JP7122187B2

JP7122187B2 - 基板処理装置周囲の監視システム

Info

Publication number: JP7122187B2
Application number: JP2018140135A
Authority: JP
Inventors: 光赤田
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2018-07-26
Filing date: 2018-07-26
Publication date: 2022-08-19
Anticipated expiration: 2038-07-26
Also published as: JP2020017105A

Description

本開示は、基板処理装置周囲の監視システムに関する。

特許文献１には、床部に取り外し可能な床面が配置されたクリーンルームの内部を監視するためのクリーンルームの監視装置が開示されている。すなわち、このクリーンルームの監視装置は、作業員が通行可能な通路の前記取り外し可能な床面を撮像する監視カメラを備えている。前記監視カメラで得られた画像信号から前記取り外し可能な床面が取り外された開口部の有無を検出し、開口部が有る場合は当該開口部に接近する作業員の有無を前記監視カメラの画像信号から検出するようにしている。そしてこのクリーンルームの監視装置では、前記作業員が検出された際に警報信号を出力する監視部と、前記監視部から前記警報信号を受け、警報を発する警報発生手段とを備えている。

特許第６０１８８２１号

本開示にかかる技術は、クリーンルーム内のグレーチングが外されて開口した際に作業員の安全性を向上させる。

本開示の一態様は、クリーンルーム内のグレーチング上に設置される基板処理装置の周囲を監視する監視システムであって、前記基板処理装置の周囲の一部または全部のグレーチングの上面に、複数のグレーチング上に跨って延出して配置される物理量の変化発生手段と、前記変化発生手段による物理量の変化に基づいて警報を発する警報装置と、を有し、前記変化発生手段は、１のグレーチングを上方に持ち上げた際に物理量を変化させることを特徴としている。

本開示によれば、クリーンルーム内のグレーチングが外されて開口した際に作業員の安全性を向上させることができる。

本実施形態にかかる監視システムの構成の概略を模式的に示す平面図である。図１の監視システムにおけるユニット単位の監視システムの構成の概略を模式的に示す平面図である。図２の監視システムにおけるテープ相互の接続状況を模式的に示す側面端面図である。本実施形態にかかる監視システムの設置手順を示し、テープをグレーチング上に貼り着けている状態を示す斜視図である。本実施形態にかかる監視システムの設置手順を示し、テープをグレーチング上に貼り着けた後、端部に絶縁部材を貼り着ける状態を示す斜視図である。本実施形態にかかる監視システムの設置手順において、テープをグレーチング上に貼り着け終わった状態を示す斜視図である。グレーチングが開口していないときの本実施形態にかかる監視システムの状態を示す斜視図である。１のグレーチングを持ち上げた際に、本実施形態にかかる監視システムが警報を発している状態を示す斜視図である。グレーチングのコーナー部に本実施形態にかかる監視システムを設置した様子を示す平面図である。図９とは異なったグレーチングのコーナー部に本実施形態にかかる監視システムを設置した様子を示す平面図である本実施形態にかかる監視システムをコーナー部が連続するように設置した様子を示す平面図であるワイヤを用いた実施形態にかかる監視システムを設置した様子を示す斜視図である。図１２の監視システムにおいて１のグレーチングを持ち上げた際に、警報を発している状態を示す斜視図である。他の例の監視システムにおいて１のグレーチングを持ち上げた際に、警報を発している状態を示す斜視図である。変位センサを有する他の実施形態にかかる監視システムを設置した様子を示す斜視図である。図１５の監視システムにおいて１のグレーチングを持ち上げた際に、警報を発している状態を示す斜視図である。

従来から、例えば半導体装置を製造するための半導体製造ラインでは、多数の半導体製造装置が、清浄雰囲気とされたクリーンルーム内に配設されている。このようなクリーンルームでは、床部分には多数の格子状の通気部を有するグレーチングが配設されている。また、グレーチングの下部空間には配管や各種電気機器、ポンプ類、薬液タンク等が収容されている。たとえばこれら配管や各種電気機器、ポンプ類等の設置や保守、故障時には、作業員がグレーチングの下部空間に降りて作業をする必要があるため、グレーチングは取り外し自在となっている。

