JP7128994B2 - Electronic member removal method and device - Google Patents

Electronic member removal method and device Download PDF

Info

Publication number
JP7128994B2
JP7128994B2 JP2021562245A JP2021562245A JP7128994B2 JP 7128994 B2 JP7128994 B2 JP 7128994B2 JP 2021562245 A JP2021562245 A JP 2021562245A JP 2021562245 A JP2021562245 A JP 2021562245A JP 7128994 B2 JP7128994 B2 JP 7128994B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit board
heating
suction nozzle
electronic
heating element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2021562245A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPWO2021111538A1 (en
JPWO2021111538A5 (en
Inventor
和弘 杉山
彰 佐藤
光樹 福田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
WONDER FUTURE CORPORATION
Original Assignee
WONDER FUTURE CORPORATION
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by WONDER FUTURE CORPORATION filed Critical WONDER FUTURE CORPORATION
Publication of JPWO2021111538A1 publication Critical patent/JPWO2021111538A1/ja
Publication of JPWO2021111538A5 publication Critical patent/JPWO2021111538A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7128994B2 publication Critical patent/JP7128994B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0486Replacement and removal of components
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0404Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
    • H05K13/0408Incorporating a pick-up tool
    • H05K13/0409Sucking devices
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Description

本発明は電磁誘導加熱により基板に実装された電子部品を取り外す技術に関する。 The present invention relates to technology for removing electronic components mounted on a substrate by electromagnetic induction heating.

電子機器において、半導体等電子部品を回路基板に実装する際に、はんだ接合される。はんだ接合は、接合対象間にはんだが配置された後、はんだが加熱され溶融することによって、行われている。 In electronic equipment, solder joints are used to mount electronic parts such as semiconductors on circuit boards. Solder joints are performed by placing solder between objects to be joined and then heating and melting the solder.

基板には複数の電子部品が実装されている。異常があったり、故障した場合、正常な電子部品への影響を避けながら、当該電子部品のみを取外す。 A plurality of electronic components are mounted on the board. To remove only the relevant electronic parts while avoiding the influence on normal electronic parts when there is an abnormality or a failure.

たとえば、当該電子部品に熱風を供給し、はんだを溶融し、当該電子部品を基板より取外す(たとえば特許文献1)。 For example, hot air is supplied to the electronic component to melt the solder, and the electronic component is removed from the substrate (for example, Patent Document 1).

ところで、近年、電子部品の小型化が進んでいる。例えば、モニターの高画素化に伴い、100μm以下のマイクロLEDが用いられる。隣接する小型電子部品への影響を避けながら、取外し対象の小型電子部品のみに充分な熱風を与えることは困難である。 By the way, in recent years, miniaturization of electronic components has progressed. For example, micro LEDs with a size of 100 μm or less are used as the number of pixels of monitors increases. It is difficult to apply sufficient hot air only to the small electronic components to be removed while avoiding the influence on the adjacent small electronic components.

また、熱風供給による取外し技術は、ポリアミドイミドやポリイミドなどの耐熱性樹脂からなる基板への適用は可能であるが、熱可塑性樹脂や紙や布など非耐熱性材料からなる基板への適用が困難である。なお、非耐熱性の熱可塑性樹脂の例として、ABS樹脂、アクリル、ポリカーボ、ポリエステル、ポリブチレン、ポリウレタン、PET(ポリエチレンテレフタレート)などがある。 In addition, the removal technology using hot air supply can be applied to substrates made of heat-resistant resins such as polyamide-imide and polyimide, but it is difficult to apply to substrates made of non-heat-resistant materials such as thermoplastic resins, paper, and cloth. is. Examples of heat-resistant thermoplastic resins include ABS resin, acryl, polycarbonate, polyester, polybutylene, polyurethane, and PET (polyethylene terephthalate).

一方、スポット的に加熱する技術として、電磁誘導加熱がある。電磁誘導加熱により基板に実装された電子部品を取り外すこともできる(たとえば特許文献2)。 On the other hand, electromagnetic induction heating is available as a spot heating technique. An electronic component mounted on a substrate can also be removed by electromagnetic induction heating (for example, Patent Document 2).

図7は、電磁誘導加熱の基本原理に係る概念図である。電磁誘導加熱装置は、誘導コイルと電源と制御装置とから構成される。 FIG. 7 is a conceptual diagram relating to the basic principle of electromagnetic induction heating. An electromagnetic induction heating device is composed of an induction coil, a power source, and a control device.

誘導コイルに交流電流を流すと、強度の変化する磁力線が発生する。その近くに電気を通す物質(具体的には接合対象であり、通常は金属より形成される)を置くとこの変化する磁力線の影響を受けて、金属の中に渦電流が流れる。金属には通常電気抵抗があるため、金属に電流が流れると、ジュール熱が発生して、金属が自己発熱する。この現象を誘導加熱という。 When an alternating current is passed through an induction coil, magnetic field lines of varying strength are generated. When a substance that conducts electricity (specifically, the object to be joined and is usually made of metal) is placed near it, eddy currents flow in the metal under the influence of the changing magnetic lines of force. Metal generally has electrical resistance, so when an electric current flows through the metal, Joule heat is generated and the metal self-heats. This phenomenon is called induction heating.

電磁誘導による発熱量Qは次の式で表される。Q=(V2/R)×t[V=印加電圧:R=抵抗:t=時間] The amount of heat generated by electromagnetic induction Q is expressed by the following equation. Q = (V2/R) x t [V = applied voltage: R = resistance: t = time]

電磁誘導加熱では、金属のみ発熱するため、周辺の樹脂部分が熱損傷を受けるおそれは少ない。また、電子部品への熱影響もほぼなく、電子部品が熱損傷を受けるおそれは少ない。 With electromagnetic induction heating, only the metal generates heat, so there is little risk of thermal damage to the surrounding resin portion. In addition, there is almost no thermal effect on the electronic parts, and there is little possibility that the electronic parts will be thermally damaged.

電磁誘導加熱では、金属のみ発熱するため、少ないエネルギーでかつ短時間で接合できる。一回の接合に要する時間は数~十数秒である。 With electromagnetic induction heating, only metals generate heat, so they can be joined in a short time with less energy. The time required for one bonding is several seconds to ten and several seconds.

電磁誘導加熱では、一様磁場内であれば、所定のジュール熱が得られるため、接合精度が高い。また、一様磁場内であれば、複数の接合が一度にできる。 With electromagnetic induction heating, a predetermined Joule heat can be obtained within a uniform magnetic field, so the joining accuracy is high. Also, within a uniform magnetic field, a plurality of bonds can be formed at once.

電磁誘導加熱では、制御装置により電源出力量および出力時間の制御が容易である。その結果、加熱温度および加熱時間の制御も容易である。所望の温度プロファイルを設定できる。 In electromagnetic induction heating, it is easy to control the amount of power output and the output time by means of a control device. As a result, it is easy to control the heating temperature and heating time. A desired temperature profile can be set.

回路基板側の金属端子が発熱し、熱がはんだに伝達され、はんだが溶融する。取外し時も接合時と同様にはんだを溶融させる。 The metal terminals on the circuit board generate heat, the heat is transferred to the solder, and the solder melts. Solder is melted at the time of detachment as well as at the time of joining.

