JP2001522984A - ビームスプリッタアセンブリを備えた一体式光学アセンブリ及び再帰反射器 - Google Patents
ビームスプリッタアセンブリを備えた一体式光学アセンブリ及び再帰反射器Info
- Publication number
- JP2001522984A JP2001522984A JP2000519743A JP2000519743A JP2001522984A JP 2001522984 A JP2001522984 A JP 2001522984A JP 2000519743 A JP2000519743 A JP 2000519743A JP 2000519743 A JP2000519743 A JP 2000519743A JP 2001522984 A JP2001522984 A JP 2001522984A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- assembly
- edge
- beam splitter
- mounting member
- attached
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 79
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 25
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims description 12
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 230000035939 shock Effects 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 3
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 102100031585 ADP-ribosyl cyclase/cyclic ADP-ribose hydrolase 1 Human genes 0.000 description 1
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102100033040 Carbonic anhydrase 12 Human genes 0.000 description 1
- 102100030886 Complement receptor type 1 Human genes 0.000 description 1
- 101000777636 Homo sapiens ADP-ribosyl cyclase/cyclic ADP-ribose hydrolase 1 Proteins 0.000 description 1
- 101000867855 Homo sapiens Carbonic anhydrase 12 Proteins 0.000 description 1
- 101000727061 Homo sapiens Complement receptor type 1 Proteins 0.000 description 1
- 101000917858 Homo sapiens Low affinity immunoglobulin gamma Fc region receptor III-A Proteins 0.000 description 1
- 101000917839 Homo sapiens Low affinity immunoglobulin gamma Fc region receptor III-B Proteins 0.000 description 1
- 102100029185 Low affinity immunoglobulin gamma Fc region receptor III-B Human genes 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004164 analytical calibration Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N helium neon Chemical compound [He].[Ne] CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02049—Interferometers characterised by particular mechanical design details
- G01B9/02051—Integrated design, e.g. on-chip or monolithic
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/12—Reflex reflectors
- G02B5/122—Reflex reflectors cube corner, trihedral or triple reflector type
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/15—Cat eye, i.e. reflection always parallel to incoming beam
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
Description
ブリに関する。
れた。干渉計は、放射光スペクトルを測定するために使用される光学アセンブリ
であり、干渉計は異なった経路を進む2つの光ビーム間に干渉じまを発生する。
干渉計は、互いに90度をなす光路を有する2つの反射アセンブリに対して45
度の角度をなして傾斜したビームスプリッタを使用することによって、放射光源
から出た放射光ビームを分割する。反射アセンブリの一方が固定されているのに
対して、他方が放射光路に沿って移動して光学距離の差を発生させることによっ
て、放射光の分割ビームが2つの反射アセンブリで反射されて再結合された後、
干渉じまが発生し、この干渉じまを検出器が読み取る。検出器に達するビームの
強度の変化は光学距離の差の関数であり、最終的にフーリエ交換分光計でスペク
トル情報を生じる。
れる。
光学アセンブリは主に、高精度の位置合わせが必要な部品を有する構造体で構成
されてきた。たとえば、2つの反射アセンブリ及びビームスプリッタの配置では
、位置のずれによって引き起こされるエラーを避けるために、直交及び45度の
配置が非常に正確でなければならない。これらの従来型干渉計及び光学アセンブ
リの問題は、光学素子の精密な位置合わせに伴ったコストと、衝撃及び振動によ
ってこれらの素子の位置に狂いが生じた後にこれらの素子の位置合わせを保守す
るコストにある。
使用する放射光源に応じて異なったビームスプリッタに交換するという物理的必
要性に起因する。具体的に言うと、一般的なビームスプリッタは放射光源の1つ
の特定の波長スペクトル部分だけか、あるいは非常に狭い範囲の放射光波長スペ
クトル部分だけに有用であり、したがって、それぞれ異なったビームスプリッタ
を有する多数の干渉計を設けるか、1つの干渉計で絶えずビームスプリッタを交
換して、その干渉計を他の用途に使用できるようにすることが必要である。
一体式の構造であることによって、衝撃、振動後、または温度変化による光学素
子の現場での校正及び保守の必要がない装置における高精度な測定を行う光学ア
センブリを提供することが望ましいであろう。また、一体式構造であって、干渉
計の主な位置合わせ素子を形成している光学アセンブリを提供し、これによって
単一の干渉計内での光学アセンブリの簡単でコスト効率の高い保守及び交換を容
易にして様々な強度の放射光に使用することができるようにし、また光学アセン
ブリが一体構造であることによって衝撃、振動または温度変化による位置合わせ
の狂いの影響を受けないようにすることが望ましいであろう。
体及び再帰反射器/ビームスプリッタ結合体を有する改良型光学アセンブリとが
提供されている。一体式光学アセンブリは、第1及び第2取り付け部材とビーム
スプリッタとによって結合されて一体式構造体にされた上下プレートを備えてい