このようにグレーチングを取り外した状態で、グレーチング下部の空間に作業員が入り作業を行えるようになっている。しかしながらグレーチングを取り外した場合、多数のグレーチングによって形成されているクリーンルームの床面に開口部が存在しているため、作業員がこの開口部から下部空間へと落下する危険性がある。とりわけグレーチング上で他の作業を行なっている作業員にとっては、開口部が形成されていることを知らずに作業をしていることがあり、従来から作業員に注意を促すことが行われている。

特許文献１に記載の技術は、グレーチングを撮像する監視カメラと、当該監視カメラで得られた画像信号に基づいて、グレーチングが取り外された開口部の有無を検出し、作業員がいる場合には、警報信号を出力して警報発生手段から警報を発するようにしている。

かかる技術によって、作業員の安全性は向上したが、監視カメラの設置など高価な装置の設置が必要であり、また死角がないように設置するには多くの台数も必要となるなど、コスト面や設置作業自体に手間がかかる面がある。そこでより簡易で設置についても容易に行える監視システムを本開示は提供する。以下に実施形態にかかる監視システムを説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素においては、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

図１は、本実施形態にかかる監視システム１の全体構成の概略を模式的に示す平面図であり、この監視システム１は、クリーンルーム内のグレーチングＧ上に設置される基板処理装置２の周囲を監視するシステムである。基板処理装置２は、四面の内のうちの一面、例えば背面がグレーチングＧ_２０２～グレーチングＧ_２１１に設置され、当該一面と対向する正面がＧ_５０２～グレーチングＧ_５１１に設置されている。また基板処理装置２の一側面は、グレーチングＧ_２０２、Ｇ_３０２、Ｇ_４０２、Ｇ_５０２に設置され、他側面はグレーチングＧ_２１１、Ｇ_３１１、Ｇ_４１１、Ｇ_５１１に設置されている。

本実施の形態は、そのように設置されている基板処理装置２の周囲、具体的には基板処理装置２の周囲の横列はグレーチングＧ_１０１～グレーチングＧ_１１２、グレーチングＧ_６０１～グレーチングＧ_６１２、縦列はグレーチングＧ_１０１～グレーチングＧ_６０１、グレーチングＧ_１１２～グレーチングＧ_６１２の各グレーチングＧの開口を監視している。

本実施の形態では、物理量の変化発生手段として、導電性部材を採用し、図１、図２に示したように、具体的には扁平なテープ２１を用いている。テープ２１はフラットケーブルの構成を有している。すなわちこのテープ２１の上面２２、下面２３は絶縁材で構成されており、その内部に扁平な導電部２４が収容されている。またテープ２１の下面２３は粘着剤が塗布されており、グレーチングＧの上面に貼着自在である。したがって、テープ２１は剥離テープの機能を有している。

各テープ２１の一端部の下面２３は、その一部が切欠され、導電部２４が露出している。一方各テープ２１の他端部の上面２２は、その一部が切欠され、導電部２４が露出している。テープ２１の長さは、設置されるグレーチングＧの幅（図１における左右方向の長さ）よりも少し長く設定されている。たとえば上面２２についていえば、その一端部から他端部の切欠部までの長さが、グレーチングＧの幅と同じになるように設定されている。

また各テープ２１内には、複数、たとえば２以上の導電部２４が平行に収容されている。そして監視対象の端に位置するグレーチングＧ_６１２に設置されるテープ２１Ｅについては、上面の切欠に対して絶縁部材３１が貼り付けられている。またテープ２１Ｅについては、切欠部分で導電部２４同士が接続されている。

監視対象の他端に位置するグレーチングＧ_６０２については、絶縁部材３２で被覆され、内部の導電部２４は、ケーブル４１を介して警報装置４２と接続されている。この警報装置４２は、電源を内蔵し、テープ２１内の導電部との間で閉回路を構成するようになっている。そして当該閉回路が、開放された際には、それに基づいて警報を外部に発するように構成されている。警報の種類については、例えばブザー、音声、サイレン等聴覚に訴えるもの、ライトの点滅など聴覚に訴えるもの、あるいはそれらを組み合わせたものが採用される。

