JP7135384B2 - 光導波路素子 - Google Patents
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Description
(1) 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該基板に設けられ、該光導波路を伝播する光波を制御するため高周波信号を印加する制御電極とを備えた光導波路素子において、該制御電極は、金以外の素材で構成され、該制御電極の少なくともワイヤボンディングする部分には、金が配置され、該制御電極が信号電極と接地電極とを備え、少なくとも該制御電極の電界が光導波路に作用する作用部では、該信号電極の表面及び該接地電極の該信号電極に対向する側の表面並びに該接地電極の上面で該上面の中央より該信号電極に近い側には、該金が配置されていないことを特徴とする。
本発明の光導波路素子は、図1及び2に示すように、電気光学効果を有する基板1と、該基板に形成された光導波路2と、該基板に設けられ、該光導波路を伝播する光波を制御する制御電極(30,31)とを備えた光導波路素子において、該制御電極は、金以外の素材で構成され、該制御電極の少なくともワイヤボンディングする部分4には、金が配置されていることを特徴とする。なお、図2は、図1の一点鎖線A-A’における断面図である。図1の矢印a及びbは、光導波路素子に入射する光波(a)と出射する光波(b)を表す。
Claims (6)
- 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該基板に設けられ、該光導波路を伝播する光波を制御するため高周波信号が印加される制御電極とを備えた光導波路素子において、
該制御電極は、金以外の素材で構成され、
該制御電極の少なくともワイヤボンディングする部分には、金が配置され、
該制御電極が信号電極と接地電極とを備え、少なくとも該制御電極の電界が光導波路に作用する作用部では、該信号電極の表面及び該接地電極の該信号電極に対向する側の表面並びに該接地電極の上面で該上面の中央より該信号電極に近い側には、該金が配置されていないことを特徴とする光導波路素子。 - 請求項1に記載の光導波路素子において、該ワイヤボンディングは、該信号電極を挟む該接地電極を互いに接続するよう構成されていることを特徴とする光導波路素子。
- 請求項1又は2に記載の光導波路素子において、該金が配置されている部分は、ワイヤボンディングする部分のみであることを特徴とする光導波路素子。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の光導波路素子において、
前記金以外の素材は、電気抵抗率が2.44×10-8Ωm以下であることを特徴とする光導波路素子。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の光導波路素子において、
該制御電極は、メッキ電極であり、該メッキ電極の高さは10μm以上であることを特徴とする光導波路素子。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の光導波路素子において、
該制御電極の高さに対する該金部分の高さの比率は、10%未満であることを特徴とする光導波路素子。
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