JP7070738B1 - 光波長フィルタ - Google Patents

Abstract

【課題】できるだけ少ない要素で、偏波無依存の波長分離を実現する。【解決手段】光導波路コアは、第１及び第２導波路コア１００、２００を備え、第１導波路コア１００は、第１結合導波路コア１２０及び第１グレーティング１３０を直列に備え、第２導波路コア２００は、第２結合導波路コア２２０及び第２グレーティング２３０を直列に備える。第１及び第２グレーティング１３０、２３０は、所定の間隔で並列配列され、第１グレーティング１３０は、ＴＥ偏波及びＴＭ偏波のいずれか一方の偏波に対して、特定の波長でモード変換を伴う回折を行う。第２グレーティング２３０は、第１グレーティング１３０から移行した他方の偏波に対して、特定の波長で回折を行う。第１及び第２結合導波路コア１２０、２２０は、所定の間隔で並列配列され、第１結合導波路コア１２０を伝播する一方の偏波を、第２結合導波路コア２２０に、モード変換して移行させる。【選択図】図１

Description

この発明は、例えば、異なる複数の波長の光を１本の光ファイバで伝送するために用いることができる、光の合分波を行う光波長フィルタに関する。

近年、加入者系光アクセスシステムとして、受動光ネットワーク（ＰＯＮ：Ｐａｓｓｉｖｅ Ｏｐｔｃｉａｌ Ｎｅｔｗｏｒｋ）が主流となっている。ＰＯＮでは、１つの局側装置（ＯＬＴ：Ｏｐｔｉｃａｌ Ｌｉｎｅ Ｔｅｒｍｉｎａｌ）と複数の加入者側装置（ＯＮＵ：Ｏｐｔｉｃａｌ Ｎｅｔｗｏｒｋ Ｕｎｉｔ）が、光ファイバ及びスターカプラを介して接続されていて、１つのＯＬＴを複数のＯＮＵが共有する。ＰＯＮでは、ＯＬＴからＯＮＵへ向けた下り通信とＯＮＵからＯＬＴに向けた上り通信とが相互に干渉し合わないように、下り通信に使われる光信号波長と上り通信に使われる光信号波長とを違えている。

従って、下り通信と上り通信のそれぞれに使われる互いに波長の異なる光信号を分波し、かつ合波するために合分波素子が必要である。一般に、ＯＬＴやＯＮＵは、波長の異なる光信号を送受信する機能を実現させるために、合分波素子としての光波長フィルタ、フォトダイオード（ＰＤ：Ｐｈｏｔｏｄｉｏｄｅ）、レーザーダイオード（ＬＤ：Ｌａｓｅｒ Ｄｉｏｄｅ）を空間結合して構成される。

空間結合させるためには、光波長フィルタ、ＰＤ、ＬＤ間で光軸を合わせるためのアライメント作業が必要となる。これに対し、この光軸合わせのための作業を不要とするため、導波路を利用して構成される光波長フィルタが開発されている。また、この光波長フィルタを形成するに当たり、小型化と量産性に優れることから、シリコン系素材を導波路材料として用いるシリコン（Ｓｉ）導波路が注目されている（例えば、特許文献１参照）。

Ｓｉ導波路では、実質的に光の伝送路となる光導波路コアを、Ｓｉを材料として形成する。そして、Ｓｉよりも屈折率の低い例えばシリカ等を材料としたクラッドで、光導波路コアの周囲を覆う。このような構成により、光導波路コアとクラッドとの屈折率差が極めて大きくなるため、光導波路コア内に光を強く閉じ込めることができる。その結果、曲げ半径を例えば１μｍ程度まで小さくした、小型の曲線導波路を実現することができる。そのため、電子回路と同程度の大きさの光回路を作成することが可能であり、光デバイス全体の小型化に有利である。

また、Ｓｉ導波路では、ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）等の半導体装置の製造過程を流用することが可能である。そのため、チップ上に電子機能回路と光機能回路とを一括形成する光電融合（シリコンフォトニクス）の実現が期待されている。