る。アセンブリはさらに、ビームスプリッタに対して反射関係にある第1反射ア
センブリを備えている。本発明の変更実施形態では、上記6つの構成部材を有す
る一体式構造体の代わりに、一体構造の中空コーナーキューブ再帰反射器を用い
ており、再帰反射器パネルの1つが反射表面であり、(第1パネルの反射表面に
対して45度の角度に位置する)別のパネルがビームスプリッタであり、第3パ
ネルが中空コーナーキューブ再帰反射器の構造を完成するために使用された支持
パネルである。
学アセンブリを提供することである。
度変化による位置合わせの狂いを阻止する改良型光学アセンブリを提供すること
である。
光学アセンブリと容易に交換して、様々な放射光源に使用できるように干渉計内
のビームスプリッタを変更することができる改良型光学アセンブリを提供するこ
とである。
るであろう。
、性質及び関係を有するアセンブリを含み、本発明の範囲は請求の範囲に示され
ている。
ケルソン干渉計は、単一の放射光ビーム20を2つの反射鏡、すなわち固定反射
鏡40及び可動反射鏡50に対して45度の角度に配置されたビームスプリッタ
30の方に送る放射光源10を有する。放射光20は、部分的に放射光ビーム2
2の形で固定反射鏡40の方に反射され、また部分的にビームスプリッタ30を
通過して放射光ビーム24として可動反射鏡50の方へ並進する。
され、そこで再び部分的に分割されて、一部の放射光25は光源10に戻り、一
部の放射光26は検出器60の方に送られる。同様に、ビーム24は可動反射鏡
50で反射してビームスプリッタ30に戻される。ここでまた、ビーム24は再
び分割されて、一部の放射光25は光源10に戻り、他の放射光26は検出器6
0の方に送られる。
。これらのビームは、並進及び反射によって異なった光学距離を移動しており、
このことでフリンジ効果が発生し、これは目に見えると共に検出器60で測定可
能である。
が干渉計100で示されており、放射光源110と、ビームスプリッタ130と
、可動反射アセンブリ150と、固定反射アセンブリ140と、検出器160と
を含む。
れている。放射光源110が取り付けアセンブリ112内に配置されている状態
では、放射光ビーム120は、ビームの方向をビームスプリッタ130に対して
45度の角度に固定する経路に沿って位置調節可能である。
源でもよく、これらはすべて本発明において同等のものと考える。
ル反射鏡の代わりに、中空のコーナーキューブ再帰反射器152が使用されてい
ることを示している。中空コーナーキューブ再帰反射器は、リプキンス(Lipkin
s)の米国特許第3,663,084号に述べられている好適な実施形態と同様 にして製造される。
のアセンブリは再帰反射器152の位置をビーム120の光路に沿った線上で調
節することができる。アセンブリ154の移動は、調節ノブ156を使用して調
節可能であるが、本発明では、アセンブリ154の連続的均一移動を可能にする
ような手段を含めた他のアセンブリ154用移動手段も同等に使用することがで
きる。また、アセンブリ154への再帰反射器152の取り付けは、ブレイア(
Bleier)の米国特許第5,335,111号に記載されている構造に従って行う
ことができる。
再帰反射器の反射面がビームスプリッタ130を通過後の入射ビーム120の方
向に対して45度の角度になる限り、再帰反射器152をいずれの取り付け向き
にすることもできる。
示されているように、ビームスプリッタ130及び反射アセンブリ140が一体
式光学アセンブリ200内に取り付けられていることがわかる。以下にさらに説
明するように、また、アセンブリ200をさらに構造分析するために、図5〜図
7を参照しながら説明する。図2〜図4の実施形態と図5〜図7の実施形態との
違いは、開口244及び246(図5〜図7を参照)に関するものである。取り
付け部材240のこれらの補足的な開口は、距離測定に使用するためにHeNe
(ヘリウムネオン)レーザ光源である放射光源110を使用することに伴って設
けられている。図5〜図7に示されている第2実施形態の目的については後述す
るが、アセンブリ200の全体構造は他の点では図2〜図4のアセンブリ200
と同一であり、その構造を述べるために、図2〜図7を以下に説明する。
0と、下プレート270と、少なくとも第1及び第2取り付け部材210及び2
20と、ビームスプリッタ130とで構成されている。構造的安定性をある程度
追加するための追加として、第3取り付け部材230を使用することもできるが
、その安定性は必須ではない。
214を有する。第1縁部212の一部分が上プレート260(図4を参照)の
第1縁部262の一部分に付着されているのに対して、取り付け部材210の第
1縁部212の別の部分が下プレート270(図4を参照)の第1縁部表面の一
部分に付着されている。
220が設けられている。第2取り付け部材220は、それの第1表面222の
異なった部分に沿って上下プレート260及び270に付着されている。取り付
け部材220の第1表面222のそれらの部分は、上プレート260の第2縁部
表面264及び下プレート270の第2縁部表面274の一部分に付着されてい
る。
136に沿って互いに付着された2枚のパネル132及び134で構成されてい
る。表面136は、ビームスプリッタ被膜を有する光学的平面的反射表面である
。ビームスプリッタ130は、上縁部137の一部分に沿って上プレート260
の下表面267の一部分に、また下縁部138の一部分に沿って下プレート27
0の上表面278の一部分に付着されている。しかし、ビームスプリッタを使用
する時の通例のように、補正プレートも使用されている。この場合、ビームスプ
リッタ130は、組み込み式補正プレート、すなわち、パネル132を有する。
補正プレートの目的は、ビームスプリッタ被膜によって発生した2つのビームの
光路速度を等しくすることである。補正プレートがなければ、ビームスプリッタ
を通過して並進するビームはパネル134を3回通過するのに対して、反射ビー
ムはビームスプリッタ130を1回通過するだけであろう。パネル132を追加
することによって、両ビームとも同一寸法のパネルをそれぞれ4回通過して並進
し、それによってそれらに生じていた光学距離の差が等化される。
0、第2取り付け部材220及びビームスプリッタ130の支持結合体が、本発
明の一体式構造を形成するものである。前述したように、図示のようにして上下
プレート260及び270の第3縁部表面266及び276の一部分の間に第3
取り付け部材230を設けることが可能である。実際に、図9及び図10に示さ
れているように、ビームスプリッタ130を上下プレートの両方には接触させな
いで一体式構造を得ることも可能である。その場合、図示のように、また部材2
10を取り付けたようにして第3取り付け部材230を付着させることによって
、安定した一体式構造が達成される。したがって、図9及び図10で、ビームス
プリッタ130をその下縁部138に沿って下プレート270に(図9)、また
はその上縁部137に沿って上プレート260に(図10)付着させるだけでよ
いことがわかる。
が下プレート270の上表面278の一部分と取り付け部材210の第2縁部表
面214とに付着されていることが図面からわかる。反射鏡パネル140は、そ
の下縁部表面の一部分が下プレート270の上表面278にわずかに張り出して
おり、これらの接触表面間に接着剤が塗布されている。接着剤は、取り付け部材
210の縁部表面214と接する反射鏡パネル140の側縁部表面にも塗布され
ている。反射パネル140の反射表面142の光学的平面性を損なうことがない
ようにして一定量の接着剤が塗布されている。
パネル140を単一の平面パネル形反射鏡以外にする必要がなく、たとえば、パ
ネル140は再帰反射器である必要はない。構造体内に(可動反射アセンブリ1
50に関して前述したように)再帰反射器を使用する利点の1つは、入射光が再
帰反射器の表面に対して45度の角度をなす限り、再帰反射器の取り付け向きが
重要でないことである。本発明では、パネル140を一体式構造体に固定的に取
り付けることによって、パネル140の取り付け向きが振動及び衝撃によって変
動しないようにすることができ、したがって、再帰反射器が必要ない(もちろん
、再帰反射器を使用することもできる)。
付け部材240の主たる目的はアセンブリ200の一体式構造の安定化を助ける
