JP7109287B2 - 基板処理システム、基板処理方法、および制御プログラム - Google Patents
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Description
この基板処理システム1は、基板に対して複数の処理を施すものであり、処理部2と、複数の基板を保持し、処理部2に対し基板を搬出入する搬出入部3と、制御部4とを有する。基板は特に限定されないが、例えば半導体ウエハ(以下、単にウエハと記す)である。以下の説明では、基板としてウエハを用いる場合を例にとって説明する。
[1]エラー発生時の処理レシピ実行状況を記憶装置105に記憶させ、処理レシピを一旦中断させる指令
[2]エラーウエハを退避させる指令
[3]後続ウエハの処理を継続させる指令
[4]エラーウエハの復旧後再試行(リカバリ)を実行させる指令
[5]リカバリ後のエラーウエハに対して、残余の処理を各処理モジュールで実行させる指令
ここでは、基板処理システム1で複数のウエハW(基板)を処理しているときに、処理モジュールPM7の処理レシピを実行中にエラーが発生した場合を例にとって説明する。図7は、その際の基板処理システム1の状態を模式的に示す図である。
ステップ1では、オペレータが未処理基板回収指示部124を構成する未回収基板回収画面の「OK」を押下することにより、搬送制御部121が未処理ウエハの回収指令を発する。この指令に基づいて、ロードポート22(FOUP20)から搬出された後で、かつ未処理のウエハW、すなわち、搬出入部3に存在するウエハW(No.111,112)がFOUP20に回収される。未処理ウエハは、プロセス特性に影響を及ぼすような処理がなされていないので、回収して、エラー処理終了後に、通常の処理がなされる。
ステップ6では、エラーウエハのエラー処理の再試行(リカバリ)をマニュアル指示で実行させる。すなわち、エラーが発生した処理モジュールPM7をノーマル状態に復帰させた後、オペレータが管理画面上でエラーウエハの再試行を選択することにより、エラーウエハを退避位置からエラー発生した処理モジュールPM7に搬送させる。そして、処理モジュールPM7でエラー中断した状況からレシピ処理を再開することにより、エラーウエハの再試行(リカバリ)が行われる。
2;処理部
3;搬出入部
4;制御部
11;第1の搬送装置
20;FOUP
22;ロードポート
23;アライナーモジュール
24;第2の搬送装置
121;搬送制御部
122;プロセス制御部
123;エラー検知部
124;未処理基板回収指示部
125;復旧後処理指示部
126;基板退避位置選択部
LLM1,LLM2;ロードロックモジュール
PM1~PM10;処理モジュール
TM1~TM5;搬送モジュール
W;ウエハ(基板)
Claims (15)
- 複数の基板に対して処理を行う基板処理システムであって、
それぞれ所定の処理を行う複数の処理モジュールおよび前記複数の処理モジュールに対して基板を搬送する第1の搬送装置を有する処理部と、
複数の基板を収容する基板収容容器を保持するロードポートおよび前記処理部に対し基板を搬出入する第2の搬送装置を有する搬出入部と、
前記複数の処理モジュール、および前記第1および第2の搬送装置を制御する制御部と、
を具備し、
前記制御部は、複数の基板が前記複数の処理モジュールに対して順次シリアルに搬送されるように制御し、かつ、ある処理モジュールでエラーが発生した際に、前記基板収容容器から搬出された未処理の基板を前記基板収容容器内に回収する工程と、前記エラーが発生した処理モジュールより先に存在する先行基板の処理を継続する工程と、前記エラーが発生した処理モジュールで処理していたエラー基板を当該処理モジュールから退避位置へ退避させる工程と、前記エラーが発生した処理モジュールより前の処理モジュールで処理していた後続基板の処理を継続する工程と、前記エラー基板を当該処理モジュールから退避位置へ退避させる工程の前に、前記エラーが発生した処理モジュールのエラー発生時の処理レシピ実行状況を記憶させ、処理レシピを一旦中断させる工程と、前記後続基板の処理を継続する工程の後に、前記エラー基板に対し、前記エラー発生時のレシピ実行状況に基づき、前記エラーが発生した処理を再試行する工程と、再試行後の基板について、後続の処理モジュールで残りの処理を施す工程とを実行させるように制御する、基板処理システム。 - 前記制御部は、前記再試行する工程を、前記エラーが発生した処理モジュールで実行させる、請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記制御部は、前記再試行する工程の前に、前記エラー基板に対して必要な事前処理を施させる、請求項1または請求項2に記載の基板処理システム。
- 前記制御部は、前記事前処理を、前記エラーが発生した処理モジュールとは別の処理モジュールで施させる、請求項3に記載の基板処理システム。
- 前記制御部は、前記エラーが発生してからの時間を計測し、前記処理モジュール毎に、エラー発生後から基板を救済可能な時間の目安であるリカバリタイムアウトが設定され、エラー発生から再試行までの時間が前記リカバリタイムアウトを超えたエラー基板にタイムアウトのフラグを付す、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の基板処理システム。