ところで、波長分割多重（ＷＤＭ：Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ Ｄｉｖｉｓｉｏｎ Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘ）技術を利用したＰＯＮでは、ＯＮＵごとに異なる受信波長が割り当てられる。ＯＬＴは、各ＯＮＵへの下り光信号を、送り先のＯＮＵの受信波長に対応した送信波長でそれぞれ生成し、これらを多重して送信する。各ＯＮＵは、複数の波長で多重された下り光信号から、自身に割り当てられた受信波長の光信号を選択的に受信する。ＯＮＵでは、各々の受信波長の下り光信号を選択的に受信するために、光波長フィルタが使用される。そして、光波長フィルタを、上述したＳｉ導波路によって構成する技術が実現されている。

Ｓｉ導波路を用いる光波長フィルタとしては、例えば、マッハツェンダー干渉器を用いたものやアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ：Ａｒｒａｙｅｄ Ｗａｖｅｇｕｉｄｅ Ｇｒａｔｉｎｇ）を用いたものがある。また、Ｓｉ導波路を用いる光波長フィルタとして、リング共振器型、グレーティング型又は方向性結合器型の、出力波長を可変にでき、素子構造が簡単であるため使いやすいという利点を有する可変波長フィルタがある（例えば、特許文献２参照）。しかし、これらの光波長フィルタは、いずれも特定の偏波のみで動作するものである。

さらに、ＴＥ（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ）偏波及びＴＭ（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ Ｍａｇｎｅｔｉｃ）偏波の双方に対応すべく、光波長フィルタの前段に偏波分離素子及び偏波回転素子を設ける構造がある（例えば非特許文献１又は２参照）。

米国特許第４，８６０，２９４号明細書 特開２００３－２１５５１５号公報

Ｏｐｔｉｃｓ Ｅｘｐｒｅｓｓ ｖｏｌ．２０，Ｎｏ．２６，ｐ．Ｂ４９３－Ｂ５００，２０１２年１２月１０日 Ｏｐｔｉｃｓ Ｅｘｐｒｅｓｓ ｖｏｌ．２３，Ｎｏ．１０，ｐ．１２８４０－１２８４９，２０１５年５月１８日

上述したように、ＡＷＧや可変波長フィルタには偏波依存性がある。このため、偏波無依存で使用するためには、例えば上述した偏波分離素子及び偏波回転素子を用いて、偏波を揃える必要がある。

この発明は、上述の従来技術が有する問題点に鑑みてなされたものである。この発明の目的は、偏波を分離する素子を別途用意することなく、できるだけ少ない要素で、偏波無依存の波長分離を実現する光波長フィルタを提供することにある。

上述した目的を達成するために、この発明の光波長フィルタは、支持基板と、支持基板上に形成されるクラッドと、クラッド中に埋設され、支持基板の上面に平行に設けられる、光導波路コアとを備えて構成される。光導波路コアは、第１導波路コア及び第２導波路コアを備え、第１導波路コアは、第１結合導波路コア及び第１グレーティングを直列に備え、第２導波路コアは、第２結合導波路コア及び第２グレーティングを直列に備える。第１グレーティング及び第２グレーティングは、所定の間隔で並列配列され、第１グレーティングは、ＴＥ偏波及びＴＭ偏波のいずれか一方の偏波に対して、特定の波長でモード変換を伴う回折を行う。第２グレーティングは、第１グレーティングから移行した他方の偏波に対して、特定の波長で回折を行う。第１結合導波路コア及び第２結合導波路コアは、所定の間隔で並列配列され、第１結合導波路コアを伝播する一方の偏波を、第２結合導波路コアに、モード変換して移行させる。

この発明の光波長フィルタの好適実施形態によれば、第１グレーティングは光の伝搬方向に沿った伝送軸に対して非対称であり、第２グレーティングは光の伝搬方向に沿った伝送軸に対して対称であり、第１グレーティングの導波路幅は、第２グレーティングの導波
路幅よりも大きい。

また、この発明の光波長フィルタのさらなる好適実施形態によれば、第１導波路コアは、入力導波路コア、第１結合導波路コア及び第１グレーティングをこの順に直列に備え、第２導波路コアは、出力導波路コア、第２結合導波路コア及び第２グレーティングをこの順に直列に備える。入力導波路コアに入力された基本モードのＴＥ偏波は、第１グレーティングで１次モードのＴＥ偏波に変換され、第１結合導波路コアから第２結合導波路コアに、基本モードのＴＥ偏波として移行して、出力導波路コアを経て出力される。また、入力導波路コアに入力されたＴＭ偏波は、第１グレーティングから第２グレーティングに移行して第２グレーティングで回折され、第２結合導波路コア及び出力導波路コアを経て出力される。

