JP7144149B2 - カーボンナノチューブ集合体 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態のカーボンナノチューブ集合体の一部を模式的に表す概略断面図である。カーボンナノチューブ集合体は、複数のカーボンナノチューブからシート状に形成される。
ここで、表面部とは、カーボンナノチューブ集合体1の最表面から厚み方向に10μmまでの領域である。
また、配向度とは、カーボンナノチューブの全長さに対する、シート状のカーボンナノチューブ集合体の面方向(カーボンナノチューブ集合体の厚み方向に垂直な方向)に対する角度が70°~110°(以下、「略垂直」ともいう)である部分の長さの合計の比をいい、具体的には実施例の欄に記載の方法で測定することができる。
すなわち、シート状のカーボンナノチューブ集合体の配向度が高いことは、カーボンナノチューブ集合体を構成するカーボンナノチューブにおいて、シートの面方向に対して略垂直である部分が多いことを意味する。
一方、カーボンナノチューブ集合体の大部分を占める中間部において配向度が84%未満と低い本実施形態のカーボンナノチューブ集合体は、個々のカーボンナノチューブがカーボンナノチューブ集合体厚み方向の伸縮性に富む。そのため、本実施形態のカーボンナノチューブ集合体を被保持部材に接触させた際に、被保持部材に接触していないカーボンナノチューブの割合を減らすことができ、高いグリップ力を発揮する。
上記観点より、本実施形態のカーボンナノチューブ集合体において、中間部における配向度は、84%未満であり、好ましくは82%未満、より好ましくは80%未満、さらに好ましくは74%未満である。
なお、本実施形態のカーボンナノチューブ集合体において、中間部における配向度の下限は特には限定されないが、一般的には例えば15%以上であり、好ましくは20%以上である。
したがって、本実施形態のカーボンナノチューブ集合体は、少なくとも一方の表面部における配向度を15%以上とする。また、少なくとも一方の表面部における配向度は20%以上であることが好ましく、25%以上であることがより好ましい。
なお、本実施形態のカーボンナノチューブ集合体において表面部の配向度の上限は特には限定されないが、上述のグリップ力の低下を生じない限りにおいては被保持部材に接触する側の表面部の配向度は低いほうがグリップ力が向上するため好ましく、具体的には少なくとも一方の表面部における配向度を50%未満とすることが好ましく、40%未満とすることがより好ましく、30%未満とすることがさらに好ましい。
本実施形態において、カーボンナノチューブ集合体の一方の表面部の配向度が上記の範囲内である場合には、後述するカーボンナノチューブ集合体の製造工程において、基板側であった方の表面部が上記の範囲内であることが好ましい。また、本実施形態において、カーボンナノチューブ集合体の両方の表面部の配向度が上記の範囲内であってもよい。
また、特に搬送固定治具等のグリップ力が求められる用途に使用する際には、カーボンナノチューブ集合体の厚みは300μm~2000μmであることが好ましく、500μm~1500μmであることがより好ましい。
なお、シリコンウェハ表面に対する摩擦係数の大きい上記カーボンナノチューブ集合体が、シリコン以外の材料から構成される部材(例えば、ガラス)に対しても、強いグリップ性を発現し得ることは言うまでもない。
また、表面部において密度が低くなると、個々のカーボンナノチューブが凝集しにくくなり、被保持部材に接触していないカーボンナノチューブの割合を減らすことができるため、グリップ力が向上する。したがって、本実施形態のカーボンナノチューブ集合体は、少なくとも一方の表面部における密度が低いことが好ましく、具体的には例えば下記の方法で測定した少なくとも一方の表面部における密度が46%以下であることが好ましく、44%以下であることがより好ましく、42%以下であることがさらに好ましい。
走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて、カーボンナノチューブ集合体を面方向に垂直に切断した断面を観察し、2×3μmの領域の2万倍の断面図を取得する。得られた断面図に対して、WinROOF2015(三谷商事株式会社製)を用いて、下記手順で画像処理を行い密度を算出する。
1.バックグラウンド除去 物体サイズ0.248μm
2.フィルタ>メディアン フィルタサイズ3*3
3.ルックアップテーブル変換(ヒストグラム平均輝度補正) 補正基準値:90
4.単一しきい値による2値化 しきい値:96、透明度:53
