JP7081906B2 - 半導体発光素子及び半導体発光素子の位相変調層設計方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体発光素子として、レーザ素子1Aの構成を示す図である。また、図2は、レーザ素子1Aを光出射方向から見た平面図である。なお、レーザ素子1Aの厚さ方向をZ軸とするXYZ直交座標系を定義する。このレーザ素子1Aは、XY面内方向において定在波を形成し、位相制御された平面波をZ方向に出力するレーザ光源である。レーザ素子1Aは、半導体基板10の主面10aに垂直な方向及びこれに対して傾斜した方向をも含む2次元的な任意形状の光像を、上部クラッド層13側の表面から出力する。
φ(x,y)=C×P(X,Y)
により得ることができる。ここで、Cは定数であり、全ての位置(x,y)に対して同一の値を持つ。
図20は、上記実施形態の一変形例に係る第2領域154の平面図である。上記実施形態の第2領域152は、本変形例の第2領域154に置き換えられてもよい。本変形例の第2領域154は、上記実施形態の第2領域152の構成に加えて、複数の異屈折率領域15bとは別の複数の異屈折率領域15cを更に有する。各異屈折率領域15cは、周期構造を含んでおり、基本層15aの第1屈折率媒質とは屈折率の異なる第2屈折率媒質からなる。異屈折率領域15cは、異屈折率領域15bと同様に、空孔であってもよく、空孔に化合物半導体が埋め込まれて構成されてもよい。ここで、図21に示すように、本変形例においても、格子点Oから重心Gに向かう方向とX軸との成す角度をφ(x,y)とする。xはX軸におけるx番目の格子点の位置、yはY軸におけるy番目の格子点の位置を示す。回転角度φが0°である場合、格子点Oと重心Gとを結ぶベクトルの方向はX軸の正方向と一致する。また、格子点Oと重心Gとを結ぶベクトルの長さをr(x,y)とする。一例では、r(x,y)はx、yによらず(第2領域154全体にわたって)一定である。
図25及び図26は、電極16の平面形状の他の例を示す図である。図25(a)は、X方向(又はY方向)に延びる複数の線状の電極部分がY方向(又はX方向)に並んだストライプ形状を示す。これらの電極部分は、両端において、Y方向(又はX方向)に延びる別の一対の電極部分を介して互いに連結されている。図25(b)及び図25(c)は、互いに直径が異なる複数の円環状の電極部分が同心円として(共通の中心を有するように)配置された形状を示す。複数の電極部分同士は、径方向に延びる直線状の電極部分によって互いに連結されている。直線状の電極部分は、図25(b)に示されるように複数設けられてもよく、図25(c)に示されるように1本のみ設けられてもよい。
図29は、本発明の第2実施形態に係る半導体発光素子として、レーザ素子1Bの構成を示す図である。このレーザ素子1Bは、XY面内方向において定在波を形成し、位相制御された平面波をZ方向に出力するレーザ光源であって、第1実施形態と同様に、半導体基板10の主面10aに垂直な方向及びこれに対して傾斜した方向をも含む2次元的な任意形状の光像を出力する。ただし、第1実施形態のレーザ素子1Aは活性層12に対して上部クラッド層13側に位置する表面から光像を出力するが、本実施形態のレーザ素子1Bは、半導体基板10を透過した光像を裏面から出力する。
Claims (7)
- 半導体基板の主面に垂直な方向に対して傾斜した方向に光像を出力する半導体発光素子であって、
前記半導体基板の前記主面上に設けられた活性層と、
前記活性層上に設けられたクラッド層と、
前記クラッド層上に設けられたコンタクト層と、
前記半導体基板と前記活性層との間、若しくは前記活性層と前記クラッド層との間に設けられた位相変調層と、
前記コンタクト層上に設けられた電極と、
を備え、
前記クラッド層側の表面から前記光像を出力し、
前記位相変調層は、該位相変調層の厚さ方向から見て前記電極と重なるとともにその平面形状及び位置が前記電極の平面形状及び位置と略一致する第1領域と、前記第1領域を除く第2領域とを含み(但し、前記位相変調層の厚さ方向から見て、外側領域である前記第1領域が、内側領域である単一の前記第2領域を囲む形態を除く)、基本層と、前記基本層とは屈折率が異なる複数の異屈折率領域とを有し、
前記位相変調層の厚さ方向に垂直な面内において仮想的な正方格子を設定した場合に、前記第2領域に含まれる前記複数の異屈折率領域の重心が、前記仮想的な正方格子の格子点から離れて配置されるとともに、該格子点周りに前記光像に応じた回転角度を有することにより、所望の光像に基づいて算出された位相分布の全てが前記第2領域に含まれ、
前記所望の光像からの情報の欠落のない光像が、前記位相変調層の前記第2領域のみによって完成される、ことを特徴とする半導体発光素子。 - 半導体基板の主面に垂直な方向に対して傾斜した方向に光像を出力する半導体発光素子であって、
前記半導体基板の前記主面上に設けられた活性層と、
前記活性層上に設けられたクラッド層と、