この発明の光波長フィルタによれば、偏波を分離する素子を別途用意することなく、偏波無依存の波長分離を実現できる。

光波長フィルタを説明するための模式図である。 光波長フィルタの特性を評価するシミュレーション結果を示す図である。

以下、図を参照して、この発明の実施の形態について説明するが、各構成要素の形状、大きさ及び配置関係については、この発明が理解できる程度に概略的に示したものに過ぎない。また、以下、この発明の好適な構成例につき説明するが、各構成要素の材質及び数値的条件などは、単なる好適例にすぎない。従って、この発明は以下の実施の形態に限定されるものではなく、この発明の構成の範囲を逸脱せずにこの発明の効果を達成できる多くの変更又は変形を行うことができる。

また、以下の説明及び各図では、グレーティングの幅及び周期が一定の例を示しているが、これは、グレーティングの構成を模式的に表現したものである。実際に光波長フィルタを設計・製造する場合は、グレーティングの幅及び周期が必ずしも一定である必要はない。

（構成）
図１を参照して、この発明の第１実施形態に係る光波長フィルタを説明する。図１は、光波長フィルタを説明するための模式図である。図１（Ａ）は、光波長フィルタを示す概略平面図である。また、図１（Ｂ）は、光波長フィルタの概略的な切断端面図である。ここで、図１（Ａ）では、光導波路コアの平面形状を示し、他の構成要素を省略して示してある。

なお、以下の説明では、各構成要素について、光伝播方向に沿った方向を長さ方向とする。また、支持基板の上面に直交する方向を厚さ方向とする。また、長さ方向及び厚さ方向に直交する方向を幅方向とする。

光波長フィルタは、支持基板１０、クラッド２０及び光導波路コア３０を備えて構成されている。

支持基板１０は、例えば単結晶Ｓｉを材料とした平板状体で構成されている。

クラッド２０は、支持基板１０上に、支持基板１０の上面を被覆して形成されている。
クラッド２０は、例えば酸化シリコン（ＳｉＯ_２）を材料として形成されている。

光導波路コア３０は、支持基板１０の上面に平行に、クラッド２０中に埋設されている。光導波路コア３０は、ＳｉＯ_２のクラッド２０の屈折率（１．４５）よりも高い屈折率（３．５）を有する、例えばシリコン（Ｓｉ）を材料として形成されている。その結果、光導波路コア３０は、光の伝送路として機能し、光導波路コア３０に入力された光は、光導波路コア３０の平面形状に応じた伝播方向に伝播する。

光導波路コア３０の厚みは、深さ方向でシングルモード条件を達成できる値である、２００～４００ｎｍであることが望ましい。例えば、１５５０ｎｍの波長帯域で使用する場合は、光導波路コア３０の厚みを２２０ｎｍにすることができる。

ここで、光導波路コア３０を伝播する光が支持基板１０へ逃げるのを防止するために、光導波路コア３０は、支持基板１０から少なくとも１μｍ以上離間して形成されているのが好ましい。

この光波長フィルタは、例えばＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｏｎ Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板を利用することによって、簡易に製造することができる。以下、図１に示す光波長フィルタの製造方法の一例を説明する。

先ず、支持基板層、ＳｉＯ_２層、及びＳｉ層が順次積層されて構成されたＳＯＩ基板を用意する。次に、例えばドライエッチングを行い、Ｓｉ層をパターニングする。この結果、支持基板１０としての支持基板層上にＳｉＯ_２層が積層され、さらにＳｉＯ_２層上に光導波路コア３０が形成された構造体を得ることができる。

なお、ここでは、Ｓｉ導波路の例を説明したが、化合物半導体を用いても実現可能である。

光波長フィルタは、光導波路コア３０の部分として、第１導波路コア１００及び第２導波路コア２００を備えている。

第１導波路コア１００は、入力導波路コア１１０、第１結合導波路コア１２０、第１グレーティング１３０、及び、第１出力導波路コア１４０をこの順に直列に配置して構成される。なお、入力導波路コア１１０と第１結合導波路コア１２０の間、及び、第１グレーティング１３０と第１出力導波路コア１４０の間には、損失を抑えるためにテーパ導波路コア１９０が設けられているのが良い。