電磁誘導加熱では、電源出力を調整することにより磁力制御も容易である。これにより、隣接する電子部品への影響を避けながら、取外し対象の電子部品に対応する回路基板側の金属端子のみを加熱できる。 In electromagnetic induction heating, it is easy to control the magnetic force by adjusting the power output. As a result, it is possible to heat only the metal terminal on the circuit board side corresponding to the electronic component to be removed while avoiding the influence on the adjacent electronic component.

以上により、電磁誘導加熱により回路基板に実装された電子部品を取り外す方法では、電子部品の小型化に対応できる。また、非耐熱性材料からなる基板への適用も可能である。 As described above, the method of removing an electronic component mounted on a circuit board by electromagnetic induction heating can cope with miniaturization of the electronic component. Also, it can be applied to substrates made of non-heat-resistant materials.

特開2004-186491号公報JP 2004-186491 A 特開2001-044616号公報JP-A-2001-044616

上記の通り、電磁誘導加熱により基板に実装された電子部品を取り外す方法によれば、電子部品の小型化に対応できる。 As described above, according to the method of removing an electronic component mounted on a substrate by electromagnetic induction heating, it is possible to cope with miniaturization of the electronic component.

しかしながら、電子部品の小型化を更に進めると、発熱対象である金属端子の面積も狭小となる。とくに、所定のエリアに多数の電子部品が配列される場合や、電子部品が多数の端子を有する場合(たとえば、ボールグリットアレイ(BGA)やチップサイズパッケージ(CSP))には、金属端子面積はさらに狭小となる。その結果、抵抗Rが大きくなり、充分な発熱量を確保できなくなる(上記理論式の分母が大きくなる)。 However, as electronic components are further miniaturized, the area of metal terminals that generate heat is also reduced. In particular, when a large number of electronic components are arranged in a given area, or when electronic components have a large number of terminals (for example, ball grid array (BGA) or chip size package (CSP)), the metal terminal area is It becomes even narrower. As a result, the resistance R increases, and a sufficient amount of heat cannot be secured (the denominator of the above theoretical formula increases).

上記理論式に基づけば、印加電圧Vを増加させるか、印加時間tを増加させることにより、発熱量Qを確保できる。 Based on the above theoretical formula, the calorific value Q can be ensured by increasing the applied voltage V or increasing the application time t.

一方で、実際に試作モデルにて検証してみると、金属端子面積が1mm×1mm程度以下になると、はんだの種類によっては、発熱不良等の不具合が散見され、金属端子面積が500μm×500μm程度以下では不具合が顕著になった。電磁誘導加熱では、印加電圧や印加時間を精度よく調整できるにもかかわらず、印加電圧や印加時間を調整しても不具合解消に限界があった。 On the other hand, when the actual prototype model was verified, when the metal terminal area was about 1 mm x 1 mm or less, depending on the type of solder, defects such as poor heat generation were occasionally observed, and the metal terminal area was about 500 μm x 500 μm. The problem is noticeable below. In electromagnetic induction heating, although the applied voltage and the applied time can be adjusted with high accuracy, there is a limit to the problem resolution even if the applied voltage and the applied time are adjusted.

ところで、はんだの種類にはいくつかあり、一般的には、高温はんだ(たとえば、SnAgCu系はんだ、融点220℃程度)から低温はんだ(たとえば、SnBiはんだ、融点140℃程度)までが用いられている。仮に、低温はんだによるはんだ接合を対象としたとしても、上記不具合は発生する。 By the way, there are several types of solder, and generally, high-temperature solder (for example, SnAgCu solder, melting point of about 220° C.) to low-temperature solder (for example, SnBi solder, melting point of about 140° C.) are used. . Even if solder joints using low-temperature solder were to be targeted, the above problems would occur.

なお、マイクロLEDに対応する回路側端子のサイズは、25μm×25μm~50μm×50μm程度であり、不具合あるマイクロLEDのみを取り外す方法は確立されていない。本願発明者は、将来的にこの程度のサイズの電子部品の取外しへの適用を視野に入れており、上記不具合が顕在化する可能性が高い。 The size of the circuit-side terminal corresponding to the micro LED is about 25 μm×25 μm to 50 μm×50 μm, and no method has been established to remove only the defective micro LED. The inventors of the present application are considering application to removal of electronic components of this size in the future, and there is a high possibility that the above problems will become apparent.

本発明は上記課題を解決するものであり、金属端子面積が狭小な場合でも対応可能な電子部材の取外し技術を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems and to provide a technology for removing an electronic member that can be used even when the metal terminal area is small.

上記課題を解決する本発明は、はんだ接合により回路基板に実装された電子部材を前記回路基板より取外す装置である。当該装置は、中空を有する吸着ノズルを含み、前記吸着ノズル先端にて前記電子部材を吸着する吸着手段と、前記吸着ノズル下部に設けられる発熱体を含み、前記発熱体を電磁誘導加熱により加熱する加熱手段と、前記発熱体が発する熱を前記吸着ノズル先端に伝導させる伝導手段とを備える。 The present invention, which solves the above problems, is an apparatus for removing an electronic member mounted on a circuit board by soldering from the circuit board. The device includes a suction nozzle having a hollow, suction means for sucking the electronic member at the tip of the suction nozzle, and a heating element provided below the suction nozzle, and the heating element is heated by electromagnetic induction heating. A heating means and a conducting means for conducting heat generated by the heating element to the tip of the suction nozzle are provided.

加熱手段により発生した熱は伝導手段を介して電子部品およびはんだに伝わり、はんだが溶融する。その間、吸着手段によりノズルと電子部品の吸着状態が維持される。金属端子面積が狭小であり発熱量不足な場合でも、発熱体が発熱する。これにより、はんだ接合により回路基板に実装された電子部材を回路基板より取外すことができる。 The heat generated by the heating means is transmitted to the electronic component and the solder through the conducting means, melting the solder. During this time, the suction means maintains the state of suction between the nozzle and the electronic component. Even if the metal terminal area is small and the amount of heat generated is insufficient, the heating element generates heat. As a result, the electronic member mounted on the circuit board by soldering can be removed from the circuit board.

上発明において好ましくは、前記発熱体は、前記回路基板の端子より大きい。 In the above invention, preferably, the heating element is larger than the terminals of the circuit board.

これにより、金属端子面積が狭小であり発熱量不足な場合でも、発熱体が確実に発熱する。 As a result, even when the area of the metal terminal is small and the amount of heat generated is insufficient, the heating element reliably generates heat.

上発明において好ましくは、前記回路基板の端子サイズは、500×500μm以下である。より好ましくは250μm×250μm以下、更に好ましくは100μm×100μm以下である。 In the above invention, preferably, the terminal size of the circuit board is 500×500 μm or less. It is more preferably 250 μm×250 μm or less, and still more preferably 100 μm×100 μm or less.

