CN110402408A - 光组件 - Google Patents

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Abstract

光组件包括：基体，其具有主面，且设置有安装区域和驱动区域，驱动区域能够使安装区域沿着与主面平行的第一方向移动；可动反射镜，其具有处于与主面交叉的位置关系的反射镜面，且安装于安装区域；第一固定反射镜，其具有处于与主面交叉的位置关系的反射镜面，且相对于基体的位置是固定的；和分束器单元，其与可动反射镜和第一固定反射镜一起构成关于测量光的第一干涉光学系统。可动反射镜的反射镜面和第一固定反射镜的反射镜面朝向第一方向上的一侧。

Description

光组件
技术领域
本公开涉及光组件。
背景技术
已知有通过MEMS(Micro Electro Mechanical Systems，微机电系统)技术在SOI(Silicon On Insulator，绝缘体上硅结构)基片上形成有干涉光学系统的光组件(例如，参照专利文献1)。这种光组件由于能够提供可实现高精度的光学配置的FTIR(傅立叶变换型红外分光分析器)，因此备受关注。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特表2012-524295号公报。
发明内容
发明所要解决的技术问题
但是，上述那样的光组件中，由于例如可动反射镜的反射镜面的尺寸依赖于对SOI基片的深反应离子刻蚀加工的完成程度，而存在以下那样的问题。即，深反应离子刻蚀加工对SOI基片的完成程度最大为500μm程度，因此，通过使可动反射镜的反射镜面的大型化来提高FTIR的灵敏度具有限度。
因此，考虑将单独形成的可动反射镜安装于例如由SOI基片构成的基体的技术。已知在这种技术中需要测量可动反射镜的反射镜面的角度偏差是否处于规定范围内。
本公开的目的在于，提供一种能够实现可动反射镜的反射镜面的大型化，并且能够容易测量可动反射镜的反射镜面的角度偏差是否处于规定范围内的光组件。
用于解决问题的技术方案
本公开的一个方面提供一种光组件，包括：基体，其具有主面，且设置有安装区域和驱动区域，驱动区域能够使安装区域沿着与主面平行的第一方向移动；可动反射镜，其具有处于与主面交叉的位置关系的反射镜面，且安装于安装区域；第一固定反射镜，其具有处于与主面交叉的位置关系的反射镜面，且相对于基体的位置是固定的；和分束器单元，其与可动反射镜和第一固定反射镜一起构成关于测量光的第一干涉光学系统，可动反射镜的反射镜面和第一固定反射镜的反射镜面朝向第一方向上的一侧。
在该光组件中，在基体的安装区域安装具有处于与基体的主面交叉的位置关系的反射镜面的可动反射镜。由此，能够实现可动反射镜的反射镜面的大型化。而且，在光组件中，安装于安装区域的可动反射镜的反射镜面和相对于基体的位置被固定的第一固定反射镜的反射镜面，朝向与基体的主面平行的第一方向上的一侧。由此，例如，与可动反射镜的反射镜面和第一固定反射镜的反射镜面处于相互正交的位置关系的情况相比，通过将第一固定反射镜的反射镜面作为基准，能够容易测量可动反射镜的反射镜面的角度偏差是否处于规定范围内。由此，根据光组件，能够实现可动反射镜的反射镜面的大型化，并且能够容易测量可动反射镜的反射镜面的角度偏差是否处于规定范围内。
本公开的一个方面的光组件中，也可以的是，在安装区域形成有开口，可动反射镜包括：具有反射镜面的反射镜部；与反射镜部连结的弹性部；和能够与弹性部的弹性变形相应地被施加弹力的支承部，支承部在被施加弹性部的弹力的状态下被插入开口，可动反射镜通过从开口的内表面施加于支承部的弹力的反作用力，而被固定于安装区域。由此，能够在安装区域容易且高精度地安装可动反射镜。另一方面，有可能由于例如颗粒被夹在支承部与开口的内表面之间等而在可动反射镜的反射镜面产生角度偏差，对此，如上所述能够容易测量可动反射镜的反射镜面的角度偏差是否处于规定范围内的结构是特别有效的。
本公开的一个方面的光组件中，也可以的是，第一固定反射镜在与主面平行且与第一方向垂直的第二方向上位于可动反射镜的一侧，驱动区域的至少一部分在从与主面垂直的第三方向观察时，位于第一固定反射镜的第一方向上的一侧或另一侧。由此，能够实现与基体的主面平行的面内的省空间化，且抑制光组件整体的大型化。
本公开的一个方面的光组件中，也可以的是，分束器单元包括：半反射镜面，其反射测量光的一部分且使测量光的其余部分透射；全反射镜面，其反射由半反射镜面反射了的测量光的一部分，半反射镜面与全反射镜面相互平行。由此，即使在与基体的主面垂直的轴线周围的分束器单元的安装角度产生偏差，如果测量光向分束器单元的入射角度固定不变，则测量光从分束器单元的射出角度也固定不变。而且，在该光组件中，由于能够实现可动反射镜的反射镜面的大型化，因此，即使在测量光从分束器单元的射出位置产生偏差，也能够实际上忽视该偏差。因此，能够缓和分束器单元的校准精度。
本公开的一个方面的光组件中，也可以的是，第一固定反射镜安装于基体。由此，能够使可动反射镜和第一固定反射镜的对位变得容易。
本公开的一个方面的光组件中，也可以的是，分束器单元安装于基体。由此，能够使可动反射镜和分束器单元的对位变得容易。
本公开的一个方面的光组件也可以还包括光透射部件，光透射部件配置于分束器单元与可动反射镜之间的第一光路和分束器单元与第一固定反射镜之间的第二光路中的至少一个光路上，修正第一光路与第二光路之间的光路差。由此，能够容易且高精度地获得测量光的干涉光。
本公开的一个方面的光组件中，也可以的是，光透射部件安装于基体。由此，能够使可动反射镜和光透射部件的对位变得容易。
本公开的一个方面的光组件也可以还包括：测量光入射部，其以能够从外部向第一干涉光学系统入射测量光的方式配置；和测量光出射部，其以能够从第一干涉光学系统向外部射出测量光的方式配置。由此，能够获得包括测量光入射部及测量光出射部的FTIR。
本公开的一个方面的光组件也可以还包括第二固定反射镜，第二固定反射镜具有处于与主面交叉的位置关系的反射镜面，且相对于基体的位置是固定的，分束器单元与可动反射镜和第二固定反射镜一起构成关于激光的第二干涉光学系统，第二固定反射镜的反射镜面朝向第一方向上的一侧。由此，通过检测激光的干涉光，能够测量可动反射镜的反射镜面的位置。而且，第二固定反射镜的反射镜面也与可动反射镜的反射镜面同样，朝向与基体的主面平行的第一方向的一侧。由此，通过将第二固定反射镜的反射镜面设为基准，能够容易测量可动反射镜的反射镜面的角度偏差是否处于规定范围内。
本公开的一个方面的光组件中，也可以的是，第一固定反射镜和第二固定反射镜在与主面平行且与第一方向垂直的第二方向上分别位于可动反射镜的两侧，驱动区域的至少一部分在从与主面垂直的第三方向观察时，位于第一固定反射镜的第一方向上的一侧或另一侧，以及第二固定反射镜的第一方向上的一侧或另一侧。由此，能够实现与基体的主面平行的面内的省空间化，且抑制光组件整体的大型化。
