JP2019519105A - グラフォエピタキシーによるブロック共重合体の誘導自己組織化のための方法 - Google Patents
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Abstract
本発明は、グラフォエピタキシーによるブロック共重合体の誘導自己組織化のための方法に関する。この方法は、以下のステップを備える:基板(1)上にガイドパターン(4)を形成し、ガイドパターン(4)は、底部(6)および側壁(5)を備えるキャビティ(7)を有すること。第1の機能化層(2)を、ガイドパターン(4)上に形成し、第1の機能化層(2)は、キャビティ(7)の底部(6)上に配置された第1の部分(11)と、キャビティ(7)の側壁(5)上に配置された第2の部分(12)とを備えること。第1の機能化層の第1および第2の部分上に保護層(3)を形成すること(103)。保護層の一部分(8)が維持され、キャビティ(7)の側壁(5)が露出されるように、保護層(3)および第1の機能化層(2)の第2の部分(12)をエッチングし、保護層の前記一部分(8)は、キャビティ(7)の底部(6)上に配置され、15nm未満の厚さを有すること。第1の機能化層(2)の第1の部分(11)に対して、および、ガイドパターン(4)に対して、選択的に保護層の前記一部分(8)をエッチングすること。キャビティ(7)内にブロック共重合体を堆積させること。
Description
本発明は、機能化されたガイドパターンを使用した、グラフォエピタキシーによるブロック共重合体の誘導自己組織化(DSA)のための方法に関する。
より小さい寸法を有する物体を製造することを可能にする方法のニーズは絶えず増加している。これは電子部品の小型化への傾向のためである。
最も有望な代替リソグラフィー技術の中には、ブロック共重合体の自己集合を使用するリソグラフィー技術が挙げられる。
ブロック共重合体は、いくつかのモノマーのブロック、たとえば、共有結合によってともに結合された異なる化学的性質のモノマーAおよびBからなる2つのブロックから構成されるポリマーである。鎖に十分な移動度が、たとえば、加熱によって与えられる場合、鎖Aおよび鎖Bは、相分離し、たとえば、Bのマトリクス中におけるAの球体、Bのマトリクス中におけるAの円柱、または、その代わりに、間に挿入されたAのラメラおよびBのラメラを備える二次元ネットワークのように、再組織化されて完全に組織化された構造を形成する傾向を有する。
したがって、ブロック共重合体は、モノマーの比率のために制御され得るパターンを形成する特性を有する。さらに、ブロック共重合体によって形成されるパターンの周期性は、ブロック共重合体のモル質量に直接リンクされ、このモル質量を制御することによって、それらが形成するパターンの解像度を制御することが可能である。
これらのブロック共重合体の特性は、グラフォエピタキシー方法の範囲内で使用される。グラフォエピタキシー方法は、一般に、基板の表面上にガイドパターンを生成することからなり、これらガイドパターンは、ブロック共重合体がより良好な解像度の二次パターンを形成するために堆積されるキャビティを画定する。
しかしながら、ガイドパターンに対する二次パターンの配向を制御することは困難である。
実際、ガイドパターンに対する二次パターンの配向は、ブロック共重合体のモノマーブロックと、ガイドパターンの表面、基板の表面、および空気との相互作用に依存する。
ガイドが、ガイドキャビティの底部および壁面上のブロック共重合体の2つの相のうちの1つと同じ優先的な親和性を有する場合、この相はガイドとの界面で自己組織化するであろう。このように、暴露ステップ中に優先的に除去されねばならない領域は、ガイドパターンの最大高さを横切らず、ポリマーの他の相の残留層が、基板との界面で形成されることになる。これは、その後のブロック共重合体のエッチングによる転写の制限となる。
最も有利な場合は、中性のキャビティ底部(基板と2つのブロックの同等な相互作用)を有するガイドパターンを生成することであり、キャビティの縁部は、ポリマーの2つの相のうちの一方に優先的に結合される。この場合、暴露ステップ中に選択的に除去される犠牲ポリマーの領域は、厚み全体を、基板との界面まで横切る。これはエッチングによって基板にパターンを転写するステップに非常に有利である(参考文献、R.Tironら、SPIE 2015)。
さらに、A−b−B型ブロック共重合体の場合、表面との相互作用エネルギーの制御は、たとえば、賢明に選択された組成のA−r−B型ランダム共重合体をグラフトすることによって生じ得る(参考文献、X.Chevalierら、SPIE 2011)。
先行技術の方法は、ランダムポリマーをキャビティの底部にグラフトすることによってこれら相互作用を制御することを提案しているが、キャビティの壁はむき出しのままである。これを行うために、ランダムポリマーが希釈され、その後、スピンコーティングによって堆積される。グラフト焼き鈍し中、薄い厚さのランダムポリマーが、キャビティの底部に固定されるが、キャビティの壁は、むき出しのままである。しかしながら、同一の珪素基板上に密度の異なるガイドパターンが存在する場合、この方法が、所与のパターンに対して機能するとしても、ランダムポリマーの層もキャビティの壁上に堆積されるので、この技術は高密度のガイドでは機能しない。
R.Tironら、SPIE 2015
X.Chevalierら、SPIE 2011
本発明は、グラフォエピタキシー方法のためのガイドパターンを形成することを可能にする方法を提案することによって、先行技術の欠点を克服することを目的としており、ガイドパターンのキャビティの底部および壁は、ガイドパターンの密度に関わらず、異なる手法で機能化される。
これを行うために、本発明によれば、グラフォエピタキシーによるブロック共重合体の誘導自己組織化(DSA)のための方法が提案され、この方法は以下のステップを備える:
− ガイドパターンを基板上に形成し、ガイドパターンは、底面および側壁を備えるキャビティを備えること。
− ブロック共重合体に対して第1の化学的親和性を有する第1の材料からなる第1の機能化層を、ガイドパターン上に形成し、第1の機能化層は、キャビティの底部上に配置された第1の部分と、キャビティの側壁上に配置された第2の部分とを備えること。
− 第1の機能化層の第1の部分および第2の部分上に、保護層を形成すること。
− 保護層の一部分を保存し、キャビティの側壁を露出させるように、保護層および第1の機能化層の第2の部分をエッチングし、保護層の前記一部分は、キャビティの底部上に配置され、15nm未満の厚さを有すること。
− 保護層の前記一部分を、第1の機能化層の第1の部分に対して、およびガイドパターンに対して、選択的にエッチングすること。
− キャビティ内にブロック共重合体を堆積させること。
− ガイドパターンを基板上に形成し、ガイドパターンは、底面および側壁を備えるキャビティを備えること。
− ブロック共重合体に対して第1の化学的親和性を有する第1の材料からなる第1の機能化層を、ガイドパターン上に形成し、第1の機能化層は、キャビティの底部上に配置された第1の部分と、キャビティの側壁上に配置された第2の部分とを備えること。
− 第1の機能化層の第1の部分および第2の部分上に、保護層を形成すること。
− 保護層の一部分を保存し、キャビティの側壁を露出させるように、保護層および第1の機能化層の第2の部分をエッチングし、保護層の前記一部分は、キャビティの底部上に配置され、15nm未満の厚さを有すること。
− 保護層の前記一部分を、第1の機能化層の第1の部分に対して、およびガイドパターンに対して、選択的にエッチングすること。
− キャビティ内にブロック共重合体を堆積させること。
したがって、この方法は、底部が側壁とは異なるように機能化された少なくとも1つのキャビティを備えるガイドパターンを形成することを可能にする。この方法は、ガイドパターン内のキャビティの密度に関わらず、効率的である。
この方法は、保護層の第1の部分が、この方法の後のステップ、および、その品質を変化させ得る特に侵略的なステップ(たとえば、プラズマエッチングステップ)から、第1の機能化層の第1の部分を保護することを可能にするので、特に有利である。また、本発明の第1の態様による方法は、個々に、または、これらの技術的に可能なすべての組合せにしたがって得られる以下の特性のうちの1つまたは複数を有し得る。
1つの実施形態によれば、この方法はさらに、保護層の前記一部分のエッチングの後に、キャビティの側壁上に、第2の機能化層を形成するステップを備え、第2の機能化層は、ブロック共重合体に対する第2の化学的親和性と、第1の材料のモル質量よりも大きなモル質量とを有する第2の材料から形成される。
別の実施形態によれば、保護層および第1の機能化層の第2の部分のエッチングは、2つの連続するサブステップで実行される:
− 第1の機能化層の第2の部分を露出させ、保護層の前記一部分を形成するように、保護層をエッチングすること。
− 保護層の前記一部分に対して、および、ガイドパターンに対して、選択的に第1の機能化層の第2の部分をエッチングすること。
− 第1の機能化層の第2の部分を露出させ、保護層の前記一部分を形成するように、保護層をエッチングすること。
− 保護層の前記一部分に対して、および、ガイドパターンに対して、選択的に第1の機能化層の第2の部分をエッチングすること。
後者の実施形態の発展によれば、この方法はさらに、保護層の前記一部分のエッチングの前に、以下のステップを備える:
− ブロック共重合体に対して第2の化学的親和性を有する第2の材料からなる第2の機能化層を形成し、第2の機能化層は、保護層(3)の前記一部分上に配置された第1の部分と、キャビティの側壁上に配置された第2の部分とを備えること。
− 第2の機能化層の第2の部分に対して、および、保護層の前記一部分に対して、選択的に第2の機能化層の第1の部分をエッチングすること。
− ブロック共重合体に対して第2の化学的親和性を有する第2の材料からなる第2の機能化層を形成し、第2の機能化層は、保護層(3)の前記一部分上に配置された第1の部分と、キャビティの側壁上に配置された第2の部分とを備えること。
− 第2の機能化層の第2の部分に対して、および、保護層の前記一部分に対して、選択的に第2の機能化層の第1の部分をエッチングすること。