端子サイズが1mm×1mm以下となる場合、電磁誘導加熱における発熱量不足等の不具合が散見され、500×500μm以下となると不具合が顕著となる。狭小なるほど発熱量不足となる。本発明によれば、金属端子面積が狭小な場合でも取外し可能である。 When the terminal size is 1 mm×1 mm or less, problems such as an insufficient amount of heat generated in electromagnetic induction heating are often seen, and when the terminal size is 500×500 μm or less, the problem becomes significant. As the space becomes narrower, the amount of heat generated becomes insufficient. According to the present invention, the metal terminal can be removed even when the area of the metal terminal is small.

上発明において好ましくは、前記発熱体に外装されるフェライトコアを更に備える。 Preferably, the above invention further comprises a ferrite core that is wrapped around the heating element.

これにより、発熱体の発熱量が増加するとともに、金属端子の発熱量も増加する。相乗効果により、確実にはんだは溶融する。 As a result, the amount of heat generated by the heating element increases, and the amount of heat generated by the metal terminals also increases. The synergistic effect reliably melts the solder.

上記課題を解決する本発明は、はんだ接合により回路基板に実装された電子部材を前記回路基板より取外す方法である。上記装置を用い、前記加熱手段により前記発熱体を加熱し、前記伝導手段により前記発熱体が発する熱を前記吸着ノズル先端に伝導させ、はんだを溶融し、前記吸着手段により前記吸着ノズル先端にて前記電子部材を吸着して、回路基板にはんだ接合により実装された電子部材を前記回路基板より取外す。 The present invention for solving the above problems is a method for removing an electronic member mounted on a circuit board by soldering from the circuit board. Using the above apparatus, the heating means heats the heating element, the conduction means conducts the heat generated by the heating element to the tip of the suction nozzle, melts the solder, and the suction means heats the tip of the suction nozzle. By sucking the electronic member, the electronic member mounted on the circuit board by soldering is removed from the circuit board.

金属端子面積が狭小であり発熱量不足な場合でも、発熱体が発熱する。これにより、はんだ接合により回路基板に実装された電子部材を回路基板より取外すことができる。 Even if the metal terminal area is small and the amount of heat generated is insufficient, the heating element generates heat. As a result, the electronic member mounted on the circuit board by soldering can be removed from the circuit board.

上記課題を解決する本発明は、はんだ接合により回路基板に実装された電子部材を前記回路基板より取外す装置である。当該装置は、中空を有し、金属より形成される吸着ノズルを含み、前記吸着ノズル先端にて前記電子部材を吸着する吸着手段と、前記吸着ノズル先端を電磁誘導加熱により加熱する加熱手段と、を備える。 The present invention, which solves the above problems, is an apparatus for removing an electronic member mounted on a circuit board by soldering from the circuit board. The apparatus includes a hollow suction nozzle made of metal, suction means for sucking the electronic member at the tip of the suction nozzle, heating means for heating the tip of the suction nozzle by electromagnetic induction heating, Prepare.

金属端子面積が狭小であり発熱量不足な場合でも、金属製ノズルが発熱する。これにより、はんだ接合により回路基板に実装された電子部材を回路基板より取外すことができる。 Even if the metal terminal area is small and the amount of heat generated is insufficient, the metal nozzle generates heat. As a result, the electronic member mounted on the circuit board by soldering can be removed from the circuit board.

上記課題を解決する本発明は、はんだ接合により回路基板に実装された電子部材を前記回路基板より取外す装置である。当該装置は、中空を有し、フェライトにより形成される吸着ノズルを含み、前記吸着ノズル先端にて前記電子部材を吸着する吸着手段と、前記吸着ノズル先端に装着される発熱体を含み、前記発熱体を電磁誘導加熱により加熱する加熱手段と、を備える。 The present invention, which solves the above problems, is an apparatus for removing an electronic member mounted on a circuit board by soldering from the circuit board. The apparatus includes a hollow suction nozzle made of ferrite, suction means for sucking the electronic member at the tip of the suction nozzle, and a heating element attached to the tip of the suction nozzle, wherein the heat is generated. and heating means for heating the body by electromagnetic induction heating.

金属端子面積が狭小であり発熱量不足な場合でも、発熱体が発熱する。これにより、はんだ接合により回路基板に実装された電子部材を回路基板より取外すことができる。 Even if the metal terminal area is small and the amount of heat generated is insufficient, the heating element generates heat. As a result, the electronic member mounted on the circuit board by soldering can be removed from the circuit board.

上記課題を解決する本発明は、はんだ接合により回路基板に実装された電子部材を前記回路基板より取外す方法である。上記装置を用い、前記加熱手段により前記吸着ノズル先端を加熱し、はんだを溶融し、前記吸着手段により前記吸着ノズル先端にて前記電子部材を吸着して、回路基板にはんだ接合により実装された電子部材を前記回路基板より取外す。 The present invention for solving the above problems is a method for removing an electronic member mounted on a circuit board by soldering from the circuit board. Using the above apparatus, the tip of the suction nozzle is heated by the heating means to melt the solder, the electronic member is sucked at the tip of the suction nozzle by the suction means, and the electronic component mounted on the circuit board is soldered. Remove the member from the circuit board.

金属端子面積が狭小であり発熱量不足な場合でも、ノズル先端が発熱する。これにより、はんだ接合により回路基板に実装された電子部材を回路基板より取外すことができる。 Even if the metal terminal area is small and the amount of heat generated is insufficient, the tip of the nozzle generates heat. As a result, the electronic member mounted on the circuit board by soldering can be removed from the circuit board.

上記課題を解決する本発明は、熱溶融可能な手段により回路基板に実装された電子部材を前記回路基板より取外す装置である。当該装置は、中空を有する吸着ノズルを含み、前記吸着ノズル先端にて前記電子部材を吸着する吸着手段と、前記吸着ノズル下部に設けられる発熱体を含み、前記発熱体を電磁誘導加熱により加熱する加熱手段と、前記発熱体が発する熱を前記吸着ノズル先端に伝導させる伝導手段とを備える。 The present invention, which solves the above problems, is an apparatus for removing an electronic member mounted on a circuit board from the circuit board by a heat fusible means. The device includes a suction nozzle having a hollow, suction means for sucking the electronic member at the tip of the suction nozzle, and a heating element provided below the suction nozzle, and the heating element is heated by electromagnetic induction heating. A heating means and a conducting means for conducting heat generated by the heating element to the tip of the suction nozzle are provided.

本願は、はんだ接合以外にも、熱溶融可能な手段による接合を解除するのに適用できる。例えば、AFC(異方導電膜)接合や導電接着剤での接合を解除して、電子部材を回路基板より取外すことができる。 The present application is applicable to releasing bonds by means of heat fusible means other than solder joints. For example, the electronic member can be removed from the circuit board by releasing AFC (anisotropic conductive film) bonding or bonding with a conductive adhesive.

本発明によれば、金属端子面積が狭小な場合でも、電子部材を回路基板より取外すことができる。 According to the present invention, the electronic member can be removed from the circuit board even if the metal terminal area is small.