本公开的一个方面的光组件也可以还包括滤光器，该滤光器配置于激光不行进且测量光行进的光路上，切断包含激光的中心波长的波长范围的光。由此，能够防止测量光在激光的干涉光的检测中成为噪声。
本公开的一个方面的光组件也可以还包括：光源，其产生入射到第二干涉光学系统的激光；和光检测器，其检测从第二干涉光学系统射出的激光。由此，通过检测激光，能够实时检测可动反射镜的位置，因此，能够获得更高精度的FTIR。
本公开的一个方面的光组件中，也可以的是，基体具有：器件层，其具有主面，且设置有安装区域和驱动区域；支承器件层的支承层；和设置于支承层与器件层之间的中间层，支承层为SOI基片的第一硅层，器件层为SOI基片的第二硅层，中间层为SOI基片的绝缘层。由此，能够利用SOI基片很好地实现可使安装于器件层的可动反射镜可靠地移动的结构。
发明效果
根据本公开，可提供一种能够实现可动反射镜的反射镜面的大型化，并且能够容易测量可动反射镜的反射镜面的角度偏差是否处于规定范围内的光组件。
附图说明
图1是第一实施方式的光组件的平面图。
图2是沿着图1的II-II线的剖面图。
图3是沿着图1的III-III线的剖面图。
图4是表示第一实施方式的变形例的示意图。
图5是第二实施方式的光组件的平面图。
图6是表示入射于图5的光组件的光检测器中的光的光谱的图。
图7是表示第二实施方式的变形例的示意图。
图8是表示第二实施方式的变形例的示意图。
图9是表示第二实施方式的变形例的示意图。
具体实施方式
以下，参照附图详细地说明本公开的实施方式。此外，各图中对相同或相当部分标注相同符号，并省略重复的部分。
[第一实施方式]
[光组件的结构]
如图1所示，光组件1A包括基体10。基体10具有：支承层2、设置于支承层2上的器件层3、设置于支承层2与器件层3之间的中间层4。支承层2隔着中间层4支承器件层3。基体10具有主面10a。主面10a是器件层3的与支承层2相反一侧的表面。支承层2、器件层3及中间层4由SOI基片构成。具体而言，支承层2是SOI基片的第一硅层。器件层3是SOI基片的第二硅层。中间层4是SOI基片的绝缘层。支承层2、器件层3及中间层4在从它们的层叠方向(与主面10a垂直的方向，第三方向)即Z轴方向(与Z轴平行的方向)观察时，呈现例如一边为10mm程度的矩形形状。支承层2及器件层3各自的厚度为例如数百μm程度。中间层4的厚度为例如数μm程度。此外，图1中表示了将器件层3的一个角部及中间层4的一个角部切除了的状态下的器件层3及中间层4。
在器件层3设置有安装区域31及驱动区域32。驱动区域32包含一对致动器区域33和一对弹性支承区域34。安装区域31及驱动区域32(即，安装区域31以及一对致动器区域33和一对弹性支承区域34)通过MEMS技术(图案化和蚀刻)而与器件层3的一部分形成为一体。
一对致动器区域33在与主面10a平行的X轴方向(平行于与Z轴正交的X轴的方向，第一方向)上配置于安装区域31的两侧。也就是，安装区域31在X轴方向上被一对致动器区域33夹着。各致动器区域33经由中间层4固定于支承层2。在各致动器区域33的安装区域31侧的侧面设置有第一梳齿部33a。各第一梳齿部33a通过除去其正下方的中间层4，而成为相对于支承层2浮起的状态。在各致动器区域33中设置有第一电极35。
一对弹性支承区域34在与主面10a平行且与X轴方向垂直的Y轴方向(平行于与Z轴及X轴正交的Y轴的方向，第二方向)上配置于安装区域31的两侧。也就是，安装区域31在Y轴方向上被一对弹性支承区域34夹着。各弹性支承区域34的两端部34a经由中间层4固定于支承层2。各弹性支承区域34的弹性变形部34b(两端部34a之间的部分)具有多个板簧连结而成的结构。各弹性支承区域34的弹性变形部34b通过除去其正下方的中间层4，而成为相对于支承层2浮起的状态。各弹性支承区域34中，在两端部34a分别设置有第二电极36。
在安装区域31连接各弹性支承区域34的弹性变形部34b。安装区域31通过除去其正下方的中间层4，而成为相对于支承层2浮起的状态。也就是，安装区域31由一对弹性支承区域34支承。在安装区域31的各致动器区域33侧的侧面设置有第二梳齿部31a。各第二梳齿部31a通过除去其正下方的中间层4，而成为相对于支承层2浮起的状态。相互对置的第一梳齿部33a及第二梳齿部31a中，第一梳齿部33a的各梳齿位于第二梳齿部31a的各梳齿间。
一对弹性支承区域34在从与X轴平行的方向A观察时，从两侧夹着安装区域31，当安装区域31沿着方向A移动时，对安装区域31作用使安装区域31返回至初始位置的弹力。因此，当对第一电极35与第二电极36之间施加电压，而在相互对置的第一梳齿部33a和第二梳齿部31a间作用静电引力时，安装区域31沿着方向A移动至该静电引力与一对弹性支承区域34的弹力平衡的位置。这样，驱动区域32作为静电致动器发挥作用，使安装区域31沿着X轴方向移动。
光组件1A还包括：可动反射镜5、固定反射镜(第一固定反射镜)6、分束器单元7、测量光入射部8、测量光出射部9、光透射部件11。可动反射镜5、固定反射镜6及分束器单元7以构成关于测量光L0的干涉光学系统(第一干涉光学系统)I1的方式，配置于器件层3上。在此，干涉光学系统I1是迈克尔逊干涉光学系统。
可动反射镜5安装于器件层3的安装区域31。可动反射镜5具有反射镜部51。反射镜部51具有处于与主面10a交叉的位置关系的反射镜面51a。反射镜面51a位于器件层3的与支承层2相反一侧。反射镜面51a是例如与X轴方向垂直的面(即，与方向A垂直的面)，朝向X轴方向的一侧(分束器单元7侧)。
固定反射镜6安装于器件层3的安装区域37。也就是，固定反射镜6安装于基体10。固定反射镜6相对于基体10的位置(相对于基体10中的除安装区域31及驱动区域32之外的区域的位置)是固定的。固定反射镜6位于可动反射镜5的Y轴方向上的一侧。也就是，固定反射镜6相对于可动反射镜5偏移到Y轴方向上的一侧。驱动区域32的至少一部分在从Z轴方向观察时，位于固定反射镜6的X轴方向上的一侧。也就是，驱动区域32的至少一部分在从Z轴方向观察时，在X轴方向上与固定反射镜6并排。具体而言，驱动区域32中的一个弹性支承区域34在从Z轴方向观察时，位于固定反射镜6的X轴方向上的一侧。
固定反射镜6具有反射镜部61。反射镜部61具有处于与主面10a交叉的位置关系的反射镜面61a。反射镜面61a位于器件层3的与支承层2相反一侧。反射镜面61a是例如与X轴方向垂直的面(即，与方向A垂直的面)，朝向X轴方向的一侧(分束器单元7侧)。