第２導波路コア２００は、第２出力導波路コア２１０、第２結合導波路コア２２０、及び、第２グレーティング２３０をこの順に直列に配置して構成される。なお、第２結合導波路コア２２０と第２グレーティング２３０の間には、損失を抑えるためにテーパ導波路コア２９０が設けられているのが良い。

第１グレーティング１３０と第２グレーティング２３０は、所定の間隔で並列配列、すなわち、互いに平行に、近接して配置されている。第１グレーティング１３０は、基部１３２と突出部１３４を一体的に含んで構成されている。基部１３２は、一定の幅で、光の伝播方向に沿って延在して形成されていて、突出部１３４は、基部１３２の、第２グレーティング２３０とは反対側の側面１３２ａに、一定の周期Λ１で、周期的に複数形成されていて、いわゆるグレーティングを構成する。この結果、第１グレーティング１３０は、光の伝搬方向に沿った伝送軸に対して非対称となっている。また、基部１３２と、突出部１３４とは、同じ厚さで形成されている。

この第１グレーティング１３０は、第１グレーティング１３０を伝搬する、ＴＥ偏波及びＴＭ偏波のいずれか一方の偏波に対して、位相整合条件を満たす特定の波長で、モード変換を伴う回折を行う。ここでは、一例として、一方の偏波をＴＥ偏波とし、０次モードから１次モードへのモード変換を行うものとする。すなわち、第１グレーティング１３０において、ＴＥ偏波光の０次モード（ＴＥ０）は、ＴＥ偏波光の１次モード（ＴＥ１）に変換される。

第２グレーティング２３０は、基部２３２と突出部２３４ａ及び２３４ｂとを一体的に含んで構成されている。基部２３２は、一定の幅で、光の伝播方向に沿って延在して形成されていて、突出部２３４ａ及び２３４ｂは、基部２３２の両側面２３２ａ及び２３２ｂに、一定の周期Λ２で、周期的に複数形成されていて、いわゆるグレーティングを構成する。

基部２３２の一方の側面（この例では、２３２ａ）に形成された突出部２３４ａと、他方の側面（この例では、２３２ｂ）に形成された突出部２３４ｂとは、長手方向の位置を揃えて配置されている。すなわち、長手方向のある位置について、一方の側面２３２ａに突出部２３４ａが配置されているとき、他方の側面２３２ｂにも突出部２３４ｂが配置されており、一方の側面２３２ａに突出部２３４ａが配置されていないとき、他方の側面２３２ｂにも突出部２３４ｂが配置されていない。この結果、第２グレーティング２３０は、光の伝搬方向に沿った伝送軸に対して対称となっている。また、基部２３２と、突出部２３４ａ及び２３４ｂとは、同じ厚さで形成されている。

第２グレーティング２３０は、ＴＭ偏波光の第１グレーティング１３０を伝搬するモードを、ＴＭ偏波光の第２グレーティング２３０を伝搬するモードに変換する。

なお、第１グレーティング１３０の導波路幅と、第２グレーティング２３０の導波路幅の差が大きいほど、励起される導波路への光の集中度合いが大きくなる。これにより、第１グレーティング１３０を伝播する光が、第２グレーティング２３０に余分な固有モードを励起して、方向性結合作用で不要なパワー移行が生じることが抑制される。ただし、第１グレーティング１３０から第２グレーティング２３０への光の染み出しが大きいほど回折効率が高くなるという側面もある。

図１では、第１グレーティング１３０及び第２グレーティング２３０は側面から彫りこむ形で形成される例を示しているが、これによらず、任意好適な従来公知の技術で形成できる。

また、第１結合導波路コア１２０及び第２結合導波路コア２２０は、互いに近接して配置されている。第１結合導波路コア１２０及び第２結合導波路コア２２０の幅及び間隔は、第１結合導波路コア１２０を伝搬するＴＥ１と、第２結合導波路コア２２０を伝搬するＴＥ０とが位相整合するように設定される。これにより、第１結合導波路コア１２０を伝播するＴＥ１を、ＴＥ０として第２結合導波路コア２２０に移行させることができる。

また、第２出力導波路コア２１０は、第２結合導波路コア２２０から離れるにつれて、徐々に、第１導波路コア１００との間隔が大きくなるように配置されるのが良い。このように構成すると、第１導波路コア１００から第２出力導波路コア２１０に、余分な固有モードが励起されるのを抑制することができる。

第１導波路コア１００及び第２導波路コア２００の上側のクラッド２０上にヒータ用の電極（図示を省略する。）を形成してもよい。電極に電流を流すことで、ジュール熱を発
生して、熱光学効果によって、グレーティングの屈折率を変化させることができる。その結果、第１導波路コア１００及び第２導波路コア２００のグレーティングにおいて位相整合条件を満たす波長を変化させることができる。なお、電極の配置箇所は、発熱によりグレーティングの屈折率を変化させる位置であればよく、光導波路コア３０の構造等に応じて、任意好適な箇所に配置することができる。

（動作）
この光波長フィルタの動作を説明する。

入力導波路コア１１０を経て入力され、第１結合導波路コア１２０を伝搬するＴＭ偏波光は、第１グレーティング１３０においてその一部が第２グレーティング２３０に染み出す。この第２グレーティング２３０に染み出した成分は、特定の波長で回折され、第２グレーティング２３０を伝播し、第２結合導波路コア２２０に送られる。この第２グレーティング２３０で回折される特定の波長は、第２グレーティング２３０におけるグレーティング周期Λ２で設定される。

また、入力導波路コア１１０を経て入力され、第１結合導波路コア１２０を伝搬するＴＥ０は、第１グレーティング１３０により特定の波長で、ＴＥ１へのモード変換を伴って回折され、第１結合導波路コアに送られる。この第１グレーティング１３０で回折される特定の波長は、第１グレーティング１３０におけるグレーティング周期Λ１で設定される。

第１結合導波路コア１２０を伝搬するＴＥ１は、第２結合導波路コア２２０に、ＴＥ０として移行し、第２出力導波路コア２１０を経て出力される。また、第２グレーティング２３０から第２結合導波路コア２２０に送られるＴＭ偏波光は、第１結合導波路コア１２０の伝搬モードと位相整合しないように設定すれば、そのまま、第２結合導波路コア２２０を伝搬し、第２出力導波路２１０を経て出力される。

（特性評価）
図２を参照して、３次元ＦＤＴＤ（Ｆｉｎｉｔｅ Ｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅ Ｔｉｍｅ Ｄｏｍａｉｎ）を用いて行った、光波長フィルタの特性を評価するシミュレーションを説明する。

図２（Ａ）及び（Ｂ）では、横軸に波長(μｍ)を取って示し、縦軸に出力強度（ａ．ｕ．）を取って示している。図２（Ａ）は、入力光としてＴＥ偏波光を入力したときの結果であり、図２（Ｂ）は、入力光としてＴＭ偏波光を入力したときの結果である。

図２（Ａ）及び（Ｂ）では、第１グレーティング１３０を透過して、第１出力導波路コア１４０からから出力される透過光を曲線Ｉ、第２出力導波路コア２１０から出力されるＴＭ及びＴＥ０をそれぞれ曲線ＩＩ及び曲線ＩＩＩ、並びに、入力導波路１１０から出力されるＴＥ１を曲線ＩＶで示している。

ここでは、第１グレーティング１３０の導波路幅を８００ｎｍとし、第２グレーティング２３０の導波路幅を３４０ｎｍとした。また、第１グレーティング１３０と第２グレーティング２３０の間隔を、第１グレーティング１３０の側面と、第２グレーティング２３０の凸部の第１グレーティング１３０に最も近い面との間隔で２００ｎｍとした。なお、第１グレーティング１３０及び第２グレーティング２３０の導波路幅は、側面の平均位置から与えられる。

第１グレーティング１３０の周期を３３７ｎｍ、側面からの掘り込みを５０ｎｍとし、
また、第２グレーティング２３０の周期を４６８．４ｎｍ、側面からの掘り込みを１５０ｎｍとした。