このような監視システム１におけるテープ２１の貼り付け手順は、図４～図６に示した通りである。まず図４に示したように、警報装置４２に近い側のグレーチングＧ１上にテープ２１ａを張り付ける。そして他のテープ２１ｂを、その一端部の下面側に露出した導電部２４を、テープ２１ａの上面他端部にて露出している導電部と接触させるようにして、グレーチングＧ２に貼り付ける。このようにして順次テープ２１を対応するグレーチングＧ上に貼り付け、端部に位置するグレーチングＧ３に対して、テープ２１Ｅを貼り付ける。そして図５に示したように、テープ２１Ｅの他端部に露出している導電部２４の上に絶縁部材３１を貼り付ける。そうすると、図６に示したように、監視対象となるグレーチングＧ上のすべてに、物理量の変化発生手段としてのテープ２１、２１Ｅが貼り付けられる。

このようにして警報装置４２に接続される、複数のテープ２１で長尺状に複数のグレーチングＧに跨って延出した、ユニット単位の監視システムＵが完成する。このユニット単位の監視システムＵが、図１に示したように、クリーンルーム内のグレーチングＧ上に設置される基板処理装置２の周囲四面に各々１つずつ配置されている。すなわち、基板処理装置２の背面には、ユニット単位の監視システムＵ１が、正面にはユニット単位の監視システムＵ２が、一側面にはユニット単位の監視システムＵ３が、他側面にはユニット単位の監視システムＵ４が配置される。

次に監視システムＵの動作について説明する。図７に示した状態では、各グレーチングＧ１、Ｇ２、Ｇ３は設置された状態であり、警報装置４２と各テープ２１ａ、２１ｂ、２１Ｅとの間では導電部２４による閉回路が構成されている。そして例えば図８に示したように、中ほどに位置するグレーチングＧ２を持ち上げると、グレーチングＧ２の上面に貼り付けられているテープ２１ｂも、そのまま持ち上がる。そうすると、テープ２１ｂと、テープ２１ａ、２１Ｅとの接続は解除され、前記閉回路は、テープ２１ｂの位置にて回路がオープンになる。すなわち遮断される。

このように閉回路が遮断されると、警報装置４２においては当該回路のオープンに伴って警報発信回路が作動し、警報が発せられる。したがって、現場にいる作業員は、グレーチングＧが開口していることを直ちに知ることができる。それゆえ作業中であっても、警報が発せられている間はグレーチングＧが開口していると知覚して、作業を行うことになり、誤って開口している箇所から落ちてしまうという事態を防止できる。

図１に示した監視システム１によれば、基板処理装置２の四面に対して、ユニット単位の監視システムＵ１～Ｕ４が配置されているから、死角がなく、基板処理装置２を囲むグレーチングＧの開口を検出して警報を発することができる。したがって、監視カメラを設置するよりも容易に死角がないように監視体制を構築することが可能である。

しかもこのような監視システムを構築するには、監視対象とするグレーチングＧ上に、テープ２１を順次貼り付けていくだけであるから、構築作業が極めて簡単、かつ迅速に行うことが可能である。もちろん既存のグレーチングに設定することも容易である。

また図１に示した例では、基板処理装置２の周囲のグレーチングＧに対して、いわば一重にテープ２１を貼り付けて監視システム１を構築したが、さらにその外側のグレーチングＧに対してもテープ２１を貼り付けて、監視対象とするグレーチングＧを多重に設定することも簡単である。もちろんそのような装置の周辺のみならず、クリーンルーム内において、作業員が通行する通路上にも実施の形態にかかる監視システムを構築してもよい。

上記した実施の形態では、要するに警報装置４２との間で閉ループを構成する長尺状の導電部材であるテープとで構成され、各テープは貼り着けられるグレーチングＧごとに、分離可能となる構成を採るものである。そして閉ループがオープンになった際に、警報を発する機能を警報装置４２に持たせた構成である。したがってこの実施の形態では、電流が流れるか流れないかを物理量の変化と捉えて構成されている。

前記した例では、監視システムはいずれもテープ２１を直線状に配置した例であったが、図９、図１０に示したように、コーナー部に対しても設定可能である。すなわち、図９に示した例では、グレーチングＧＣの部分で、他のテープ２１と接続する場合を示しており、図９に示したように直角に曲がってグレーチングＧＣの隣り合う二面に延出して、他のテープ２１と接続できるコーナー用のテープ２１ｃを用意すれば対応可能である。図１０に示した例では、図９とは逆方向に直角に曲がってテープ２１を貼り付ける例を示している。また図１１では、直角に２回折れ曲がって、端部に位置するグレーチングＧ１の方向に戻っていく場合の、テープ２１ａ、２１ｃ及びコーナー用のテープ２１ｃの貼り付け方を示している。このように平面視で直角に曲がったテープ２１ｃを用意することで、様々な方向に延出する監視システムの構築が可能である。

前記実施の形態では、物理量の変化発生手段として、導電性部材であるフラットケーブルであるテープ２１を用いていたが、これに代えて、図１２に示したように、線材、例えばワイヤ５１を用いてもよい。

図１２に示した例では、グレーチングＧ１～Ｇ３の上面に跨るように１本のワイヤ５１を配置し、ワイヤ５１の一端部を端に位置するグレーチングＧ３の上面に固定部材５２によって固定し、他端部を警報装置４２に接続している。この警報装置４２内においては、たとえばリール（図示せず）にワイヤ５１の他端部側を巻き付けている。一方、グレーチングＧ１～Ｇ３上では、配置されたワイヤ５１がワイヤ５１の延出方向（グレーチングＧ１～Ｇ３を横切る方向）に移動自在となるように、例えばグレーチングの上面に設けられたケーブルガイド（図示せず）内を挿通してグレーチングＧ１～Ｇ３上に配置されている。

一方、ワイヤ５１がグレーチングＧ１～Ｇ３上に露出したままでは作業員の通行時の安全上支障があるので、ワイヤ５１の上には各グレーチングＧ１～Ｇ３ごとにテープ５３が貼り付けられている。この場合、ワイヤ５１の移動やグレーチングの持ち上げに支障がないように、ワイヤ５１の部分には空隙を確保したり、粘着剤が塗布されていないことが好ましい。

以上の構成にかかる実施の形態によれば、図１３に示したように、中ほどに位置するグレーチングＧ２を持ち上げると、それに伴ってワイヤ５１が引き上げられる。このときワイヤの一端部は固定部材５２によって固定されているから、ワイヤ５１の他端部側が図中の矢印方向に引っ張られる。そうすると警報装置４２からはワイヤ５１が引き出され、警報装置４２から出ているワイヤ５１の長さが変化する。すなわち物理量が変化する。これを利用して、例えばワイヤの引き出し量を出力するワイヤ変位センサを警報装置４２に設けておくことで、所定値以上の引き出し量が出力された場合には、グレーチングＧ２が持ち上げられて開口が発生したと判断して、警告を発するように構成すればよい。ワイヤ変位センサとしては、種々の構成の公知のセンサを用いることができる。たとえばワイヤ５１を引き出した分だけスプールが回転し、当該スプールの軸に固定されたロータリーセンサの軸が連動して回ることで電圧値が変化したり、パルスをカウントする構造のものを例示できる。その他前記したリールの回転に伴って、警報装置４２内に警報を発する警報回路、スイッチ等を設けておけば、当該ワイヤ５１が引き出されることで警報を発して、作業員に警告を与えることが可能である。

以上の例では、ワイヤの警報装置４２から出ているワイヤ５１の長さの変化を物理量の変化として捉えて、それに基づいて警報を発するようにしていた。これに代えて、図１４に示したように、ワイヤ５１が引き出された際にワイヤ５１の他端部が警報装置４２から外れるように構成してもよい。

そしてワイヤ５１が外れることを検出するセンサ、例えばワイヤ５１の他端部を検出する近接センサで監視しておくことで、ワイヤ５１の他端部が外れたことを検知して、警告発報回路がＯＮするように構成すればよい。またワイヤ５１の他端部に適宜のソケットを設けておき、このソケットが外れることで警告発報回路がＯＮする構成を採用してもよい。いずれにしろ、ワイヤ５１が外れるという物理量の変化に基づいて、警報装置４２から警報を発することができる。

さらにまた図１５に示したように、ワイヤ５１の他端部を、変位センサ６１を有する警報装置６２に接続してもよい。この警報装置６２は、変位センサ６１と変位センサ６１を支持する支持部６３とを有しており、ワイヤ５１の他端部は変位センサ６１に固定されている。変位センサ６１には例えば傾斜センサを採用することができる。なおワイヤ５１のグレーチングＧ１～Ｇ３に対する配置、固定方法等は、前記した図１２の例と同じである。