5.モルフォロジー>クロージング 回数:1
6.総面積・個数>面積率
この面積率をカーボンナノチューブの密度とする。
本実施形態のカーボンナノチューブ集合体を構成するカーボンナノチューブの形状、直径、および層数等は公知の方法で測定することができ、例えば走査型電子顕微鏡(SEM)や、透過電子顕微鏡(TEM)によって測定することができる。例えば、カーボンナノチューブ集合体から10本、好ましくは20本以上のカーボンナノチューブを取り出して、SEMまたはTEMにより観察し、形状、直径及び層数を測定することができる。
形状、直径、および層数について以下に例を示すが、本実施形態におけるカーボンナノチューブにおいてこれらは特に限定はされない。
本実施形態のカーボンナノチューブ集合体の製造方法は特に限定されないが、例えば基材の上に触媒層を形成し、触媒層を微粒化し、熱、プラズマなどにより触媒を活性化させた状態で炭素源を供給し、カーボンナノチューブを成長させる、化学気相成長法(Chemical Vapor Deposition:CVD法)によって製造することができる。以下に、その詳細について説明する。
中間層上又は基材上の微粒化された触媒の個数密度は、上述の触媒層の量、及び、微粒化の際の加熱温度や加熱時間を制御することにより制御することができる。個数密度を上記適切な範囲にするために、触媒の微粒化の際の加熱温度は、790℃以上であることが好ましく、815℃以上であることがより好ましく、840℃以上であることがさらに好ましい。また、940℃以下であることが好ましく、915℃以下であることがより好ましく、890℃以下であることがさらに好ましい。
また、触媒の微粒化の際の加熱時間は、好ましくは15分以上であり、より好ましくは30分以上であり、さらに好ましくは60分以上である。また、好ましくは180分以下であり、より好ましくは150分以下であり、さらに好ましくは120分以下である。
上記のような加熱処理などの方法で形成した触媒微粒子の大きさは、円相当径の平均粒子径が、好ましくは4nm以上であり、より好ましくは8nm以上であり、さらに好ましくは12nm以上である。また、好ましくは44nm以下であり、より好ましくは33nm以下であり、さらに好ましくは18nm以下である。
上記観点より、混合ガス中の炭素源(好ましくは、エチレン)の23℃における濃度は、好ましくは1vol%以上、より好ましくは3vol%以上、さらに好ましくは5vol%以上である。また、好ましくは30vol%以下、より好ましくは20vol%以下、さらに好ましくは10vol%以下である。
また、混合ガス中の水素の23℃における濃度は、好ましくは40vol%以上、より好ましくは50vol%以上、さらに好ましくは60vol%以上である。また、好ましくは85vol%以下、より好ましくは80vol%以下、さらに好ましくは75vol%以下である。
また、混合ガス中の水蒸気の23℃における濃度は、好ましくは0.005vol%以上、より好ましくは0.01vol%以上、さらに好ましくは0.02vol%以上である。また、好ましくは0.3vol%以下、より好ましくは0.2vol%以下、さらに好ましくは0.1vol%以下である。
また、混合ガスの残部は不活性ガスとすることが好ましく、例えばヘリウムや窒素とすることが好ましい。上記組成の混合ガスを用いれば、適切な配向度を有するカーボンナノチューブ集合体を得ることができる。
下記方法により、実施例1~4、及び、比較例1~5のカーボンナノチューブ集合体を製造した。
(中間層・触媒層形成工程)
シリコンウェハ基材(バルカー・エフティ社製、厚み725μm)上に、スパッタ装置(芝浦メカトロニクス社製、商品名「CFS-4ES」)により、3922ng/cm2のAl2O3薄膜(到達真空度:8.0×10-4Pa、スパッタガス:Ar、ガス圧:0.50Pa、成長レート:18ng/sec)を形成した。このAl2O3薄膜上に、さらにスパッタ装置(芝浦メカトロニクス社製、商品名「CFS-4ES」)にて、260ng/cm2のFe薄膜を触媒層(スパッタガス:Ar、ガス圧:0.75Pa、成長レート:5.5ng/sec)として形成した。
(触媒微粒化工程)
次いで、この基材を30mmφの石英管内に搭載し、水分率1000ppmに保ったHe/H2(65/120sccm)混合ガスを石英管内に流して管内を置換しながら、電気管状炉を用いて管内を45分かけて865℃まで昇温させた。
その後、混合ガスは流し続けたまま管内を865℃にて安定させて120分維持してFe触媒を微粒化した。得られたFe微粒子の密度は表1に示す通りであった。次いで混合ガスは流し続けたまま10分かけて管内を765℃まで降温させた。