また、第１結合導波路コア１２０の幅を８００ｎｍとし、第２結合導波路コア２２０の幅を３４０ｎｍから４００ｎｍまで幅テーパさせて、第２結合導波路コア２２０をテーパ構造とした。なお、第１結合導波路コア１２０、第２結合導波路コア２２０及びテーパ導波路１９０及び２９０の長さは２０μｍとしている。

光波長フィルタにＴＥ偏波光を入力した場合は、図２（Ａ）に示すように第２出力導波路コア２１０から出力されるＴＥ１（ＩＩＩ）について、波長１．６μｍ付近に、きれいな波長選択ピークがみられる。また、光波長フィルタにＴＭ偏波光を入力した場合は、図２（Ｂ）に示すように第２出力導波路コア２１０から出力されるＴＭ（ＩＩ）について、１．６μｍ付近に、きれいな波長選択ピークがみられる。また、図２（Ａ）のＴＥ０及び図２（Ｂ）のＴＭの回折効率はほぼ同等である。

このように、シミュレーションの結果は、この発明の光波長フィルタが、特定の波長の光を、偏波を揃えて取り出す機能を有することを示している。すなわち、この発明の光波長フィルタは、偏波を分離する素子を別途用意することなく、偏波無依存の波長分離を実現できる。

１０ 支持基板
２０ クラッド
３０ 光導波路コア
１００ 第１導波路コア
１１０ 入力導波路コア
１２０ 第１結合導波路コア
１３０ 第１グレーティング
１３２、２３２ 基部
１３４、２３４ 突出部
１４０ 第１出力導波路コア
１９０、２９０ テーパ導波路コア
２００ 第２導波路コア
２１０ 第２出力導波路コア
２２０ 第２結合導波路コア
２３０ 第２グレーティング

Claims (3)

1. 支持基板と、
   前記支持基板上に形成されるクラッドと、
   前記クラッド中に埋設され、前記支持基板の上面に平行に設けられる、光導波路コアとを備え、
   前記光導波路コアは、第１導波路コア及び第２導波路コアを備え、
   前記第１導波路コアは、第１結合導波路コア及び第１グレーティングを直列に備え、
   前記第２導波路コアは、第２結合導波路コア及び第２グレーティングを直列に備え、
   前記第１グレーティング及び前記第２グレーティングは、所定の間隔で並列配列され、
   前記第１グレーティングは、ＴＥ（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ）偏波及びＴＭ（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ Ｍａｇｎｅｔｉｃ）偏波のいずれか一方の偏波に対して、特定の波長でモード次数の変換を伴う回折を行い、
   前記第２グレーティングは、前記第１グレーティングから移行した他方の偏波に対して、特定の波長で回折を行い、
   前記第１結合導波路コア及び前記第２結合導波路コアは、所定の間隔で並列配列され、前記第１結合導波路コアを伝播する前記一方の偏波を、前記第２結合導波路コアに、モード次数を変換して移行させる
   ことを特徴とする光波長フィルタ。
2. 前記第１グレーティングは光の伝搬方向に沿った伝送軸に対して非対称であり、
   前記第２グレーティングは光の伝搬方向に沿った伝送軸に対して対称であり、
   前記第１グレーティングの導波路幅は、前記第２グレーティングの導波路幅よりも大きい
   ことを特徴とする請求項１に記載の光波長フィルタ。
3. 前記第１導波路コアは、入力導波路コア、前記第１結合導波路コア及び前記第１グレーティングをこの順に直列に備え、
   前記第２導波路コアは、出力導波路コア、前記第２結合導波路コア及び前記第２グレーティングをこの順に直列に備え、
   前記入力導波路コアに入力された基本モードのＴＥ偏波は、前記第１グレーティングで１次モードのＴＥ偏波に変換され、前記第１結合導波路コアから前記第２結合導波路コアに、基本モードのＴＥ偏波として移行して、前記出力導波路コアを経て出力され、
   前記入力導波路コアに入力されたＴＭ偏波は、前記第１グレーティングから前記第２グレーティングに移行して前記第２グレーティングで回折され、前記第２結合導波路コア及び前記出力導波路コアを経て出力される
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の光波長フィルタ。

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