酸化物(パークミルD、日油(株)製)
(C-2)イミダゾール系触媒(1B2PZ、四国化成(株)製)
(D-1)多官能系エポキシ樹脂(EPPN-501H、日本化薬(株)製、エポキシ当量:165)
(D-2)ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(HP-7200、DIC(株)、エポキシ当量:259)
(E-1)フェノールノボラック樹脂(TD-2131:DIC(株)製、フェノール性水酸基当量:104)
(E-2)ベンゾオキサジン樹脂(P-d型:四国化成(株)製、ベンゾオキサジン当量:217)
(F-1)カルナバワックス(TOWAX-131:東亜化成(株)製)
表1に示す配合(質量部)で、各成分を溶融混合し、冷却、粉砕して樹脂組成物を得た。これらの組成物につき、以下の諸特性を測定した。その結果を表1に示す。
EMMI規格に準じた金型を使用して、成形温度175℃、成形圧力6.9N/mm2、成形時間120秒の条件で、上記樹脂組成物の成形体のスパイラルフロー値を測定した。
JIS K 6911:2006規格に準じた金型を使用して、成形温度175℃、成形圧力6.9N/mm2、成形時間120秒の条件で上記樹脂組成物の硬化物を作製し、該硬化物を180℃4時間ポストキュアーした。
ポストキュアー後の硬化物から作製した試験片について、JIS K 6911:2006規格に準じて室温(25℃)にて、曲げ強さ、曲げ弾性率を測定した。
成形温度175℃、成形圧力6.9N/mm2、成形時間120秒の条件で厚み3mm、直径50mmの円板を成形し、該硬化物を180℃4時間ポストキュアーした。その硬化物を用いてJIS C 2134(IEC60112)の方法に基づき、耐トラッキング特性試験を実施した。耐トラッキング特性電圧として、測定個数n=5の評価において、50滴以上の塩化アンモニウム0.1%水溶液で、すべての硬化物が破壊しない最大電圧を測定した。
成形温度175℃、成形圧力6.9N/mm2、成形時間120秒の条件で厚み3mm、直径50mmの円板を成形し、該硬化物を180℃4時間ポストキュアーした。その硬化物を用いて121℃、2.1気圧の飽和水蒸気下で24時間処理した前後の重量増加率から吸水率を算出した。
成形温度175℃、成形圧力6.9N/mm2、成形時間120秒の条件で厚み1mm、1辺70mm四方の成形片を成形し、ネットワークアナライザ(キーサイト社製 E5063-2D5)とストリップライン(キーコム株式会社製)を接続し、上記成形片の周波数1.0GHzにおける比誘電率と誘電正接を測定した。
Claims (5)
- 下記の(A)、(B)及び(C)成分を含み、下記の(A)成分と(D)成分の質量比が(A):(D)=100:0~60:40である半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物。
(A)25℃で固体であるマレイミド化合物であって、
分子中に少なくとも1つのダイマー酸骨格、少なくとも1つの炭素数6以上の直鎖アルキレン基、及び少なくとも2つのマレイミド基を有する下記一般式(1)及び/又は(2)で表されるマレイミド化合物
(B)無機充填材
(C)硬化促進剤
(D)エポキシ樹脂 - さらに(E)成分として硬化剤を含む請求項1に記載の半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物。
- (E)成分の硬化剤がフェノール樹脂及び/又はベンゾオキサジン樹脂であることを特徴とする請求項2に記載の半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物。
- 請求項1から4のいずれか1項に記載の半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物の硬化物で封止された半導体装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018096042 | 2018-05-18 | ||
JP2018096042 | 2018-05-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019203122A JP2019203122A (ja) | 2019-11-28 |
JP7147680B2 true JP7147680B2 (ja) | 2022-10-05 |
Family
ID=68533018
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019089575A Active JP7147680B2 (ja) | 2018-05-18 | 2019-05-10 | 半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物及び半導体装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20190355638A1 (ja) |
JP (1) | JP7147680B2 (ja) |
KR (1) | KR20190132240A (ja) |
CN (1) | CN110499025B (ja) |
TW (1) | TWI804615B (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020169291A (ja) * | 2019-04-05 | 2020-10-15 | 信越化学工業株式会社 | スラリー組成物、該スラリー組成物の硬化物、該硬化物を用いた基板、フィルム、及びプリプレグ |
JP7188309B2 (ja) * | 2019-07-26 | 2022-12-13 | 信越化学工業株式会社 | 熱硬化性マレイミド樹脂組成物及び半導体装置 |
JP7409223B2 (ja) | 2020-05-14 | 2024-01-09 | 味の素株式会社 | 樹脂組成物 |
JP7455475B2 (ja) * | 2020-05-19 | 2024-03-26 | 信越化学工業株式会社 | 熱硬化性マレイミド樹脂組成物並びにこれを用いた接着剤、基板材料、プライマー、コーティング材及び半導体装置 |
JP7400627B2 (ja) | 2020-05-26 | 2023-12-19 | 味の素株式会社 | 樹脂組成物 |
JP7451058B2 (ja) | 2021-03-23 | 2024-03-18 | 信越化学工業株式会社 | 熱硬化性シトラコンイミド樹脂組成物 |
TW202323439A (zh) | 2021-11-01 | 2023-06-16 | 日商信越化學工業股份有限公司 | 熱固性馬來醯亞胺樹脂組合物、膜、預浸料、層壓板和印刷電路板 |
TW202348677A (zh) | 2022-03-15 | 2023-12-16 | 日商味之素股份有限公司 | 樹脂組成物 |
JP2023167803A (ja) | 2022-05-13 | 2023-11-24 | 味の素株式会社 | 樹脂組成物 |
JP2023179928A (ja) | 2022-06-08 | 2023-12-20 | 信越化学工業株式会社 | 半導体素子を搭載した基板の半導体素子搭載面又は半導体素子を形成したウエハの半導体素子形成面を封止する樹脂組成物及びその使用 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018024747A (ja) | 2016-08-09 | 2018-02-15 | 京セラ株式会社 | 封止用樹脂組成物及び半導体装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005213299A (ja) | 2004-01-27 | 2005-08-11 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体封止用樹脂組成物とそれを用いた半導体装置 |