かかる構成によれば、中ほどに位置するグレーチングＧ２を持ち上げると、それに伴ってワイヤ５１が引き上げられる。このときワイヤの一端部は固定部材５２によって固定されているから、ワイヤ５１の他端部側が図中の矢印方向に引っ張られる。そうするとワイヤ５１の他端部が変位センサ６１に固定されているから、図１６に示したように、変位センサ６１は傾斜したり、倒れたりする。すなわち物理量が変化する。これに基づいて警報装置６２から警報を発するようにしておけばよい。変位センサ６１としては、たとえば傾斜センサを用いることができる。その他、ワイヤ５１の他端部が固定されている部材がたおれたことで作動するスイッチを警報装置６２に設けておき、当該スイッチの作動により、警報が発せられるように構成してもよい。

以上に開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。

なお、以下のような構成は本開示の技術的範囲に属する。

（１）クリーンルーム内のグレーチング上に設置される基板処理装置周囲の監視システムであって、前記基板処理装置の周囲の一部または全部のグレーチングの上面に、複数のグレーチング上に跨って延出して配置される物理量の変化発生手段と、前記変化発生手段による物理量の変化に基づいて警報を発する警報装置と、を有し、前記変化発生手段は、１のグレーチングを上方に持ち上げた際に物理量を変化させることを特徴とする、基板処理装置周囲の監視システム。
ここでいう物理量の変化とは、電流が流れるかどうか、物体が移動するかどうか、物体の接続が解除されるかどうか、現出している物体の長さが変化することを含むものである。

（２）前記変化発生手段は、電流が流れる導電性部材であり、前記導電性部材の一端部は、前記変化発生手段が配置されるグレーチングのうちの端部に位置するグレーチングに固定され、
前記導電性部材の他端部は、前記警報装置に接続され、前記導電性部材は絶縁材で被覆され、１のグレーチングを上方に持ち上げた際には、当該グレーチングの箇所で電気的導通が遮断され、当該遮断に基づいて前記導電性部材に電流が流れなくなることによって、前記警報装置が警報を発するように構成されたことを特徴とする、（１）に記載の基板処理装置周囲の監視システム。

（３）前記導電性部材は、配置された各グレーチングごとに、隣接する他のグレーチング上の導電性部材と電気的に接続、解除自在に構成され、１のグレーチングを上方に持ち上げた際には、当該グレーチングに隣接する他のグレーチングの導電性部材との電気的接続が解除されるように構成されたことを特徴とする（２）に記載の基板処理装置周囲の監視システム。

（４）前記変化発生手段は、線材であり、前記線材の一端部は、前記変化発生手段が配置されるグレーチングのうちの端部に位置するグレーチングに固定され、前記線材の他端部は、前記警報装置に接続され、１のグレーチングを上方に持ち上げた際には、前記線材の他端部側が前記警報装置から引き出され、当該線材の引き出しに基づいて前記警報装置が警報を発するように構成されたことを特徴とする、（１）に記載の基板処理装置周囲の監視システム。ここでいう線材は導電性を有するかどうかを問わない。

（５）前記変化発生手段は、線材であり、前記線材の一端部は、前記変化発生手段が配置されるグレーチングのうちの端部に位置するグレーチングに固定され、前記線材の他端部は、前記警報装置に接続され、１のグレーチングを上方に持ち上げた際には、当該持ち上げによって線材の他端部が前記警報装置から外れ、当該線材の他端部が前記警報装置から外れることで、前記警報装置が警報を発するように構成されたことを特徴とする、（１）に記載の基板処理装置周囲の監視システム。ここでいう線材は導電性を有するかどうかを問わない。

（６）前記変化発生手段は、線材であり、前記線材の一端部は、前記変化発生手段が配置されるグレーチングのうちの端部に位置するグレーチングに固定され、前記線材の他端部は、前記警報装置に設けられて傾斜を検知する変位センサに接続され、１のグレーチングを上方に持ち上げた際には、前記変位センサが検知する傾斜が変位し、当該変位によって警報を発するように構成されたことを特徴とする、（１）に記載の基板処理装置周囲の監視システム。ここでいう線材は導電性を有するかどうかを問わない。

