JP7113005B2 - 光モジュール - Google Patents
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Description
Insulator)基板に干渉光学系が形成された光モジュールが知られている(例えば、特許文献1参照)。このような光モジュールは、高精度な光学配置が実現されたFTIR(フーリエ変換型赤外分光分析器)を提供し得るため、注目されている。
[光モジュールの構成]
[可動ミラー及びその周辺構造]
[固定ミラー及びその周辺構造]
[作用及び効果]
[変形例]
Claims (9)
- 支持層と、
前記支持層上に設けられたデバイス層と、
ミラー面が形成されたミラー部を有し、前記デバイス層に実装された可動ミラーと、を備え、
前記デバイス層は、
前記可動ミラーが貫通する実装領域と、
前記実装領域に接続された駆動領域と、を有し、
前記支持層及び前記デバイス層の少なくとも一方には、少なくとも前記実装領域及び前記駆動領域に対応する空間が形成されており、
前記可動ミラーの一部は、前記空間に位置している、光モジュール。 - 前記支持層と前記デバイス層との間に設けられた中間層を更に備え、
前記中間層には、第1開口が形成されており、
前記支持層には、凹部又は第2開口が形成されており、
前記空間は、前記第1開口内の領域及び前記凹部内の領域、又は、前記第1開口内の領域及び前記第2開口内の領域を含み、
前記可動ミラーの前記一部は、前記凹部内の領域又は前記第2開口内の領域に位置している、請求項1に記載の光モジュール。 - 前記支持層は、SOI基板の第1シリコン層であり、
前記デバイス層は、前記SOI基板の第2シリコン層であり、
前記中間層は、前記SOI基板の絶縁層である、請求項2に記載の光モジュール。 - 前記支持層には、凹部又は開口が形成されており、
前記空間は、前記凹部内の領域又は前記開口内の領域を含み、
前記可動ミラーの前記一部は、前記凹部内の領域又は前記開口内の領域に位置している、請求項1に記載の光モジュール。 - 前記デバイス層には、凹部が形成されており、
前記空間は、前記凹部内の領域を含み、
前記可動ミラーの前記一部は、前記凹部内の領域に位置している、請求項1に記載の光モジュール。 - 前記デバイス層には、第1凹部が形成されており、
前記支持層には、第2凹部又は開口が形成されており、
前記空間は、前記第1凹部内の領域及び前記第2凹部内の領域、又は、前記第1凹部内の領域及び前記開口内の領域を含み、
前記可動ミラーの前記一部は、前記第2凹部内の領域又は前記開口内の領域に位置している、請求項1に記載の光モジュール。 - 前記ミラー面は、前記デバイス層に対して前記支持層とは反対側に位置している、請求項1~6のいずれか一項に記載の光モジュール。
- 前記支持層、前記デバイス層、及び前記支持層と前記デバイス層との間に設けられた中間層の少なくとも1つに実装された固定ミラーと、
前記支持層、前記デバイス層、及び前記中間層の少なくとも1つに実装されたビームスプリッタと、を更に備え、
前記可動ミラー、前記固定ミラー及び前記ビームスプリッタは、干渉光学系を構成するように配置されている、請求項1~7のいずれか一項に記載の光モジュール。 - 外部から前記干渉光学系に測定光を入射させるように配置された光入射部と、
前記干渉光学系から外部に前記測定光を出射させるように配置された光出射部と、を更に備える、請求項8に記載の光モジュール。
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