分束器单元7位于可动反射镜5及固定反射镜6的X轴方向上的一侧。分束器单元7在分束器单元7的底面侧的一个角部位于形成于器件层3的矩形状的开口3a的一个角部的状态下，在基体10中定位。更具体而言，分束器单元7通过分束器单元7中构成该一个角部的两侧面分别接触到开口3a中的到达该一个角部的两侧面的各侧面，在基体10中定位。分束器单元7在定位的状态下通过粘接等固定于支承层2，从而安装于支承层2。也就是，分束器单元7安装于基体10。此外，在开口3a的该一个角部设置有退避部，因此，分束器单元7中的该一个角部不会与开口3a的该一个角部接触。
分束器单元7具有半反射镜面71、全反射镜面72及多个光学面73a、73b、73c、73d。半反射镜面71、全反射镜面72及多个光学面73a、73b、73c、73d位于器件层3的与支承层2相反一侧。分束器单元7由多个光学块接合而构成。半反射镜面71由例如电介质多层膜形成。全反射镜面72由例如金属膜形成。
光学面73a是例如与X轴方向垂直的面，在从X轴方向观察时与固定反射镜6的反射镜面61a重叠。光学面73a使沿着X轴方向入射的测量光L0透射。
半反射镜面71是例如相对于光学面73a倾斜45°的面，在从X轴方向观察时与固定反射镜6的反射镜面61a重叠。半反射镜面71使沿着X轴方向入射于光学面73a的测量光L0的一部分沿着Y轴方向反射，且使该测量光L0的其余部分沿着X轴方向透射到固定反射镜6侧。
全反射镜面72是与半反射镜面71平行的面，在从X轴方向观察时，与可动反射镜5的反射镜面51a重叠，且在从Y轴方向观察时，与半反射镜面71重叠。全反射镜面72使半反射镜面71所反射的测量光L0的一部分沿着X轴方向反射到可动反射镜5侧。
光学面73b是与光学面73a平行的面，在从X轴方向观察时，与可动反射镜5的反射镜面51a重叠。光学面73b使由全反射镜面72反射的测量光L0的一部分沿着X轴方向透射到可动反射镜5侧。
光学面73c是与光学面73a平行的面，在从X轴方向观察时，与固定反射镜6的反射镜面61a重叠。光学面73c使透射半反射镜面71的测量光L0的其余部分を沿着X轴方向透射到固定反射镜6侧。
光学面73d是与例如Y轴方向垂直的面，在从Y轴方向观察时，与半反射镜面71及全反射镜面72重叠。光学面73d使测量光L1沿着Y轴方向透射。测量光L1是由可动反射镜5的反射镜面51a和全反射镜面72依次反射且透射半反射镜面71的测量光L0的一部分与由固定反射镜6的反射镜面61a和半反射镜面71依次反射的测量光L0的其余部分的干涉光。
测量光入射部8以从外部向干涉光学系统I1入射测量光L0的方式配置。测量光入射部8在分束器单元7的X轴方向上的一侧安装于器件层3。测量光入射部8在X轴方向上与分束器单元7的光学面73a面对面。测量光入射部8由例如光纤及准直透镜等构成。
测量光出射部9以从干涉光学系统I1向外部射出测量光L1(干涉光)的方式配置。测量光出射部9在分束器单元7的Y轴方向上的一侧安装于器件层3。测量光出射部9在Y轴方向上与分束器单元7的光学面73d面对面。测量光出射部9由例如光纤及准直透镜等构成。
光透射部件11配置于分束器单元7与固定反射镜6之间。光透射部件11在光透射部件11的底面侧的一个角部位于形成于器件层3的矩形状的开口3b的一个角部的状态下，在基体10中定位。更具体而言，光透射部件11通过光透射部件11的构成其一个角部的两侧面分别接触到开口3b中的到达其一个角部的两侧面的各侧面，而在基体10中定位。光透射部件11在定位的状态下通过粘接等固定于支承层2，从而安装于支承层2。也就是，光透射部件11安装于基体10。此外，在开口3b的其一个角部设置有退避部，因此，光透射部件11中的该一个角部不会与开口3b的该一个角部接触。
光透射部件11包含一对光学面11a、11b。一对光学面11a、11b位于器件层3的与支承层2相反一侧。一对光学面11a、11b分别是例如与X轴方向垂直的面。一对光学面11a、11b相互平行。光透射部件11能够对分束器单元7和可动反射镜5之间的光路(第一光路)P1与分束器单元7和固定反射镜6之间的光路(第二光路)P2之间的光路差进行修正。
具体而言，光路P1是从半反射镜面71依次经由全反射镜面72及光学面73b，到达位于基准位置的可动反射镜5的反射镜面51a的光路，也就是测量光L0的一部分行进的光路。光路P2是从半反射镜面71经由光学面73c到达固定反射镜6的反射镜面61a的光路，也就是测量光L0的其余部分行进的光路。光透射部件11修正光路P1与光路P2之间的光路差，以使得光路P1的光路长(考虑了光路P1通过的各介质的折射率的光路长)与光路P2的光路长(考虑了光路P2通过的各介质的折射率的光路长)的差成为例如0。此外，光透射部件11由与构成分束器单元7的各光学块中使用的光透射性材料(例如，玻璃)相同的光透射性材料形成。
以上那样构成的光组件1A中，当经由测量光入射部8从外部向干涉光学系统I1入射测量光L0时，测量光L0的一部分在分束器单元7的半反射镜面71和全反射镜面72依次反射，并向可动反射镜5的反射镜面51a行进。接着，测量光L0的一部分在可动反射镜5的反射镜面51a反射，在相同的光路(即，光路P1)上行进，并透射分束器单元7的半反射镜面71。
另一方面，测量光L0的其余部分透射分束器单元7的半反射镜面71，并向固定反射镜6的反射镜面61a行进。接着，测量光L0的其余部分在固定反射镜6的反射镜面61a反射，并在相同光路(即，光路P2)上行进，并在分束器单元7的半反射镜面71反射。
透射分束器单元7的半反射镜面71的测量光L0的一部分和在分束器单元7的半反射镜面71反射的测量光L0的其余部分成为作为干涉光的测量光L1，测量光L1经由测量光出射部9从干涉光学系统I1射出至外部。根据光组件1A，能够使可动反射镜5沿着方向A高速地往返运动，因此能够提供小型且高精度的FTIR。
[可动反射镜及其周边结构]
如图2及图3所示，可动反射镜5具有：反射镜部51、弹性部52、连结部53、一对腿部(支承部)54、一对卡止部(支承部)55。以下那样构成的可动反射镜5通过MEMS技术(构图及蚀刻)形成为一体。
反射镜部51形成为作为主面具有反射镜面51a的片状(例如，圆片状)。弹性部52在从X轴方向(与反射镜面51a垂直的方向)观察时，形成为与反射镜部51分开且包围反射镜部51的环状(例如，圆环状)。连结部53在从X轴方向观察时，在相对于反射镜部51的中心的Y轴方向上的一侧，将反射镜部51与弹性部52相互连结。
一对腿部54在从X轴方向观察时，在相对于反射镜部51的中心的Y轴方向的两侧，与弹性部52的外侧的表面连结。也就是，反射镜部51及弹性部52在Y轴方向上被一对腿部54夹着。各腿部54从反射镜部51及弹性部52向安装区域31侧延伸。一对卡止部55分别设置于各腿部54的安装区域31侧的端部。各卡止部55以在从X轴方向观察时向内侧(相互接近的侧)弯曲成例如V字状的方式形成。
以上那样构成的可动反射镜5通过在形成于安装区域31的开口31b配置一对卡止部55，而安装于安装区域31。开口31b在Z轴方向上在安装区域31的两侧开口。各卡止部55的一部分从安装区域31的中间层4侧的表面突出。也就是，可动反射镜5贯通安装区域31。
在配置于安装区域31的开口31b的一对卡止部55，与弹性部52的弹性变形相应地向外侧(相互远离的一侧)作用弹力。也就是，一对卡止部55在被施加弹性部52的弹力的状态下插入开口31b。该弹力是在可动反射镜5安装于安装区域31时被压缩的环状的弹性部52要恢复成初始状态而产生的力。可动反射镜5利用从开口31b的内表面施加至一对卡止部55的弹力的反作用力，而固定于安装区域31。
此外，如图1所示，开口31b在从Z轴方向观察时形成为向分束器单元7的相反侧逐渐扩展的梯形。通过使具有这种形状的开口31b与具有向内侧弯曲的形状的一对卡止部55卡合，可动反射镜5能够在X轴方向、Y轴方向和Z轴方向的各方向上自动地定位(自校准)。
如图2及图3所示，在中间层4形成有开口41。开口41在Z轴方向上在中间层4的两侧开口。在支承层2形成有开口21。开口21在Z轴方向上在支承层2的两侧开口。光组件1A中，利用中间层4的开口41内的区域和支承层2的开口21内的区域构成连续的空间S1。也就是，空间S1包含中间层4的开口41内的区域和支承层2的开口21内的区域。
空间S1形成于支承层2与器件层3之间，至少与安装区域31和驱动区域32对应。具体而言，中间层4的开口41内的区域和支承层2的开口21内的区域在从Z轴方向观察时包含安装区域31移动的范围。中间层4的开口41内的区域形成用于使安装区域31和驱动区域32中的应与支承层2分隔开的部分(即，是应为相对于支承层2浮起的状态的部分，例如，安装区域31的整体、各弹性支承区域34的弹性变形部34b、第一梳齿部33a及第二梳齿部31a)与支承层2分隔开的间隙。也就是，至少与安装区域31和驱动区域32对应的空间S1是指，以安装区域31的整体和驱动区域32的至少一部分与支承层2分隔开的方式形成于支承层2与器件层3之间的空间。
可动反射镜5所具有的各卡止部55的一部分位于空间S1中。具体而言，各卡止部55的一部分经由中间层4的开口41内的区域位于支承层2的开口21内的区域中。各卡止部55的一部分从器件层3的中间层4侧的表面向空间S1内突出例如100μm程度。如上述，中间层4的开口41内的区域和支承层2的开口21内的区域在从Z轴方向观察时，包含安装区域31移动的范围，因此，安装区域31沿着方向A往返运动时，可动反射镜5的各卡止部55中的位于空间S1的一部分不会与中间层4和支承层2接触。
[固定反射镜及其周边结构]
固定反射镜6具有与可动反射镜5同样的结构。如图1所示，固定反射镜6通过在形成于安装区域37的开口37a配置一对卡止部，而安装于安装区域37。
[作用及效果]
在光组件1A中，在基体10的安装区域31安装具有处于与基体10的主面10a交叉的位置关系的反射镜面51a的可动反射镜5。由此，能够实现可动反射镜5的反射镜面51a的大型化。而且，在光组件1A中，安装于安装区域31的可动反射镜5的反射镜面51a和相对于基体10的位置被固定的固定反射镜6的反射镜面61a，朝向与基体10的主面10a平行的X轴方向上的一侧。由此，例如，与可动反射镜5的反射镜面51a和固定反射镜6的反射镜面61a处于相互正交的位置关系的情况相比，通过将固定反射镜6的反射镜面61a作为基准，能够容易测量可动反射镜5的反射镜面51a的角度偏差是否处于规定范围内。由此，根据光组件1A，能够实现可动反射镜5的反射镜面51a的大型化，并且能够容易测量可动反射镜5的反射镜面51a的角度偏差是否处于规定范围内。
另外，在光组件1A中，可动反射镜5利用从安装区域31的开口31b的内表面施加于卡止部55的弹力的反作用力，而固定于安装区域31。由此，能够利用例如自校准，对安装区域31容易且高精度地安装可动反射镜5。另一方面，有可能由于例如颗粒被夹在卡止部55与开口31b的内表面之间等而在可动反射镜5的反射镜面51a产生角度偏差，对此，如上所述能够容易测量可动反射镜5的反射镜面51a的角度偏差是否处于规定范围内的结构是特别有效的。
另外，在光组件1A中，固定反射镜6位于可动反射镜5的Y轴方向上的一侧，驱动区域32的至少一部分在从Z轴方向观察时，位于固定反射镜6的X轴方向上的一侧。由此，能够实现与基体10的主面10a平行的面内的省空间化，并抑制光组件1A整体的大型化。
另外，在光组件1A中，分束器单元7的反射测量光L0的一部分且使测量光L0的其余部分透射的半反射镜面71与将半反射镜面71所反射的测量光L0的一部分反射的全反射镜面72相互平行。由此，即使在与基体10的主面10a垂直的轴线周围的分束器单元7的安装角度产生偏差，如果测量光L0向分束器单元7(具体而言，光学面73a)的入射角度固定不变，则测量光L0从分束器单元7(具体而言，光学面73b)的射出角度也固定不变。而且，在光组件1A中，由于能够实现可动反射镜5的反射镜面51a的大型化，因此，即使在测量光L0从分束器单元7的射出位置产生偏差，也能够实际上忽视该偏差。因此，能够缓和分束器单元7的校准精度。
另外，在光组件1A中，固定反射镜6安装于基体10。由此，能够使可动反射镜5和固定反射镜6的对位变得容易。
另外，在光组件1A中，分束器单元7安装于基体10。由此，能够使可动反射镜5和分束器单元7的对位变得容易。
另外，在光组件1A中，光透射部件11配置于光路P1上，修正光路P1与光路P2之间的光路差。由此，能够容易且高精度地获得测量光L0的干涉光(测量光L1)。
另外，在光组件1A中，光透射部件11安装于基体10。由此，能够使可动反射镜5和光透射部件11的对位变得容易。
另外，在光组件1A中，测量光入射部8以从外部向干涉光学系统I1入射测量光L0的方式配置，测量光出射部9以从干涉光学系统I1向外部射出测量光L1的方式配置。由此，能够获得包括测量光入射部8和测量光出射部9的FTIR。
另外，在光组件1A中，基体10由SOI基片构成。由此，能够利用SOI基片很好地实现可使安装于器件层3的可动反射镜5可靠地移动的结构。
[第一实施方式的变形例]
如图4的(a)所示，固定反射镜6也可以设置于光透射部件11的光学面11b。另外，如图4的(b)所示，可动反射镜5的反射镜面51a和固定反射镜6的反射镜面61a也可以位于相同平面上。在该情况下，在分束器单元7与可动反射镜5之间配置光透射部件11，在分束器单元7与固定反射镜6之间配置光透射部件17。
光透射部件17包含光学面17a、17b和全反射镜面17c、17d。光学面17a是与例如X轴方向垂直的面。光学面17a使沿着X轴方向入射的测量光L0的其余部分透射。全反射镜面17c是相对于例如光学面17a倾斜45°的面。全反射镜面17c将沿着X轴方向入射到光学面17a的测量光L0的其余部分沿着Y轴方向反射。全反射镜面17d是与全反射镜面17c平行的面。全反射镜面17d将由全反射镜面17c反射的测量光L0的其余部分沿着X轴方向反射到固定反射镜6侧。光学面17b是与光学面17a平行的面。光学面17b使沿着X轴方向入射的测量光L0的其余部分透射。
图4的(b)所示的结构中，光透射部件11和光透射部件17能够对分束器单元7和可动反射镜5之间的光路P1与分束器单元7和固定反射镜6之间的光路P2之间的光路差进行修正。
[第二实施方式]
如图5所示，光组件1B还包括固定反射镜(第二固定反射镜)12、光源13、光检测器14、滤光器15，在这一点上主要与上述的光组件1A不同。在光组件1B中，可动反射镜5、固定反射镜6和分束器单元7以构成关于测量光L0的干涉光学系统(第一干涉光学系统)I1的方式，配置于器件层3上。另外，在光组件1B中，可动反射镜5、固定反射镜12和分束器单元7以构成关于激光L10的干涉光学系统(第二干涉光学系统)I2的方式，配置于器件层3上。在此，各干涉光学系统I1、I2是迈克尔逊干涉光学系统。
固定反射镜12安装于器件层3的安装区域38。也就是，固定反射镜12安装于基体10。固定反射镜12的相对于基体10的位置(相对于基体10中的除安装区域31及驱动区域32之外的区域的位置)是固定的。固定反射镜12位于可动反射镜5的Y轴方向上的另一侧(与固定反射镜6的偏移侧相反的一侧)。也就是，固定反射镜12相对于可动反射镜5偏移到Y轴方向的另一侧。
在光组件1B中，固定反射镜6、12位于可动反射镜5的Y轴方向上的两侧。驱动区域32的至少一部分在从Z轴方向观察时，位于固定反射镜6的X轴方向上的一侧、及固定反射镜12的X轴方向上的一侧。也就是，驱动区域32的至少一部分在从Z轴方向观察时，在X轴方向上与各固定反射镜6、12并排。具体而言，驱动区域32中的一个弹性支承区域34在从Z轴方向观察时，位于固定反射镜6的X轴方向上的一侧。另外，驱动区域32中的另一个弹性支承区域34在从Z轴方向观察时，位于固定反射镜12的X轴方向上的一侧。
固定反射镜12具有反射镜部121。反射镜部121具有处于与主面10a交叉的位置关系的反射镜面121a。反射镜面121a位于器件层3的与支承层2相反一侧。反射镜面121a是与例如X轴方向垂直的面(即，与方向A垂直的面)，并朝向X轴方向的一侧(分束器单元7侧)。固定反射镜12具有与可动反射镜5同样的结构，通过在形成于安装区域38的开口38a配置一对卡止部，而安装于安装区域38。
分束器单元7具有多个半反射镜面71a、71b、全反射镜面72、二向色镜面74和多个光学面75a、75b，75c、75d、75e、75f。多个半反射镜面71a、71b、全反射镜面72、二向色镜面74和多个光学面75a、75b、75c、75d、75e、75f位于器件层3的与支承层2相反一侧。分束器单元7由多个光学块接合而构成。各半反射镜面71a、71b由例如电介质多层膜形成。全反射镜面72由例如金属膜形成。二向色镜面74由例如电介质多层膜形成。
光学面75a是例如与X轴方向垂直的面，在从X轴方向观察时与固定反射镜6的反射镜面61a重叠。光学面75a使沿着X轴方向入射的测量光L0透射。
半反射镜面71a是相对于例如光学面75a倾斜45°的面，在从X轴方向观察时，与固定反射镜6的反射镜面61a重叠。半反射镜面71a使沿着X轴方向入射到光学面75a的测量光L0的一部分沿着Y轴方向反射，且使该测量光L0的其余部分沿着X轴方向透射到固定反射镜6侧。
光学面75b是与例如X轴方向垂直的面，在从X轴方向观察时，与可动反射镜5的反射镜面51a重叠。光学面75b使沿着X轴方向入射的激光L10透射。
半反射镜面71b是与半反射镜面71a平行的面，在从X轴方向观察时，与可动反射镜5的反射镜面51a重叠，且在从Y轴方向观察时，与半反射镜面71a重叠。半反射镜面71b使沿着X轴方向入射到光学面75b的激光L10的一部分沿着Y轴方向反射，且使该激光L10的其余部分沿着X轴方向透射到可动反射镜5侧。半反射镜面71b使由半反射镜面71a反射的测量光L0的一部分沿着X轴方向反射到可动反射镜5侧。
全反射镜面72是与半反射镜面71a、71b平行的面，在从X轴方向观察时，与固定反射镜12的反射镜面121a重叠，且在从Y轴方向观察时，与半反射镜面71a、71b重叠。全反射镜面72使由半反射镜面71b反射的激光L10的一部分沿着X轴方向反射到固定反射镜12侧。
光学面75c是与光学面75a、75b平行的面，在从X轴方向观察时，与可动反射镜5的反射镜面51a重叠。光学面75c使由半反射镜面71b反射的测量光L0的一部分和透射了半反射镜面71b的激光L10的其余部分沿着X轴方向透射到可动反射镜5侧。
光学面75d是与光学面75a、75b平行的面，在从X轴方向观察时，与固定反射镜12的反射镜面121a重叠。光学面75d使由全反射镜面72反射的激光L10的一部分沿着X轴方向透射到固定反射镜12侧。
光学面75e是与光学面75a、75b平行的面，在从X轴方向观察时，与固定反射镜6的反射镜面61a重叠。光学面75e使透射了半反射镜面71a的测量光L0的其余部分沿着X轴方向透射到固定反射镜6侧。
二向色镜面74是与半反射镜面71a、71b及全反射镜面72平行的面，在从Y轴方向观察时，与半反射镜面71a、71b及全反射镜面72重叠。二向色镜面74使测量光L1沿着Y轴方向透射且使激光L11沿着X轴方向反射。测量光L1是由可动反射镜5的反射镜面51a和半反射镜面71b依次反射且透射了半反射镜面71a的测量光L0的一部分、与由固定反射镜6的反射镜面61a和半反射镜面71a依次反射的测量光L0的其余部分的干涉光。激光L11是由固定反射镜12的反射镜面121a和全反射镜面72依次反射且依次透射了半反射镜面71b和半反射镜面71a的激光L10的一部分、与由可动反射镜5的反射镜面51a和半反射镜面71b依次反射且透射了半反射镜面71a的激光L10的其余部分的干涉光。
光学面75f是与光学面75c、75d、75e平行的面，在从X轴方向观察时，与二向色镜面74重叠。光学面75f使由二向色镜面74反射的激光L11沿着X轴方向透射。
测量光入射部8以从外部向干涉光学系统I1入射测量光L0的方式配置。测量光入射部8在X轴方向的分束器单元7的一侧安装于器件层3。测量光入射部8在X轴方向上与分束器单元7的光学面75a面对面。测量光入射部8由例如光纤及准直透镜等构成。
测量光出射部9以从干涉光学系统I1向外部射出测量光L1的方式配置。测量光出射部9在Y轴方向的分束器单元7的一侧安装于器件层3。测量光出射部9在Y轴方向上与分束器单元7的二向色镜面74面对面。测量光出射部9由例如光纤及准直透镜等构成。
光源13产生入射到干涉光学系统I2的激光L10。光源13是例如激光二极管。光源13在X轴方向的分束器单元7的一侧安装于器件层3。光源13在X轴方向上与分束器单元7的光学面75b面对面。
光检测器14检测从干涉光学系统I2射出的激光L11。光检测器14是例如光电二极管。光检测器14在X轴方向的分束器单元7的一侧安装于器件层3。光检测器14在X轴方向上与分束器单元7的光学面75f面对面。
滤光器15配置在激光L10不行进且测量光L0行进的光路上。具体而言，滤光器15配置在测量光入射部8与分束器单元7之间。滤光器15切断包含激光L10的中心波长的波长范围的光。
在以上那样构成的在光组件1B中，当经由测量光入射部8和滤光器15从外部向干涉光学系统I1入射测量光L0时，测量光L0的一部分在分束器单元7的半反射镜面71a和半反射镜面71b依次反射，且向可动反射镜5的反射镜面51a行进。接着，测量光L0的一部分在可动反射镜5的反射镜面51a反射，且在相同的光路(即，光路P1)上行进，并透射分束器单元7的半反射镜面71a。
另一方面，测量光L0的其余部分透射分束器单元7的半反射镜面71a，并向固定反射镜6的反射镜面61a行进。接着，测量光L0的其余部分在固定反射镜6的反射镜面61a反射，且在相同光路(即，光路P2)上行进，并在分束器单元7的半反射镜面71a反射。
透射了分束器单元7的半反射镜面71a的测量光L0的一部分与在分束器单元7的半反射镜面71a反射的测量光L0的其余部分成为干涉光的测量光L1，测量光L1透射分束器单元7的二向色镜面74，且经由测量光出射部9从干涉光学系统I1向外部射出。
另外，在光组件1B中，从光源13向干涉光学系统I2入射激光L10时，激光L10的一部分在分束器单元7的半反射镜面71b和全反射镜面72依次反射，并向固定反射镜12的反射镜面121a行进。接着，激光L10的一部分在固定反射镜12的反射镜面121a反射，且在相同的光路(即，分束器单元7与固定反射镜12之间的光路P3(第三光路))上行进，并透射分束器单元7的半反射镜面71b。
另一方面，激光L10的其余部分透射分束器单元7的半反射镜面71b，并向可动反射镜5的反射镜面51a行进。接着，激光L10的其余部分在可动反射镜5的反射镜面51a反射，且在相同光路(即，光路P1)上行进，并在分束器单元7的半反射镜面71b反射。
透射了分束器单元7的半反射镜面71b的激光L10的一部分、与在分束器单元7的半反射镜面71b反射的激光L10的其余部分成为干涉光的激光L11，激光L11透射了分束器单元7的半反射镜面71a后，在分束器单元7的二向色镜面74反射，且从干涉光学系统I2射出并由光检测器14检测。根据光组件1B，通过检测激光L11，能够实时检测可动反射镜5的位置，因此能够提供更高精度的FTIR。
在光组件1B中，利用配置于测量光入射部8与分束器单元7之间的滤光器15，从测量光L0切断包含激光L10的中心波长的波长范围的光(例如，1μm以下的波长范围的测量光L0)。由此，如图6所示，能够防止在入射到光检测器14的光中混合存在激光L11和测量光L1。
[作用及效果]
根据光组件1B，基于与上述的光组件1A通过样的理由，能够实现可动反射镜5的反射镜面51a的大型化，且能够容易测量可动反射镜5的反射镜面51a的角度偏差是否处于规定范围内。
另外，在光组件1B中，固定反射镜6、12分别位于可动反射镜5的Y轴方向上的两侧，驱动区域32的至少一部分在从Z轴方向观察时，位于固定反射镜6的X轴方向上的一侧、及固定反射镜12的X轴方向上的一侧。由此，能够实现与基体10的主面10a平行的面内的省空间化，并能够抑制光组件1B整体的大型化。
另外，在光组件1B中，切断包含激光L10的中心波长的波长范围的光的滤光器15配置于激光L10不行进且测量光L0行进的光路上。由此，能够防止测量光L1在激光L10的干涉光(激光L11)的检测中成为噪声。
另外，光组件1B包括产生入射到干涉光学系统I2的激光L10的光源13、检测从干涉光学系统I2射出的激光L11的光检测器14。由此，通过检测激光L11，能够实时检测可动反射镜5的位置，因此能够获得更高精度的FTIR。
[第二实施方式的变形例]
如图7的(a)及(b)所示，光源13和光检测器14也可以安装于与基体10分开地设置的电路基片16上。另外，如图7的(a)所示，固定反射镜6也可以设置于光透射部件11的光学面11b。另外，如图7的(b)所示，固定反射镜6、12也可以位于可动反射镜5的Y轴方向上的一侧。在该情况下，分束器单元7也可以如下构成。
图7的(b)所示的分束器单元7中，光学面75a是与例如X轴方向垂直的面，在从X轴方向观察时，与固定反射镜6的反射镜面61a重叠。光学面75a使沿着X轴方向入射的测量光L0透射。
半反射镜面71a是例如相对于光学面75a倾斜45°的面，在从X轴方向观察时，与固定反射镜6的反射镜面61a重叠。半反射镜面71a使沿着X轴方向入射到光学面75a的测量光L0的一部分沿着Y轴方向反射，且使该测量光L0的其余部分沿着X轴方向透射到固定反射镜6侧。
光学面75b是与例如X轴方向垂直的面，在从X轴方向观察时，与固定反射镜12的反射镜面121a重叠。光学面75b使沿着X轴方向入射的激光L10透射。
半反射镜面71b是与半反射镜面71a平行的面，在从X轴方向观察时，与固定反射镜12的反射镜面121a重叠，且在从Y轴方向观察时，与半反射镜面71a重叠。半反射镜面71b使沿着X轴方向入射到光学面75b的激光L10的一部分沿着Y轴方向反射，且使该激光L10的其余部分沿着X轴方向透射到固定反射镜12侧。半反射镜面71a使由半反射镜面71b反射的激光L10的一部分沿着Y轴方向透射。
全反射镜面72是与半反射镜面71a、71b平行的面，在从X轴方向观察时，与可动反射镜5的反射镜面51a重叠，且在从Y轴方向观察时，与半反射镜面71a、71b重叠。全反射镜面72使由半反射镜面71a反射的测量光L0的一部分和由半反射镜面71b反射的激光L10的一部分沿着X轴方向反射到可动反射镜5侧。
光学面75c是与光学面75a、75b平行的面，在从X轴方向观察时，与固定反射镜6的反射镜面61a重叠。光学面75c使透射了半反射镜面71a的测量光L0的其余部分沿着X轴方向透射到固定反射镜6侧。
光学面75d是与光学面75a、75b平行的面，在从X轴方向观察时，与可动反射镜5的反射镜面51a重叠。光学面75d使由全反射镜面72反射的测量光L0的一部分和激光L10的一部分沿着X轴方向透射到可动反射镜5侧。
光学面75e是与光学面75a、75b平行的面，在从X轴方向观察时，与固定反射镜12的反射镜面121a重叠。光学面75e使透射了半反射镜面71a的激光L10的其余部分沿着X轴方向透射到固定反射镜12侧。
二向色镜面74是与半反射镜面71a、71b和全反射镜面72平行的面，在从Y轴方向观察时，与半反射镜面71a、71b和全反射镜面72重叠。二向色镜面74使测量光L1沿着Y轴方向透射且使激光L11沿着X轴方向反射。测量光L1是由可动反射镜5的反射镜面51a和全反射镜面72依次反射且依次透射了半反射镜面71a、71b的测量光L0的一部分、与由固定反射镜6的反射镜面61a和半反射镜面71a依次反射且透射了半反射镜面71b的测量光L0的其余部分的干涉光。激光L11是由可动反射镜5的反射镜面51a和全反射镜面72依次反射且依次透射了半反射镜面71a、71b的激光L10的一部分、与由固定反射镜12的反射镜面121a和半反射镜面71b依次反射的激光L10的其余部分的干涉光。
光学面75f是与光学面75c、75d、75e平行的面，在从X轴方向观察时，与二向色镜面74重叠。光学面75f使由二向色镜面74反射的激光L11沿着X轴方向透射。
另外，如图8的(a)所示，可动反射镜5、固定反射镜6和分束器单元7也可以构成关于测量光L0的干涉光学系统I1，并且构成关于激光L10的干涉光学系统I2。在该情况下，分束器单元7也可以如下构成。
图8的(a)所示的分束器单元7中，光学面75a是与例如X轴方向垂直的面，在从X轴方向观察时，与固定反射镜6的反射镜面61a重叠。光学面75a使沿着X轴方向入射的测量光L0透射。
半反射镜面71a是相对于例如光学面75a倾斜45°的面，在从X轴方向观察时，与固定反射镜6的反射镜面61a重叠。半反射镜面71a使沿着X轴方向入射到光学面75a的测量光L0的一部分沿着Y轴方向反射，且使该测量光L0的其余部分沿着X轴方向透射到固定反射镜6侧。
光学面75b是与例如X轴方向垂直的面，位于光学面75a的Y轴方向上的一侧。光学面75b使沿着X轴方向入射的激光L10透射。
半反射镜面71b是与半反射镜面71a平行的面，在从X轴方向观察时，与光学面75b重叠，且在从Y轴方向观察时，与半反射镜面71a重叠。半反射镜面71b使沿着X轴方向入射到光学面75b的激光L10沿着Y轴方向反射。半反射镜面71a使由半反射镜面71b反射的激光L10的一部分沿着Y轴方向透射，且使该激光L10的其余部分沿着X轴方向反射到固定反射镜6侧。
全反射镜面72是与半反射镜面71a、71b平行的面，在从X轴方向观察时，与可动反射镜5的反射镜面51a重叠，且在从Y轴方向观察时，与半反射镜面71a、71b重叠。全反射镜面72使由半反射镜面71a反射的测量光L0的一部分和透射了半反射镜面71a的激光L10的一部分沿着X轴方向反射到可动反射镜5侧。
光学面75c是与光学面75a、75b平行的面，在从X轴方向观察时，与固定反射镜6的反射镜面61a重叠。光学面75c使透射了半反射镜面71a的测量光L0的其余部分和由半反射镜面71a反射的激光L10的其余部分沿着X轴方向透射到固定反射镜6侧。
光学面75d是与光学面75a、75b平行的面，在从X轴方向观察时，与可动反射镜5的反射镜面51a重叠。光学面75d使由全反射镜面72反射的测量光L0的一部分和激光L10的一部分沿着X轴方向透射到可动反射镜5侧。
半反射镜面71c是与半反射镜面71a、71b和全反射镜面72平行的面，在Y轴方向上位于半反射镜面71a与半反射镜面71b之间。半反射镜面71c使测量光L1沿着X轴方向反射，且使激光L11沿着Y轴方向透射。半反射镜面71b使透射了半反射镜面71c的激光L11沿着Y轴方向透射。测量光L1是由可动反射镜5的反射镜面51a和全反射镜面72依次反射且透射了半反射镜面71a的测量光L0的一部分、与由固定反射镜6的反射镜面61a和半反射镜面71a依次反射的测量光L0的其余部分的干涉光。激光L11是由可动反射镜5的反射镜面51a和全反射镜面72依次反射且透射了半反射镜面71a的激光L10的一部分、与由固定反射镜6的反射镜面61a和半反射镜面71a依次反射的激光L10的其余部分的干涉光。
光学面75f是与光学面75c、75d平行的面，在从X轴方向观察时，与半反射镜面71c重叠。光学面75f使由半反射镜面71c反射的测量光L1沿着X轴方向透射。
另外，如图8的(b)所示，图1所示的分束器单元7的结构中，通过使关于测量光L0的全反射镜面72作为关于激光L10的半反射镜面发挥作用，可利用可动反射镜5、固定反射镜12和分束器单元7构成关于激光L10的干涉光学系统I2。图8的(b)所示的构成中，反射镜面121a以在Y轴方向上与全反射镜面72面对面的方式配置固定反射镜12，并配置二向色镜76以分离从光学面73d射出的测量光L1和激光L11。
另外，如图9的(a)所示，通过对图4的(a)所示的分束器单元7的结构进一步应用光学块77，可利用可动反射镜5、固定反射镜6和分束器单元7来构成关于测量光L0的干涉光学系统I1和关于激光L10的干涉光学系统I2。同样，如图9的(b)所示，通过对图4的(b)所示的分束器单元7的结构进一步应用光学块77，可利用可动反射镜5、固定反射镜6及分束器单元7来构成关于测量光L0的干涉光学系统I1和关于激光L10的干涉光学系统I2。
图9的(a)及(b)所示的光学块77包含多个光学面77a、77b、半反射镜面77c、77d。光学面77a是与例如X轴方向垂直的面，并使沿着X轴方向入射的激光L10透射。半反射镜面77c是相对于例如光学面77a倾斜45°的面，在从X轴方向观察时，与光学面77a重叠。半反射镜面77c使透射了光学面77a的激光L10沿着Y轴方向反射。半反射镜面77d是与半反射镜面77c平行的面，在从X轴方向观察时，与光学面73a重叠，且在从Y轴方向观察时，与半反射镜面77c重叠。半反射镜面77d是使沿着X轴方向入射的测量光L0透射，且使由半反射镜面77c反射的激光L10沿着X轴方向反射到光学面73a侧。光学面77b是与光学面77a平行的面，在从X轴方向观察时，与光学面73a重叠。光学面77b使透射了半反射镜面77d的测量光L0和由半反射镜面77d反射的激光L10沿着X轴方向透射到光学面73a侧。
图9的(a)及(b)所示的结构中，测量光L1与图4的(a)及(b)所示的结构同样，从光学面73d射出。激光L11依次透射光学面73a、77b之后，由半反射镜面77d反射，并从半反射镜面77c射出。测量光L1是由可动反射镜5的反射镜面51a和全反射镜面72依次反射且透射了半反射镜面71的测量光L0的一部分、与由固定反射镜6的反射镜面61a及半反射镜面71依次反射的测量光L0的其余部分的干涉光。激光L11是由可动反射镜5的反射镜面51a、全反射镜面72和半反射镜面71依次反射的激光L10的一部分、与由固定反射镜6的反射镜面61a反射并透射了半反射镜面71的激光L10的其余部分的干涉光。
[变形例]
以上，对本公开的一个实施方式进行了说明，但本公开不限定于上述实施方式。例如，也可以使驱动区域32的至少一部分在从Z轴方向观察时，不位于固定反射镜6的X轴方向上的一侧，而位于固定反射镜6的X轴方向上的另一侧。具体而言，固定反射镜6配置于驱动区域32中的一个弹性支承区域34与分束器单元7之间。同样，驱动区域32的至少一部分也可以在从Z轴方向观察时，不位于固定反射镜12的X轴方向上的一侧，而位于固定反射镜12的X轴方向上的另一侧。具体而言，固定反射镜12也可以配置于驱动区域32中的一个弹性支承区域34与分束器单元7之间。
另外，固定反射镜6、12、分束器单元7和光透射部件11的至少一者也可以不安装于基体10。例如，固定反射镜6、12、分束器单元7及光透射部件11的至少一者也可以安装于与基体10不同的基体。
另外，如图4的(b)所示，光透射部件11也可以配置于分束器单元7与可动反射镜5之间的光路P1上。另外，光透射部件11也可以配置于分束器单元7与可动反射镜5之间的光路P1和分束器单元7与固定反射镜6之间的光路P2这两者的光路上。也就是，光透射部件11只要配置于分束器单元7与可动反射镜5之间的光路P1和分束器单元7与固定反射镜6之间的光路P2的至少一个光路上即可。
另外，滤光器15如果配置于激光不行进且测量光行进的光路上，则其位置没有限定。滤光器15也可以分别配置于例如分束器单元7与可动反射镜5之间和分束器单元7与固定反射镜6之间。
另外，可动反射镜5的反射镜面51a、固定反射镜6的反射镜面61a和固定反射镜12的反射镜面121a如果处于与基体10的主面10a交叉的位置关系，则不限定于位于器件层3的与支承层2相反一侧。例如，可动反射镜5的反射镜面51a、固定反射镜6的反射镜面61a和固定反射镜12的反射镜面121a也可以直接贯通器件层3等，与基体10的主面10a直接交叉。
符号说明
1A、1B…光组件，2…支承层，3…器件层，4…中间层，5…可动反射镜，6…固定反射镜(第一固定反射镜)，7…分束器单元，8…测量光入射部，9…测量光出射部，10…基体，10a…主面，11…光透射部件，12…固定反射镜(第二固定反射镜)，13…光源，14…光检测器，15…滤光器，31…安装区域，31b…开口，32…驱动区域，51…反射镜部，51a…反射镜面，52…弹性部，54…腿部(支承部)，55…卡止部(支承部)，61a…反射镜面，71…半反射镜面，72…全反射镜面，121a…反射镜面，L0、L1…测量光，L10、L11…激光，I1…干涉光学系统(第一干涉光学系统)，I2…干涉光学系统(第二干涉光学系统)，P1…光路(第一光路)，P2…光路(第二光路)。

Claims (14)

1.一种光组件，其特征在于，包括：
基体，其具有主面，且设置有安装区域和驱动区域，所述驱动区域能够使所述安装区域沿着与所述主面平行的第一方向移动；
可动反射镜，其具有处于与所述主面交叉的位置关系的反射镜面，且安装于所述安装区域；
第一固定反射镜，其具有处于与所述主面交叉的位置关系的反射镜面，且相对于所述基体的位置是固定的；和
分束器单元，其与所述可动反射镜和所述第一固定反射镜一起构成关于测量光的第一干涉光学系统，
所述可动反射镜的所述反射镜面和所述第一固定反射镜的所述反射镜面朝向所述第一方向上的一侧。
2.根据权利要求1所述的光组件，其特征在于：
在所述安装区域形成有开口，
所述可动反射镜包括：具有所述反射镜面的反射镜部；与所述反射镜部连结的弹性部；和能够与所述弹性部的弹性变形相应地被施加弹力的支承部，
所述支承部在被施加所述弹性部的弹力的状态下被插入所述开口，
所述可动反射镜通过从所述开口的内表面施加于所述支承部的所述弹力的反作用力，而被固定于所述安装区域。
3.根据权利要求1或2所述的光组件，其特征在于：
所述第一固定反射镜在与所述主面平行且与所述第一方向垂直的第二方向上，位于所述可动反射镜的一侧，
所述驱动区域的至少一部分在从与所述主面垂直的第三方向观察时，位于所述第一固定反射镜的所述第一方向上的所述一侧或另一侧。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的光组件，其特征在于，
所述分束器单元包括：
半反射镜面，其反射所述测量光的一部分且使所述测量光的其余部分透射；
全反射镜面，其反射由所述半反射镜面反射了的所述测量光的所述一部分，
所述半反射镜面与所述全反射镜面相互平行。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的光组件，其特征在于：
所述第一固定反射镜安装于所述基体。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的光组件，其特征在于：
所述分束器单元安装于所述基体。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的光组件，其特征在于：
还包括光透射部件，所述光透射部件配置在所述分束器单元与所述可动反射镜之间的第一光路和所述分束器单元与所述第一固定反射镜之间的第二光路中的至少一个光路上，修正所述第一光路与所述第二光路之间的光路差。
8.根据权利要求7所述的光组件，其特征在于：
所述光透射部件安装于所述基体。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的光组件，其特征在于，还包括：
测量光入射部，其以能够从外部向所述第一干涉光学系统入射所述测量光的方式配置；和
测量光出射部，其以能够从所述第一干涉光学系统向外部射出所述测量光的方式配置。
10.根据权利要求1～9中任一项所述的光组件，其特征在于：
还包括第二固定反射镜，所述第二固定反射镜具有处于与所述主面交叉的位置关系的反射镜面，且相对于所述基体的位置是固定的，
所述分束器单元与所述可动反射镜和所述第二固定反射镜一起构成关于激光的第二干涉光学系统，
所述第二固定反射镜的所述反射镜面朝向所述第一方向上的所述一侧。
11.根据权利要求10所述的光组件，其特征在于：
所述第一固定反射镜和所述第二固定反射镜在与所述主面平行且与所述第一方向垂直的第二方向上，分别位于所述可动反射镜的两侧，
所述驱动区域的至少一部分在从与所述主面垂直的第三方向观察时，位于所述第一固定反射镜的所述第一方向上的所述一侧或另一侧，以及所述第二固定反射镜的所述第一方向上的所述一侧或另一侧。
12.根据权利要求10或11所述的光组件，其特征在于：
还包括滤光器，所述滤光器配置于所述激光不行进且所述测量光行进的光路上，切断包含所述激光的中心波长的波长范围的光。
13.根据权利要求10～12中任一项所述的光组件，其特征在于，还包括：
光源，其产生入射到所述第二干涉光学系统的所述激光；和
光检测器，其检测从所述第二干涉光学系统射出的所述激光。
14.根据权利要求1～13中任一项所述的光组件，其特征在于，
所述基体具有：
器件层，其具有所述主面，且设置有所述安装区域和所述驱动区域；
支承所述器件层的支承层；和
设置于所述支承层与所述器件层之间的中间层，
所述支承层为SOI基片的第一硅层，
所述器件层为所述SOI基片的第二硅层，
所述中间层为所述SOI基片的绝缘层。
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