- 前記第1の搬送装置は、前記複数の処理モジュールの配列方向に沿って設けられた、複数の搬送機構と、前記搬送機構の間に設けられた、基板を受け渡す受け渡し部とを有し、前記受け渡し部を前記エラー基板の退避位置として用いる、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の基板処理システム。
- 前記エラーが発生した処理モジュール以外の処理モジュールを前記エラー基板の退避位置として用いる、請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の基板処理システム。
- 前記処理部の複数の処理モジュールは真空中で処理が行われ、前記搬出入部は、基板のアライメントを行うアライナーモジュールと、大気圧と真空との間で圧力可変のロードロックモジュールとをさらに有し、
前記制御部は、前記未処理の基板を前記基板収容容器内に回収する工程を実行させる際、前記第2の搬送装置上の基板、前記アライナーモジュール内の基板、前記ロードロックモジュール内の基板を回収するように制御する、請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の基板処理システム。 - 複数の基板を収容する基板収容容器から、複数の基板を複数の処理モジュールに順次搬送して基板処理を行う基板処理方法であって、
ある処理モジュールでエラーが発生した際に、
前記基板収容容器から搬出された未処理の基板を前記基板収容容器内に回収する工程と、
前記エラーが発生した処理モジュールより先に存在する先行基板の処理を継続する工程と、
前記エラーが発生した処理モジュールで処理していたエラー基板を当該処理モジュールから退避位置へ退避させる工程と、前記エラーが発生した処理モジュールより前の処理モジュールで処理していた後続基板の処理を継続する工程と、
前記エラー基板を当該処理モジュールから退避位置へ退避させる工程の前に、前記エラーが発生した処理モジュールのエラー発生時の処理レシピ実行状況を記憶させ、処理レシピを一旦中断させる工程と、
前記後続基板の処理を継続する工程の後に、前記エラー基板に対し、前記エラー発生時のレシピ実行状況に基づき、前記エラーが発生した処理を再試行する工程と、
再試行後の基板について、後続の処理モジュールで残りの処理を施す工程と、を実施する、基板処理方法。 - 前記再試行する工程は、前記エラーが発生した処理モジュールで実行される、請求項9に記載の基板処理方法。
- 前記再試行する工程の前に、前記エラー基板に対して必要な事前処理を施す工程をさらに有する、請求項9または請求項10に記載の基板処理方法。
- 前記事前処理は、前記エラーが発生した処理モジュールとは別の処理モジュールで施される、請求項11に記載の基板処理方法。
- 前記エラーが発生してからの時間を計測し、前記処理モジュール毎に、エラー発生後から基板を救済可能な時間の目安であるリカバリタイムアウトを設定し、エラー発生から再試行までの時間が前記リカバリタイムアウトを超えたエラー基板にタイムアウトのフラグを付す、請求項9から請求項12のいずれか1項に記載の基板処理方法。
- コンピュータ上で動作し、複数の基板を収容する基板収容容器から、複数の基板を複数の処理モジュールに順次搬送して基板処理を行う基板処理システムを制御する制御プログラムであって、
前記制御プログラムは、実行時に、
複数の基板が前記複数の処理モジュールに対して順次シリアルに搬送されるようにコンピュータに前記基板処理システムを制御させ、
かつ、ある処理モジュールでエラーが発生した際に、前記基板収容容器から搬出された未処理の基板を前記基板収容容器内に回収する工程と、前記エラーが発生した処理モジュールより先に存在する先行基板の処理を継続する工程と、前記エラーが発生した処理モジュールで処理していたエラー基板を当該処理モジュールから退避位置へ退避させる工程と、前記エラーが発生した処理モジュールより前の処理モジュールで処理していた後続基板の処理を継続する工程と、ある処理モジュールでエラーが発生した際に、前記エラー基板を当該処理モジュールから退避位置へ退避させる工程の前に、前記エラーが発生した処理モジュールのエラー発生時の処理レシピ実行状況を記憶させ、処理レシピを一旦中断させる工程と、前記後続基板の処理を継続する工程の後に、前記エラー基板に対し、前記エラー発生時のレシピ実行状況に基づき、前記エラーが発生した処理を再試行する工程と、再試行後の基板について、後続の処理モジュールで残りの処理を施す工程とを実行させるように、コンピュータに前記基板処理システムを制御させる、制御プログラム。 - 前記制御プログラムは、前記エラーが発生してからの時間を計測し、前記処理モジュール毎に、エラー発生後から基板を救済可能な時間の目安であるリカバリタイムアウトを設定し、エラー発生から再試行までの時間が前記リカバリタイムアウトを超えたエラー基板にタイムアウトのフラグを付すように、コンピュータに前記基板処理システムを制御させる、請求項14に記載の制御プログラム。
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