(カーボンナノチューブ成長工程)
その後、765℃にて温度を保持したまま、H2/H2O/C2H4/He(65vol%/0.10vol%/8vol%/残部)混合ガス(原料ガス)を合計で185sccmの流量で石英管内に流して管内を置換しながら、60分間維持してカーボンナノチューブを成長させた。
その後、原料ガスを止めてヘリウムガス(40sccm)を石英管内に流したまま室温まで冷却した。
上記の操作により、実施例1のカーボンナノチューブ集合体を得た。
カーボンナノチューブ集合体は、ピンセットを用いて、シリコン基材からシート状に剥
離することができた。
触媒微粒化工程において865℃にて安定させる時間を30分としたこと以外は実施例1と同様にして、実施例2のカーボンナノチューブ集合体を得た。
中間層・触媒層形成工程において、形成したFe薄膜の量を550ng/cm2としたこと以外は実施例2と同様にして、実施例3のカーボンナノチューブ集合体を得た。
触媒微粒化工程及びカーボンナノチューブ成長工程を下記のように変更した以外は実施例3と同様にして、実施例4のカーボンナノチューブ集合体を得た。
(触媒微粒化工程)
基材を30mmφの石英管内に搭載し、水分率1000ppmに保ったHe/H2(65/120sccm)混合ガスを石英管内に流して管内を置換しながら、電気管状炉を用いて管内を35分かけて765℃まで昇温させた。
その後、混合ガスは流し続けたまま管内を765℃にて安定させて30分維持してFe触媒を微粒化した。得られたFe微粒子の密度は表1に示す通りであった。
(カーボンナノチューブ成長工程)
用いた混合ガスをH2/H2O/C2H4/He(22vol%/0.10vol%/8vol%/残部)混合ガスとしたこと以外は実施例3と同様にして、カーボンナノチューブ成長工程を実施した。
(中間層・触媒層形成工程)
シリコンウェハ基材(バルカー・エフティ社製、厚み725μm)上に、スパッタ装置(芝浦メカトロニクス社製、商品名「CFS-4ES」)により、3922ng/cm2のAl2O3薄膜(到達真空度:8.0×10-4Pa、スパッタガス:Ar、ガス圧:0.50Pa、成長レート:18ng/sec)を形成した。このAl2O3薄膜上に、さらにスパッタ装置(芝浦メカトロニクス社製、商品名「CFS-4ES」)にて、550ng/cm2のFe薄膜を触媒層(スパッタガス:Ar、ガス圧:0.75Pa、成長レート:5.5ng/sec)として形成した。
(カーボンナノチューブ成長工程)
次いで、この基材を30mmφの石英管内に搭載し、水分率1000ppmに保ったHe/H2(105/80sccm)混合ガスを石英管内に流して管内を置換しながら、電気管状炉を用いて管内を35分かけて765℃まで昇温させた。
その後、765℃にて温度を保持したまま、H2/H2O/C2H4/He(43vol%/0.08vol%/8vol%/残部)混合ガス(原料ガス)を合計で185sccmの流量で石英管内に流して管内を置換しながら、60分間維持してカーボンナノチューブを成長させた。
その後、原料ガスを止めて、ヘリウムガス(40sccm)を石英管内に流したまま室温まで冷却した。
上記の操作により、比較例1のカーボンナノチューブ集合体を得た。
カーボンナノチューブ集合体は、ピンセットを用いて、シリコン基材からシート状に剥
離することができた。
カーボンナノチューブ成長工程において原料ガスを、H2/H2O/C2H4/He(43vol%/0.03vol%/8vol%/残部)混合ガスとしたこと以外は比較例1と同様にして、比較例2のカーボンナノチューブ集合体を得た。
カーボンナノチューブ成長工程において原料ガスを、H2/H2O/C2H4/He(32vol%/0.10vol%/8vol%/残部)混合ガスとしたこと以外は比較例1と同様にして、比較例3のカーボンナノチューブ集合体を得た。
カーボンナノチューブ成長工程において原料ガスを、H2/H2O/C2H4/He(65vol%/0.10vol%/19vol%/残部)混合ガスとしたこと以外は比較例1と同様にして、比較例4のカーボンナノチューブ集合体を得た。
実施例3と同様にして得られたカーボンナノチューブ集合体を、シリコンウェハを用いて平行になるように厚み方向に押圧し、厚みが0.2mmとなるよう圧縮することにより、比較例5のカーボンナノチューブ集合体を得た。
また、実施例1~4及び比較例1~5のカーボンナノチューブ集合体の厚み、中間部における配向度、表面部における配向度、23℃及び300℃におけるグリップ力を下記の方法で測定した。これらの結果も表1及び表2に示す。さらに、実施例1~4及び比較例5のカーボンナノチューブ集合体については、下記の方法で水に対する接触角を測定した。結果を表2に示す。
作製したカーボンナノチューブ集合体を、側面方向からSEMにより観察し、厚みを計測し、5点の平均値を厚みとした。
走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて、カーボンナノチューブ集合体を面方向に垂直に切断した断面を観察し、4×6μmの領域の2万倍の断面図を取得した。得られた断面図に対して、WinROOF2015(三谷商事株式会社製)の針状分離計測機能を用いて、下記手順で画像処理を行い、針状粒子の長さ、幅、及び方向を算出した。
1.バックグラウンド除去 物体サイズ0.248μm
2.フィルタ>メディアン フィルタサイズ3*3
3.ルックアップテーブル変換(ヒストグラム平均輝度補正) 補正基準値:90
4.単一しきい値による2値化 しきい値:90、透明度:53
5.モルフォロジー>クロージング 回数:1
6.針状分離計測 計測最小長さ:0.49630μm、最大計測幅:0.4963μm
次いで、算出された方向を10°ごとに区切り、区切りごとの針状粒子の総長さを求め、全針状粒子の総長さに対する70°~110°の針状粒子の総長さの比(70°~110°の針状粒子の総長さ/全針状粒子の総長さ)を配向度とした。
表面部の配向度の測定には、製造工程において基材側の面であった表面から2μmの位置、中間部の配向度の測定には、厚み方向の中間の位置を中心として測定して得られた断面図を用いた。
結果を表1に示す。また、実施例3について、得られた中間部のSEM像を図3に、表面部のSEM像を図4に示す。
最大静止摩擦係数は、製造工程において基材側の面であった面を測定面として測定した。9×9mmの大きさの各実施例、比較例のカーボンナノチューブ集合体を、10cm間隔で正三角形の形になるように、接着剤を用いて測定面の反対側の面をガラス板に接着し、評価サンプルとした。
水平に保った上記評価サンプルに重量128gのシリコンウェハを乗せ、3点に均一に重量がかかっている状態とした。その後評価サンプルを傾け、徐々に傾斜角度を増し、シリコンウェハが滑り落ちずに評価サンプルに保持される傾斜角度の最大値を測定し、これを限界すべり角(θ)とした。この限界すべり角より静止摩擦係数(μ)をμ=tanθに従い算出した。
なお、当該方法での最大静止摩擦係数の測定限界は57(θ=89°)であり、実施例1、2においては、最大静止摩擦係数は測定限界以上であった。
あらかじめ45°、35°、17°の角度を付けた状態で、同様にサンプルを用意した。
この状態で温度を300℃まで上昇させ30min温度を保持し、下記の基準で300°でのグリップ力を4段階で評価した。
◎(非常に優れる):いずれのサンプルでもシリコンウェハが滑り落ちなかった。
○(優れる):45°のサンプルでのみシリコンウェハが滑り落ちたが、35°及び17°のサンプルでは滑り落ちなかった。
△(やや優れる):45°及び35°のサンプルでシリコンウェハが滑り落ちたが、17°のサンプルでは滑り落ちなかった。
×(不良):すべてのサンプルでシリコンウェハが滑り落ちた。
水に対する接触角は、製造工程において基材側の面であった面を測定面として、接触角計 DMo-501(協和界面化学社製)を用いてJIS R 3257:1999に準拠して測定した。
なお、表2中の「測定限界以下」は、水がしみ込んでいくため接触角を測定できない状態であることを示す。
2 中間部
11、12 表面部
Claims (6)
- 複数のカーボンナノチューブがシート状に集合したカーボンナノチューブ集合体であって、厚み方向において2つの表面部と前記表面部の間の中間部を有し、前記中間部における配向度が15%以上84%未満であり、少なくとも一方の前記表面部における配向度が15%以上50%未満であり、前記中間部における配向度が少なくとも一方の前記表面部における配向度よりも高い、
ここで前記配向度とは、前記カーボンナノチューブの全長さに対する、シート状の前記カーボンナノチューブ集合体の面方向に対する角度が70°~110°である部分の長さの合計の比をいう、カーボンナノチューブ集合体。 - 厚みが300~2000μmである請求項1に記載のカーボンナノチューブ集合体。
- 少なくとも一方の表面のシリコンウェハに対する23℃における最大静止摩擦係数が4以上である請求項1又は2に記載のカーボンナノチューブ集合体。
- 少なくとも一方の表面部における密度が45%以下である請求項1~3のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブ集合体。
- 少なくとも一方の表面の水に対する接触角が100°以上である請求項1~4のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブ集合体。
- 請求項1~5のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブ集合体を備える搬送固定治具。
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JP2015135963A (ja) | 2013-12-23 | 2015-07-27 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | 改善されたウェハ・ハンドリングのための微細構造体 |
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EP1956110B1 (en) * | 2005-11-30 | 2010-11-10 | Shimane Prefectural Government | Metal-based composite material containing both micro-sized carbon fiber and nano-sized carbon fiber |
WO2008152940A1 (ja) * | 2007-06-13 | 2008-12-18 | Ulvac, Inc. | 基板支持機構 |
US8900701B2 (en) * | 2008-04-16 | 2014-12-02 | Nitto Denko Corporation | Fibrous columnar structure aggregate and pressure-sensitive adhesive member using the aggregate |
US20110318487A1 (en) * | 2009-02-10 | 2011-12-29 | Hirokazu Takai | Substrate for producing aligned carbon nanotube aggregates and method for producing the aligned carbon nanotube aggregates |
KR20140112477A (ko) * | 2011-12-08 | 2014-09-23 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 점탄성체 |
JP5905718B2 (ja) | 2011-12-28 | 2016-04-20 | 東新産業株式会社 | 搬送治具、搬送方法、および搬送治具材料 |
CN103382023B (zh) * | 2012-05-04 | 2015-07-01 | 清华大学 | 碳纳米管结构及其制备方法 |
EP2662481B1 (de) * | 2012-05-10 | 2016-03-02 | Stäubli Sargans AG | Spannvorrichtung, Fadenkreuzeinlesemaschine, Einziehmaschine und Verfahren zum Spannen einer Vielzahl von Kettfäden |
EP3239099B1 (en) * | 2014-12-25 | 2024-04-10 | Zeon Corporation | Carbon nanotube film and method for producing same |
JP2017035743A (ja) * | 2015-08-07 | 2017-02-16 | 日東電工株式会社 | 搬送装置 |
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JP2015135963A (ja) | 2013-12-23 | 2015-07-27 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | 改善されたウェハ・ハンドリングのための微細構造体 |
JP2017126697A (ja) | 2016-01-15 | 2017-07-20 | 日東電工株式会社 | 載置部材 |
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