JP4793565B2 (ja) | 2005-03-24 | 2011-10-12 | 信越化学工業株式会社 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2008143950A (ja) | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Nitto Denko Corp | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置 |
JP2009275146A (ja) | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Nitto Denko Corp | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置 |
JP2013112710A (ja) | 2011-11-25 | 2013-06-10 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 |
JP2013203865A (ja) | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Kyocera Chemical Corp | 半導体封止用樹脂組成物および半導体装置 |
KR20170023719A (ko) * | 2015-08-24 | 2017-03-06 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 열경화성 수지 조성물 |
JP6537188B2 (ja) | 2016-02-19 | 2019-07-03 | 京セラ株式会社 | 封止用成形材料及び電子部品装置 |
JP2018070668A (ja) * | 2016-10-24 | 2018-05-10 | 信越化学工業株式会社 | 液状エポキシ樹脂組成物 |
-
2019
- 2019-05-03 TW TW108115357A patent/TWI804615B/zh active
- 2019-05-09 US US16/407,720 patent/US20190355638A1/en not_active Abandoned
- 2019-05-10 JP JP2019089575A patent/JP7147680B2/ja active Active
- 2019-05-15 KR KR1020190056756A patent/KR20190132240A/ko not_active Application Discontinuation
- 2019-05-16 CN CN201910405312.3A patent/CN110499025B/zh active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018024747A (ja) | 2016-08-09 | 2018-02-15 | 京セラ株式会社 | 封止用樹脂組成物及び半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202003696A (zh) | 2020-01-16 |
KR20190132240A (ko) | 2019-11-27 |
JP2019203122A (ja) | 2019-11-28 |
TWI804615B (zh) | 2023-06-11 |
CN110499025B (zh) | 2023-03-14 |
US20190355638A1 (en) | 2019-11-21 |
CN110499025A (zh) | 2019-11-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7147680B2 (ja) | 半導体封止用熱硬化性マレイミド樹脂組成物及び半導体装置 | |
KR101076977B1 (ko) | 반도체 봉지용 수지 조성물 및 반도체장치 | |
KR100547069B1 (ko) | 반도체 봉지용 에폭시 수지 조성물 및 반도체 장치 | |
TWI391420B (zh) | Epoxy resin composition for semiconductor sealing and semiconductor device | |
TWI793340B (zh) | 半導體封裝用熱固性樹脂組合物和半導體裝置 | |
US20070207322A1 (en) | Semiconductor encapsulating epoxy resin composition and semiconductor device | |
JP2016040383A (ja) | 電子部品封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた電子部品装置 | |
TWI763877B (zh) | 半導體密封用熱硬化性環氧樹脂薄片、半導體裝置及其製造方法 | |
TWI814868B (zh) | 半導體封裝用熱固性樹脂組合物及半導體裝置 | |
JP3562565B2 (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2004307545A (ja) | エポキシ樹脂組成物および半導体封止装置 | |
JP6142782B2 (ja) | エポキシ樹脂組成物及び光半導体装置 | |
JP5057015B2 (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP6724817B2 (ja) | 光半導体用熱硬化性エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP4835851B2 (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2007262384A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP3585615B2 (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 | |
JP2004256729A (ja) | エポキシ樹脂組成物および半導体封止装置 | |
JP2017128657A (ja) | 封止用エポキシ樹脂組成物、半導体装置及びその製造方法 | |
US20190241696A1 (en) | Thermosetting epoxy resin sheet for encapsulating semiconductor, semiconductor apparatus, and method for manufacturing same | |
JP2004256648A (ja) | エポキシ樹脂組成物および半導体封止装置 | |
JP2006299249A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20191122 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210521 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220311 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220329 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220511 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220823 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220905 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7147680 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |