JP2018151368A - 光モジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光モジュール1Aは、ベース10と、可動ミラー5と、固定ミラー6と、ビームスプリッタユニット7と、を備えている。ベース10は、主面10aを有している。ベース10には、実装領域31、及びX軸方向に沿って実装領域31を移動させる駆動領域32が設けられている。可動ミラー5は、ミラー面51aを有し、実装領域31に実装されている。固定ミラー6は、ミラー面61aを有し、ベース10に対する位置が固定されている。ビームスプリッタユニット7は、可動ミラー5及び固定ミラー6と共に測定光L0について干渉光学系I1を構成している。ミラー面51a及びミラー面61aは、X軸方向における一方の側に向いている。
【選択図】図1
Description
[第1実施形態]
[光モジュールの構成]
[可動ミラー及びその周辺構造]
[固定ミラー及びその周辺構造]
[作用及び効果]
[第1実施形態の変形例]
[第2実施形態]
[作用及び効果]
[第2実施形態の変形例]
[変形例]
Claims (14)
- 主面を有し、実装領域、及び、前記主面に平行な第1方向に沿って前記実装領域を移動させる駆動領域が設けられたベースと、
前記主面と交差する位置関係にあるミラー面を有し、前記実装領域に実装された可動ミラーと、
前記主面と交差する位置関係にあるミラー面を有し、前記ベースに対する位置が固定された第1固定ミラーと、
前記可動ミラー及び前記第1固定ミラーと共に測定光について第1干渉光学系を構成するビームスプリッタユニットと、を備え、
前記可動ミラーの前記ミラー面及び前記第1固定ミラーの前記ミラー面は、前記第1方向における一方の側に向いている、光モジュール。 - 前記実装領域には、開口が形成されており、
前記可動ミラーは、前記ミラー面を有するミラー部と、前記ミラー部に連結された弾性部と、前記弾性部の弾性変形に応じて弾性力が付与される支持部と、を有し、
前記支持部は、前記弾性部の弾性力が付与された状態で前記開口に挿入されており、
前記可動ミラーは、前記開口の内面から前記支持部に付与される前記弾性力の反力によって、前記実装領域に固定されている、請求項1に記載の光モジュール。 - 前記第1固定ミラーは、前記主面に平行且つ前記第1方向に垂直な第2方向において、前記可動ミラーに対して一方の側に位置しており、
前記駆動領域の少なくとも一部は、前記主面に垂直な第3方向から見た場合に、前記第1方向における前記第1固定ミラーの前記一方の側又は他方の側に位置している、請求項1又は2に記載の光モジュール。 - 前記ビームスプリッタユニットは、
前記測定光の一部を反射し且つ前記測定光の残部を透過させるハーフミラー面と、
前記ハーフミラー面によって反射された前記測定光の前記一部を反射する全反射ミラー面と、を含み、
前記ハーフミラー面と前記全反射ミラー面とは、互いに平行である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の光モジュール。 - 前記第1固定ミラーは、前記ベースに実装されている、請求項1〜4のいずれか一項に記載の光モジュール。
- 前記ビームスプリッタユニットは、前記ベースに実装されている、請求項1〜5のいずれか一項に記載の光モジュール。
- 前記ビームスプリッタユニットと前記可動ミラーとの間の第1光路、及び、前記ビームスプリッタユニットと前記第1固定ミラーとの間の第2光路の少なくとも1つの光路上に配置され、前記第1光路と前記第2光路との間の光路差を補正する光透過部材を更に備える、請求項1〜6のいずれか一項に記載の光モジュール。
- 前記光透過部材は、前記ベースに実装されている、請求項7に記載の光モジュール。
- 外部から前記第1干渉光学系に前記測定光を入射させるように配置された測定光入射部と、
前記第1干渉光学系から外部に前記測定光を出射させるように配置された測定光出射部と、を更に備える、請求項1〜8のいずれか一項に記載の光モジュール。 - 前記主面と交差する位置関係にあるミラー面を有し、前記ベースに対する位置が固定された第2固定ミラーを更に備え、
前記ビームスプリッタユニットは、前記可動ミラー及び前記第2固定ミラーと共にレーザ光について第2干渉光学系を構成し、
前記第2固定ミラーの前記ミラー面は、前記第1方向における前記一方の側に向いている、請求項1〜9のいずれか一項に記載の光モジュール。 - 前記第1固定ミラー及び前記第2固定ミラーは、前記主面に平行且つ前記第1方向に垂直な第2方向において、前記可動ミラーに対して両側にそれぞれ位置しており、
前記駆動領域の少なくとも一部は、前記主面に垂直な第3方向から見た場合に、前記第1方向における前記第1固定ミラーの前記一方の側又は他方の側、及び、前記第1方向における前記第2固定ミラーの前記一方の側又は他方の側に位置している、請求項10に記載の光モジュール。 - 前記レーザ光が進行せず且つ前記測定光が進行する光路上に配置され、前記レーザ光の中心波長を含む波長範囲の光をカットするフィルタを更に備える、請求項10又は11に記載の光モジュール。
- 前記第2干渉光学系に入射させる前記レーザ光を発生する光源と、
前記第2干渉光学系から出射された前記レーザ光を検出する光検出器と、を更に備える請求項10〜12のいずれか一項に記載の光モジュール。 - 前記ベースは、
前記主面を有し、前記実装領域及び前記駆動領域が設けられたデバイス層と、
前記デバイス層を支持する支持層と、
前記支持層と前記デバイス層との間に設けられた中間層と、を有し、
前記支持層は、SOI基板の第1シリコン層であり、
前記デバイス層は、前記SOI基板の第2シリコン層であり、
前記中間層は、前記SOI基板の絶縁層である、請求項1〜13のいずれか一項に記載の光モジュール。
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