ことではないが、ここではそれを取り付け部材と呼ぶ。第4取り付け部材240
は、ビーム120がビームスプリッタ130及び可動反射アセンブリ150間を
移動するために部材240の開口242を通過できるようにビーム120の移動
経路に関連させた位置に設けられている。部材240は、反射鏡パネル140を
取り付けたようにして、(図5にわかりやすく示されているように)その縁部の
細い部分に沿って下プレート270の上表面278の一部分に、また(やはり図
5にわかりやすく示されているように)取り付け部材220の縁部に当接して付
着したその側縁部に沿って取り付けられている。
130及び140はすべて同一の材料で製造されている。好ましくは、材料は石
英ガラスまたは焼きなましパイレックス(annealed Pyrex)のいずれかである。
そのような材料を使用することによって、材料の膨張係数を同一にすることがで
きるので、アセンブリ200が受ける温度変化は各部材すべてに同一に加わるた
め、アセンブリ200は均一に膨張及び収縮することができ、それによってビー
ムスプリッタ130及び反射鏡パネル140の反射表面のゆがみの可能性がなく
なる。
4及び246がHeNe単一源レーザ光と共に使用されている。光または放射光
が310で示され、(図示しない)光源から出ている。光310はビームスプリ
ッタ130を通過し、一部の光320が反射鏡パネル140へ反射され、別の一
部の光330がビームスプリッタ130を通過して並進して開口246を通り抜
けて、可動反射アセンブリ150の再帰反射器152で反射される。 部材240内、特に開口244内に小さい再帰反射鏡300がある。
る標準的な再帰反射器に従って製造され、リプキンスの米国特許第3,977,
765号に記載されているように、開口管44内に取り付けることができる。そ
れによって、ビーム330は反射して反射アセンブリ150へ戻され、開口24
6を通って再びビームスプリッタ130を通過して検出器へ送られる。
態が400で開示されている。アセンブリ400の最も基本的な形は、本説明で
前述したように、またリプキンスの米国特許第3,663,084号に記載され
ているように、中空のコーナーキューブ再帰反射器である。
ルの一方が実際上はビームスプリッタパネル410であり、これは自明のことと
してアセンブリ400の他方の反射鏡パネル420に対して45度の角度にある
点にある。
持パネルにすぎない。そのような構造は、従来技術に記載されているように、1
つのパネルの縁部と隣接パネルの反射表面とを交互に重ね合わせて付着するなど
の方法を使用している。
体の代わりに使用することによってほぼ同一の結果を達成することができ、した
がって、図8の開示は本出願の図2〜図7の構造の変更形実施形態として説明す
るのが適当である。
に達成され、また本発明の範囲から逸脱することなく上記の構造に一定の変更を
加えることができるので、添付図面に示されている上記説明に含まれるものはす
べて、制限的ではなく説明的として解釈されるべきものである。
及び本発明の範囲の記述すべてをカバーし、言い換えると、それらは請求の範囲
に入るであろう。
かを示す概略図である。
。
して示す本発明の第3実施形態の斜視図である。
Claims (61)
- 【請求項1】 干渉計で使用される一体式光学アセンブリであって、 上下及び縁部表面を有する上プレートと、 上下及び縁部表面を有する下プレートと、 第1縁部及び第2縁部を有し且つ第1縁部の一部分が前記上プレートの第1縁
部の一部分に付着されると共に第1縁部の他の部分が前記下プレートの第1縁部
の一部分に付着された第1取り付け部材と、 第1表面及び第1縁部を有し且つ第1表面の一部分が前記上プレートの第2縁
部の一部分に付着されると共に第1表面の他の部分が前記下プレートの第2縁部
の一部分に付着された第2取り付け部材と、 少なくとも1つの反射表面を有し且つ前記第1取り付け部材と前記下プレート
または前記上プレートのいずれかの少なくとも2つの間に、あるいは前記第2取
り付け部材と前記上プレートまたは前記下プレートとの間に付着された第1反射
鏡アセンブリと、 ビームスプリッタ被膜が設けられて前記第1反射鏡アセンブリに対して反射関
係にある表面を有すると共に上縁部及び下縁部を有し、上縁部が前記上プレート
の前記下表面の一部分に沿って付着されると共に下縁部が前記下プレートの前記
上表面の他の部分に沿って付着されたビームスプリッタアセンブリと を備え、前記上下プレートに対する前記第1及び第2取り付け部材と前記ビー
ムスプリッタアセンブリの前記付着によって、前記第1反射鏡アセンブリ及び前
記ビームスプリッタアセンブリ間の前記反射関係に関してほぼ安定的であって振
動及び衝撃にほぼ耐える構造が形成されている一体式光学アセンブリ。 - 【請求項2】 前記第1反射鏡アセンブリは、第1縁部及び第2縁部を有し
ており、第1縁部は前記第1取り付け部材の前記第2縁部に付着され、前記第2
縁部は前記下プレートの前記上表面の一部分に付着されている請求項1記載の一
体式光学アセンブリ。 - 【請求項3】 前記第1反射鏡アセンブリの前記少なくとも1つの反射表面
は光学的に平面的である請求項1記載の一体式光学アセンブリ。 - 【請求項4】 前記ビームスプリッタアセンブリの前記表面は光学的に平面
的である請求項3記載の一体式光学アセンブリ。 - 【請求項5】 さらに、縁部を有する第3取り付け部材を備えており、該縁
部の一部分が前記上プレートの第3縁部の一部分に付着され、前記縁部の他の部
分が前記下プレートの第3縁部の一部分に付着されている請求項1記載の一体式
光学アセンブリ。 - 【請求項6】 前記上下プレート、前記第1、第2及び第3取り付け部材、
前記第1反射鏡アセンブリ、及び前記ビームスプリッタアセンブリは、ほぼ同一
の熱膨張率を有する材料で製造されている請求項5記載の一体式光学アセンブリ
。 - 【請求項7】 前記上下プレートの前記表面及び前記縁部、前記第1、第2
及び第3取り付け部材、前記第1反射鏡アセンブリ、及び前記ビームスプリッタ
アセンブリは重なり合っている請求項5記載の一体式光学アセンブリ。 - 【請求項8】 前記上プレートの前記上下表面は、互いにほぼ平行な平面上
にあり、前記下プレートの前記上下表面は、互いにほぼ平行な平面上にあり、前
記プレートの前記縁部は、前記プレートの前記表面の前記平面にほぼ直交する平
面上にある請求項5記載の一体式光学アセンブリ。 - 【請求項9】 前記第1取り付け部材の前記縁部は、互いにほぼ直交する平
面上にある請求項8記載の一体式光学アセンブリ。 - 【請求項10】 前記第2取り付け部材の前記第1表面及び前記第2取り付
け部材の前記第1縁部は、互いにほぼ直交する平面上にある請求項9記載の一体
式光学アセンブリ。 - 【請求項11】 前記ビームスプリッタアセンブリの前記表面は、前記第1
反射鏡アセンブリの前記少なくとも1つの反射表面が位置する第2平面に対して
ほぼ45度の角度に位置調節した平面上にある請求項1記載の一体式光学アセン
ブリ。 - 【請求項12】 前記ビームスプリッタアセンブリは、第1及び第2パネル
を含み、該第1パネルは第1表面を有し、前記第2パネルは第2表面を有してお
り、前記パネルは前記第1及び第2表面に沿って互いに結合されている請求項1
1記載の一体式光学アセンブリ。 - 【請求項13】 前記ビームスプリッタ被膜は、前記ビームスプリッタアセ
ンブリの前記接合第1及び第2パネル間に位置している請求項12記載の一体式
光学アセンブリ。 - 【請求項14】 前記上プレートは、前記ビームスプリッタアセンブリ及び
前記上プレートの前記設置場所に近接した位置に複数の貫通開口を有して、該開
口から前記ビームスプリッタアセンブリの部分に触れることができるようにした
請求項13記載の一体式光学アセンブリ。 - 【請求項15】 さらに、前記第2取り付け部材と、前記下プレートの前記
上表面のさらに別の部分とに付着されて、前記ビームスプリッタアセンブリに対
して反射関係にあるようにした第4取り付け部材を備えた請求項1記載の一体式
光学アセンブリ。 - 【請求項16】 前記第4取り付け部材には、放射光が通過して並進できる
ように少なくとも1つの開口が貫設されている請求項15記載の一体式光学アセ
ンブリ。 - 【請求項17】 前記第4取り付け部材には少なくとも2つの開口が貫設さ
れており、その1つを放射光が通過して並進することができ、別のものの内部に
反射アセンブリが取り付けられている請求項15記載の一体式光学アセンブリ。 - 【請求項18】 前記第4取り付け部材の前記反射アセンブリは、中空コー
ナーキューブ再帰反射器である請求項17記載の一体式光学アセンブリ。 - 【請求項19】 前記第4取り付け部材の前記再帰反射器の前記反射表面は
、前記ビームスプリッタアセンブリと反対の方向に面している請求項18記載の
一体式光学アセンブリ。 - 【請求項20】 放射光源と、 少なくとも1つの反射表面を有する第1反射鏡アセンブリと、 前記第1反射鏡アセンブリに対して反射関係にある少なくとも2つの反射表面
を有する一体式反射構造体とを備えており、前記一体式反射構造体は、 上下及び縁部表面を有する上プレートと、 上下及び縁部表面を有する下プレートと、 第1縁部及び第2縁部を有し且つ第1縁部の一部分が前記上プレートの第1縁
部の一部分に付着されると共に第1縁部の他の部分が前記下プレートの第1縁部
の一部分に付着された第1取り付け部材と、 第1表面及び第1縁部を有し且つ第1表面の一部分が前記上プレートの第2縁
部の一部分に付着されると共に第1表面の他の部分が前記下プレートの第2縁部
の一部分に付着された第2取り付け部材と、 少なくとも1つの反射表面を有し且つ前記第1取り付け部材と前記上プレート
または前記下プレートのいずれかの少なくとも2つの間に、あるいは前記第2取
り付け部材と前記上プレートまたは前記下プレートとの間に付着された第2反射
鏡アセンブリと、 ビームスプリッタ被膜が設けられて前記第1及び第2反射鏡アセンブリに対し
て反射関係にある表面を有すると共に上縁部及び下縁部を有し、前記上縁部が前
記上プレートの前記下表面の一部分に沿って付着されると共に前記下縁部が前記
下プレートの前記上表面の他の部分に沿って付着されたビームスプリッタアセン
ブリと を備え、前記上下プレートに対する前記第1及び第2取り付け部材と前記ビー
ムスプリッタアセンブリの前記付着によって、前記第2反射鏡アセンブリ及び前
記ビームスプリッタアセンブリ間の前記反射関係に関してほぼ安定的であって振
動及び衝撃にほぼ耐える構造が形成されており、さらに、 前記放射光源から出て前記ビームスプリッタアセンブリを離れて前記第1及び
第2反射鏡アセンブリで反射された後に到着する前記放射光の強度変化の差を検
出する放射光検出器を備えた干渉計アセンブリ。 - 【請求項21】 前記第1反射鏡アセンブリの前記少なくとも1つの反射表
面は光学的に平面的である請求項20記載の干渉計アセンブリ。 - 【請求項22】 前記ビームスプリッタアセンブリの前記表面は光学的に平
面的である請求項20記載の干渉計アセンブリ。 - 【請求項23】 前記第2反射鏡アセンブリの前記少なくとも1つの反射表
面は光学的に平面的である請求項20記載の干渉計アセンブリ。 - 【請求項24】 さらに、縁部を有する第3取り付け部材を備えており、該
第3取り付け部材の前記縁部の一部分が前記上プレートの第3縁部の一部分に付
着され、前記第3取り付け部材の前記縁部の他の部分が前記下プレートの第3縁
部の一部分に付着されている請求項20記載の干渉計アセンブリ。 - 【請求項25】 前記上下プレート、前記第1、第2及び第3取り付け部材
、前記第1反射鏡アセンブリ、及び前記ビームスプリッタアセンブリは、ほぼ同
一の熱膨張率を有する材料で製造されている請求項24記載の干渉計アセンブリ
。 - 【請求項26】 前記上下プレートの前記表面及び前記縁部、前記第1、第
2及び第3取り付け部材、前記第1反射鏡アセンブリ、及び前記ビームスプリッ
タアセンブリは重なり合っている請求項24記載の干渉計アセンブリ。 - 【請求項27】 前記上プレートの前記上下表面は、互いにほぼ平行な平面
上にあり、前記下プレートの前記上下表面は、互いにほぼ平行な平面上にあり、
前記プレートの前記縁部は、前記プレートの前記表面の前記平面にほぼ直交する
平面上にある請求項24記載の干渉計アセンブリ。 - 【請求項28】 前記第1取り付け部材の前記縁部は、互いにほぼ直交する
平面上にある請求項27記載の干渉計アセンブリ。 - 【請求項29】 前記第2取り付け部材の前記第1表面及び前記第2取り付
け部材の前記第1縁部は、互いにほぼ直交する平面上にある請求項28記載の干
渉計アセンブリ。 - 【請求項30】 前記ビームスプリッタアセンブリの前記表面は、前記第1
反射鏡アセンブリの前記少なくとも1つの反射表面が位置する第2平面に対して
ほぼ45度の角度に位置調節した平面上にある請求項20記載の干渉計アセンブ
リ。 - 【請求項31】 前記ビームスプリッタアセンブリは、第1及び第2パネル
を含み、該第1パネルは第1表面を有し、前記第2パネルは第2表面を有してお
り、前記パネルは前記第1及び第2表面に沿って互いに結合されている請求項3
0記載の干渉計アセンブリ。 - 【請求項32】 前記ビームスプリッタ被膜は、前記ビームスプリッタアセ
ンブリの前記接合第1及び第2パネル間に位置している請求項31記載の干渉計
アセンブリ。 - 【請求項33】 前記上プレートは、前記ビームスプリッタアセンブリ及び
前記上プレートの前記設置場所に近接した位置に複数の貫通開口を有して、該開
口から前記ビームスプリッタアセンブリの部分に触れることができるようにした
請求項32記載の干渉計アセンブリ。 - 【請求項34】 さらに、前記第2取り付け部材と、前記下プレートの前記
上表面のさらに他の部分とに付着されて、前記ビームスプリッタアセンブリに対
して反射関係にあるようにした第4取り付け部材を備えた請求項20記載の干渉
計アセンブリ。 - 【請求項35】 前記第4取り付け部材には、放射光が通過して並進できる
ように少なくとも1つの開口が貫設されている請求項34記載の干渉計アセンブ
リ。 - 【請求項36】 前記第4取り付け部材には少なくとも2つの開口が貫設さ
れており、その1つを放射光が通過して並進することができ、別のものの内部に
反射アセンブリが取り付けられている請求項34記載の干渉計アセンブリ。 - 【請求項37】 前記第4取り付け部材の前記反射アセンブリは、中空コー
ナーキューブ再帰反射器である請求項36記載の干渉計アセンブリ。 - 【請求項38】 前記第4取り付け部材の前記再帰反射器の前記反射表面は
、前記ビームスプリッタアセンブリと反対の方向に面している請求項37記載の
干渉計アセンブリ。 - 【請求項39】 前記第1反射鏡アセンブリは、前記第1反射鏡アセンブリ
によって受光及び反射またはそのいずれか一方が行われる放射光が進む経路にほ
ぼ平行な経路に沿って選択的に移動可能である請求項20記載の干渉計アセンブ
リ。 - 【請求項40】 前記第1反射鏡アセンブリは、中空コーナーキューブ再帰
反射器である請求項39記載の干渉計アセンブリ。 - 【請求項41】 干渉計で使用される一体式光学アセンブリであって、 上下及び縁部表面を有する上プレートと、 上下及び縁部表面を有する下プレートと、 第1縁部及び第2縁部を有し且つ第1縁部の一部分が前記上プレートの第1縁
部の一部分に付着されると共に第1縁部の他の部分が前記下プレートの第1縁部
の一部分に付着された第1取り付け部材と、 第1表面及び第1縁部を有し且つ第1表面の一部分が前記上プレートの第2縁
部の一部分に付着されると共に第1表面の他の部分が前記下プレートの第2縁部
の一部分に付着された第2取り付け部材と、 少なくとも1つの反射表面を有し且つ前記第1取り付け部材と前記上プレート
または前記下プレートのいずれかの少なくとも2つの間に、あるいは前記第2取
り付け部材と前記上プレートまたは前記下プレートとの間に付着された第1反射
鏡アセンブリと、 ビームスプリッタ被膜が設けられて前記第1反射鏡アセンブリに対して反射関
係にある表面を有すると共に上縁部及び下縁部を有し、前記上縁部が前記上プレ
ートの前記下表面の一部分に沿って付着されると共に前記下縁部が前記下プレー
トの前記上表面の他の部分に沿って付着されたビームスプリッタアセンブリと を備え、前記上下プレートに対する前記第1及び第2取り付け部材と前記ビー
ムスプリッタアセンブリの前記付着によって、前記第1反射鏡アセンブリ及び前
記ビームスプリッタアセンブリ間の前記反射関係に関してほぼ安定的であって振
動及び衝撃にほぼ耐える構造が形成されており、さらに、 前記第2取り付け部材と、前記下プレートの前記上表面のさらに他の部分とに
付着されて、前記ビームスプリッタアセンブリを透過する放射光ビームの光路を
横切って延在する第4取り付け部材を備えた一体式光学アセンブリ。 - 【請求項42】 前記第1反射鏡アセンブリの前記少なくとも1つの反射表
面は光学的に平面的である請求項41記載の一体式光学アセンブリ。 - 【請求項43】 前記ビームスプリッタアセンブリの前記表面は光学的に平
面的である請求項41記載の一体式光学アセンブリ。 - 【請求項44】 前記第4取り付け部材には、放射光が通過して並進できる
ように少なくとも1つの開口が貫設されている請求項41記載の一体式光学アセ
ンブリ。 - 【請求項45】 前記第4取り付け部材には少なくとも2つの開口が貫設さ
れており、その1つを放射光が通過して並進することができ、別のものの内部に
反射アセンブリが取り付けられている請求項41記載の一体式光学アセンブリ。 - 【請求項46】 前記第4取り付け部材の前記反射アセンブリは、中空コー
ナーキューブ再帰反射器である請求項45記載の一体式光学アセンブリ。 - 【請求項47】 前記第4取り付け部材の前記再帰反射器の前記反射表面は
、前記ビームスプリッタアセンブリと反対の方向に面している請求項46記載の
一体式光学アセンブリ。 - 【請求項48】 さらに、縁部を有する第3取り付け部材を備えており、該
縁部の一部分が前記上プレートの第3縁部の一部分に付着され、前記縁部の別の
部分が前記下プレートの第3縁部の一部分に付着されている請求項41記載の一
体式光学アセンブリ。 - 【請求項49】 前記上下プレート、前記第1、第2及び第3取り付け部材
、前記第1反射鏡アセンブリ、及び前記ビームスプリッタアセンブリは、ほぼ同
一の熱膨張率を有する材料で製造されている請求項48記載の一体式光学アセン
ブリ。 - 【請求項50】 前記上下プレートの前記表面及び前記縁部、前記第1、第
2及び第3取り付け部材、前記第1反射鏡アセンブリ、及び前記ビームスプリッ
タアセンブリは重なり合っている請求項48記載の一体式光学アセンブリ。 - 【請求項51】 前記上プレートの前記上下表面は、互いにほぼ平行な平面
上にあり、前記下プレートの前記上下表面は、互いにほぼ平行な平面上にあり、
前記プレートの前記縁部は、前記プレートの前記表面の前記平面にほぼ直交する
平面上にある請求項48記載の一体式光学アセンブリ。 - 【請求項52】 前記第1取り付け部材の前記縁部は、互いにほぼ直交する
平面上にある請求項51記載の一体式光学アセンブリ。 - 【請求項53】 前記第2取り付け部材の前記第1表面及び前記第2取り付
け部材の前記第1縁部は、互いにほぼ直交する平面上にある請求項52記載の一
体式光学アセンブリ。 - 【請求項54】 前記ビームスプリッタアセンブリの前記表面は、前記第1
反射鏡アセンブリの前記少なくとも1つの反射表面が位置する第2平面に対して
ほぼ45度の角度に位置調節した平面上にある請求項41記載の一体式光学アセ
ンブリ。 - 【請求項55】 前記ビームスプリッタアセンブリは、第1及び第2パネル
を含み、該第1パネルは第1表面を有し、前記第2パネルは第2表面を有してお
り、前記パネルは前記第1及び第2表面に沿って互いに結合されている請求項5
4記載の一体式光学アセンブリ。 - 【請求項56】 前記ビームスプリッタ被膜は、前記ビームスプリッタアセ
ンブリの前記接合第1及び第2パネル間に位置している請求項55記載の一体式
光学アセンブリ。 - 【請求項57】 前記上プレートは、前記ビームスプリッタアセンブリ及び
前記上プレートの前記設置場所に近接した位置に複数の貫通開口を有して、該開
口から前記ビームスプリッタアセンブリの部分に触れることができるようにした
請求項56記載の一体式光学アセンブリ。 - 【請求項58】 干渉計に使用される再帰反射アセンブリであって、 反射表面を有する第1パネルと、 第1パネルの前記反射表面に対して反射関係にあるビームスプリッタ被膜を表
面上に有するビームスプリッタパネルと、 受け取り表面を有する支持パネルとを備え、 前記パネルの各々は、前記パネルの前記表面に対してほぼ直角をなす側部を有
しており、前記パネルの各々は該側部にすぐ隣接して前記側部に沿って前記パネ
ルの前記表面に当接して結合されている再帰反射アセンブリ。 - 【請求項59】 前記第1パネルの前記反射表面は光学的に平面的である請
求項58記載の再帰反射アセンブリ。 - 【請求項60】 前記ビームスプリッタパネルの前記表面は光学的に平面的
である請求項58記載の再帰反射アセンブリ。 - 【請求項61】 干渉計で使用される一体式光学アセンブリであって、 上下及び縁部表面を有する上プレートと、 上下及び縁部表面を有する下プレートと、 第1縁部及び第2縁部を有し且つ第1縁部の一部分が前記上プレートの第1縁
部の一部分に付着されると共に第1縁部の他の部分が前記下プレートの第1縁部
の一部分に付着された第1取り付け部材と、 第1表面及び第1縁部を有し且つ第1表面の一部分が前記上プレートの第2縁
部の一部分に付着されると共に第1表面の他の部分が前記下プレートの第2縁部
の一部分に付着された第2取り付け部材と、 少なくとも1つの反射表面を有し且つ前記第1取り付け部材と前記下プレート
または前記上プレートのいずれかの少なくとも2つの間に、あるいは前記第2取
り付け部材と前記上プレートまたは前記下プレートとの間に付着された第1反射
鏡アセンブリと、 ビームスプリッタ被膜が設けられて前記第1反射鏡アセンブリに対して反射関
係にある表面を有するビームスプリッタアセンブリと、 縁部を有し且つこの縁部の一部分が前記上プレートの第3縁部の一部分に付着
されると共に縁部の他の部分が前記下プレートの第3縁部の一部分に付着された
第3取り付け部材と を備え、前記上下プレートに対する前記第1、第2及び第3取り付け部材の前
記付着によって、前記第1反射鏡アセンブリ及び前記ビームスプリッタアセンブ
リ間の前記反射関係に関してほぼ安定的であって振動及び衝撃にほぼ耐える構造
が形成されている一体式光学アセンブリ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/967,624 US5949543A (en) | 1997-11-12 | 1997-11-12 | Monolithic optical assembly and associated retroreflector with beamsplitter assembly |
US08/967,624 | 1997-11-12 | ||
PCT/US1998/018911 WO1999024784A1 (en) | 1997-11-12 | 1998-09-08 | Monolithic optical assembly and associated retroreflector with beamsplitter assembly |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001522984A true JP2001522984A (ja) | 2001-11-20 |
JP3696789B2 JP3696789B2 (ja) | 2005-09-21 |
Family
ID=25513070
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000519743A Expired - Fee Related JP3696789B2 (ja) | 1997-11-12 | 1998-09-08 | ビームスプリッタアセンブリを備えた一体式光学アセンブリ、干渉計アセンブリ及び再帰反射アセンブリ |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5949543A (ja) |
EP (1) | EP1031010A4 (ja) |
JP (1) | JP3696789B2 (ja) |
KR (1) | KR100361852B1 (ja) |
AU (1) | AU9568098A (ja) |
CA (1) | CA2307582C (ja) |
IL (1) | IL136039A (ja) |
WO (1) | WO1999024784A1 (ja) |
Families Citing this family (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6240306B1 (en) | 1995-08-09 | 2001-05-29 | Rio Grande Medical Technologies, Inc. | Method and apparatus for non-invasive blood analyte measurement with fluid compartment equilibration |
US7890158B2 (en) | 2001-06-05 | 2011-02-15 | Lumidigm, Inc. | Apparatus and method of biometric determination using specialized optical spectroscopy systems |
US6141101A (en) * | 1997-11-12 | 2000-10-31 | Plx, Inc. | Monolithic optical assembly |
US7224464B2 (en) * | 1998-11-04 | 2007-05-29 | Manning Christopher J | Fourier-transform spectrometers |
US6816605B2 (en) | 1999-10-08 | 2004-11-09 | Lumidigm, Inc. | Methods and systems for biometric identification of individuals using linear optical spectroscopy |
US6574490B2 (en) | 2001-04-11 | 2003-06-03 | Rio Grande Medical Technologies, Inc. | System for non-invasive measurement of glucose in humans |
US6729735B2 (en) * | 2001-06-28 | 2004-05-04 | Plx, Inc. | Lateral transfer retroreflector assembly and method of assembling the same |
IL149016A0 (en) * | 2002-04-07 | 2004-03-28 | Green Vision Systems Ltd Green | Method and device for real time high speed high resolution spectral imaging |
US6919678B2 (en) * | 2002-09-03 | 2005-07-19 | Bloomberg Lp | Bezel-less electric display |
US7751594B2 (en) | 2003-04-04 | 2010-07-06 | Lumidigm, Inc. | White-light spectral biometric sensors |
US7668350B2 (en) | 2003-04-04 | 2010-02-23 | Lumidigm, Inc. | Comparative texture analysis of tissue for biometric spoof detection |
JP2007524441A (ja) | 2003-04-04 | 2007-08-30 | ルミディム インコーポレイテッド | マルチスペクトルバイオメトリックセンサ |
US7460696B2 (en) | 2004-06-01 | 2008-12-02 | Lumidigm, Inc. | Multispectral imaging biometrics |
US8229185B2 (en) | 2004-06-01 | 2012-07-24 | Lumidigm, Inc. | Hygienic biometric sensors |
US8787630B2 (en) | 2004-08-11 | 2014-07-22 | Lumidigm, Inc. | Multispectral barcode imaging |
US7801338B2 (en) | 2005-04-27 | 2010-09-21 | Lumidigm, Inc. | Multispectral biometric sensors |
US7372577B1 (en) | 2005-05-31 | 2008-05-13 | Lockheed Martin Corporation | Monolithic, spatially-separated, common path interferometer |
US8092030B2 (en) | 2006-04-12 | 2012-01-10 | Plx, Inc. | Mount for an optical structure and method of mounting an optical structure using such mount |
EP2041696B1 (en) | 2006-07-19 | 2020-11-18 | HID Global Corporation | Multibiometric multispectral imager |
US8355545B2 (en) | 2007-04-10 | 2013-01-15 | Lumidigm, Inc. | Biometric detection using spatial, temporal, and/or spectral techniques |
US7995808B2 (en) | 2006-07-19 | 2011-08-09 | Lumidigm, Inc. | Contactless multispectral biometric capture |
US8175346B2 (en) | 2006-07-19 | 2012-05-08 | Lumidigm, Inc. | Whole-hand multispectral biometric imaging |
US7804984B2 (en) | 2006-07-31 | 2010-09-28 | Lumidigm, Inc. | Spatial-spectral fingerprint spoof detection |
US7801339B2 (en) | 2006-07-31 | 2010-09-21 | Lumidigm, Inc. | Biometrics with spatiospectral spoof detection |
US7480055B2 (en) * | 2007-01-12 | 2009-01-20 | Abb Bomem Inc. | Two-beam interferometer for fourier transform spectroscopy with double pivot scanning mechanism |
US8285010B2 (en) | 2007-03-21 | 2012-10-09 | Lumidigm, Inc. | Biometrics based on locally consistent features |
US8083359B2 (en) | 2007-11-20 | 2011-12-27 | Mks Instruments, Inc. | Corner cube retroreflector mount |
WO2009126546A1 (en) | 2008-04-07 | 2009-10-15 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | High-precision monolithic optical assemblies and methods for fabrication and alignment thereof |
US7995208B2 (en) * | 2008-08-06 | 2011-08-09 | Ftrx Llc | Monolithic interferometer with optics of different material |
DE112010003414T5 (de) | 2009-08-26 | 2012-12-06 | Lumidigm, Inc. | Biometrische Multiplex-Bildgebung und biometrischer Dual-Bilderzeugersensor |
US8570149B2 (en) | 2010-03-16 | 2013-10-29 | Lumidigm, Inc. | Biometric imaging using an optical adaptive interface |
US9798051B2 (en) | 2011-02-28 | 2017-10-24 | Plx, Inc. | Mount for an optical structure having a grooved protruding member and method of mounting an optical structure using such mount |
WO2013078281A2 (en) | 2011-11-23 | 2013-05-30 | Ftrx Llc | Quasi- translator, fourier modulator, fourier spectrometer, motion control system and methods for controlling same, and signal processor circuit |
US8851689B2 (en) | 2012-07-27 | 2014-10-07 | Plx, Inc. | Interferometer, and optical assembly each having a three-pin mount for mounting an optical element at at least three points or areas and method of mounting same |
US20150008303A1 (en) | 2013-02-21 | 2015-01-08 | Plx, Inc. | Mounts for an optical structure having a grooved protruding member with a damping ring disposed in or on the groove and methods of mounting an optical structure using such mounts |
US9557221B1 (en) | 2016-06-24 | 2017-01-31 | Mettler-Toledo Autochem, Inc. | Interferometer for Fourier transform infrared spectrometry |
US11835789B2 (en) | 2020-04-20 | 2023-12-05 | Plx, Inc. | Mirror-based assemblies, including lateral transfer hollow retroreflectors, and their mounting structures and mounting methods |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1602535A (ja) * | 1968-10-09 | 1970-12-21 | ||
DE3585380D1 (de) * | 1984-07-18 | 1992-03-26 | Philips Nv | Aufbau optischer vorrichtungen. |
GB2163548B (en) * | 1984-08-09 | 1987-11-25 | Perkin Elmer Ltd | Interferometric apparatus particularly for use in ft spectrophotometer |
US4693603A (en) * | 1985-10-21 | 1987-09-15 | Midac Corporation | Ruggedized compact interferometer requiring minimum isolation from mechanical vibrations |
US4810092A (en) * | 1986-02-21 | 1989-03-07 | Midac Corporation | Economical spectrometer unit having simplified structure |
EP0258409A4 (en) * | 1986-02-21 | 1989-12-13 | Midac Corp | ECONOMIC SPECTROMETER UNIT HAVING A SIMPLIFIED STRUCTURE. |
US4784488A (en) * | 1986-08-27 | 1988-11-15 | Laser Precision Corporation | Modular radiation transmission apparatus for spectrometers |
JPS63241435A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-06 | Fuji Electric Co Ltd | 干渉計 |
US4773757A (en) * | 1987-08-19 | 1988-09-27 | Laser Precision Corporation | High resolution spectrometer interferometer having an integrated alignment unit |
EP0369054B1 (de) * | 1988-11-17 | 1993-09-01 | Erwin Kayser-Threde Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Reflektorsystem für Michelson-Interferometer |
US4991961A (en) * | 1989-05-26 | 1991-02-12 | Nicolet Instrument Corporation | Moving mirror tilt adjust mechanism in an interferometer |
US5153675A (en) * | 1990-02-22 | 1992-10-06 | Nicolet Instrument Corporation | Modular optical system for Fourier transform infrared spectrometer |
GB9012667D0 (en) * | 1990-06-07 | 1990-08-01 | Emi Plc Thorn | Apparatus for displaying an image |
JPH04142430A (ja) * | 1990-10-03 | 1992-05-15 | Fuji Electric Co Ltd | マイケルソン型干渉計 |
GB9027480D0 (en) * | 1990-12-19 | 1991-02-06 | Philips Electronic Associated | Interferometer |
DE69220261T2 (de) * | 1991-03-01 | 1997-11-27 | Analect Instr Inc | Drei-dimensionale Interferometerstruktur mit Abtastung durch Brechungselemente |
US5486917A (en) * | 1991-10-09 | 1996-01-23 | On-Line Technologies Inc | Flexture plate motion-transfer mechanism, beam-splitter assembly, and interferometer incorporating the same |