保護層の第1の部分は、第1および第2の機能化層の性質に関わらず、第2の機能化層の形成中に、2つの機能化層が接触することを回避することによって、第1の機能化層の代わりに、第2の機能化層をグラフトしないようにすることを可能にする。
1つの実施形態によれば、保護層は、第1の機能化層の第1の部分上に堆積された第1の部分と、第1の機能化層の第2の部分上に堆積された第2の部分とを備えるように堆積され得る。
この場合、保護層の第1の部分は、第2の部分よりも厚くてもよく、これは、保護層の第2の部分が、等方性エッチング技術によってエッチングされる場合でさえも、保護層の第1の部分の厚さの一部を保存することを可能にする。あるいは、一定の厚さの保護層を生成するが、異方性エッチング技術によって保護層の第2の部分を一意にエッチングすることが考えられ得る。
可変厚さの保護層は、非コンフォーマル堆積技術によって取得され得る。
別の実施形態によれば、保護層は、キャビティを完全に満たすように堆積され得る。この場合、保護層の厚さは、厚さが15nm未満であるキャビティの底部の一部分のみが保存されるまで、減少される。有利には、保護層は蒸着によって堆積され、これは、周囲温度で堆積させることを可能にする。保護層は、気相スパッタリングによっても堆積され得る。
異なる実施形態によれば:
− 保護層は、フッ化水素酸またはリン酸の溶液を使用した湿式エッチング技術によってエッチングされ得る。またはの場合、
− 保護層は、等方性プラズマエッチング技術によってエッチングされ得る。
− 保護層は、フッ化水素酸またはリン酸の溶液を使用した湿式エッチング技術によってエッチングされ得る。またはの場合、
− 保護層は、等方性プラズマエッチング技術によってエッチングされ得る。
有利には、第1の機能化層の第2の部分は、等方性プラズマエッチング技術によってエッチングされる。実際、第1の機能化層の第1の部分は、キャビティの底部に位置する保護層の一部分によって保護されているので、等方性プラズマエッチング技術を使用して、第1の機能化層の第2の部分を選択的な方式で一意にエッチングすることが可能である。使用される等方性プラズマエッチングは、酸化または還元プラズマエッチングであり得る。
有利には、第2の機能化層の第1の部分は、異方性プラズマエッチング技術によってエッチングされ、これは、この機能化層の第2の部分が保護されていなくても、この機能化層の第2の部分を保存することを可能にする。
有利には、保護層の第1の部分は、フッ化水素酸またはリン酸の溶液を使用した湿式エッチングによってエッチングされる。したがって、保護層を一意にエッチングすることが可能であり、ガイドパターンおよび機能化層はエッチングされない。
有利には、ブロック共重合体は、少なくとも2つのモノマーブロックを備え、第1の機能化層は、すべてのモノマーブロックと同等の親和性を有する。
有利には、第2の機能化層は、モノマーブロックのうちの1つと優先的な親和性を有する。
したがって、基板に対して垂直な配向を有するブロック共重合体によって二次パターンを生成することが可能である。
本発明の他の特徴および利点は、本発明の1つの実施形態による方法の異なるステップを例示する添付図面1aから図1hを参照して、以下の詳細説明を読むことで明らかになるであろう。
より明確にするために、すべての図において、同一または類似の要素には、同一の参照符号が付される。
少なくとも1つの実施形態の詳細説明
図1aから図1hは、本発明の1つの実施形態によるグラフォエピタキシーのためのガイドパターンを製造する方法のステップを表す。
図1aから図1hは、本発明の1つの実施形態によるグラフォエピタキシーのためのガイドパターンを製造する方法のステップを表す。
図1hを参照して示すように、この方法は、少なくとも1つのキャビティ7を備えたグラフォエピタキシーのためのガイドパターン4を得ることを可能にし、キャビティの底部6は、このキャビティ内に堆積されるブロック共重合体との第1の親和性を有するように機能化される一方、側壁5は、キャビティ内に堆積される共重合体との第2の親和性を有するように機能化されている。
これを行うために、図1aを参照して示すように、この方法は、基板1上にガイドパターン4を形成する第1のステップ101を備える。ガイドパターン4は、少なくとも1つのキャビティ7を備える。キャビティ7は、底面6と、基板の表面に交差する方向に沿って延在する側壁5とを備える。より具体的には、側壁5は、好適には、基板の表面に垂直な方向に沿って延在する。キャビティ7は、異なる幾何学的形状を有し得る。したがって、キャビティ7は、円柱井戸、溝、矩形断面の井戸などの形状を採り得る。ガイドパターン4は、好適には、たとえば、フッ化水素酸(HF)および/またはリン酸(H3PO4)に対して不活性な材料のように、この方法の後のステップ中に使用されるエッチング技術に耐性のある材料からなる。このために、第1の実施形態によれば、ガイドパターンは、炭素を備え得る。したがって、ガイドパターンは、遠心分離によって堆積された炭素(スピンオンカーボンについてSOCとも呼ばれる)からなり得るか、または他の任意の反射防止炭素層からなり得る。第1の実施形態と組み合わせてもよいし、組み合わせなくてもよい第2の実施形態によれば、ガイドパターンは、フッ化水素酸(HF)に対して、および/または、リン酸(H3PO4)に対して、耐性のある層で覆われ得る。この第2の実施形態は、たとえば珪素酸化物のような任意の種類の材料のガイドパターンを作製し、その後、この方法の後のステップ中に使用されるエッチング技術に耐性のある層の上に堆積させることによって、ガイドパターンを保護することを可能にする。各キャビティ7は、好適には、50nmから300nmの間からなる深さPを有する。各キャビティ7は、好適には、30nmから200nmの間からなる幅Lを有する。ガイドパターン4を形成するステップ103は、以下のサブステップを備え得る:
− 基板上に1つまたは複数の層を堆積させること。
− 少なくとも1つのキャビティ7を、好適にはリソグラフィーによって、たとえばフォトリソグラフィーによって、この層またはこれらの層を介して生成すること。
− 基板上に1つまたは複数の層を堆積させること。
− 少なくとも1つのキャビティ7を、好適にはリソグラフィーによって、たとえばフォトリソグラフィーによって、この層またはこれらの層を介して生成すること。
図1bを参照して示すように、この方法は、次に、ガイドパターン4上に第1の機能化層2を形成するステップ102を備える。第1の機能化層2は、キャビティの底部6上に堆積された第1のいわゆる「水平」部分11と、キャビティの側壁5上に堆積された第2のいわゆる「垂直」部分12とを備える。第1の機能化層2は、実質的に一定の厚さを有する。第1の機能化層2は、好適には、2nmから15nmの間、より優先的な方式では、5nmから12nmの間からなる厚さを有する。第1の機能化層2は、第1のポリマーの層である。この第1のポリマーの組成は、キャビティ7の底部6と、このキャビティ内に堆積されるブロック共重合体のモノマーブロックとの間で得られることが望まれている親和性に応じて選択される。異なる実施形態によれば、第1のポリマーは、たとえば自己組織化単分子膜(SAM)などの、表面エネルギーを制御するために使用できるランダム共重合体、ホモポリマー、または他の任意のタイプのグラフト可能なポリマーであり得る。第1のポリマーは、架橋性ポリマーであり得る。好適な実施形態によれば、第1のポリマーは、ブロック共重合体のモノマーブロックの各々と、第1の機能化層との間の引力が同等であるように選択され得る。この場合、キャビティ内に堆積されるブロック共重合体が、PS−b−PMMAである場合、第1の機能化層は、70質量%のポリスチレン(PS)と、30質量%のポリメチルメタクリレート(PMMA)とを備えたPS−r−PMMAの層であり得る。別の実施形態によれば、キャビティ内に堆積されるブロック共重合体が、ラメラ形態のPS−b−PMMAである場合、第1の機能化層は、50質量%のポリスチレン(PS)と50質量%のポリメチルメタクリレート(PMMA)とを備えたPS−r−PMMAの層であり得る。
第1の機能化層2を形成するステップ102は、好適には、たとえばスピンコーティングによって、ガイドパターン4上に第1のポリマーの層を堆積させるサブステップを備える。スピンコーティングは、第1のポリマーを有機溶媒中で希釈することによって実行され得る。第1のポリマーがPS−r−PMMAである場合、有機溶媒は、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)であり得る。このサブステップ中、第1のポリマーの層は、好適には、ガイドパターンを完全に覆う。結果として、初期溶液の濃度および堆積の速度が選択される。したがって、キャビティが、150nmの深さを有する場合、有機溶媒で希釈された第1のポリマーの溶液は、実質的に5%に等しい第1のポリマーの質量濃度を有し得る。第1の機能化層2を形成するステップ102は、次に、グラフトとも呼ばれ、ガイドパターン4上に第1のポリマーの層を固定するサブステップを備え得る。グラフトは、熱焼き鈍しまたは光架橋によって実行され得る。熱焼き鈍しは、好適には、実質的に250℃、典型的には230℃から260℃の間の温度で、実質的に10分間、典型的には5分から15分の間に等しい持続時間、実行される。熱焼き鈍しは、ホットプレート上または炉内で実行され得る。第1の機能化層2を形成するステップ102は、次に、溶媒を使用して第1のポリマーの余剰分が除去されるリンスすることのサブステップを備え得る。第1のポリマーがPS−r−PMMAである場合、使用される溶媒は、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)であり得る。
この方法は、次に、キャビティ内に保護層3を堆積させるステップを備える。
示されていない別の実施形態によれば、この保護層3は、キャビティ7を完全に満たすように堆積され得る。
図1cに示される実施形態によれば、保護層3は、第1の機能化層の水平部分11上に堆積された第1のいわゆる「水平」部分8と、第1の機能化層2の垂直部分12上に堆積された第2のいわゆる「垂直」部分9とを備えるように堆積され得る。
1つの実施形態によれば、保護層3は、その堆積中に第1の機能化層を損傷しないように、300℃未満の温度、好適には、250℃未満の温度で堆積され得る珪素を備えた誘電性無機層であり得る。したがって、保護層は、以下の材料:SiN、SiOC、SiO2、SiCBNのうちの1つの層であり得る。保護層3は、たとえば、珪素含有反射防止膜(SiARC)、HSQ(超高密度水素シルセスキオキサン)層、または、代わりにポリ(ジメチルシロキサン)層(PDMSとも呼ばれる)のような珪素充填ポリマーの層であり得る。別の実施形態によれば、保護層は、HFO2またはTiNの層であり得る。
保護層が水平部分8および垂直部分9を備える場合、保護層の水平部分8は、好適には、5nmから15nmの間、より優先的には10nmから15nmの間からなる厚みでさえも有する。保護層3の垂直部分9は、有利には、保護層の水平部分の少なくとも一部を保存しながら、保護層3の垂直部分を等方性エッチング技術によってエッチングするために、保護層の水平部分の厚さ未満の厚さを有する。
これを行うために、保護層3は、非コンフォーマル堆積技術によって堆積される。この非コンフォーマル堆積技術は、気相スパッタリング、または蒸着による堆積であり得る。
図1dを参照して示すように、この方法は、次に、キャビティの底部に堆積された保護層の水平部分8のみを保存するように、保護層3をエッチングするステップ104を備える。このステップの終わりに、保護層3の水平部分8は、15nm未満の厚さを有する。
エッチングは、好適には、等方性エッチングである。このエッチングステップは、第1の機能化層、またはガイドパターン、または基板を攻撃しない。水平部分および垂直部分を備えるように保護層が堆積された場合、このエッチングステップは、保護層3の垂直部分9を除去することを可能とし、また、保護層3の水平部分8の厚さを減少させることも可能とする。保護層がキャビティを完全に満たすように堆積された場合、このエッチングステップは、キャビティの底部で15nm未満の厚さの水平部分のみが保存されるまで、保護層の厚さを減少させることを可能とする。
異なるエッチング技術が使用され得る。
したがって、第1の実施形態によれば、保護層3は、湿式エッチング技術によってエッチングされ得る。保護層3がSiOC、SiO2、SiCBN、HFO2の層である場合、フッ化水素酸を備えたエッチング溶液を使用して湿式エッチングが実行され得る。
保護層3がSiN層である場合、フッ化水素酸系またはリン酸系のエッチング溶液を使用して湿式エッチングが実行され得る。
保護層がTiN層である場合、保護層の露出部分は、アルカリ性溶液(SC1)によってエッチングされ得る。
保護層のエッチング溶液への露出の持続時間は、保護層の組成と、エッチングされるべき厚さに依存する。たとえば、1質量%に希釈されたフッ化水素酸溶液によるSiN層の攻撃の速度は、5オングストローム/分である。1質量%に希釈されたリン酸の溶液によるSiN層の攻撃の速度は、40オングストローム/分である。1質量%に希釈されたフッ化水素酸の溶液によるSiO2層の攻撃の速度は、50オングストローム/分である。
第2の実施形態によれば、プラズマエッチング技術によって保護層3がエッチングされ得る。このために、CxHyFzタイプのガスを備えるプラズマが、好適に使用される。エッチングは、容量結合または誘導結合、好適には、誘導結合されたプラズマエッチング反応器で実行され得る。
したがって、例として、エッチングは、反応器に以下を注入することによって実行され得る:
− 200cm3/分のCH3Fガスのフラックス。
− 200cm3/分のジオキシゲンガスのフラックス。
− 120cm3/分のヘリウムガスのフラックス。
− 5cm3/分のSiCl4ガスのフラックス。
− 200cm3/分のCH3Fガスのフラックス。
− 200cm3/分のジオキシゲンガスのフラックス。
− 120cm3/分のヘリウムガスのフラックス。
− 5cm3/分のSiCl4ガスのフラックス。
エッチングは、50ミリトールから80ミリトールの間からなる圧力、60℃の温度、400Wのパワー、および250Vのバイアス電圧で実行され得る。
さらに、エッチングをより等方的にするために、バイアス電圧または電源の電力をパルス化することも可能である。パルス化されたパラメータは、好適には、50%の動作サイクルにしたがって500Hzの周波数でパルス化される。
図1eを参照して示すように、この方法は、次に、第1の機能化層2の垂直部分12を選択的にエッチングするステップを備える。第1の機能化層2の垂直部分12のエッチングは等方的である。第1の機能化層2の垂直部分12のエッチングは、保護層3、またはガイドパターン、または基板を攻撃しない。このステップ中、明らかに、第1の機能化層の垂直部分12のみがエッチングされる。これを行うために、第1の機能化層2の垂直部分12は、酸化または還元プラズマエッチング技術によってエッチングされ得る。このエッチングは、容量結合または誘導結合されたプラズマエッチング反応器内で実行され得る。
例として、第1の機能化層が10nmの厚さの炭素層である場合、第1の機能化層は、プラズマ反応器に以下を注入することによってエッチングされ得る:
− 200cm3/分のSO2ガスのフラックス。
− 30cm3/分のジオキシゲンガスのフラックス。
− 50cm3/分のヘリウムガスのフラックス。
− 200cm3/分のSO2ガスのフラックス。
− 30cm3/分のジオキシゲンガスのフラックス。
− 50cm3/分のヘリウムガスのフラックス。
エッチングは、10ミリトールの圧力、60℃の温度、900Wのパワー、200Vのバイアス電圧で実行され得る。
図1fを参照して示すように、この方法は、次に、キャビティ7内に第2の機能化層13を形成するステップ106を備え得る。第2の機能化層13は、保護層3の水平部分8上に堆積された第1のいわゆる「水平」部分14と、キャビティの側壁5上に堆積された第2のいわゆる「垂直」部分15とを備える。第2の機能化層13は、実質的に、一定の厚さを有する。第2の機能化層13は、好適には2nmから15nmの間、より好適な手法では5nmから12nmの間からなる厚さを有する。第2の機能化層13は、第1のポリマーとは異なる第2のポリマーの層である。この第2のポリマーの組成は、キャビティ7の側壁と、このキャビティ内に堆積されるブロック共重合体との間の所望の相互作用に応じて選択される。異なる実施形態によれば、第2のポリマーは、たとえば自己組織化単分子膜(SAM)などの表面エネルギーを制御するために使用できるランダム共重合体、ホモポリマー、または他の任意のタイプのグラフト可能なポリマーであり得る。好適な実施形態によれば、第2のポリマーは、ブロック共重合体の相Aまたは相Bのうちの一方と優先的な相互作用を有するように選択され得る。このために、第2のポリマーは、キャビティ内に堆積されるブロック共重合体の相のうちの1つのホモポリマーであり得る。たとえば、ブロック共重合体がPS−b−PMMAである場合、第2の機能化層は、たとえば、PSホモポリマーまたはPMMAホモポリマーの層であり得る。
第2の機能化層13を形成するステップ106は、好適には、たとえばスピンコーティングによって、第2のポリマーの層を堆積させるサブステップを備える。スピンコーティングは、第2のポリマーを有機溶媒中で希釈することによって実行される。この有機溶媒は、好適には、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)である。堆積させるこの第1のサブステップは、堆積された第2のポリマーの厚さが、ガイドパターンを完全に覆うために十分影響力のあるように実行される。したがって、第2のポリマーの溶液濃度および堆積速度は、第2のポリマーを堆積させるステップの終わりに、第2のポリマーの層が、ガイドパターン4を完全に覆うように、ガイドパターン4の高さに応じて選択されるであろう。
たとえば、キャビティ7が、150nmの深さPを有する場合、5%である第2のポリマーの質量濃度を有する第2のポリマーの溶液を使用することが可能となる。
第2の機能化層13を形成するステップ106は、次に、好適には、第2のポリマーの層をガイドパターン上に固定する、グラフトとも呼ばれるサブステップを備える。このグラフトは、熱焼き鈍しまたは光架橋によって実行され得る。熱焼き鈍しは、ホットプレート上または炉内で実行され得る。第2の機能化層13を形成するステップ106は、次に、第1のポリマーの余剰分を、溶媒を使用して除去するリンスすることのサブステップを備え得る。第2のポリマーがPSまたはPMMAである場合、使用される溶媒は、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)であり得る。
図1gを参照して示すように、この方法は、次に、第2の機能化層13の水平部分14を選択的にエッチングするステップ107を備える。第2の機能化層13の水平部分14のエッチングは、この層の水平部分14のみがエッチングされ、垂直部分は保存されるように、異方的である。さらに、第2の機能化層13の水平部分14のエッチングは、このステップ中に、保護層3、ガイドパターン4、基板がエッチングされないように、選択的である。このために、反応性イオンエッチング技術、酸化または還元またはフルオロカーボン(FC)プラズマエッチング技術を使用することが可能である。エッチングは、衝突される種が基板に対して垂直に、したがって、第2の機能化層13の垂直部分に接線方向に到着するように、垂直入射下で実行される。プラズマを指向性にするために、プラズマは高くバイアスされる。
図1hを参照して示すように、この方法は、次に、保護層3の水平部分8をエッチングするステップ108を備える。このエッチングは、保護層のみがエッチングされ、機能化層2、13、ガイドパターンまたは基板がエッチングされないように、選択的である。これを行うために、湿式エッチング技術が使用され得る。湿式エッチングは、フッ化水素酸系またはリン酸系のエッチング溶液を使用して実行され得る。
したがって、この方法は、底部が第1の機能化層で機能化される一方、側壁が第2の機能化層で機能化されるキャビティを備えたガイドパターンを製造することを可能にする。
このガイドパターンは、次に、非常に高い解像度および密度のパターンを生成するために、グラフォエピタキシー方法において、および、特に、ブロック共重合体の誘導自己組織化(DSA)のための方法において使用され得る。
グラフォエピタキシー方法は、次に、ガイドパターンのキャビティ内にブロック共重合体を堆積させるステップを備え得る。
このブロック共重合体は、特に、以下のうちの1つであり得る:
− PS−b−PMMA:ポリスチレン−ブロック−ポリメチルメタクリレート。
− PS−b−PLA:ポリスチレン−ブロック−ポリ乳酸。
− PS−b−PEO:ポリスチレン−ブロック−ポリエチレンオキシド。
− PS−b−PDMS:ポリスチレン−ブロック−ポリジメチルシロキサン。
− PS−b−PMMA−b−PEO:ポリスチレン−ブロック−ポリメチルメタクリレート−ブロック−ポリエチレンオキシド。
− PS−b−P2VP:ポリスチレン−ブロック−ポリ(2−ビニルピリジン)。
− PS−b−PMMA:ポリスチレン−ブロック−ポリメチルメタクリレート。
− PS−b−PLA:ポリスチレン−ブロック−ポリ乳酸。
− PS−b−PEO:ポリスチレン−ブロック−ポリエチレンオキシド。
− PS−b−PDMS:ポリスチレン−ブロック−ポリジメチルシロキサン。
− PS−b−PMMA−b−PEO:ポリスチレン−ブロック−ポリメチルメタクリレート−ブロック−ポリエチレンオキシド。
− PS−b−P2VP:ポリスチレン−ブロック−ポリ(2−ビニルピリジン)。
ブロック共重合体は、第1の機能化層および第2の機能化層と同じ親和性を有さないので、これらの機能化層の存在により、ブロック共重合体によって生成される2次パターンのキャビティ内における配向を制御することを可能にする。
図2aから図2iは、本発明の他の実施形態にしたがう方法のステップを表す。
この実施形態によれば、図2aを参照して示すように、この方法は、図1aを参照して説明されたように、基板1上にガイドパターン4を形成するステップ101を備える。
図2bおよび図2cを参照して示すように、この方法は、次に、ガイドパターン4上に第1の機能化層2を形成するステップ102を備える。このステップは、図1bを参照して説明したものと同一である。したがって、図2bを参照して示すように、ステップ102は、ガイドパターン4上に第1のポリマー21の層を堆積させるサブステップを備える。図2cを参照して示すように、第1の機能化層2を形成するステップ102は、次に、グラフトとも呼ばれ、ガイドパターン4上に第1のポリマー21の層を固定するサブステップを備える。
この実施形態では、第1の機能化層2を得るために、ステップ102で使用される第1のポリマー21の層によって保護層3が形成される。この場合、図1bを参照して説明したようにグラフトされていない第1のポリマー21の層の一部分を完全に脱離する代わりに、第1のポリマーの層の残りの水平部分20を残すように、第1のポリマー21の層が部分的にのみ脱離される。第1の機能化層2上に残る第1のポリマー20の層のこの水平部分は、エッチング後に保護層3を形成する。保護層は、好適には、10nmから15nmの間からなる厚さを有する。保護層を形成する第1のポリマーの層の一部分20のみを保存するように第1のポリマーの層を部分的に脱離するステップは、潜在的には、化学機械的研磨CMPのステップが先に実行される可能性もある、プラズマエッチングによって実行される。この脱離ステップはまた、機能化層2の垂直部分12を除去することを可能にする。例として、ガイドパターン4がSiO2またはSOG(スピンオングラス、たとえばシロキサン)で作製され、第1のポリマー21の層が、たとえばPS−r−PMMAのような有機樹脂である場合、使用されるプラズマは、O2系の、またはAr/O2混合系のプラズマであり得る。
この方法は、次に、図1fから図1hを参照して説明したものと同一のステップを備え得る。
あるいは、図2eから図2gを参照して示すように、この方法は、以下に説明されるステップのうちの1つまたは複数を備え得る。
したがって、図2eを参照して示すように、第2の機能化層の堆積前に、保護層3を脱離することが可能である。この場合、第2の機能化層が、第1の機能化層上ではなく、ガイドパターン4のキャビティ7の側壁5上に一意にグラフトするように、第1および第2の機能化層が選択される。これを行うために、たとえば、第2の機能化層を形成するポリマーが、第1の機能化層を形成するポリマーのモル質量よりも大きいモル質量を有するように、第1および第2の機能化層のために2つのポリマーを選択することが可能である。
図2fおよび図2gを参照して示すように、この方法は、次に、第2の機能化層13を形成するステップを備え得る。したがって、第2の機能化層は、第1の機能化層のモル質量よりも大きいモル質量を有する。第2の機能化層は、図1fを参照して説明したものと類似の方法によって堆積され得る。
図2hを参照して示すように、この方法はまた、キャビティ7内にブロック共重合体22からなるパターンを形成するステップを備え得る。
もちろん、本発明は、図面を参照して説明された実施形態に限定されず、本発明の範囲を逸脱することなく代替案が想到され得る。したがって、機能化層は既に説明されたものとは異なる他の組成を有することができる。同様に、他のブロック共重合体が使用され得る。本発明は、詳細説明において例として与えられた溶媒へのいずれにも限定されない。さらに、本発明は、ガイドパターンが単一のキャビティを備える場合において説明された。しかしながら、それはガイドパターンにおけるキャビティの数に関係なく適用可能である。
さらに、第2の機能化層は、ガイドパターンの側壁がすでに望まれた特性(中性またはブロック共重合体との所望の親和性を有する)を有する場合には必要ではない。この場合、この方法は、図2iに示されるように、キャビティの底部に第1の機能化層の水平部分を形成するステップ(図2e)の直後に、キャビティ7内に、ブロック共重合体22からなるパターンを形成するステップを備え得る。
Claims (11)
- グラフォエピタキシーによるブロック共重合体の誘導自己組織化のための方法であって、以下のステップ、
− ガイドパターン(4)を基板(1)上に形成し(101)、ガイドパターン(4)は、底部(6)および側壁(5)を備えるキャビティ(7)を備えることと、
− ブロック共重合体に対して第1の化学的親和性を有する第1の材料からなる第1の機能化層(2)を、ガイドパターン(4)上に形成し(102)、第1の機能化層(2)は、キャビティ(7)の底部(6)上に配置された第1の部分(11)と、キャビティ(7)の側壁(5)上に配置された第2の部分(12)とを備えることと、
− 第1の機能化層(2)の第1および第2の部分上に保護層(3)を形成すること(103)と、
− 保護層の一部分(8、20)を保存し、キャビティ(7)の側壁(5)を露出させるように、保護層(3)および第1の機能化層(2)の第2の部分(12)をエッチングし(104−105)、保護層の前記一部分(8、20)は、キャビティ(7)の底部(6)上に配置され、15nm未満の厚さを有することと、
− 第1の機能化層(2)の第1の部分(11)に対して、および、ガイドパターン(4)に対して、選択的に保護層の前記一部分(8、20)をエッチングすること(108)と、
− キャビティ(7)内にブロック共重合体を堆積させることとを備える、方法。 - 保護層(3)の前記一部分(20)をエッチングした後、キャビティ(7)の側壁(5)上に第2の機能化層(13)を形成し、第2の機能化層(13)は、ブロック共重合体に対する第2の化学的親和性と、第1の材料のモル質量よりも大きなモル質量とを有する第2の材料から形成されるステップをさらに備える、請求項1に記載の方法。
- 保護層(3)および第1の機能化層(2)の第2の部分(12)のエッチングが、2つの連続するサブステップ、
− 第1の機能化層(2)の第2の部分(12)を露出させ、保護層の前記一部分(8)を形成するように、保護層(3)をエッチングすること(104)と、
− 保護層の前記一部分(8)に対して、および前記ガイドパターン(4)に対して、選択的に第1の機能化層(2)の第2の部分(12)をエッチングすること(105)とにおいて実行される、請求項1に記載の方法。 - 保護層(3)の前記一部分(8)をエッチングする前に、以下のステップ、
− ブロック共重合体に対して第2の化学的親和性を有する第2の材料からなる第2の機能化層(13)を形成し(106)、第2の機能化層(13)は、保護層(3)の前記一部分(8)上に配置された第1の部分(14)と、キャビティ(7)の側壁(5)上に配置された第2の部分(15)とを備えることと、
− 第2の機能化層(13)の第2の部分(15)に対して、および保護層(3)の前記一部分(8)に対して、選択的に第2の機能化層(13)の第1の部分(14)をエッチングすること(107)とをさらに備える、請求項3に記載の方法。 - 保護層(3)が蒸着によって堆積される、請求項3または4に記載の方法。
- 保護層(3)が、フッ化水素酸またはリン酸の溶液を使用した湿式エッチング技術によってエッチングされる、請求項3から5のいずれか一項に記載の方法。
- 保護層(3)が、等方性プラズマエッチング技術によってエッチングされる、請求項3から5のいずれか一項に記載の方法。
- 第1の機能化層(2)の第2の部分(12)が、等方性プラズマエッチング技術によってエッチングされる、請求項3から7のいずれか一項に記載の方法。
- 第2の機能化層(13)の第1の部分(14)が、異方性プラズマエッチング技術によってエッチングされる、請求項4に従属する場合の請求項1から8のいずれか一項に記載の方法。
- 保護層(3)の前記一部分(8)が、フッ化水素酸またはリン酸の溶液を用いた湿式エッチングによってエッチングされる、請求項1から9のいずれか一項に記載の方法。
- ブロック共重合体が少なくとも2つのモノマーブロックを備え、第1の機能化層が、すべてのモノマーブロックと同等な親和性を有し、第2の機能化層が、モノマーブロックのうちの1つとの優先的な親和性を有する、請求項2または4に従属する場合の請求項1から10のいずれか一項に記載の方法。
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