（７）前記変化発生手段は、線材であり、前記線材の一端部は、前記変化発生手段が配置されるグレーチングのうちの端部に位置するグレーチングに固定され、前記線材の他端部は、前記警報装置のスイッチ部材に接続され、１のグレーチングを上方に持ち上げた際には、当該持ち上げによって線材の他端部が前記スイッチ部材をＯＮにすることで、前記警報装置が警報を発するように構成されたことを特徴とする、（１）に記載の基板処理装置周囲の監視システム。ここでいう線材は導電性を有するかどうかを問わない。

１監視システム
２基板処理装置
２１テープ
２２上面
２３下面
２４導電部
３１、３２絶縁部材
４１ケーブル
４２警報装置
５１ワイヤ
５２固定部材
５３テープ
６１変位センサ
６２警報装置
６３支持部
Ｇグレーチング

Claims

クリーンルーム内のグレーチング上に設置される基板処理装置の周囲を監視する監視システムであって、
前記基板処理装置の周囲の一部または全部のグレーチングの上面に、複数のグレーチング上に跨って延出して配置される物理量の変化発生手段と、
前記変化発生手段による物理量の変化に基づいて警報を発する警報装置と、を有し、
前記変化発生手段は、１のグレーチングを上方に持ち上げた際に物理量を変化させることを特徴とする、基板処理装置周囲の監視システム。
前記変化発生手段は、電流が流れる導電性部材であり、
前記導電性部材の一端部は、前記変化発生手段が配置されるグレーチングのうちの端部に位置するグレーチングに固定され、
前記導電性部材の他端部は、前記警報装置に接続され、
前記導電性部材は絶縁材で被覆され、
１のグレーチングを上方に持ち上げた際には、当該グレーチングの箇所で電気的導通が遮断され、当該遮断に基づいて前記導電性部材に電流が流れなくなることによって、前記警報装置が警報を発するように構成されたことを特徴とする、請求項１に記載の基板処理装置周囲の監視システム。
前記導電性部材は、配置された各グレーチングごとに、隣接する他のグレーチング上の導電性部材と電気的に接続、解除自在に構成され、
１のグレーチングを上方に持ち上げた際には、当該グレーチングに隣接する他のグレーチングの導電性部材との電気的接続が解除されるように構成されたことを特徴とする、請求項２に記載の基板処理装置周囲の監視システム。
前記変化発生手段は、線材であり、
前記線材の一端部は、前記変化発生手段が配置されるグレーチングのうちの端部に位置するグレーチングに固定され、
前記線材の他端部は、前記警報装置に接続され、
１のグレーチングを上方に持ち上げた際には、前記線材の他端部側が前記警報装置から引き出され、当該線材の引き出しに基づいて前記警報装置が警報を発するように構成されたことを特徴とする、請求項１に記載の基板処理装置周囲の監視システム。
前記変化発生手段は、線材であり、
前記線材の一端部は、前記変化発生手段が配置されるグレーチングのうちの端部に位置するグレーチングに固定され、
前記線材の他端部は、前記警報装置に接続され、
１のグレーチングを上方に持ち上げた際には、当該持ち上げによって線材の他端部が前記警報装置から外れ、
当該線材の他端部が前記警報装置から外れることで、前記警報装置が警報を発するように構成されたことを特徴とする、請求項１に記載の基板処理装置周囲の監視システム。
前記変化発生手段は、線材であり、
前記線材の一端部は、前記変化発生手段が配置されるグレーチングのうちの端部に位置するグレーチングに固定され、
前記線材の他端部は、前記警報装置に設けられて傾斜を検知する変位センサに接続され、
１のグレーチングを上方に持ち上げた際には、前記変位センサが検知する傾斜が変位し、
当該変位によって警報を発するように構成されたことを特徴とする、請求項１に記載の基板処理装置周囲の監視システム。
前記変化発生手段は、線材であり、
前記線材の一端部は、前記変化発生手段が配置されるグレーチングのうちの端部に位置するグレーチングに固定され、
前記線材の他端部は、前記警報装置のスイッチ部材に接続され、
１のグレーチングを上方に持ち上げた際には、当該持ち上げによって線材の他端部が前記スイッチ部材をＯＮにすることで、前記警報装置が警報を発するように構成されたことを特徴とする、請求項１に記載の基板処理装置周囲の監視システム。