第1実施形態に係る装置概要(斜視図)Apparatus overview (perspective view) according to the first embodiment 第1実施形態に係る装置概要(断面図)Apparatus overview (cross-sectional view) according to the first embodiment 第1実施形態に係る動作説明図Operation explanatory diagram according to the first embodiment 第2実施形態に係る動作説明図Operation explanatory diagram according to the second embodiment 第3実施形態に係る装置概要(断面図)Apparatus overview (cross-sectional view) according to the third embodiment 第4実施形態に係る装置概要(断面図)Apparatus overview (cross-sectional view) according to the fourth embodiment 電磁誘導の基本原理Basic principle of electromagnetic induction

<第1実施形態 構成>
図1は第1実施形態に係る装置概要の斜視図であり、図2は断面図である。
<First Embodiment Configuration>
FIG. 1 is a perspective view of an apparatus outline according to the first embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view.

装置は、ノズル50と、吸引装置60と、加熱装置70と、制御装置80とから構成されている(図3参照)。 The device comprises a nozzle 50, a suction device 60, a heating device 70, and a control device 80 (see FIG. 3).

ノズル50の主要部(または全部)は、高耐熱性かつ高熱伝導性の材質により構成される。たとえば、セラミックス、ルビー、サファイア、ダイアモンドなどが挙げられる。なお、2019年現在、セラミックスにおいて、最小孔直径10μmのセラミックス加工精度があり、本願発明は十分実現可能である。 A main part (or all) of the nozzle 50 is made of a material with high heat resistance and high thermal conductivity. Examples include ceramics, ruby, sapphire, and diamond. In addition, as of 2019, ceramics has a minimum pore diameter of 10 μm in ceramics processing accuracy, and the present invention can be sufficiently realized.

ノズル50は中空51を有する。中空51一端にて電子部品を吸着し、中空51他端は吸引装置60に連続している。これにより、ノズル50は中空51を介して吸着可能となる。なお、微小電子部品に対応するように、ノズル50の先端は錘状に先細っていることが好ましい。 Nozzle 50 has a hollow 51 . One end of the hollow 51 sucks electronic components, and the other end of the hollow 51 is connected to a suction device 60 . Thereby, the nozzle 50 can be sucked through the hollow 51 . The tip of the nozzle 50 is preferably tapered like a cone so as to correspond to micro electronic components.

ノズル50下部には発熱体71がノズル50に巻きつくように設けられている。発熱体71は一般に金属材料からなる。金属材料として金、銀、銅、アルミニュウム、ニッケル、クロムなどがある。発熱体71のノズル50下部への配置方法としては、蒸着やメッキによるもの、筒状の発熱体71にノズル50を嵌合させるものが例示できる。 A heating element 71 is provided below the nozzle 50 so as to wind around the nozzle 50 . The heating element 71 is generally made of metal material. Metal materials include gold, silver, copper, aluminum, nickel, and chromium. Examples of the method of arranging the heating element 71 below the nozzle 50 include deposition, plating, and fitting the nozzle 50 to the cylindrical heating element 71 .

ノズル50の外周にはコイル72が配置される。逆に言うと、コイル内部空間にノズル50が配置される。発熱体71とコイル72と電源(図7参照)は加熱装置(加熱手段)70を構成する。電源よりコイル72に電流を供給すると、磁界が発生し、磁界範囲にある発熱体71が発熱する。 A coil 72 is arranged around the nozzle 50 . Conversely, the nozzle 50 is arranged in the coil internal space. The heating element 71, the coil 72, and the power source (see FIG. 7) constitute a heating device (heating means) 70. FIG. When a current is supplied from the power supply to the coil 72, a magnetic field is generated, and the heating element 71 within the magnetic field area heats up.

<第1実施形態 動作>
図3は第1実施形態に係る動作説明図である。ただし、図1、図2においては、ノズル幹部に発熱体71が設けられているのに対し、図3においては、ノズル錘部に発熱体71が設けられてい点で、若干変更されている。はんだにより近くなるようにノズル錘部に発熱体71が設けられていることが好ましいが、ノズル錘部に発熱体71を設ける加工が難しい場合はノズル幹部に発熱体71を設けてもよい。動作原理は共通である。
<First Embodiment Operation>
FIG. 3 is an operation explanatory diagram according to the first embodiment. 1 and 2, the heating element 71 is provided on the nozzle trunk, whereas FIG. 3 is slightly different in that the heating element 71 is provided on the nozzle weight. It is preferable that the heating element 71 is provided on the nozzle weight so as to be closer to the solder, but if it is difficult to provide the heating element 71 on the nozzle weight, the heating element 71 may be provided on the nozzle stem. The principle of operation is common.

回路基板10に電子部品(例えばLED)20が複数実装される。具体的には、回路基板10には配線回路11(図示省略)と回路側端子12が形成されている。電子部品20は電子部品側端子22を有する。回路側端子12と電子部品側端子22とは、はんだ30を介して接合されている。 A plurality of electronic components (for example, LEDs) 20 are mounted on the circuit board 10 . Specifically, wiring circuits 11 (not shown) and circuit-side terminals 12 are formed on the circuit board 10 . The electronic component 20 has electronic component side terminals 22 . The circuit-side terminals 12 and the electronic-component-side terminals 22 are joined via solder 30 .

複数の電子部品のうち一の電子部品に異常があったり故障した場合、隣り合う正常な電子部品への影響を避けながら、当該電子部品のみを取外す動作について説明する。 When one electronic component among a plurality of electronic components has an abnormality or fails, the operation of removing only that electronic component while avoiding the influence on adjacent normal electronic components will be described.

本装置では、制御装置80により、吸引装置60と加熱装置70とが連動する。 In this apparatus, the suction device 60 and the heating device 70 are interlocked by the control device 80 .

吸引装置60が作動すると、ノズル中空51内に陰圧が発生する。この状態でノズル50を電子部品20に近づけると、ノズル50先端が電子部品20表面に接着する。ここで吸引装置60とノズル中空51とノズル50先端は吸着手段を構成する。 When the suction device 60 operates, a negative pressure is generated inside the nozzle cavity 51 . When the nozzle 50 is brought close to the electronic component 20 in this state, the tip of the nozzle 50 adheres to the surface of the electronic component 20 . Here, the suction device 60, the hollow nozzle 51, and the tip of the nozzle 50 constitute suction means.

一方、コイル72に交流電流を流すと、強度の変化する磁力線が発生する。その近くに電気を通す物質(本願では金属製発熱体71)を置くとこの変化する磁力線の影響を受けて、金属の中に渦電流が流れる。金属には通常電気抵抗があるため、金属に電流が流れると、ジュール熱が発生して、金属(発熱体71)が自己発熱する。この現象を電磁誘導加熱という。 On the other hand, when an alternating current is passed through the coil 72, magnetic lines of force with varying strength are generated. When a substance that conducts electricity (a metal heating element 71 in this application) is placed near it, an eddy current flows in the metal under the influence of the changing magnetic lines of force. Since metal generally has electrical resistance, when a current flows through the metal, Joule heat is generated and the metal (heating element 71) self-heats. This phenomenon is called electromagnetic induction heating.