前記半導体基板と前記活性層との間、若しくは前記活性層と前記クラッド層との間に設けられた位相変調層と、
前記半導体基板の裏面上に設けられた電極と、
を備え、
前記半導体基板側の裏面から前記光像を出力し、
前記位相変調層は、該位相変調層の厚さ方向から見て前記電極と重なるとともにその平面形状及び位置が前記電極の平面形状及び位置と略一致する第1領域と、前記第1領域を除く第2領域とを含み(但し、前記位相変調層の厚さ方向から見て、外側領域である前記第1領域が、内側領域である単一の前記第2領域を囲む形態を除く)、基本層と、前記基本層とは屈折率が異なる複数の異屈折率領域とを有し、
前記位相変調層の厚さ方向に垂直な面内において仮想的な正方格子を設定した場合に、前記第2領域に含まれる前記複数の異屈折率領域の重心が、前記仮想的な正方格子の格子点から離れて配置されるとともに、該格子点周りに前記光像に応じた回転角度を有することにより、所望の光像に基づいて算出された位相分布の全てが前記第2領域に含まれ、
前記所望の光像からの情報の欠落のない光像が、前記位相変調層の前記第2領域のみによって完成される、ことを特徴とする半導体発光素子。 - 前記第1領域に含まれる前記複数の異屈折率領域の重心が、前記仮想的な正方格子の格子点上に配置されるか、若しくは、前記仮想的な正方格子の格子点から離れて配置されるとともに該格子点周りに前記光像とは無関係な回転角度を有する、ことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体発光素子。
- 前記電極の平面形状が格子状、ストライプ状、同心円状、放射状、又は櫛歯状である、ことを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の半導体発光素子。
- 前記第1領域の幅が前記電極の幅よりも大きい、請求項1~4のいずれか1項に記載の半導体発光素子。
- 半導体基板の主面に垂直な方向に対して傾斜した方向に光像を出力する半導体発光素子の位相変調層を設計する方法であって、
前記半導体発光素子は、
前記半導体基板の前記主面上に設けられた活性層と、
前記活性層上に設けられたクラッド層と、
前記クラッド層上に設けられたコンタクト層と、
前記半導体基板と前記活性層との間、若しくは前記活性層と前記クラッド層との間に設けられた位相変調層と、
前記コンタクト層上に設けられた電極と、
を備え、
前記クラッド層側の表面から前記光像を出力し、
前記位相変調層は、該位相変調層の厚さ方向から見て前記電極と重なるとともにその平面形状及び位置が前記電極の平面形状及び位置と略一致する第1領域と、前記第1領域を除く第2領域とを含み(但し、前記位相変調層の厚さ方向から見て、外側領域である前記第1領域が、内側領域である単一の前記第2領域を囲む形態を除く)、基本層と、前記基本層とは屈折率が異なる複数の異屈折率領域とを有し、
前記位相変調層の厚さ方向に垂直な面内において仮想的な正方格子を設定した場合に、前記第2領域に含まれる前記複数の異屈折率領域の重心が、前記仮想的な正方格子の格子点から離れて配置されるとともに、該格子点周りに前記光像に応じた回転角度を有し、
前記光像は、前記位相変調層の前記第2領域のみによって完成され、
当該方法は、
前記第1領域における前記複数の異屈折率領域の重心の位置を、前記仮想的な正方格子の格子点上か、若しくは、前記仮想的な正方格子の格子点から離れており該格子点周りに一定の回転角度を有するものとして拘束しながら、前記第2領域における前記複数の異屈折率領域の重心の位置を、所望の前記光像に基づく繰り返し演算により算出する、ことを特徴とする半導体発光素子の位相変調層設計方法。 - 半導体基板の主面に垂直な方向に対して傾斜した方向に光像を出力する半導体発光素子の位相変調層を設計する方法であって、
前記半導体発光素子は、
前記半導体基板の前記主面上に設けられた活性層と、
前記活性層上に設けられたクラッド層と、
前記半導体基板と前記活性層との間、若しくは前記活性層と前記クラッド層との間に設けられた位相変調層と、
前記半導体基板の裏面上に設けられた電極と、
を備え、
前記半導体基板側の裏面から前記光像を出力し、
前記位相変調層は、該位相変調層の厚さ方向から見て前記電極と重なるとともにその平面形状及び位置が前記電極の平面形状及び位置と略一致する第1領域と、前記第1領域を除く第2領域とを含み(但し、前記位相変調層の厚さ方向から見て、外側領域である前記第1領域が、内側領域である単一の前記第2領域を囲む形態を除く)、基本層と、前記基本層とは屈折率が異なる複数の異屈折率領域とを有し、
前記位相変調層の厚さ方向に垂直な面内において仮想的な正方格子を設定した場合に、前記第2領域に含まれる前記複数の異屈折率領域の重心が、前記仮想的な正方格子の格子点から離れて配置されるとともに、該格子点周りに前記光像に応じた回転角度を有し、
前記光像は、前記位相変調層の前記第2領域のみによって完成され、
当該方法は、
