JP7093732B2 - 光ファイバ用ガラス母材の製造方法 - Google Patents
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Description
VAD法での光ファイバ母材の製造では、酸水素火炎中にガラス原料の四塩化ケイ素および四塩化ゲルマニウムを供給し、二酸化ケイ素および二酸化ゲルマニウムを生成させ、それらを出発材に堆積させることによりガラス微粒子堆積体が得られる。
保管室において意図しない金属不純物の混入があっても焼結工程で除去できるように工程を構成しているが、それでも多量の金属が付着していると完全な除去は困難であり、結果的に光ファイバの伝送損失の増大を招くおそれがあった。
前記保管室は、空気の供給口と排気口を備え、排気口で排気された気体が送風ファンによって供給口から保管室内に再び供給される。
前記排気口と前記送風ファンとの間にケミカルフィルタを設け、さらに、前記排気口と前記送風ファンとの間に除湿機を設けるのが好ましい。
図1は、本発明に係るガラス微粒子堆積体の保管室の構成の一例を示す概略図である。
図に示すように、外部と隔離された保管室1の内部に、製造後のガラス微粒子堆積体2が保管される。保管室1には排気口3が設けられており、保管スペース内の空気を排気している。排気口3から排出された気体は、下流に配置されたケミカルフィルタ4を通過する。ケミカルフィルタ4は、活性炭を基材とした濾材からなり、酸性ガス(塩化水素)を吸着・除去する。ケミカルフィルタ4の下流には除湿機5が設置され、空気中の水分を除去する。除湿機5は、コンプレッサーによって冷媒を圧縮し、それが気化する際に奪われる潜熱を利用して空気中の水分を結露させ除去(除湿)する。これらによって排気口から排出された空気から塩化水素ガスを除去し乾燥した後、送風フアン6によって再び供給口7から保管室1へ供給される。
こうして、ガラス微粒子堆積体2を保管室内に24時間保管した後、これを石英ガラス製の炉心管に投入し、投入した炉心管内を2.7%の塩素ガスを含む雰囲気とし、加熱炉で1150℃に加熱して脱水処理を行った。その後、炉心管内の雰囲気をヘリウムとし、加熱炉で1500℃に加熱して透明ガラス化処理を施し、透明ガラスコア母材を製造した。
VAD法で作成したガラス微粒子堆積体9を図2に示した保管室8内に保管した。保管中、保管スペース内の空気を排気口10から排気し、その下流に設置されたHEPAフィルタ11を通過させて気体中のダストを除去した。HEPAフィルタ11を通過した気体はクラス10000とされ、送風フアン12によって供給口13から再び保管室8内へ戻した。なお、HEPAフィルタは、JIS Z 8122:2000規格に示される、「定格流量で粒径が0.3μm の粒子に対して 99.97% 以上の粒子捕集率をもち,かつ初期圧力損失が245Pa(25mmH2O)以下の性能」をもつエアフィルタである。
実施例と比較して、1310nmならびに1550nmの伝送損失が0.01dB/kmほど高くなっており、特にOH基に起因する1383nmの伝送損失は0.025dB/km程度高くなっていた。
2、9…ガラス微粒子堆積体、
3、10…排気口、
4…ケミカルフィルタ、
5…除湿機、
6、12…送風ファン、
7、13…供給口、
11…HEPAフィルタ、
Claims (5)
- VAD法により原料として四塩化ケイ素を用いて作成されたガラス微粒子堆積体を保管室内に保管するに際し、該保管室内の塩化水素濃度を2ppm以下に保つことを特徴とする光ファイバ用ガラス母材の製造方法。
- 前記保管室内の湿度が12g/m3以下に保たれる請求項1に記載の光ファイバ用ガラス母材の製造方法。
- 前記保管室は空気の供給口と排気口を備え、該排気口から排気された気体が送風ファンによって供給口から保管室内に再び供給される請求項1又は2に記載の光ファイバ用ガラス母材の製造方法。
- 前記排気口と前記送風ファンとの間にケミカルフィルタを備えている請求項3に記載の光ファイバ用ガラス母材の製造方法。
- 前記排気口と前記送風ファンとの間に除湿機を備えている請求項3又は4に記載の光ファイバ用ガラス母材の製造方法。
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