加熱装置70により発生した熱は、発熱体71から熱伝導性に優れるノズル50を介して、電子部品20およびはんだ30に伝導される。ノズル50自体が伝導手段を構成する。 Heat generated by heating device 70 is conducted from heating element 71 to electronic component 20 and solder 30 via nozzle 50 having excellent thermal conductivity. The nozzle 50 itself constitutes the conducting means.

これにより、はんだ30が溶融し、回路側端子12と電子部品側端子21との接合は解除される。一方、電子部品20とノズル50との吸着状態は維持されており、ノズル50を回路基板10から遠ざけると、電子部材20を回路基板10より取外すことができる。さらに、吸引装置60が作動停止すると、電子部品20とノズル50との吸着状態は解除され、電子部品20を回収できる。 As a result, the solder 30 is melted, and the connection between the circuit-side terminal 12 and the electronic component-side terminal 21 is released. On the other hand, the suction state between the electronic component 20 and the nozzle 50 is maintained, and the electronic member 20 can be removed from the circuit board 10 by moving the nozzle 50 away from the circuit board 10 . Furthermore, when the suction device 60 stops operating, the suction state between the electronic component 20 and the nozzle 50 is released, and the electronic component 20 can be recovered.

<備考>
ところで、本願課題は、端子12面積が狭小であり、端子12による充分な発熱量を確保できないことである。しかしながら、電磁誘導加熱により端子12が全く自己発熱しないわけではない。端子12における発熱もはんだ30に伝導される。したがって、端子12も金属からなることが好ましい。
<Remarks>
By the way, the problem of the present application is that the area of the terminals 12 is small, and a sufficient amount of heat generated by the terminals 12 cannot be ensured. However, the terminal 12 does not generate heat by itself due to electromagnetic induction heating. Heat generated at terminal 12 is also conducted to solder 30 . Therefore, it is preferable that the terminal 12 is also made of metal.

一方で、端子12自身の発熱を全く期待しない場合は、導電性ポリマー、導電性カーボン等でも良い。また、端子12のサイズに比べて配線は更に細く、電磁誘導加熱に寄与しないため、考慮しない。 On the other hand, if the terminal 12 itself is not expected to generate heat at all, a conductive polymer, conductive carbon, or the like may be used. Also, since the wiring is thinner than the size of the terminal 12 and does not contribute to the electromagnetic induction heating, it is not considered.

なお、配線および端子12は導電性材料により形成されている。一般的には、金、銀、銅、アルミニュウム、ニッケル、クロム等を含む金属系材料である。配線および端子12は、一般的な従来手法(印刷、エッチング、金属蒸着、メッキ、銀塩等)によって、形成される。 Note that the wiring and the terminal 12 are made of a conductive material. Generally, it is a metallic material including gold, silver, copper, aluminum, nickel, chromium, and the like. Wiring and terminals 12 are formed by common conventional techniques (printing, etching, metal deposition, plating, silver salts, etc.).

<第1実施形態 サイズの検討>
本願課題は、端子12面積が狭小の場合、端子12による充分な発熱量を確保できないことである。したがって、各サイズの相互関係は非常に重要である。以下、第1実施形態における各サイズについて概説する。
<Examination of the size of the first embodiment>
A problem of the present application is that a sufficient amount of heat generated by the terminals 12 cannot be ensured when the area of the terminals 12 is small. Therefore, the interrelationship of each size is very important. Each size in the first embodiment will be outlined below.

実際に試作モデルにて検証してみると、金属端子面積が1mm×1mm程度以下になると、はんだの種類によっては、発熱不良等の不具合が散見され、金属端子面積が500μm×500μm程度以下では不具合が顕著になった。また、本願発明者は、将来的に金属端子面積25μm×25μm~50μm×50μm程度の電子部品(たとえばマイクロLED)の取り外しを検討している。 When we actually tested it with a prototype model, we found that if the metal terminal area was less than 1mm x 1mm, problems such as poor heat generation were observed depending on the type of solder. became prominent. In addition, the inventor of the present application is considering removal of electronic components (for example, micro LEDs) having a metal terminal area of about 25 μm×25 μm to 50 μm×50 μm in the future.

したがって、金属端子面積は1mm×1mm以下、好ましくは500μm×500μm以下、より好ましくは250μm×250μm以下、更に好ましくは100μm×100μm以下である。 Therefore, the metal terminal area is 1 mm×1 mm or less, preferably 500 μm×500 μm or less, more preferably 250 μm×250 μm or less, and even more preferably 100 μm×100 μm or less.

一例として、金属端子面積250μm×250μm、4つの端子を有する1mm×1mm程度の電子部品について、各サイズの相互関係について説明する。 As an example, an electronic component of about 1 mm×1 mm having a metal terminal area of 250 μm×250 μm and four terminals will be described with respect to the interrelationship between sizes.

回路基板10には複数の電子部品20が実装されている。電子部品間隔は、電子部品サイズ相当である。上記例では1mm間隔とする。 A plurality of electronic components 20 are mounted on the circuit board 10 . The electronic component interval corresponds to the electronic component size. In the above example, the intervals are 1 mm.

ここで、ノズル直径が3mm(≒電子部品サイズ+両隣間隔)以上になると、隣合う電子部品への影響が発生するおそれがある。したがってノズル直径が3mm(≒電子部品サイズ+両隣間隔)未満であることが好ましい。一方で、ノズル50先端と電子部品20との接触を介して熱伝導が発生するため、ノズル直径が1mm程度(電子部品サイズ相当)またはそれ以上であることが好ましい。吸引孔(中空51)の直径は100~200μm程度が好ましい。 Here, if the nozzle diameter is 3 mm or more (≈electronic component size + distance between both sides), there is a possibility that adjacent electronic components will be affected. Therefore, it is preferable that the nozzle diameter is less than 3 mm (≈the electronic component size + the distance between both sides). On the other hand, since heat conduction occurs through contact between the tip of the nozzle 50 and the electronic component 20, the diameter of the nozzle is preferably about 1 mm (equivalent to the size of the electronic component) or more. The diameter of the suction hole (hollow 51) is preferably about 100-200 μm.

ノズル直径を1mmとすると、発熱体71の周方向長さは3mm程度となる。発熱体71の軸方向長さ2.5mm(金属端子サイズの10倍程度)とすると、発熱体面積は金属端子面積の120倍となり、充分な面積を確保できる。すなわち、発熱体71は金属端子12より充分大きい。 Assuming that the nozzle diameter is 1 mm, the circumferential length of the heating element 71 is about 3 mm. If the axial length of the heating element 71 is 2.5 mm (about 10 times the size of the metal terminal), the area of the heating element is 120 times the area of the metal terminal, and a sufficient area can be secured. That is, the heating element 71 is sufficiently larger than the metal terminal 12 .

別例として、金属端子面積50μm×50μm、4つの端子を有する200μm×200μm程度の電子部品について、各サイズの相互関係について説明する。 As another example, an electronic component of about 200 μm×200 μm having a metal terminal area of 50 μm×50 μm and four terminals will be described with respect to the interrelationship between sizes.

回路基板10には複数の電子部品20が実装されている。電子部品間隔は、電子部品サイズ相当である。上記例では200μm間隔とする。 A plurality of electronic components 20 are mounted on the circuit board 10 . The electronic component interval corresponds to the electronic component size. In the above example, the interval is 200 μm.

ここで、ノズル直径が600μm(≒電子部品サイズ+両隣間隔)以上になると、隣合う電子部品への影響が発生するおそれがある。したがってノズル直径が600μm(≒電子部品サイズ+両隣間隔)未満であることが好ましい。一方で、ノズル50先端と電子部品20との接触を介して熱伝導が発生するため、ノズル直径が200μm程度(電子部品サイズ相当)またはそれ以上であることが好ましい。吸引孔(中空51)の直径は20~40μm程度が好ましい。なお、2019年現在、セラミックスにおいて、最小孔直径10μmのセラミックス加工精度があり、本願発明は十分実現可能である。 Here, if the nozzle diameter is 600 μm or more (≈electronic component size+adjacent spacing), there is a possibility that adjacent electronic components will be affected. Therefore, it is preferable that the nozzle diameter is less than 600 μm (≈the electronic component size + the distance between both sides). On the other hand, since heat conduction occurs through contact between the tip of the nozzle 50 and the electronic component 20, the nozzle diameter is preferably about 200 μm (corresponding to the size of the electronic component) or more. The diameter of the suction hole (hollow 51) is preferably about 20-40 μm. In addition, as of 2019, ceramics has a minimum pore diameter of 10 μm in ceramics processing accuracy, and the present invention can be sufficiently realized.

ノズル直径を300μmとすると、発熱体71の周方向長さは0.9mm程度となる。発熱体71の軸方向長さ1.2mm(金属端子サイズの24倍程度)とすると、発熱体面積は金属端子面積の432倍となり、充分な面積を確保できる。すなわち、発熱体71は金属端子12より充分大きい。 If the nozzle diameter is 300 μm, the circumferential length of the heating element 71 is about 0.9 mm. If the axial length of the heating element 71 is 1.2 mm (about 24 times the size of the metal terminal), the area of the heating element is 432 times the area of the metal terminal, and a sufficient area can be secured. That is, the heating element 71 is sufficiently larger than the metal terminal 12 .

<第1実施形態 効果>
吸着ノズル50にも設けられた発熱体71による加熱により、回路側の金属端子12面積が狭小な場合でも、電子部材20を回路基板10より取外すことができる。その際、隣り合う電子部材に影響を与えない。
<Effect of the first embodiment>
Heating by the heating element 71 also provided in the suction nozzle 50 allows the electronic member 20 to be removed from the circuit board 10 even if the area of the metal terminal 12 on the circuit side is small. At that time, it does not affect the adjacent electronic members.

<第2実施形態>
図4は、第2実施形態に係る動作説明図である。あわせて、概略構成についても説明する。第2実施形態は第1実施形態の変形例である。
<Second embodiment>
FIG. 4 is an operation explanatory diagram according to the second embodiment. At the same time, a schematic configuration will also be described. The second embodiment is a modification of the first embodiment.

すなわち、ノズル50および発熱体71周りにフェライトコア73が外装されている。ここで、発熱体71と、コイル72と、フェライトコア73と、電源(図7参照)は加熱装置(加熱手段)70を構成する。 That is, the ferrite core 73 is wrapped around the nozzle 50 and the heat generating element 71 . Here, the heating element 71, the coil 72, the ferrite core 73, and the power source (see FIG. 7) constitute a heating device (heating means) .

電源よりコイル72に電流を供給すると、磁界が発生し、フェライトコア73に沿って磁界は集束する。その結果、発熱体71による発熱量が増加する。また、金属端子12による発熱量も増加する。この相乗効果により、確実にはんだ30は溶融する。 When a current is supplied to the coil 72 from a power source, a magnetic field is generated and converged along the ferrite core 73 . As a result, the amount of heat generated by the heating element 71 increases. Moreover, the amount of heat generated by the metal terminal 12 also increases. This synergistic effect ensures that the solder 30 melts.

吸引装置60と加熱装置70との連動により、電子部材20を回路基板10より取外す動作については、第1実施形態と同様である。 The operation of removing the electronic member 20 from the circuit board 10 by interlocking the suction device 60 and the heating device 70 is the same as in the first embodiment.

<第3実施形態>
図5は、第3実施形態に係る装置概要の断面図である。第1および第2実施形態では、微小孔の中空51を確保するため、ノズル主要部に加工精度の高いセラミックス等を用いた。これに対し、第3実施形態では、ノズル55の主要部(または全部)が金属により構成される。
<Third Embodiment>
FIG. 5 is a cross-sectional view of an apparatus outline according to the third embodiment. In the first and second embodiments, in order to secure the hollow space 51 of the fine holes, ceramics or the like with high processing accuracy is used for the main part of the nozzle. In contrast, in the third embodiment, the main part (or the whole) of the nozzle 55 is made of metal.

セラミックスと同レベルの金属加工精度が得られる場合や、第1および第2実施形態ほどの微小孔を求められない場合は、第3実施形態の適用が可能である。 The third embodiment can be applied when the same level of metal processing accuracy as that of ceramics can be obtained, or when micropores as small as those of the first and second embodiments are not required.

ここで、金属製ノズル55と、コイル72と電源(図7参照)は加熱装置(加熱手段)70を構成する。電源よりコイル72に電流を供給すると、磁界が発生し、磁界範囲にある金属製ノズル55が発熱する。ノズル55により発生した熱は、ノズル55先端を介して、電子部品20およびはんだ30に伝導される。これにより、はんだ30は溶融する。 Here, the metal nozzle 55, the coil 72 and the power source (see FIG. 7) constitute a heating device (heating means) 70. As shown in FIG. When a current is supplied to the coil 72 from the power supply, a magnetic field is generated, and the metal nozzle 55 within the magnetic field area heats up. The heat generated by nozzle 55 is conducted to electronic component 20 and solder 30 via the tip of nozzle 55 . The solder 30 is thereby melted.

吸引装置60と加熱装置70との連動により、電子部材20を回路基板10より取外す動作については、第1実施形態と同様である。 The operation of removing the electronic member 20 from the circuit board 10 by interlocking the suction device 60 and the heating device 70 is the same as in the first embodiment.

<第4実施形態>
図6は、第4実施形態に係る装置概要の断面図である。第2実施形態に係る技術思想と第3実施形態に係る技術思想を組み合わせたものである。
<Fourth Embodiment>
FIG. 6 is a cross-sectional view of an apparatus outline according to the fourth embodiment. It is a combination of the technical idea according to the second embodiment and the technical idea according to the third embodiment.

すなわち、ノズル56の主要部はフェライトコアにより構成される。ノズル56の先端には、金属製の発熱アタッチメント74が嵌合されている。 That is, the main part of nozzle 56 is composed of a ferrite core. A metal heating attachment 74 is fitted to the tip of the nozzle 56 .

発熱アタッチメント74は挿入部と接触部を有する。発熱アタッチメント74挿入部は中空51に挿入される。発熱アタッチメント74接触部はノズル先端位置において電子部品と接触可能である。 The heating attachment 74 has an insertion portion and a contact portion. The heat generating attachment 74 insertion portion is inserted into the hollow 51 . The contact portion of the heat-generating attachment 74 can contact the electronic component at the nozzle tip position.

ここで、フェライトコア製ノズル56と、コイル72と、発熱アタッチメント74と、電源(図7参照)は加熱装置(加熱手段)70を構成する。電源よりコイル72に電流を供給すると、磁界が発生し、フェライトコア56に沿って磁界は集束する。磁界範囲にある発熱アタッチメント74が発熱する。発熱アタッチメント74により発生した熱は、電子部品20およびはんだ30に伝導される。これにより、はんだ30は溶融する。 Here, the ferrite core nozzle 56 , the coil 72 , the heat generating attachment 74 and the power source (see FIG. 7) constitute a heating device (heating means) 70 . When a current is supplied to coil 72 from a power supply, a magnetic field is generated and focused along ferrite core 56 . The heat-generating attachment 74 within the magnetic field generates heat. Heat generated by heat-generating attachment 74 is conducted to electronic component 20 and solder 30 . The solder 30 is thereby melted.

吸引装置60と加熱装置70との連動により、電子部材20を回路基板10より取外す動作については、第1実施形態と同様である。 The operation of removing the electronic member 20 from the circuit board 10 by interlocking the suction device 60 and the heating device 70 is the same as in the first embodiment.

<その他>
本願は、はんだ接合以外にも、熱溶融可能な手段による接合を解除するのに適用できる。例えば、AFC(異方導電膜)接合や導電接着剤での接合を解除して、電子部材を回路基板より取外すことができる。
<Others>
The present application is applicable to releasing bonds by means of heat fusible means other than solder joints. For example, the electronic member can be removed from the circuit board by releasing AFC (anisotropic conductive film) bonding or bonding with a conductive adhesive.

10 回路基板
11 配線回路
12 回路側端子
20 電子部品
22 電子部品側端子
30 はんだ
50 ノズル(セラミックス製)
51 中空
55 ノズル(金属製)
56 ノズル(フェライトコア製)
60 吸引装置
70 加熱装置
71 発熱体
72 コイル
73 フェライトコア
74 発熱アタッチメント
80 制御装置
REFERENCE SIGNS LIST 10 circuit board 11 wiring circuit 12 circuit side terminal 20 electronic component 22 electronic component side terminal 30 solder 50 nozzle (made of ceramics)
51 hollow 55 nozzle (made of metal)
56 nozzle (made of ferrite core)
60 suction device 70 heating device 71 heating element 72 coil 73 ferrite core 74 heating attachment 80 control device

Claims (8)

回路基板に複数の電子部材が電子部品間隔1mm以下で実装されており、はんだ接合により回路基板の500×500μm以下のサイズの端子に実装された電子部材を前記回路基板より取外す装置であって、
直径200μm以下の中空を有する吸着ノズルを含み、前記吸着ノズル先端にて前記電子部材を吸着する吸着手段と、
前記吸着ノズル下部に設けられる発熱体を含み、電磁誘導加熱により、前記発熱体を加熱するとともに、前記回路基板の端子を加熱する加熱手段と、
前記発熱体が発する熱を前記吸着ノズル先端に伝導させる伝導手段と
を備えることを特徴とする装置。
A plurality of electronic members are mounted on a circuit board at intervals of 1 mm or less, and an apparatus for removing electronic members mounted on terminals of 500×500 μm or less on the circuit board by soldering from the circuit board,
a suction means including a suction nozzle having a hollow with a diameter of 200 μm or less, and for sucking the electronic member at the tip of the suction nozzle;
a heating means including a heating element provided below the suction nozzle for heating the heating element and heating the terminals of the circuit board by electromagnetic induction heating;
and a conducting means for conducting heat generated by the heating element to the tip of the suction nozzle.
前記発熱体は、前記回路基板の端子より大きい
ことを特徴とする請求項1記載の装置。
2. The device of claim 1, wherein the heating element is larger than the terminals of the circuit board.
前記発熱体に外装されるフェライトコア
を更に備えることを特徴とする請求項1または2記載の装置。
3. The device according to claim 1, further comprising a ferrite core that is wrapped around the heating element.
請求項1、2、4いずれか記載の装置を用い、
前記加熱手段により前記発熱体を加熱するとともに、前記回路基板の端子を加熱し、
前記伝導手段により前記発熱体が発する熱を前記吸着ノズル先端に伝導させ、はんだを溶融し、
前記吸着手段により前記吸着ノズル先端にて前記電子部材を吸着して、回路基板にはんだ接合により実装された電子部材を前記回路基板より取外す
ことを特徴とする電子部材の取外し方法。
Using the device according to any one of claims 1, 2, and 4,
Heating the heating element with the heating means and heating the terminals of the circuit board,
Conducting the heat generated by the heating element to the tip of the suction nozzle by the conduction means to melt the solder,
A method for removing an electronic member, wherein the electronic member mounted on the circuit board by soldering is removed from the circuit board by sucking the electronic member at the tip of the suction nozzle by the suction means.
回路基板に複数の電子部材が電子部品間隔1mm以下で実装されており、はんだ接合により回路基板の500×500μm以下のサイズの端子に実装された電子部材を前記回路基板より取外す装置であって、
直径200μm以下の中空を有し、金属より形成される吸着ノズルを含み、前記吸着ノズル先端にて前記電子部材を吸着する吸着手段と、
電磁誘導加熱により、前記吸着ノズル先端を加熱するとともに、前記回路基板の端子を加熱する加熱手段と、
を備えることを特徴とする装置。
A plurality of electronic members are mounted on a circuit board at intervals of 1 mm or less, and an apparatus for removing electronic members mounted on terminals of 500×500 μm or less on the circuit board by soldering from the circuit board,
a suction unit that has a hollow with a diameter of 200 μm or less and includes a suction nozzle made of metal and that sucks the electronic member at the tip of the suction nozzle;
heating means for heating the tip of the suction nozzle and the terminal of the circuit board by electromagnetic induction heating;
An apparatus comprising:
回路基板に複数の電子部材が電子部品間隔1mm以下で実装されており、はんだ接合により回路基板の500×500μm以下のサイズの端子に実装された電子部材を前記回路基板より取外す装置であって、
直径200μm以下の中空を有し、フェライトにより形成される吸着ノズルを含み、前記吸着ノズル先端にて前記電子部材を吸着する吸着手段と、
前記吸着ノズル先端に装着される発熱体を含み、電磁誘導加熱により、前記発熱体を加熱するとともに、前記回路基板の端子を加熱する加熱手段と、
を備えることを特徴とする装置。
A plurality of electronic members are mounted on a circuit board at intervals of 1 mm or less, and an apparatus for removing electronic members mounted on terminals of 500×500 μm or less on the circuit board by soldering from the circuit board,
a suction means having a hollow with a diameter of 200 μm or less and including a suction nozzle formed of ferrite for sucking the electronic member at the tip of the suction nozzle;
a heating means including a heating element attached to the tip of the suction nozzle, heating the heating element by electromagnetic induction heating, and heating the terminals of the circuit board;
An apparatus comprising:
請求項6または7記載の装置を用い、
前記加熱手段により前記吸着ノズル先端を加熱するとともに、前記回路基板の端子を加熱し、はんだを溶融し、
前記吸着手段により前記吸着ノズル先端にて前記電子部材を吸着して、回路基板にはんだ接合により実装された電子部材を前記回路基板より取外す
ことを特徴とする電子部材の取外し方法。
Using the device according to claim 6 or 7,
The heating means heats the tip of the suction nozzle and heats the terminals of the circuit board to melt the solder,
A method for removing an electronic member, wherein the electronic member mounted on the circuit board by soldering is removed from the circuit board by sucking the electronic member at the tip of the suction nozzle by the suction means.
回路基板に複数の電子部材が電子部品間隔1mm以下で実装されており、熱溶融可能な手段により回路基板の500×500μm以下のサイズの端子に実装された電子部材を前記回路基板より取外す装置であって、
直径200μm以下の中空を有する吸着ノズルを含み、前記吸着ノズル先端にて前記電子部材を吸着する吸着手段と、
前記吸着ノズル下部に設けられる発熱体を含み、電磁誘導加熱により、前記発熱体を加熱するとともに、前記回路基板の端子を加熱する加熱手段と、
前記発熱体が発する熱を前記吸着ノズル先端に伝導させる伝導手段と
を備えることを特徴とする装置。
A device that removes from a circuit board a plurality of electronic members mounted on a circuit board with intervals of 1 mm or less between the electronic components, and the electronic members mounted on terminals of a size of 500×500 μm or less on the circuit board by a heat-meltable means. There is
a suction means including a suction nozzle having a hollow with a diameter of 200 μm or less, and for sucking the electronic member at the tip of the suction nozzle;
a heating means including a heating element provided below the suction nozzle for heating the heating element and heating the terminals of the circuit board by electromagnetic induction heating;
and a conducting means for conducting heat generated by the heating element to the tip of the suction nozzle.
JP2021562245A 2019-12-04 2019-12-04 Electronic member removal method and device Active JP7128994B2 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2019/047349 WO2021111538A1 (en) 2019-12-04 2019-12-04 Electronic member removal method and device therefor

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPWO2021111538A1 JPWO2021111538A1 (en) 2021-06-10
JPWO2021111538A5 JPWO2021111538A5 (en) 2022-07-01
JP7128994B2 true JP7128994B2 (en) 2022-09-01

Family

ID=76222601

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021562245A Active JP7128994B2 (en) 2019-12-04 2019-12-04 Electronic member removal method and device

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP7128994B2 (en)
KR (1) KR102498034B1 (en)
CN (1) CN114762466A (en)
TW (1) TWI808356B (en)
WO (1) WO2021111538A1 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001298268A (en) 2000-04-14 2001-10-26 Miyaden Co Ltd High frequency heating solder iron
JP2007510548A (en) 2003-11-07 2007-04-26 デラウェア キャピタル フォーメーション インコーポレイテッド Temperature self-control type soldering iron with removable chip
JP2009164310A (en) 2007-12-28 2009-07-23 Sharp Corp Electronic parts repair equipment and electronic parts repairing method
JP2009200170A (en) 2008-02-20 2009-09-03 Fanuc Ltd Heating device for terminal
WO2019108006A1 (en) 2017-11-30 2019-06-06 Saint-Gobain Glass France An apparatus for soldering a terminal on window glass for a vehicle and a method thereof

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5765771U (en) * 1980-09-30 1982-04-20
JPS6120790Y2 (en) * 1980-11-28 1986-06-21
US4877944A (en) * 1987-06-08 1989-10-31 Metcal, Inc. Self regulating heater
JP2809207B2 (en) * 1996-06-13 1998-10-08 日本電気株式会社 Semiconductor device repair method and repair device
JP3470953B2 (en) 1999-08-02 2003-11-25 アオイ電子株式会社 How to attach and detach electronic components to a printed wiring board
JP2004186491A (en) 2002-12-04 2004-07-02 Murata Mfg Co Ltd Suction nozzle for repairing electronic component, and repairing method
TW200850092A (en) * 2004-11-29 2008-12-16 Heetronix Platen for use with a thermal attach and detach system which holds components by vacuum suction
KR101751335B1 (en) * 2015-04-30 2017-06-28 주식회사 다원시스 Induction heating desoldering device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001298268A (en) 2000-04-14 2001-10-26 Miyaden Co Ltd High frequency heating solder iron
JP2007510548A (en) 2003-11-07 2007-04-26 デラウェア キャピタル フォーメーション インコーポレイテッド Temperature self-control type soldering iron with removable chip
JP2009164310A (en) 2007-12-28 2009-07-23 Sharp Corp Electronic parts repair equipment and electronic parts repairing method
JP2009200170A (en) 2008-02-20 2009-09-03 Fanuc Ltd Heating device for terminal
WO2019108006A1 (en) 2017-11-30 2019-06-06 Saint-Gobain Glass France An apparatus for soldering a terminal on window glass for a vehicle and a method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2021111538A1 (en) 2021-06-10
WO2021111538A1 (en) 2021-06-10
TW202139806A (en) 2021-10-16
CN114762466A (en) 2022-07-15
TWI808356B (en) 2023-07-11
KR102498034B1 (en) 2023-02-10
KR20220112748A (en) 2022-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6911624B2 (en) Component installation, removal, and replacement apparatus and method
JP2008533744A (en) Micro solder pot
WO2017154242A1 (en) Solder joining device and solder joining method
TW201347629A (en) Method for manufacturing printed circuit board
JP6773331B2 (en) Solder bonding equipment
JP7128994B2 (en) Electronic member removal method and device
JP2013197273A (en) Electronic component manufacturing method
TWI711506B (en) Welding joining method and welding joining device
JP6738057B1 (en) Circuit board and mounting method
JP2008171992A (en) Mounting method of semiconductor component
JP2001257458A (en) Member for soldering, and method of soldering
JP2014120649A (en) Heating head, solder device using heating head, and solder method
KR101145076B1 (en) Method for producing electronic part unit
JP2006120940A (en) Electronic component mounting board, heating device, and shield case mounting method
JP2006315043A (en) Reflow welding equipment
JP2006080432A (en) Bonding method for mounting substrate
JP2002232132A (en) Board connecting method
JP2008021840A (en) Circuit board, and circuit board mounting method
JP2002118352A (en) Method for mounting surface-mounted component, and sheet for mounting
JP2005203664A (en) Mounting method for semiconductor device
JP2000183513A (en) Device for releasing connection of circuit board with electronic component and its method
JP2021053686A (en) Soldering device
JP2020009951A (en) Mounting method and mounting device of electronic component
JP2010186813A (en) Structure for mounting electronic component package and mounting method using the same
JP2004186287A (en) Mounting structure of ball grid array package, and method of mounting and removing the same

Legal Events

Date Code Title Description
A529 Written submission of copy of amendment under article 34 pct

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A5211

Effective date: 20220415

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220509

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20220509

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220706

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7128994

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150