前記第1領域における前記複数の異屈折率領域の重心の位置を、前記仮想的な正方格子の格子点上か、若しくは、前記仮想的な正方格子の格子点から離れており該格子点周りに一定の回転角度を有するものとして拘束しながら、前記第2領域における前記複数の異屈折率領域の重心の位置を、所望の前記光像に基づく繰り返し演算により算出する、ことを特徴とする半導体発光素子の位相変調層設計方法。
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Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020045453A1 (ja) * | 2018-08-27 | 2020-03-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 発光装置 |
WO2021149389A1 (ja) * | 2020-01-20 | 2021-07-29 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 発光装置 |
JP2023131321A (ja) * | 2022-03-09 | 2023-09-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | 位相分布設計方法、位相分布設計装置、位相分布設計プログラム及び記録媒体 |
GB2622230A (en) * | 2022-09-06 | 2024-03-13 | Vector Photonics Ltd | Electrical contact |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006156901A (ja) | 2004-12-01 | 2006-06-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体発光素子 |
US20100103969A1 (en) | 2006-12-21 | 2010-04-29 | Timo Aalto | Vertical cavity surface emitting laser structure |
WO2014136962A1 (ja) | 2013-03-07 | 2014-09-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ素子及びレーザ装置 |
WO2014136955A1 (ja) | 2013-03-07 | 2014-09-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ素子及びレーザ装置 |
WO2015163149A1 (ja) | 2014-04-22 | 2015-10-29 | 浜松ホトニクス株式会社 | 波形計測装置およびパルス光生成装置 |
WO2016031966A1 (ja) | 2014-08-29 | 2016-03-03 | 国立大学法人京都大学 | 2次元フォトニック結晶面発光レーザ |
WO2016148075A1 (ja) | 2015-03-13 | 2016-09-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体発光素子 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4007267B2 (ja) * | 2003-07-15 | 2007-11-14 | 富士ゼロックス株式会社 | ホログラム記録方法及びホログラム記録装置 |
JP2008070186A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Toppan Printing Co Ltd | 位相再生法による形状計測方法および形状計測装置 |
JP2014027264A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-02-06 | Canon Inc | 面発光レーザ |
JP2014236127A (ja) * | 2013-06-03 | 2014-12-15 | ローム株式会社 | 2次元フォトニック結晶面発光レーザ |
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WO2014136962A1 (ja) | 2013-03-07 | 2014-09-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ素子及びレーザ装置 |
WO2014136955A1 (ja) | 2013-03-07 | 2014-09-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ素子及びレーザ装置 |
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