JP7142812B1 - リーク判定方法およびめっき装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施形態のめっき装置の全体構成を示す斜視図である。図2は、本実施形態のめっき装置の全体構成を示す平面図である。図1、2に示すように、めっき装置1000は、ロードポート100、搬送ロボット110、アライナ120、プリソークモジュール300、めっきモジュール400、スピンリンスドライヤ600、搬送装置700、および、制御モジュール800を備える。
次に、めっきモジュール400の構成を説明する。本実施形態における24台のめっきモジュール400は同一の構成であるので、1台のめっきモジュール400のみを説明する。図3は、本実施形態のめっきモジュール400の構成を概略的に示す縦断面図である。図3に示すように、めっきモジュール400は、めっき液を収容するためのめっき槽410を備える。めっき槽410は、円筒状の側壁と円形の底壁とを有する容器であり、上部には円形の開口が形成されている。また、めっきモジュール400は、めっき槽410の上部開口の外側に配置されたオーバーフロー槽405を備える。オーバーフロー槽405は、めっき槽410の上部開口から溢れためっき液を受けるための容器である。
図4は、本実施形態のめっきモジュールの構成を概略的に示す斜視図である。図4に示すように、カバー部材460は、めっき槽410の上方に配置された円筒状の側壁461を有する。側壁461は、基板ホルダ440の昇降経路を囲むように配置されている。また、カバー部材460は、側壁461の下端に接続された底壁462を有する。底壁462は、めっき槽410の上部開口の側壁461より外側を覆う板状部材である。
次に、洗浄装置470について説明する。図5は、本実施形態のめっきモジュールの構成を概略的に示す平面図である。なお、図5では説明の便宜上、以下で説明するノズル洗浄用カバーの図示を省略している。図5は、基板洗浄部材472およびコンタクト洗浄部材482が退避位置に配置された状態を実線で示し、基板洗浄部材472およびコンタクト洗浄部材482が洗浄位置に配置された状態を破線で示している。
めっきモジュール400は、めっき処理が終了したら、昇降機構442によって基板ホルダ440をめっき槽410から上昇させ、基板ホルダ440を、カバー部材460(側壁461)に囲まれる位置に配置する。めっきモジュール400は、図5に破線で示すように基板洗浄部材472を洗浄位置に配置する。これにより、基板Wfの被めっき面Wf-aに対して基板洗浄ノズル472aが向けられる。また、めっきモジュール400は、回転機構446によって基板ホルダ440を回転させる。回転機構446は、例えば、基板ホルダ440を1rpm~20rpmの回転速度で回転させるように構成されている。また、めっきモジュール400は、傾斜機構447によって基板ホルダ440を傾斜させた状態で、基板Wfの被めっき面Wf-aを洗浄するようになっている。以下、この点について説明する。
次に、基板ホルダ440に取り付けられたコンタクト部材の洗浄について説明する。図10は、本実施形態のめっきモジュールによるコンタクト部材の洗浄を模式的に示す図である。図10に示すように、本実施形態では、バックプレートアッシー492(フローティングプレート492-2)は、コンタクト部材494-4を洗浄するときに、コンタクト部材494-4に囲まれる位置に配置される。
図4に示すように、洗浄装置470は、コンタクト洗浄部材482を洗浄するためのノズル洗浄用カバーを備える。以下、ノズル洗浄用カバーについて説明する。図11は、ノズル洗浄用カバーの構成を概略的に示す斜視図である。図11は、基板洗浄部材472およびコンタクト洗浄部材482が洗浄位置に配置された状態を示している。図12は、ノズル洗浄用カバーの構成を概略的に示す側面図である。図11は、基板洗浄部材472およびコンタクト洗浄部材482が退避位置に配置された状態を示している。
図7に示すように、めっきモジュール400は、コンタクト部材494-4の配置領域へのめっき液のリークの有無を判定するための判定部材480を備える。判定部材480は、入出力装置、演算装置、記憶装置などを備える一般的なコンピュータから構成することができる。判定部材480は、制御モジュール800の一部として実現されてもよい。判定部材480は、基準となる基板ホルダ(めっき液のリークがない基板ホルダ)のコンタクト部材に対して洗浄液を吐出したときに電気伝導度計486によって計測された洗浄液の導電率(第1の導電率)をあらかじめ有している。判定部材480は、第1の導電率(基準導電率)と、リークの有無の判定対象となる基板ホルダ440に対して電気伝導度計486によって計測された洗浄液の導電率(第2の導電率)と、の比較に基づいて、コンタクト部材494-4の配置領域へのめっき液のリークの有無を判定するように構成される。判定部材480によるリーク判定の具体例は、以下のリーク判定方法のフローチャートを用いて説明する。
本実施形態のめっきモジュール400による一連の動作を説明する。図13は、本実施形態のめっきモジュールによる処理を示すフローチャートである。図14は、図13のフローチャートにおける洗浄液の導電率の推移を模式的に示す図である。図13において、横軸は時間経過を示しており、縦軸は電気伝導度計486によって計測された洗浄液の導電率を示している。図13のフローチャートは、基板ホルダ440に保持された基板Wfがめっき槽410に浸漬されてめっき処理された後の各処理を示している。
410 めっき槽
440 基板ホルダ
470 洗浄装置
472 基板洗浄部材
472a 基板洗浄ノズル
476 駆動機構
478 トレー部材
480 判定部材
482 コンタクト洗浄部材
482a コンタクト洗浄ノズル
484 固定トレー部材
484a 底壁
484b 開口
486 電気伝導度計
486a センサ部
487 連結部材
487a 第1の流路
487b 第2の流路
487c 第3の流路
488 排液管
489 ノズル洗浄用カバー
489a 底板トレー
489a-1 傾斜面
489b 上板
489b-1 受け面
489c 側板
494-2 シール部材
494-4 コンタクト部材
1000 めっき装置
Wf 基板
Claims (10)
- 基板ホルダに保持された基板をめっき液に浸漬してめっき処理した後に前記基板ホルダのコンタクト部材に対して洗浄液を吐出する吐出ステップと、
前記コンタクト部材を洗浄した後の洗浄液の導電率を計測する計測ステップと、
基準となる基板ホルダに対してあらかじめ計測された洗浄液の第1の導電率と、前記計測ステップによって計測された洗浄液の第2の導電率と、の比較に基づいて前記コンタクト部材の配置領域へのめっき液のリークの有無を判定する判定ステップと、
を含む、リーク判定方法。 - 前記判定ステップは、前記第1の導電率と前記第2の導電率との差が閾値より大きい場合に、前記コンタクト部材の配置領域へのめっき液のリークが有ると判定する、
請求項1に記載のリーク判定方法。 - めっき処理対象の基板の種類に応じて前記第1の導電率を補正する補正ステップをさらに含み、
前記判定ステップは、前記補正ステップによって補正された第1の導電率と、前記第2の導電率と、の差が閾値より大きい場合に、前記コンタクト部材の配置領域へのめっき液のリークが有ると判定する、
請求項2に記載のリーク判定方法。 - 前記判定ステップは、前記第1の導電率の低下率と、前記第2の導電率の低下率と、の差が閾値より大きい場合に、前記コンタクト部材の配置領域へのめっき液のリークが有ると判定する、
請求項1に記載のリーク判定方法。 - めっき処理対象の基板の種類に応じて前記第1の導電率の低下率を補正する補正ステップをさらに含み、
前記判定ステップは、前記補正ステップによって補正された第1の導電率の低下率と、前記第2の導電率の低下率と、の差が閾値より大きい場合に、前記コンタクト部材の配置領域へのめっき液のリークが有ると判定する、
請求項4に記載のリーク判定方法。 - めっき液を収容するように構成されためっき槽と、
被めっき面を下方に向けた基板を保持するように構成された基板ホルダであって、前記基板に給電するためのコンタクト部材を有する、基板ホルダと、
前記コンタクト部材に向けて洗浄液を吐出するためのコンタクト洗浄部材と、
前記コンタクト部材を洗浄した後の洗浄液を排出する排出経路に配置された電気伝導度計と、
基準となる基板ホルダに対して前記電気伝導度計によってあらかじめ計測された洗浄液の第1の導電率と、前記基板ホルダに対して前記電気伝導度計によって計測された洗浄液の第2の導電率と、の比較に基づいて前記コンタクト部材の配置領域へのめっき液のリークの有無を判定する判定部材と、
を含む、
めっき装置。 - 前記判定部材は、前記第1の導電率と前記第2の導電率との差が閾値より大きい場合に、前記コンタクト部材の配置領域へのめっき液のリークが有ると判定するように構成される、
請求項6に記載のめっき装置。 - 前記判定部材は、めっき処理対象の基板の種類に応じて前記第1の導電率を補正し、補正された第1の導電率と、前記第2の導電率と、の差が閾値より大きい場合に、前記コンタクト部材の配置領域へのめっき液のリークが有ると判定するように構成される、
請求項7に記載のめっき装置。 - 前記判定部材は、前記第1の導電率の低下率と、前記第2の導電率の低下率と、の差が閾値より大きい場合に、前記コンタクト部材の配置領域へのめっき液のリークが有ると判定するように構成される、
請求項6に記載のめっき装置。 - 前記判定部材は、めっき処理対象の基板の種類に応じて前記第1の導電率の低下率を補正し、補正された第1の導電率の低下率と、前記第2の導電率の低下率と、の差が閾値より大きい場合に、前記コンタクト部材の配置領域へのめっき液のリークが有ると判定するように構成される、
請求項9に記載のめっき装置。
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