JP7111716B2 - 基板の官能化方法 - Google Patents
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Description
・基板の表面に第1のポリマー材料の層を堆積させるステップであって、当該第1のポリマー材料は、ブロックコポリマーに対して第1の化学的親和性を有するステップ;
・第1のポリマー材料層の一部分のみを基板の表面にグラフトするステップ;
・モールドを用いて、パターンを第1のポリマー材料層の前記グラフト部分の上方に配置された犠牲層に印刷するステップ;
・犠牲層のパターンを第1のポリマー材料層の前記グラフト部分へ基板に届くまで、転写するステップ;及び
・犠牲層の少なくとも一部分を、第1のポリマー材料層のグラフト部分を露出させるように、ウェットエッチングによって除去するステップ。
・前記犠牲層の少なくとも一部分は、溶媒によって除去される;
・第1のポリマー材料は、ブロックコポリマーのブロックに関して中性である;
・第2のポリマー材料は、ブロックコポリマーのブロックの1つに対して優先的な親和性を有する;
・第1のポリマー材料層は、ランダムコポリマー、ホモポリマー、又は自己組織化単分子層から形成される;
・パターンは熱印刷又はUV増強印刷によって犠牲層に印刷される;及び
・基板の表面上への第1のポリマー材料層のグラフトは,パターンの印刷と同時に実施される。
・コポリマーのブロックのいずれかに対する優先的親和性;又は
・中性、すなわちコポリマーのブロックのいずれかに対する優先的親和性がない。
・PS-b-PMMA:ポリスチレンブロック-ポリメチルメタクリレート
・PS-b-PLA:ポリスチレンブロック-ポリ乳酸;
・PS-b-PEO:ポリスチレンブロック-ポリエチレンオキシド;
・PS-b-PDMS:ポリスチレンブロック-ポリジメチルシロキサン
・PS-b-PMMA-b-PEO:ポリスチレンブロック-ポリメチルメタクリレートブロック-ポリエチレンオキシド
・PS-b-P2VP:ポリスチレンブロック-ポリ(2ビニルピリジン)。
Claims (13)
- ブロックコポリマーの自己組織化を意図した基板(100、400)を官能化する方法であって、以下のステップを含む:
・基板(100、400)の表面に第1のポリマー材料層(110)を堆積させるステップ(S11、S21、S41)であって、当該第1のポリマー材料がブロックコポリマーに対して第1の化学的親和性を有するステップ;
・第1のポリマー材料層(110)の一部分のみを基板(100、400)の表面にグラフトして、基板(100、400)の表面上にグラフトされた第1のポリマー材料層(110)のグラフト部分(110a)および当該グラフト部分(110a)の上に配置された第1のポリマー材料層(110)の非グラフト部分(110b)を得るステップ(S12、S22、S42);
・モールド(120)を用いて、パターン(111、201)を第1のポリマー材料層(110)の前記グラフト部分(110a)の上方に配置された犠牲層内に印刷するステップ(S13、S24、S43)であって、前記犠牲層は第1のポリマー材料層(110)の非グラフト部分(110b)を含むステップ;
・犠牲層のパターンを第1のポリマー材料層(110)の前記グラフト部分(110a)へ基板(100、400)に届くまで、転写するステップ(S14、S25、S44);及び
・前記転写するステップ(S14、S25、S44)の後に、少なくとも前記第1のポリマー材料層(110)の非グラフト部分(110b)を、第1のポリマー材料層(110)のグラフト部分(110a)を露出させるように、ウェットエッチングにより除去するステップ(S15、S26、S45)。 - 前記犠牲層が、前記第1のポリマー材料層(110)の非グラフト部分(110b)から構成される、請求項1に記載の方法。
- 前記犠牲層が、前記第1のポリマー材料層(110)の非グラフト部分(110b)からなる第1のサブ層及び前記第1のポリマー材料とは異なる印刷可能なポリマー材料(200)からなる第2のサブ層を含む、請求項1に記載の方法。
- 第1のポリマー材料層(110)の非グラフト部分(110b)上に、印刷可能なポリマー材料(200)からなる犠牲層を堆積させるステップ(S23)を含む、請求項3に記載の方法。
- 前記印刷可能なポリマー材料(200)が、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂又は光重合性樹脂である、請求項3または4に記載の方法。
- 前記基板(400)が、前記ブロックコポリマーに対して第2の化学的親和性を有する第2のポリマー材料からなる表面層(410)を含み、前記犠牲層の前記パターン(111)が、前記表面層(410)にさらに転写される、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第2のポリマー材料が、前記ブロックコポリマーの前記ブロックのうちの1つに対して優先的な親和性を有する、請求項6に記載の方法。
- 前記第1のポリマー材料層(110)の非グラフト部分(110b)が、溶媒を用いて除去される、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1のポリマー材料(110)が、前記ブロックコポリマーの前記ブロックに対して中性である、請求項1から8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1のポリマー材料層(110)が、ランダムコポリマー、ホモポリマー又は自己組織化単分子層から形成される、請求項1から9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記パターン(111、201)が、熱印刷又はUV増強印刷によって前記犠牲層に印刷される、請求項1から10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記パターンの印刷ステップ(S13、S24、S43)と同時に、前記基板(100、400)の表面上への前記第1のポリマー材料層(110)のグラフトステップ(S12、S22、S42)が行われる、請求項1から11のいずれか一項に記載の方法。
- ・請求項1から12のいずれか一項に記載の方法を用いて官能化された基板の調製;
・官能化された基板の表面上へのブロックコポリマーの堆積;及び
・ブロックコポリマーの組織化
を含む化学エピタキシー方法。
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