US5541728A (en) * | 1995-04-03 | 1996-07-30 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Solid stationary interferometer fourier transform spectrometer |
-
1997
- 1997-11-12 US US08/967,624 patent/US5949543A/en not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-09-08 KR KR1020007005127A patent/KR100361852B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-09-08 JP JP2000519743A patent/JP3696789B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1998-09-08 IL IL13603998A patent/IL136039A/en not_active IP Right Cessation
- 1998-09-08 WO PCT/US1998/018911 patent/WO1999024784A1/en not_active Application Discontinuation
- 1998-09-08 EP EP98949336A patent/EP1031010A4/en not_active Withdrawn
- 1998-09-08 CA CA002307582A patent/CA2307582C/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-09-08 AU AU95680/98A patent/AU9568098A/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2307582C (en) | 2006-09-05 |
US5949543A (en) | 1999-09-07 |
IL136039A (en) | 2004-05-12 |
KR100361852B1 (ko) | 2002-11-22 |
JP3696789B2 (ja) | 2005-09-21 |
KR20010032012A (ko) | 2001-04-16 |
EP1031010A4 (en) | 2001-09-26 |
WO1999024784A1 (en) | 1999-05-20 |
IL136039A0 (en) | 2001-05-20 |
AU9568098A (en) | 1999-05-31 |
EP1031010A1 (en) | 2000-08-30 |
CA2307582A1 (en) | 1999-05-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3696789B2 (ja) | ビームスプリッタアセンブリを備えた一体式光学アセンブリ、干渉計アセンブリ及び再帰反射アセンブリ | |
JP3574406B2 (ja) | 一体式光学アセンブリ | |
US5808739A (en) | Interferometer having combined beam splitter compensator plate | |
US7995208B2 (en) | Monolithic interferometer with optics of different material | |
TWI431243B (zh) | 使用於干涉儀中的光學總成、干涉系統及干涉方法 | |
EP2137487B1 (en) | Two-beam interferometer for fourier transform spectroscopy with double pivot scanning mechanism | |
US8851689B2 (en) | Interferometer, and optical assembly each having a three-pin mount for mounting an optical element at at least three points or areas and method of mounting same | |
US7426039B2 (en) | Optically balanced instrument for high accuracy measurement of dimensional change | |
US5715057A (en) | Reference interferometer with variable wavelength and folded measurement beam path | |
EP0862725B1 (en) | Rugged moving-mirror interferometer | |
NL1032924C2 (nl) | Monolithische verplaatsingsmetingsinterferometer. | |
US9797704B2 (en) | Interferometer having two transparent plates in parallel for making reference and measurement beams parallel | |
JP3323510B2 (ja) | 複数の平行ビームを生じるレーザビームスプリッタ | |
JPH07239208A (ja) | 干渉応用測定装置 | |
WO1993007442A1 (en) | Two-beam interferometer apparatus and method and spectrometer utilizing the same | |
US6611379B2 (en) | Beam splitter and method for generating equal optical path length beams | |
US6922249B1 (en) | Beam masking to reduce cyclic error in beam launcher of interferometer | |
JPS59136604A (ja) | 多重光路レ−ザ−干渉計 | |
JPS59164926A (ja) | 干渉分光計 | |
US20060279740A1 (en) | Optically balanced instrument for high accuracy measurement of dimensional change |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20040212 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20040224 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040511 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050531 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050630 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080708 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090708 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100708 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110708 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120708 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130708 Year of fee payment: 8 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |